48所扩散炉设备问题1
解决48th生物质锅炉促成炉排高端着火问题后的结论与建议
解决48t/h生物质锅炉促成炉排高端着火问题后的结论与建议原文出自于豫鑫锅炉：/article/6051.html 结论通过燃烧调整，验证了调整思路的正确，高端燃烧已经形成。
火焰颜色变为区域性的金黄色，排渣近似灰白色，负荷稳定在9MW，在较多的时候，炉渣含碳量降低了10%，飞灰降低了5%。
并且通过多种燃料的掺混试验，当燃料水分在50%以下时，燃烧工况可以保障，负荷稳定在9MW以上，机械和化学不完全燃烧损失较少，效果比较好。
影响锅炉燃烧的最大问题就是燃料的水分含量过大，其次是设备原因。
燃料水分在45%以上，就不可能保证锅炉的高效燃烧。
建议(1)建造一个大容量的燃料干燥棚。
(2)炉排改造成风帽破坏了床层的平衡燃烧原则，炉排中端区域的风帽阻碍了燃烧产物在炉排振动时的跳跃。
用流化床锅炉的理论是不能适应生物质炉排燃烧技术的，只会将床上燃料分隔为断层，改变了床层的平衡性，造成了配风的困难，不能形成正常的燃烧结构。
(3)恢复燃尽风，改变倾角。
不能没有理由地破坏初始设计。
(4)将高端炉排下面的点火风源，由罗茨风机改为二次风，提高热风温度。
(5)实践证明，二次风到料仓的管道改造没有效果。
加强燃料的晾晒、阴雨天遮盖燃料。
(6)检查锅炉漏风，封闭不严密的地方，尤其要保持进料系统各部分检查孔的严密性。
(7)停炉时疏通炉排风眼、检查布袋除尘器。
(8)利用粉碎机破碎燃料，增加燃料的接触面积。
(9)再次点火前，做锅炉风门挡板特性和动力场试验。
(1O)恢复炉排看火孔，改为翻板式，便于运行人员观察燃烧工况。
(11)建议改变炉排一次风总门安装位置（由垂直位置改造为水平布置，离开弯头区域），并恢复电动控制，便于运行人员调整。
(12)炉排振动要找准切入点，当炉膛形成负压时，开始振动，减少炉床的扰动，避免大的炉膛负压波动。
48t/h生物质锅炉炉排设计容量不够，不能适应国情燃料的燃烧，单靠燃烧调整不能解决根本问题，望有关人士给予注意。
扩散常见问题及解决方法
受控状态编制审核批准生效日期版本号修订号文件编号发放号2010-08-11B1JN/JL30301-4-2010扩散常见问题及解决办法1.做气密性测试时，气密性总是达不到要求？石英门没有装好,或者尾气回收瓶漏气，检查尾气瓶是否接触紧密，校正石英门位置。
2.扩散万级间温度很高？空调温度设定值高、冷却水没有开、热排没有开、石英管隔热套安装不严。
3.POCL3恒温箱突然断电？检查线路、更换新的恒温箱。
4.R2D上下料时出现碎片问题？根据报警信息查找出问题的部位，然后调节（手柄）至合适的位置并保存、home复位、查看是否有碎片、关闭软件并重启、关闭电源并重新启动操作软件。
5.扩散过程中出现撞舟问题？调节lift放在碳化硅桨上的位置、调节传动的路线、调节石英管在扩散炉炉体中的位置。
6.扩散后方块电阻高？增加通源时间、增加POCL3的量、增加温度、实际温度达不到需要校温。
7.扩散后硅片表面发蓝或有烧焦？发蓝时因为硅片表面有水：增加制绒的风刀温度、降低制绒滚轮的速度、降低扩散千级间的空气湿度、减少制绒后硅片在扩散千级间的存放时间。
8.进出舟时出现报警而使工艺跳步？根据报警信息看什么原因造成的，根据实际情况选择继续运行工艺或者用取舟程序把石英舟从管里取出来。
9.如果R2D在运行过程中出现连接超时（LP out truck timeout）怎么办？检查传感器是否正常工作，重新调整一下位置。
10.R2D运行时，位置走不到位或者软件运行十分缓慢？在R2D不工作时，把软件进行重启，然后复位就行了。
11.工艺运行过程中，如果氮气补偿过小？调节尾瓶处的开关，使之达到工艺要求。
12.桨中途停止怎么办？查看报警信息，如果是在出料时不动，桨停留在20位置上，查看舟的位置是否正确，然后点Start，重新开始。
如在其他位置不动，查看传动装置是否松动，电机是否工作。
13.门关不严怎么办？检查门是否被挡板档住，检查电机是否完好，sensor是否松动，重新做校准。
四十八所扩散作业指导书现场版本_图文.
