南光镀膜机说明书
南光镀膜机说明书
南光镀膜机说明书该机用于半导体组件及光学件生产和研究是比较理想的设备,在极限真空,防止油污和缩短工作等方面都具有较好的性能,它用于单层光学薄膜和生产也是比较理想的设备.一.工作条件 1.电源总功率约30KW,220V/380V,50HZ 线制为三相四线制.2.接地电阻小于4欧,接地导线截面积大于等于10mm2 3.安装环境必须具备良好通风条件.4.水流约1.5L/min.5.气压:0.5MPa二.主要技术性能:(一)真空控制系统 1.半自动/手动旋钮置手动可按常规进行各种泵,阀的启动与停止操作. 2.自动/手动旋钮置自动时通过开机,真空,取件三个按钮的动作可分别执行开机/停机,真空/中止真空,取件/取件关程序.(1)a.当按下开机钮,设备将按下列步骤运行:开机械泵,截放阀延时10秒开预阀,延时30秒开扩散泵.b.当松开开机钮,设备将按下列步骤停机:关扩散泵冷却延时1小时,关预阀延时5秒关机械泵,截放阀.(2).在执行开机程序以后 a按下真空钮设备将按下列步骤运行:开低级阀,低真空信号到,关低阀延时3秒开预阀,再延时3秒开高阀,直至高真空.松开真空钮,设备将回到开机状态.(3)a 在执和行真空程序之后,当按下取件钮,关高阀并延时5秒打开放气阀.b.当松开取件钮,在真空室门已关好之后,设备将自动回到真空程序运行.(4).通过在真空程序执行后,反复使用取件钮,可达到真空,取件的连续过程.(二).工转及比较片转动系统:工转控制采用直流调速器对工件电机进行调速,转速为连续可调.比较片电机控制为点动连续转位控制.(三).烘烤系统:本系统采用三(单)相调功器(移相或过零触发)和进口数显温控仪对工件进行烘烤,温度可控可调,设定好温度后,参照温控仪说明书,采用自整定运行,自整定运行结速后进行恒温控制(第一次自整定温度会出现过冲现象,自整定运行结束后再开机,就不会出现过冲,用户可根据不同的温度要求全部进行自整定1次.)NG-3型电子束蒸发源电源装置包括X-Y磁偏转扫描单元,枪灯丝及束流控制单元,高压自动控制装置,坩埚转动控制装置及手持控制盒.一.工作条件:1.电源:总功率约为10KW,220V/380V,50HZ;三相四线制. 2.接地电阻小于4欧,接地导线截面积大于等于10mm2. 3.安装环境必须具备良好通风条件.二.主要技术性能: 1.X-Y磁偏转扫描单元具有波形可选,频率可调之特点. (1).偏转(或称位移)电流:(在4-7欧负载上) IX=0-1.8A IY=0-±1.5A (2).扫描波形:矩形波,三角形,正玄波任选. (3).扫描电流:IX=IX±0.25A IY=IY±0.5A (4).扫描频率:1-20HZ可调. (5).失偏保护(只对X线圈而言):当IX大于等于0.4A时,电源输出一对常开触点,可用以联锁直流高压或其它用途的控制.2.枪灯丝单元:(1).接上枪灯丝,真空度高于 6.7X10-3Pa时,灯丝变压器原边:U~约等于0~200V I~约等于0~1.5A (2).具有过流,失压保护功能.3.高压控制单元:采用SKQH高压自动控制装置,克服了电子管固有的缺点.(1).直流高压:6KV,8KV,二档.换档时改变变压器抽头即可.(2).最大电流:600毫安.(3).自动控制功能:电子枪打火时能自动降低高压,随后自动迅速恢复原值.4.坩埚转位控制单元提供四位坩埚点动. 三.安装与调试:为保证本电源正常可靠工作,必须严格按以下步骤及要求正确进行安装与调试. (一).