48所扩散炉设备问题1

48所扩散炉存在问题报告

我厂购买的48所四寸扩散炉，在调试完毕后使用3个月设备逐渐出现各种故障。经过与48所售后服务部门口头沟通，后又发传真并反复沟通协商后，48所总算于7月24日明确派人前来维修。27日下午48所维修人员到达现场，经分析故障原因并进行维修后，设备仍存在一些问题。具体情况汇报如下：

一、1-3号、3-3号设备，H-O合成工艺运行时出现点火温度未到，工艺强行停止。

我厂在设备规定使用条件范围内进行工艺试验工艺设定温度为800℃。实际运行工艺时，在800℃下正常点火，但在工艺运行一段时间后会出现点火温度未到报警，而导致工艺强行中止达不到协议要求。

二、2-3号设备无法检测点火温度。

2-3号设备在点火器加热后，温控仪检测温度为800℃已达到点火温度，但前方控制系统却无法收到点火温度已到的信号。设备不能正常点火。

经48所人员检查后发现，主要原因是由于设备后方控制H-O合成点火的电路板出现故障。由于该电路板上所有器件全是手动焊接，焊点可靠性差。其中一个焊点在设备震动下出现断路，接收不到温控信号导致设备无法正常运行。

48所人员对该电路板重新焊接后，设备恢复正常，但这个故障说明电路板的质量较差，不能排除在以后的使用过程中其他电路板不会出现类似的问题。

三、2-3号设备石英点火腔出现裂纹。

在维修过程中，2-3号设备的石英点火腔在经过几次点火实验后，腔体上出现一道长约25CM的裂纹。由于该腔体为H-O合成时火焰燃烧的密封器件，为保证安全，该设备已经停止使用。其他H-O合成设备，可能也存在该安全隐患。

经我厂与48所协商后，48所认为是该石英器件出现质量问题并同意对该石英器件进行更换。但是48所现在没有相应的备件，更换时间最快需要2至3个月，并且我厂没有替代设备，严重影响到我厂硼扩散攻关项目进度。这个故障说明石英点火腔的质量较差，不能排除在以后的使用过程中其石英点火腔不会出现类似的问题。

四、扩散炉所有炭化硅浆支架大面积生锈

四寸扩散炉在使用3个月后，所有炭化硅浆的推拉支架出现大面积生锈，严

重影响我厂净化环境和其他扩散设备。

原因主要是由于该支架所使用的基材不是防锈材料，表面的防锈涂层质量也不好，防锈涂层脱落局部后造成生锈。

48所建议重新对所有支架进行喷漆。但由于设备处于净化环境，不能进行喷漆操作，并且支架在使用时由于环境温度过高漆层仍会脱落，所以我们没有接受该解决方案。48所也未提出更好的解决方法。我们提出由他们重新加工能抗锈蚀的配件然后进行更换。可能涉及到他们要发生一些费用，48所的人员没有表态，请协商解决。

五、H-O合成设备密闭性差，无法进行掺氯氧化工艺。

我厂在使用2-3号设备进行掺氯氧化时，发现在通入100ml/MIN HCL气体后（设备HCL气体最大量程为200ml/MIN），扩散炉口有气体泄露。由于所有H-O 合成设备均为闭管扩散炉，我们认为是由于设备本身密闭性太差而造成的。48所认为该设备虽为闭管扩散炉，但在炉口处并不能达到完全密封，建议我厂在炉口处安装独立的抽风系统并增加设备的抽风量。但是我厂和有关单位合作对排风量进行了测试计算。目前的排风量已经超过48所的排风要求较多。是不是改为独立排风就能解决HCL气体泄露到工作间的问题，我们认为论据不足。48所能否提供有力证据？另外扩散炉安装以前排风的方案48所签字认可，如果现在改动发生的费用是该我们公司承担还是48所承担？

半导体五厂

2010.8.30