规范四十八所扩散炉常规维护项目的操作二、适用范围适用于佳诚太阳能有限公司电池车间扩散一到四线工序三、规范性引用文件四十八所扩散炉操作说明书四、职责设备人员:1、检查温控仪表及热电偶是否正常2、检查触摸屏是否偏移,矫正3、检查电气线路按钮开关及指示灯是否正常4、检查插片房风机是否正常5、检查变压器及炉体接线端子是否老化、发黑等现象6、保养完后,确认每台炉管加热、流量正常工艺人员:1、负责协助生产拆装废液瓶夹子2、检查有毒气体管道密封性和老化程度,是否需要更换生产员工:1、检查传动是否平滑,有无震动和异响,加润滑油2、清理净化滤网,必要时更换3、清理废气室及废气管滴下的偏磷酸4、检查恒温水槽不锈钢源瓶座是否有积水,清理5、检查恒温水槽液位是否过低;控温等是否正常6、检查气路是否有漏气现象,更换卡套和四通阀7、检查废液瓶内废液,是否需要清理五、设备主要技术参数 :六、设备介绍与操作1.1总体结构总体结构分为四大部分,见平面安装图 1,从右到左为:控制部分、推舟净化部分、电阻加热炉部分、气源部分。
图 1 软着陆扩散炉平面安装图1.2分部件结构1.2.1工控机控制框图见图 2。
图 2在控制柜的底层, 安装有四管控制系统的推舟控制装置、保护电路、电路转接控制板及各层的开关、保险等 , 前盖板上装有三相电源指示灯及照明、净化、抽风开关等。
该柜内有 220V 的交流电,也有 15V 、 5V 直流电和控制信号线,检修时请注意区分及安全,谨防接错和短路。
1.2.2推舟净化部分推舟净化柜的顶部装有照明灯;正面是悬臂桨推拉舟机构,推舟水平运动采用步进电机 +减速机 +同步带 +同步带轮的传动机构,推动悬臂桨水平移动;推舟垂直运动采用步进电机 +减速机 +升降机的驱动机构,推动推舟底板整体上下移动。
导轨的两端和上下运动的两端都装有限位开关和极限保护开关。
靠近炉口的净化柜顶部设有漏斗状的抽气罩,与外接抽风系统连接后,用来排掉出舟时散发的大量高温有毒气体。
电池片各工序影响因素及异常情况
电池片各工序影响因素及异常情况一、一次清洗影响因素：1、温度：温度过高，首先就是IPA（异丙醇）不好控制，温度一高，IPA的挥发很快，气泡印就会随之出现，这样就大大减少了PN结的有效面积，反应加剧,还会出现片子的漂浮，造成碎片率的增加。
可控程度：调节机器的设置，可以很好的调节温度。
2、时间：金字塔随时间的变化：金字塔逐渐冒出来；表面上基本被小金字塔覆盖，少数开始成长；金字塔密布的绒面已经形成，只是大小不均匀，反射率也降到比较低的情况；金字塔向外扩张兼并，体积逐渐膨胀，尺寸趋于均等，反射率略有下降。
可控程度：调节设备参数，可以精确的调节时间。
3、IPA：1）、协助氢气的释放。
2）、减弱NaOH溶液对硅片的腐蚀力度，调节各向因子。
纯NaOH溶液在高温下对原子排列比较稀疏的100晶面和比较致密的111晶面破坏比较大，各个晶面被腐蚀而消融，IPA明显减弱NaOH的腐蚀强度，增加了腐蚀的各向异性，有利于金字塔的成形。
乙醇含量过高，碱溶液对硅溶液腐蚀能力变得很弱，各向异性因子又趋于1。
可控程度：根据首次配液的含量，及每次大约消耗的量，来补充一定量的液体，控制精度不高。
4、NaOH：形成金字塔绒面。
NaOH浓度越高，金字塔体积越小，反应初期，金字塔成核密度近似不受NaOH浓度影响，碱溶液的腐蚀性随NaOH浓度变化比较显著，浓度高的NaOH溶液与硅反映的速度加快，再反应一段时间后，金字塔体积更大。
NaOH浓度超过一定界限时，各向异性因子变小，绒面会越来越差，类似于抛光。
可控程度：与IPA类似，控制精度不高。
5、Na2SiO3SI和NaOH反应生产的Na2SiO3和加入的Na2SiO3能起到缓冲剂的作用，使反应不至于很剧烈,变的平缓。
Na2SiO3使反应有了更多的起点，生长出的金字塔更均匀，更小一点 Na2SiO3多的时候要及时的排掉，Na2SiO3导热性差，会影响反应,溶液的粘稠度也增加，容易形成水纹、花蓝印和表面斑点。
扩散炉常见故障及维护讲解
48所扩散炉
1 按下进舟按钮时,将不移动 1 警报灯这,显示ER.01 2 警报灯这,显示ER.03
3 警报灯这,显示ER.19（温度过升）
4 警报灯这,显示ER.20（空烧异常）
检查将是否后退太多导致限位触点压下 48所恒温槽 检查温度传感器是否断线,异常 检查恒温槽电压是否异常 检查加热丝是否断线 检查循环泵是否卡死 检查冷却器是否损坏 检查水位是否不够（适当水位是从顶部往下约3MM） 检查浮动开关是否卡死或损坏
Baratron
氮气的节流阀
保压设定
当炉管清洗并且安装完成后,重新对DMC初使化,在初使化完成后,需要对炉管的密封性进 行检测. 选择TEST程序,设置当前氮气流量为6SLM, 将排气压力设置为5Pa, 在炉门完全关闭后, 运行该程序.
这时,炉内压力会逐渐 升高，并且维持在5Pa． 如果压力无法保持稳定 或低于当前设定值，表 示炉管密封性不好，需 要重新检测所有接口， 各路阀门以及炉门情况．
也可以将当前氮气流量 为6SLM, 将排气压力设 置为5Pa,运行程序,压 力应该不低于80Ｐa
炉门的调整
如果压力低于当前设定值，首先重新检测所有接口，各路阀门以及炉门情况．在确认无 误后，这时就需要我们调整 SoftContact Loader Door.