系统接线:电源线截面积大于等于2.5平方毫米导线;接地线截面积大于等于10平方毫米导线,先连接至主机,再由主机接大地;HV-高压线用随机所附专用高压线. (二).检查与调试:在保证系统连线正确之后,检查各单元盒内,前后面板,背板上各零件有无松动,脱落及损坏情况(若有即排除),并清除污物(尤其是高压部分)后,可作如下操作:(1).高压控制单元 a.从电源柜端脱开HV-高压电缆,按下遥控盒上高压按钮,本单元开通指示灯亮,相序指示灯亮,若均不亮,则表示本单元三相电源进线相序不正确或缺相.关掉电源,检查三丰电源是否缺相,或调换电源线,直到相序正确,这时开通,相序指示灯均亮,高压表指示为6KV(或所选高压值).历时2分钟,高压单元内无打火现象属正常.缺相或相时保护电路使高压无输出.b电子枪打火时过流灯闪烁,高压控制装置进行自动调节,当电子枪严重短路时自动切断高压,此时须关掉高压电源,排除故障后再重新开启电源.c关掉电源.注意:高压操作须遵守高压操作规程,以免发生人身事故. (2).X-Y磁偏转扫描单元 a.检查偏转线圈接线正确后,按下该单元面板上电源按钮,相应按上指示灯亮.b.分别调节手控盒上X,Y电位器为零,再分别调节X电位器,面板上相应电流表应指示0-1.8A,调节Y电位器,相应电流表指示0-(±1.5A). c.关X电位器至零,关Y电位器至中点(电表指示为零),复位电源按钮,断电源.(如果观察交流扫描波形及幅值,可用示波器直接于X及Y偏转线圈上观察).(3).枪灯丝及束流控制单元:此项工作须在系统接线正确,并保证真空室真空度高于6.7X10-3Pa以上时进行. a.待真空度满足要求后,按下本单元面板上枪灯丝按钮,按钮上面指示灯亮,调节灯丝电流电位器,交流电压表指示枪灯丝变压器原边电压在0-200V连续变化,相应原边交流电流可在0-1.5A左右(视枪前头而定)连续变化. b.调节遥控盒上束流调节电位器,因此时高压尚未启动,故电压表,电流表均无变化,表明失压保护节工作正常. c.回零上述电位器,关电源.至此为止,本系统各单元工作正常.接通HV-高压电缆,便可按镀膜机电子枪操作步骤进行操作.四.说明:本电源为电子束蒸发源的独立供电系统,为确保电子枪及本电源的安全使用,若采用本电源对电子枪独立供电,在使用前必须对电子枪作耐压试验,方法为:当真空度达 6.7X10-3Pa之后,不开枪灯丝,按高压单元的操作顺序,对电子枪施加8KV高压,应稳定2分钟,无打火,击穿视为正常.然后满足电子枪工作的条件:(一)先确定电子枪X偏转磁场的方向-正对枪头:其左面磁极为南极,右面磁极为北极(若方向不对,可调换X偏转电源接线),然后将X偏转位移电流调在IX=0.6A左右. (二).在室温25度以下时,电子枪冷却水压不低于1.5Kg/cm2,并保证水源通畅. (三).电源柜门,机柜门关闭,并在周围树立高压危险标志若本电源与其它设备协同工作,可根据需要加入述各条件的联锁保护环节.。
镀膜机操作说明书
(3)半自动操作：换完钨丝、铝丝、关上门后，在触摸屏上面按住自动按钮不放，几秒钟后，按钮会在自动和半自动之间转换，将按钮调至半自动，然后按下控制面板左边的自动按钮。程序会自动控制到J6灯亮（显示屏上会显示不停闪动的可镀），需手动操作整个蒸发过程，以及剩余操作。
7.漏气的排查：主要是在粗抽或者精抽时会出现真空度一直抽不上去的现象。一般需要一人盯住真空计上面的真空度，另外一人根据当时工作的泵在其各个接口处滴撒乙醇，乙醇滴到哪个接口时真空度急剧上升则说明该阀门漏气。
镀膜机日常维护：
1.镀膜机的粗抽泵油和扩散泵油一般3个月换一次：都得拆开用乙醇擦洗，然后换新油。
