电子束蒸发台操作流程

TF500 操作流程

1 操作安全

警告

请遵守如下给出的安全说明并注意适当的防范措施。否则，可能导致人员伤亡

和设备损坏。

•在您操作任何部件之前请阅读所有相关的说明。

•TF500的表面或部件可能很热或很冷。请不要触碰热的或冷的表面，比如泵体，材料，夹具，真空腔体和连有石英加热并有其他排气工艺的部

件。

•请保持所有配件柜处于闭锁状态。请不要把钥匙留在锁上。

•在腔体打开的时候，电子枪挡板是可以转动的。操作员需注意，因为挡板不留意的转动可能导致人员伤害并导致设备损坏。

2 TF500启动

2.1 启动TF500

1. 启动冷却水源。

2. 启动压缩气体源。

3. 启动充气气体源。

4. 请确保在19寸控制柜面板上的所有部件的控制都处于“关”的位置。

5. 打开TF500的电源空气开关，确保EMO松开。按下前面板“I/O”按钮启动

设备，然后按“Reset”按钮给各个部件加电自检。

6. 打开电脑，进入Win7的密码为admin，SCADA软件将在win7中自动打

开，点“Start”开始运行SCADA软件，SCADA软件将初始化并加载各部件（注意！不要关闭设备自动打开的其他界面），在主软件界面登陆相应的

权限，进入组态的CONTROL SCREEN，按按钮。抽真空系统随后将会启动。

7. 当系统状态为“TURBO PUMP READY”，这就表示腔体已经准备好了，可以

对腔体抽真空开始做工艺了。

2.2 装载TF500腔体

警告

在大气环境下（比如已经充气），基片工作台可能还是旋转的。当您的手在腔体里或者其他在旋转基片上存有会伤害您自己的风险时，请注意不要旋

转工作台。

请参考PC操作的补充材料“PC控制”文件。

当腔体处于真空状态，如果可以请先按按钮再按

按钮对腔体进行充气。充气阀打开并对腔体充气，并在腔体充气时间结束后自动关闭充气阀门，如果门已经打开，充气时间还未结束，请再

次按下键关闭充气气源。

打开腔体门并将基板安装到旋转盘上。

关闭腔门并检查确保基板仍在正确的位置上。

按或按钮对系统抽真空。

3 TF500关机

3.1正常关机

我们推荐您使用如下流程进行关机。在您关闭TF500时，保持TF500腔体处于

真空状态。

1. 确保真空腔门是关闭的。

2. 在系统控制界面，按按钮，然后等到腔体压力降到3 x 10-4

mbar或更低。

3. 在系统控制界面，按按钮。

4. 当系统状态为“腔体密封”时，在系统控制界面按按钮。

5. 当系统状态为“STAND BY”，再等待大约15分钟，分子泵转速降为0后，

按“”按钮。按钮中的绿灯随后熄灭。

6. 再关闭冷却水，工艺气体，压缩气体源和电源空开，（长期不用时请关闭

气源水源，并将水箱的水排干）。

3.2 紧急停止

紧急状态下，按急停按钮紧急关闭TF500。

当您按下急停按钮时，抽真空系统就会关闭并且真空系统电柜，19寸控制柜

和所有装在真空腔体里的配件，它们的电源都会关闭。

3.3 电源中断

如果是一次暂时的电源中断（或者大约0.5秒或更少），TF500将会正常运

行。

如果电源中断长于“暂时”时间并且随后就恢复了，TF500将进入待机状态。您

必须按“Reset”按钮并在系统控制界面按按钮重启

TF500。

一旦电源中断，高真空门阀将一直保持关闭，密封真空腔体并保持次级泵处于

真空状态。

4 急停之后的重启

警告

请确保在急停之后的重启是安全的。如不能，您可能导致人身伤害。

如果您已经按下了急停按钮关闭了TF500，您必须使用如下步骤重启TF500：

1. 确保急停的原因已经被更正。

2. 按下并旋转以恢复急停开关。

3. 按下“Reset”按钮。

5 对TF500腔体抽真空

1.按按钮。旋片泵（3）将启动，打开分子泵（4）。

2.等到分子泵加速完毕，状态显示“分子泵就绪”。

3.按下按钮（注意！如果之前腔体已有很高的真空，可能会导致抽真空失

败，只需按下键给腔体稍稍充气再按按钮就可以了）。软粗抽阀（1）打开直到腔体压力到达4X10+0mbar。

显示状态为“粗抽”

然后粗抽阀（2）打开直到腔体压力到达1.0X10-1 mBar。

显示状态为“粗抽”

然后高真空阀（6）打开直到我们按按钮

显示状态为“抽真空完成”

直到腔体压力到达1x10-5mBar以下。

显示状态为“FINE PUMPING”

4.在PC控制界面，按下按钮，随后按下按钮。系统将会进入“PROCESS”模式。

一旦状态显示为“PROCESS-FINE PUMPING”，随后系统就准备完毕，按下旋转按钮可以进行手动镀膜了。

6 基片旋转

1.按下按钮开始旋转基片工作台。绿色表示处于旋转状态。

2. 通过键入一个值（转每分钟）或通过上下键设置旋转速度。

7 电子束蒸发（手动模式）：

1.请参考控制柜面板并按如下操作

按上图，灯丝电流顺时针拧到最大，束流拧到最小，确保互锁关闭指示点亮；

打开坩埚控制器Power按钮，将控制选择按钮打到“Auto”，并选择NORMAL模式，速度不要太快，2挡就好了；

打开扫描图形控制器电源，将控制器打开为“Run”和“REMOTE CONTROL”模式；

确保互锁关闭指示点亮，按下高压控制电源按钮。

2.按下基片架旋转按钮，选择所需的坩埚位（1-6）和，再按按钮。电子束电源打开并显示-10.0kV高压。

3.设置所需的电流（每次增加5mA或10mA），熔化坩埚中的材料。

4.设置挡板打开时间（秒）。

5. 检查靶材是否完全熔化，并按按钮打开挡板开始镀膜。