调整 SoftContact Loader Door的目的是使用手柄将门完全打开、关闭的位置确认下来. 并且重新调整Sensor的位置,确保门可以完全关闭,没有间隙.
炉门拉紧信号：
０１１００
炉门拉紧和关闭信号：０１１１０
Loader位置的校正是依靠炉门打开和炉门关闭信号，在重新调整炉门时，我们要确保当
炉门关闭时（关闭信号感应到位），电机有足够的拉力将炉门拉紧．
扩散炉常见故障整合祥解
在R2D机械手屏幕中检查炉管的状态(必要时清除) 检查R2D机械手的触点开关是否工作正常 在R2D屏幕中检查输入输出通迅是否正常
Furnace Spike
Fan
炉门的调整
如果压力低于当前设定值，首先重新检测所有接口，各路阀门以及炉门情况．在确认无 误后，这时就需要我们调整 SoftContact Loader Door.
Tempress扩散炉
1
TUBE尾气压力偏高
检查尾气管是否被偏磷酸堵塞 检查尾气压力控制器是否损坏或需要重新校正 检查进入尾气压力控制器的氮气调节阀是否关闭
2
TUBE尾气压力偏低
检查炉管是否存在缺口或裂口
检查炉门是否关闭不良 检查炉门是否被偏磷酸腐蚀或磨损 检查进入炉管的氮气气管或接头是否漏气 检查进入尾气压力控制器的氮气调节阀是否调大
调整 SoftContact Loader Door的目的是使用手柄将门完全打开、关闭的位置确认下来. 并且重新调整Sensor的位置,确保门可以完全关闭,没有间隙. 在每次重新安装炉管后,我们无法确保炉管的安装位置完全不变.在安装完成后,CPU模块 内存清除后的校正并不能确认当前炉管的位置是否改变,而是仅仅使用Sensor的位置来确 认当前位置.在这种情况下,有可能所有的Sensor都有完全感应到，但是炉门却没有完全 闭合． 炉门Sensors状态如下： 炉门打开信号： ００１０１ 炉门拉紧信号： ０１１００ 炉门拉紧和关闭信号：０１１１０ Loader位置的校正是依靠炉门打开和炉门关闭信号，在重新调整炉门时，我们要确保当 炉门关闭时（关闭信号感应到位），电机有足够的拉力将炉门拉紧．
8Байду номын сангаас
炉管无法升温
检查温度控制器是否警报
扩散常见问题解决方法
问题
原因
解决方法
扩散不到
1.炉门没关紧，有源被抽风抽走。
2.携带气体大氮量太少，不能将源带到管前。
3.管口抽风太大。
1.由设备人员将炉门重新定位，确保石英门和石英管口很好贴合。
2.增大携带气体大氮的流量。
3.将石英门旁边管口抽风减小。
方阻偏高/偏低
偏高：1.扩散温度偏低。
方阻正常，但FF偏低
品质因子有问题，n趋向于2，J02偏大，表明结区复合严重。
方法同上
Tempress扩散过程中问题解决方案
问题
原因
解决方法
方阻在源一侧低，炉口处高
1.炉门与炉管的密封性不好
2.尾部排气严重
3.假片数量太少
1.调整炉门密封性
2.减少尾部排气气流
3.使用更多的假片
单片（交叉）方块电阻均匀性差
4.推进温度太低
1.增加沉积时间
2.增加沉积温度
3.增加推进时间
4.增加推进温度
整管方块电阻太低
1.沉积时间过长
2.沉积温度过高
3.推进时间太长
4.推进温度太高
1.减少沉积时间
2.减少沉积温度
3.减少推进温度
4.减少推进温度
返工处理
方块电阻不在规定范围内：1.轻微超出范围要求重新扩散，严重超出要求重新制绒。2.低于范围要求从新制绒。
4.石英件或硅片脏
5.沿着扩散炉通风
6.气流不足
1.预先处理炉管和舟
2.使用新的假片
3.使用好的校准硅片，而不是磨光
4.清洗炉管、舟、隔热包块和匀流挡板
5.使用干净的硅片
6.通过关闭可能的通风孔减小通风或者减小洁净室的过压。
扩散炉维修手册(M5111-4W、UM系列高温扩散、氧化系统).
