洁净室基础知识(中科净) 2

洁净室

clean room

中科净（厦门）净化科技有限公司ZHONG KE JING (XIAMEN) PURIFICATION TECHNOLOGY CO.,LED

编写：技术部

洁净室

第一篇：基础知识

第二篇：洁净室设计

第三篇：洁净室施工

第四篇：洁净室测试

洁净室基础知识

•微粒基础知识

•大气尘

•洁净室基本原理

•净化级别

•空气过滤器

大气尘

•总悬浮微粒(TSP) : 10~100微米

<10微米(可吸入颗粒)

•大气尘组成：

矿物碎片、烟、花粉、植物纤维、煤、碳、水泥等细粉、腐败植物、皮屑、金属、微生物等

•大气尘随温度、湿度、风向等情况变化而变化

空气洁净度级别

1、美国宇航标准（NASA）

2、美国联邦标准209C、209E

3、日本洁净度级别JIS B-9920

4、国际污染控制学会（ICCCS）制定的标准：ISO/TC209

我国《洁净厂房设计规范》(GB50073-2001)中采用此标准。

洁净室的设计计算

•大气尘浓度

•室内单位容器发尘量

•人：站立(穿洁净工作服)—58500个/分钟.人

站立(穿普通工作服)—339000个/分钟.人

步行(普通服装)----2920000 个/分钟.人

步行(洁净服装)----560000个/分钟.人

•机械设备

电动机(300W以下): 200000~500000个/分钟

•纸张

普通纸揉半分钟:10220个硫酸纸揉半分钟:523个(>0.3微米)

洁净室原理

1、控制污染的途径:

1)有效阻止室外的污染侵入室内.

2)迅速有效的排除室内已经发生的污染

3)控制污染源\减少污染发生量.

乱流洁净室

•原理

当一股干净空气从送风口送入室内时，迅速向四周扩散，同时把差不多同样数量的空气从回风口排走，这股干净空气稀释着污染的空气，把原来含尘浓度比较高的空气充淡了，一直达到平衡。所以气流扩散得越快，越均匀，稀释的效果就越好。一般适应于1000级及以下的洁净度。

•送风方式

高效过滤器顶送、密集流线型散流器顶送、局部孔板送风、侧送

单向流洁净室

•基本原理

在洁净室内，从送风口到回风口，气流流经图中几乎没有什么变化，加上送风静压箱和过滤器的均流作用，全室断面上的流速比较均匀，而至少在工作区内流线单向平行，没有涡流。

•送风方式

上送下回侧送侧回上送侧回

微粒过滤机理

•机械分离：重力、惯性、旋风•电力分离：静电

•洗涤分离：喷雾、水膜、文式•过滤分离：填充式、袋式

影响过滤效率的因素

•微粒尺寸

•微粒种类

•微粒形状

•纤维粗细和断面形状

•过滤速度

•纤维填充率

•温度\湿度\压力\

微粒大小与过滤效率总效应

0.1110微粒大小

过滤效率

滤速与效率

效

率

拦截

滤速

洁净室设计

1、洁净室设计要考虑的问题

2、常见几种洁净室的形式

业主的问题

1、如何设计一个不需要化很大代价来改变和修改的净化间？

2、如何建造一个灵活的净化间来避免今后设备变化而付出昂贵代价？

3、如何把需要控制的空气量减少从而把建造成本和运转成本最小化？

3、怎样才能制订出一个可以信赖的工程预算？

4、如何才能使工期持续缩短而不以牺牲质量为代价？

基本系统组成

•空调与净化•供配电与照明•冷热源

•生命安全•CCTV

•纯水

•真空

•设备冷却水•排气

•药品供给

•大宗气体与特气•自动控制

•排水

•内装

•……

洁净厂房常见的几种形式

•按照气流组织

单向流、非单向流

•按技术下夹层

无下技术夹层、单技术夹层、双技术夹层

•按空气搬送风机的布置

完全分散（ＦＦＵ）、相对集中（ＦＭＵ）、高度集中•按照设备布局方式

港湾式、大开间式（FFU+CLEAN BOOTH+SMIF）

净化间常见形式之四

净化间通道

上夹层

FF U FF

U

FF

U

FF

U

FFU+FCU的方式，低下夹层

空调系统基本构成

Cooling

tower

Chiller集水缸分水缸

冷却水泵Cooling Water Pump

冷冻水泵

Chilling Water Pump

Dispensing Box Assembling Box

新风机

循环空调机C/R 外

气

锅炉

天然气或柴油

热交换采暖系统蒸汽热水

冷

冻

水

净化间的节能问题

•温湿度的调节方式

•冷热回收

•当地自然条件的充分利用

•高效率产品采用

•高级别区域的最小化

•隔热与保温