中国电子科技集团公司第四十八研究所M5111-4W/UM系列高温扩散/氧化系统维修手册中国电子科技集团公司第四十八研究所2007年6月中国电子科技集团公司第四十八研究所目录1．设备型号涵义 (1)1.1型号的组成 (1)1.2各代号涵义 (1)2．电气图纸的代号规定 (2)2.1电气制图代号定义 (2)2.2元器件编号规定······················2.3电气接线编号规定····················2.4电气转接端口定义····················2.5计算机转接端口定义···················3．故障判别与维修······················3.1温度控制系统·······················3.1.1温控仪上显示oooo····················3.1.2炉子不能升温······················3.1.3面板上的超温指示灯亮··················3.1.4炉温失控························3.1.5面板上的短路指示灯亮··················3.2自动推拉舟系统······················3.2.1不能自动进出舟·····················3.2.2不能自动停舟······················3.3气体流量控制系统····················3.3.1气动阀不能受控打开···················3.3.2触摸屏上无气体流量显示·················3.3.3气体流量总是显示最大值·················3.3.4气体流量显示值波动大··················3.4 H/O合成氧化系统····················3.4.1火不能点燃·······················3.4.2系统误报警·······················I （3）（3）（3）（7）（11）（11）（11）（11）（12）（12）（13）（13）（13）（14）（14）（14）（14）（15）（15）（16）（16）（16）中国电子科技集团公司第四十八研究所1．设备型号涵义1.1 型号的组成按照部颁标准，我所高温扩散/氧化系统的型号由如下代号组成：M 5 1 11 — 4 W / UM型 48所）类别代号（表面处理和薄膜淀积设备）1.2 各代号涵义1300℃3〞硅片工艺4〞硅片工艺6〞硅片工艺8〞硅片工艺1中国电子科技集团公司第四十八研究所2．电气图纸的代号规定2.1电气制图代号定义按照国家电气制图标准，我所常用电气图纸器件代号如下：代号ABCEFGHJKLMNPQRSTUVWXYZ 代号意义计算机及板卡、步进电机驱动器、印制电路板、带触发电路的可控硅模块、氢气报警器、湿度计、冷阱、触摸显示器薄膜规、热电偶、接近开关、光电开关电容加热器、扩散泵、照明灯熔断器开关电源、直流电源指示灯、报警器温控仪固态继电器、交流接触器、交流继电器、直流继电器、延时继电器三相总进线，分为：L1、L2、L3 真空泵、轴流风机、净化风机零线质量流量控制器、水压开关、水流开关、电接点压力表、真空计、记录仪、电流表、电压表、检测器件断路器、空气开关电阻、电位器、热敏电阻、压敏电阻按钮开关、旋钮开关、急停开关、行程开关、液位开关、接近开关变压器、调压器、电压互感器、电流互感器旋转编码器、变频器、整流器晶体管、晶闸管、可控硅模块、发光二极管、规管、光敏管导线、电缆接线排、端子排、连接片（XB）、电缆封端、接线板、普通插头座、航空插头座（头可采用XP、座可采用XS）电磁阀、电磁离合器、气动阀滤波器2中国电子科技集团公司第四十八研究所2.2元器件编号规定* * * * *如电控柜中下层第5号插头座编号为：X1205 ；净化台照明开关的编号为：S20052.3电气接线编号规定* * * **连接线序号，零线号从001～099 ；其他线号从101～999 。
四十八所扩散炉教程
18
2.方块电阻的异常.
方块电阻的异常在扩散间异常中是占很大比例,方块电阻的异常的种类、可
能的原因及解决措施如下: (1)整舟方块电阻高 可能的原因：1.大氮保护开着。2.四探针测试仪没有调整好（如电流）或 故障3. 源量过少.4.扩散温度低. 解决方法：1.关闭大氮保护.2.按要求调整或让相关人员维修3. 让员工经常 检查源瓶，按要求更换源瓶.4.调整扩散温度. (2)整舟方块电阻低 可能的原因：1.换源后没有及时降低温度.2. .四探针测试仪没有调整好.3. 工艺运行完该出舟时，因其他原因没有退舟，导致扩散后的片子长时间处 在高温的管子里.4.恒温箱缺水或各种故障导致的温度升高.5. 误用方块电阻 低的工艺号.6.二次扩散.7.扩散温度高. 解决方法：1. 换源后按要求调整温度.2. 按要求调整并定时确认.3.员工应 经常关注各个扩散管的运行状态，及时发现问题.4.添水或通知设备维修.5. 让员工按流程卡上标注的工艺运行.6. 属于员工误操作.返工.7.调整扩散温 度.
按照每立方米（或每升）空气中，大于等于0.5μm的尘粒数量来划分
8
人员方面 1.扩散间员工出扩散间必须穿鞋套.其他岗位、部门员工
进入扩散间必须按要求穿洁净服、戴鞋套 2.进入扩散间时要风淋30s 3.严禁同时打开传递窗及风淋门;传递窗的两边不能同时 打开 4.员工工作服穿着整洁,头发严禁露在衣服外面 5.清洗间小车禁止推入扩散间使用 6.袖子不能高挽
可能的原因：1.进舟时间设定短.2.限位开关故障.3. 丝杠故障. 处理措施： 1.设定合适的进舟时间.2.3.通知设备人 员维修.
24
6.有关三氯氧磷方面的异常：
(1).有三氯氧磷的气味.(冒烟)
可能的原因：1.炉门密封不严. 2.气路部分连接不紧密.3.抽风小. 4.当有扩散管运行 到通扩散小氮时，其他管出舟，造成抽风相对小.5.石英炉门有缺口.6.源瓶的阀门装反 并且没有检查出来.导致三氯氧磷以液态进入石英管内. 处理措施： 1.通知设备人员调整.2.安装源瓶及四通等气路时要确保连接紧密.3.通知设 施人员处理.4.合理安排进出舟时间.5.通知设备人员更换后运行清洗工艺.6.换源时按要 求认真操作.
所扩散炉温度加热控制分享
检查接触器 NO 是否吸合
紧固接 线,检查
接线
YES
检查接触器 线圈电压
NO
(正常220V)
更新换炉体
用钳型表测量 炉体有无加热 NO
电流
YES
NO
无电流, 测量温控 仪,有无输
检查接触器输出端 相间电压和对地电 YES 压,分别是380V和 220V,如果不正常 更换接触器
有电流,但是太小 (不在75A-100A 范围内)调整电阻, 直至电流正常
48所扩散炉培训 温度、加热控制
目录 2
• 扩散炉加热系统的组成元件 • 扩散炉加热控制系统的工作原理 • 扩散炉加热控制系统常见故障分析
组成元件图片
3
San Francisco
熔断体
热电偶 Wa可sh控in硅gton
London Munich
温控仪
Tokyo Wuxi Shenzhen
交流接触器
变压器
Sydney
触发板
3
扩散炉加热系统的工作原理 4
工作原理分两部分: 1:低压控制部分. 2:高压主电路部分.
他们之间是通过 232-485转接口连 接进行通讯
工控机
彩色为高压 主电路部分
380V 电源
交流接触器
将测得炉体的 温度信号传输 给温控仪
热电偶
测炉体 温度
温控仪
将实际温度和设定温度进行对 比根据温差输出触发电压0-5V
在拆卸前,先将加热关掉(按下 加热关按纽),先卸下阻容板,再 拆下散热片,接着拆下可控硅
可控硅
在安装可控硅时,注意夹板要 夹紧,固定螺丝要拧紧.
散热片
7
THE END !
7
触发板
48所扩散炉及刻蚀机参数
M5111-4WL/UM型高温扩散/氧化系统主要技术指标及使用条件设备主要由电控柜1个、净化操作台1个、加热炉柜1个及气源柜1个四部分组成。
1.主要技术指标1.1 炉膛有效内径φ350mm（适应石英管内径φ320mm）；1.2 温度控制范围：400~1100℃；1.3恒温区长度及精度：≤±1℃/1080mm （801～1100℃）≤±1.5℃/1080mm （400～800℃）；1.4 单点温度稳定性：≤±1℃ /4h （880℃时）；1.5 温度斜变能力:最大升温速率: 15℃/min最大降温速率: 5℃/ min ；1.6具有自动斜率升降温及恒温功能；1.7内置Profile TC 实时显示工艺过程恒温区内前、中、后三点的实际温度；1.8尾气收集方式：尾部集中收集，定向排放；1.9 具有超温、断偶、短路、断气等报警和保护功能；1.10 净化工作台净化级别：1000级（环境10000级）；1.11 送片方式：采用SiC悬臂桨自动送片机构，速度20～500mm/min.连续可调；定位精度:≤±2mm，SiC桨最大载片承重 14Kg；1.12 工艺过程由工控计算机全自动控制，直接在触摸屏上操作；1.13 可存储100条工艺曲线、每条曲线不少于30个拐点；1.14 设备总功率: ≤150KVA（3管）；1.15 炉管温控系统采用五段控温。
2.使用环境要求：2.1电力供应：三相五线供电， 380VAC、50Hz,电压波动不大于±10%，频率波动不大于±1%，谐波误差小于5%2.2气源供应：供应气压0.4～0.8Mpa,压缩空气：压力0.4～0.6Mpa,用于气动阀门的的开启，设备预留3/8”接口。
2.3水源供应：去离子冷却水或软化水，水温：18℃～25℃，水压0.1～0.2Mpa ，设备预留4分内丝接口。
2.4 排废：气源柜、炉体柜、废气室及净化操作台顶部均要求有密封负压，抽气管与设备相连，总抽气流量≥6000L/；另尾气排放管道单独设立管径φ60mm，排气口压力不小于-450Pa.2.5 使用环境：环境要求优于10000级，5～40℃，相对湿度小于60%。
48所扩散炉及刻蚀机参数
M5111-4WL/UM型高温扩散/氧化系统主要技术指标及使用条件设备主要由电控柜1个、净化操作台1个、加热炉柜1个及气源柜1个四部分组成。
1.主要技术指标1.1 炉膛有效内径φ350mm（适应石英管内径φ320mm）；1.2 温度控制范围：400~1100℃；1.3恒温区长度及精度：≤±1℃/1080mm （801～1100℃）≤±1.5℃/1080mm （400～800℃）；1.4 单点温度稳定性：≤±1℃ /4h （880℃时）；1.5 温度斜变能力:最大升温速率: 15℃/min最大降温速率: 5℃/ min ；1.6具有自动斜率升降温及恒温功能；1.7内置Profile TC 实时显示工艺过程恒温区内前、中、后三点的实际温度；1.8尾气收集方式：尾部集中收集，定向排放；1.9 具有超温、断偶、短路、断气等报警和保护功能；1.10 净化工作台净化级别：1000级（环境10000级）；1.11 送片方式：采用SiC悬臂桨自动送片机构，速度20～500mm/min.连续可调；定位精度:≤±2mm，SiC桨最大载片承重 14Kg；1.12 工艺过程由工控计算机全自动控制，直接在触摸屏上操作；1.13 可存储100条工艺曲线、每条曲线不少于30个拐点；1.14 设备总功率: ≤150KVA（3管）；1.15 炉管温控系统采用五段控温。
2.使用环境要求：2.1电力供应：三相五线供电， 380VAC、50Hz,电压波动不大于±10%，频率波动不大于±1%，谐波误差小于5%2.2气源供应：供应气压0.4～0.8Mpa,压缩空气：压力0.4～0.6Mpa,用于气动阀门的的开启，设备预留3/8”接口。
2.3水源供应：去离子冷却水或软化水，水温：18℃～25℃，水压0.1～0.2Mpa ，设备预留4分内丝接口。
2.4 排废：气源柜、炉体柜、废气室及净化操作台顶部均要求有密封负压，抽气管与设备相连，总抽气流量≥6000L/；另尾气排放管道单独设立管径φ60mm，排气口压力不小于-450Pa.2.5 使用环境：环境要求优于10000级，5～40℃，相对湿度小于60%。
48所扩散炉快修手册
气路图序号故障现象故障分析处理方法位置常开电磁阀手动阀扩散小N 2（V 4）Ｐ压力传感器 PFA 气动阀大N 2（V 1）POCl 3清洗小N 2（V 2）单向阀 PFA 气动阀O 2（V 3） 电磁阀三氯乙烷金属气动阀 流量计N 2 (3.4)O 2 压缩空气热电偶开路换热电偶炉体柜热电偶与补偿线接触不良检查并重接转接点炉体柜,计算机控制柜补偿线与温控仪接触不良计算机控制柜2温控仪与显示器上不一致RS232/485转换器故障更换转换器计算机控制柜温控仪上显示00001温控仪热电偶炉体加热按钮未开按下加热“开”计算机控制柜功率部件上保险烧坏换保险丝(125A)炉体柜温控仪无控制输出检查温控仪计算机控制柜保险丝加热开可控硅开路换可控硅炉体柜炉体加热丝断换炉体炉体柜触发器上保险烧坏换保险 (0.25A)炉体柜炉子不升温3保险管可控硅散热片可控硅触发器无+15V电源炉体柜,计算机控制柜可控硅短路换可控硅(300A/900V)炉体柜可控硅散热片+15V GND热电偶或补偿线短路炉体柜,计算机控制柜热电偶或补偿线极性接反改正接法炉体柜,计算机控制柜温控仪参数设置错误重新设置参数计算机控制柜炉温失控4热电偶热电偶开路接好热电偶炉体柜可控硅烧坏短路换可控硅炉体柜系统显示超温报警并自动切断加热电流热电偶温度保护值低于使用温度值重设保护值,增大Al1值计算机控制柜可控硅触发器故障检修或更换触发器板炉体柜5系统显示超温报警并自动切断加热电流触发板热电偶短路检查热电偶炉体柜补偿导线短路检查补偿导线炉体柜,计算机控制柜炉内各温区温差较大用热电偶矫正控温热电偶检测值，修改温控仪Pb值炉体柜，计算机控制柜PID参数不匹配调整温控仪PID参数计算机控制柜面板上的“急停”按钮处按下位置松开“急停”按钮计算机控制柜极限开关起作用手动反转丝杆净化推舟柜限位开关未复位或损坏检查限位开关净化推舟柜保险丝烧断换保险(1A)计算机控制柜限位开关离活动金属触块太远调整限位开关位置净化推舟柜6 7 8系统显示短路报警并自动切断加热电流不能自动进出舟温度波动频繁急停按钮限位开关损坏换限位开关净化推舟柜限位开关连接线故障检查连线及转接插头净化推舟柜,计算机控制柜限位开关上无+5V电源查计算机的电源输出计算机控制柜减压阀、手动阀未打开打开相应阀门气源柜没有±15V电源合上气源柜电源开关电磁阀未打开打开相应的电磁阀固态继电器未动作检查固态继电器载板计算机控制柜采用气动阀时，压缩空气压力太小检查压缩空气减压阀气源柜转接线及转接插头故障 检查各转接线及插头气源柜不能自动停舟9固态继电器质量流量控制器故障更换流量控制器气源柜计算机故障检查812PG、726板卡计算机控制柜气路无流量显示10726板卡槽812PG 卡槽气体流量计水位过低加水气源柜循环水泵不运行清洗水泵或更换水泵轴承气源柜恒温水箱超温11。
扩散异常分析
扩散异常分析方案1、方阻异常偏大a、炉管维护后若试片方阻较大，查看历史记录是否大饱和，饱和时P源瓶阀门是否打开，若异常，则再次运行大饱和程序；若正常，则查看拉温是否拉好，若未拉好，让设备再次拉温；若正常，则查看温度流量曲线是否正常，若均正常，则可以增加扩散温度后继续试片。
b、正常生产后，若该批方阻整体异常偏大，查看P源液位是否低于警戒液位，请直接更换。
如果磷源没有问题，查看程序有无运行错误；查看注入管处连接器是否脱落；查看温度曲线、气体流量曲线、恒温箱温度和恒温箱水位是否异常。
在更换磷源后发现生产的硅片方块电阻偏大，可先检查是否为磷源瓶进出气阀未打开，进出气口是否被堵，石英瓶身与阀套接口处是否有密封不严现象。
c、若炉口方阻异常偏大，可能为炉门密封不严所致，请设备调节炉门密封即可。
d、若整炉异常偏大，可能加热器因设备报警(如断偶、超温等)而关闭，请设备维修后开启加热开关即可。
2、方阻整体异常偏小a、查看恒温箱温度是否过高，恒温箱水位是否过低所致，根据以上问题做出相应调整；b、查看程序是否运行错误；c、可能出现由于生产人员的误操作导致的异常，DF1炉由于出炉装置经常被切换为手动模式，硅片在工艺结束后放置在炉内过长时间也有可能导致电阻偏低；d、询问硅片是否为二次扩散片；e、观察温度曲线，是否为温度波动；观察流量曲线，是否为工艺气体流量出现波动或者流量曲线异常；3、方阻极差异常偏大a、若炉口极差异常偏大，可能炉门密封不严所致(r\如密封圈碳化，石英炉门以及炉管错位等)；若正常，则检查尾气管是否堵塞，疏通尾气管；查看炉口均流板是否缺损或所放置位置不佳，更换均流板或调节位置；b、若炉尾极差异常偏大，查看尾气管是否堵塞；查看炉尾均流板是否缺损，若缺损则更换均流板；查看桨是否对中，若未对中则调节桨的对中；查看排风管是否掉落；查看注入管是否水平；查看拉温是否拉好；查看气路的密封性，根据以上问题可请设备做出相应调整。
德国扩散炉故障处理
德国扩散炉故障处理Centrotherm德国扩散炉一．故障分析与排除1.1 Process exhaust suction high alarm level 工艺废气抽风超出上限报警（上限值3mbar）。
解决措施：(1)查看气源柜顶部排废传感器有无问题,拔出进气管道,屏幕显示流量是否变化，无变化说明传感器坏,需检修。
(2)如流量显示正常,测量其管道内抽风是否正常，有异常通知外围动力设施调节流量。
1.2 Process exhaust suction low alarm level 工艺废气抽风超出下限报警（上限值0.3mbar）。
解决措施：(1)查看气源柜顶部排废传感器有无问题,拔出进气管道,屏幕显示流量是否变化，无变化说明传感器坏,需检修。
(2)如流量显示正常,测量其管道内抽风是否正常，有异常通知外围动力设施调节流量。
1.3 Excess temp heating zone high alarm level 该加热区域温度过高,上限抱警（上限值1100度）。
解决措施：(1) 检查该区域的温度设定值显示值是否正常。
(2) 重新设定加热温度(要求设定值和显示值差值在200以下)。
(3) 检修加热系统。
1.4 Gas pocl3-out of 1 st tolerance 气体三氯氧磷源温度超出规定的公差值（3度）。
解决措施：（1）查看设备操作软件上，源温设定值和显示值，计算之间的差值，检查源温控制器设定的公差报警值是否在允许范围之中。
（2）检查三氯氧磷源瓶中的测温器在指定的位置，传感器测温正常。
（3）检查装源瓶载体盖子是否紧闭，关闭正常。
（4）检查源温控制器和设备主机是否通信（REMOTE灯亮）。
（5）检修恒温槽整体。
1.5 Handing stop 手动停止。
解决措施：（1）设备报警灯红色报警显示，设备打在手动状态（手动按钮启动）。
（2）检查设备装载区的的平移柜门是否打开。
（3）检查柜门关闭的位置传感器是否动作，调整紧固。
扩散常见问题解决方法
方法同上
Tempress扩散过程中问题解决方案
问题
原因
解决方法
方阻在源一侧低，炉口处高
1.炉门与炉管的密封性不好
2.尾部排气严重
3.假片数量太少
1.调整炉门密封性
2.减少尾部排气气流
3.使用更多的假片
单片（交叉）方块电阻均匀性差
氧化发蓝：去PSG工序，反面扩散。
色斑等由硅片表面问题引起的玷污：去PSG后从新制绒。
偏磷酸：去PSG后，重新制绒。
1.调整扩散气流量，加匀流板。
2.调整扩散片与片之间距离。
扩后硅片上有色斑
甩干机扩散前硅片没甩干
调整甩干机设备及工艺条件
扩散过程中偏磷酸滴落
长时间扩散后对扩散管定期进行HF浸泡清洗
环境湿度过大
增大除湿机功率
效率忽高忽低
扩散间或石英管被污染，特别是在生产线被改造时最明显。
清洗石英管及石英制品，加强扩散间工艺卫生，强化TCA。
边缘处方阻低，中心高
1.假片被污染
2.校准硅片不是最好的（可能被磨光）
3.硅片在炉管中的位置太高
4.桨比硅片和炉管温度低
1.使用新的假片
2.使用好的校准硅片，而不是磨光
3.使用低脚的舟
4.在升温步后插入稳定温度步骤
方阻均匀性不连续
1.炉管和舟没有饱和
2.假片被污染
3.校准硅片不是最好的（可能被磨光）
48所扩散过程中问题解决方案
问题
原因
解决方法
扩散不到
1.炉门没关紧，有源被抽风抽走。
2.携带气体大氮量太少，不能将源带到管前。
3.管口抽风太大。
1.由设备人员将炉门重新定位，确保石英门和石英管口很好贴合。
46所工艺中心绝热组的反思材料
46所工艺中心绝热组的反思材料近期，我们46所工艺中心绝热组进行了一次反思，以总结过去的工作经验，发现问题并提出改进措施。
本文将梳理我们的反思结果，并针对所发现的问题提出相应的解决方案。
一、问题发现1. 不完善的工艺流程：我们发现在某些项目中，工艺流程的制定存在不足之处，导致工作效率低下，产出物质质量不稳定。
2. 缺乏有效的沟通机制：在团队合作中，我们意识到沟通不畅，信息交流不及时，导致工作进展缓慢，甚至出现失误。
3. 岗位职责不清晰：部分成员在工作中感到困惑，不清楚自己的具体职责，导致工作分工不明确，责任不明确。
4. 缺乏技能培训机会：部分成员反映，由于没有得到及时的技能培训，导致技能水平无法提升，工作能力受限。
二、解决方案1. 完善工艺流程：我们将加强对工艺流程的研究和制定，确保每个环节都经过充分的论证和验证，以提高工作效率和产出物质质量的稳定性。
2. 建立有效的沟通机制：我们将建立一个沟通平台，包括定期开会、信息共享和项目进展报告等，以确保成员之间的信息畅通和工作进展的及时了解。
3. 明确岗位职责：我们将制定明确的岗位职责和工作分工，明确每个成员在团队中的具体职责和责任，以提高工作效率和团队协作。
4. 提供技能培训机会：为了提升成员的技能水平，我们将积极争取技能培训的机会，组织内外部的培训课程，以提高成员的专业能力和工作水平。
三、改进计划1. 制定详细的工艺流程表：我们将制定详细的工艺流程表，包括每个环节的具体操作步骤、所需材料和工具等，以确保每个成员在工作中都能按照规定的流程进行操作。
2. 建立团队协作平台：我们将建立一个在线的团队协作平台，成员可以在平台上实时交流信息、共享文件和讨论项目进展，以提高团队协作效率。
3. 制定岗位职责清单：我们将制定清晰明确的岗位职责清单，包括每个成员的具体工作内容和责任范围，以避免工作重叠和责任模糊。
4. 安排定期技能培训：我们将联系相关培训机构或专家，组织定期的技能培训课程，提供给成员参加，以提高他们的专业知识和技能水平。
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48所扩散炉存在问题报告
我厂购买的48所四寸扩散炉，在调试完毕后使用3个月设备逐渐出现各种故障。
经过与48所售后服务部门口头沟通，后又发传真并反复沟通协商后，48所总算于7月24日明确派人前来维修。
27日下午48所维修人员到达现场，经分析故障原因并进行维修后，设备仍存在一些问题。
具体情况汇报如下：
一、1-3号、3-3号设备，H-O合成工艺运行时出现点火温度未到，工艺强行停止。
我厂在设备规定使用条件范围内进行工艺试验工艺设定温度为800℃。
实际运行工艺时，在800℃下正常点火，但在工艺运行一段时间后会出现点火温度未到报警，而导致工艺强行中止达不到协议要求。
二、2-3号设备无法检测点火温度。
2-3号设备在点火器加热后，温控仪检测温度为800℃已达到点火温度，但前方控制系统却无法收到点火温度已到的信号。
设备不能正常点火。
经48所人员检查后发现，主要原因是由于设备后方控制H-O合成点火的电路板出现故障。
由于该电路板上所有器件全是手动焊接，焊点可靠性差。
其中一个焊点在设备震动下出现断路，接收不到温控信号导致设备无法正常运行。
48所人员对该电路板重新焊接后，设备恢复正常，但这个故障说明电路板的质量较差，不能排除在以后的使用过程中其他电路板不会出现类似的问题。
三、2-3号设备石英点火腔出现裂纹。
在维修过程中，2-3号设备的石英点火腔在经过几次点火实验后，腔体上出现一道长约25CM的裂纹。
由于该腔体为H-O合成时火焰燃烧的密封器件，为保证安全，该设备已经停止使用。
其他H-O合成设备，可能也存在该安全隐患。
经我厂与48所协商后，48所认为是该石英器件出现质量问题并同意对该石英器件进行更换。
但是48所现在没有相应的备件，更换时间最快需要2至3个月，并且我厂没有替代设备，严重影响到我厂硼扩散攻关项目进度。
这个故障说明石英点火腔的质量较差，不能排除在以后的使用过程中其石英点火腔不会出现类似的问题。
四、扩散炉所有炭化硅浆支架大面积生锈
四寸扩散炉在使用3个月后，所有炭化硅浆的推拉支架出现大面积生锈，严
重影响我厂净化环境和其他扩散设备。
原因主要是由于该支架所使用的基材不是防锈材料，表面的防锈涂层质量也不好，防锈涂层脱落局部后造成生锈。
48所建议重新对所有支架进行喷漆。
但由于设备处于净化环境，不能进行喷漆操作，并且支架在使用时由于环境温度过高漆层仍会脱落，所以我们没有接受该解决方案。
48所也未提出更好的解决方法。
我们提出由他们重新加工能抗锈蚀的配件然后进行更换。
可能涉及到他们要发生一些费用，48所的人员没有表态，请协商解决。
五、H-O合成设备密闭性差，无法进行掺氯氧化工艺。
我厂在使用2-3号设备进行掺氯氧化时，发现在通入100ml/MIN HCL气体后（设备HCL气体最大量程为200ml/MIN），扩散炉口有气体泄露。
由于所有H-O 合成设备均为闭管扩散炉，我们认为是由于设备本身密闭性太差而造成的。
48所认为该设备虽为闭管扩散炉，但在炉口处并不能达到完全密封，建议我厂在炉口处安装独立的抽风系统并增加设备的抽风量。
但是我厂和有关单位合作对排风量进行了测试计算。
目前的排风量已经超过48所的排风要求较多。
是不是改为独立排风就能解决HCL气体泄露到工作间的问题，我们认为论据不足。
48所能否提供有力证据？另外扩散炉安装以前排风的方案48所签字认可，如果现在改动发生的费用是该我们公司承担还是48所承担？
半导体五厂
2010.8.30。