2.镀膜机的腔体在每次真镀上产品前必须对铝屑等杂质进行清扫。腔体的不锈钢挡板需2周左右用烧碱洗一次。挡板清洗后，第一次真镀以前，要手动抽真空半小时左右，以将挡板上的水汽及其它的可挥发杂质除掉。
3.镀膜机的蒸发工艺参数设定：从电压上来说，蒸发过程分为1.预热；2.熔融；3.蒸发3个过程；从时间上来说蒸发过程分为1.预热；2.熔融；3.熔融保持4.蒸发5.蒸发保持等5个阶段。一般来说，电压的设定按照过程要逐渐增大，但是最大为6.0V。电压与各个时间的设定值要需要参照镀出来的产品是否发黄、飞铝等问题来调整。（蒸发与蒸发保持阶段的时间与压力的减小一般不造成真镀后的产品附着力不佳的情况。
2.水路开启：打开楼上冷却塔的扇叶冷凝。
3.电路开启：检查电柜箱的闸刀是否送上（一般情况下是送上的），开启镀膜机右边的电源总闸——调至ON档位，在镀膜机正上面的控制面板上，按下电源控制，开启真空计、按下粗抽泵，开启前置阀，检查水泵是否在工作，水路是否通畅，过几分钟至J1灯亮后开启扩散泵。待扩散泵开启约45Min后可以进行真镀操作。
镀膜机操作规范-czh
深圳富泰宏精密工业有限公司设备操作规范设备 Desc P/N镀膜机工站名称 Station Name镀膜规范编号.CMOO-0249版次 RevA页次 Page (共1页)1※ 操作步骤1.打开子控制柜的主电源旋钮2.打开中心控制柜主电源旋钮3.打开（外部）主要水阀:（1）Di water pressure:4㎏/c ㎡(>3㎏/c ㎡); （2）Water temperature:18±2.5℃;（3）Water pressure:4㎏/c ㎡(>3㎏/c ㎡)。
4.打开（外部）主要气体供应阀:（1）Ar gun primary:↑及Ar gun secondary:±;（2）N2 gunprimary:↑及N2 gun secondary: ±;（3）C2H2 gun primary:↑及C2H2 gun secondary:5. 将机械帮浦及鲁式帮浦手动开关切至”off ”6. 开启电脑、萤幕、印表机之电源。
7. 待WindosNT 程式执行完出现按钮画面後按Ctrl+Alt+Del 8. 待WindosNT 出现输入密码画面时於”NAME ”格子内确认机台编号,後按”Enter ”或以滑鼠点取”ok ”9. 待电脑自动执行FL 程式後出现输入密码画面时执行镀膜机自动系统启动作业。
※ 关机1. 选择[System OFF],在涡轮冷却并通风约10分钟后系统（设备）旋至SYSTEM OFF 状态2. 关闭（外部）主要空气供给阀3. 关闭（外部）主要气体供给阀4. 关闭（外部）主要水阀5.关闭子控制柜主要电源※ 注意事项1. 关闭其它阀时,设备应处在SYSTEM OFF 状态※ 图示图一 镀膜机核定 品管 工程 制作 李吉长制定日期 2005/05/17发行修订日期。
电镀设备操作说明书
页01电镀机操作说明书种类ES/ZY-CW 2-015EVER SHINE半自动1.按下电源的启动按钮，翻开电源，电源指示灯就会亮。
2.将开关或起重机开关放在半自动地点。
3.、挂上起重机开关即可上涨，等候上限开关动作时自动停止上涨。
4.按起重机开关降落，等候下限开关动作后自动停止降落。
5.起重机开关挂在东边，起重机快速行进，压口开关翻开后，起重时机以快速的速度行进。
进路以迟缓的速度行进，达到极点时自动在固定地点上停止。
6.开关向西，起重机快速退后，压力开关一开，起重机就快速退后。
以迟缓的速度退后达到极点时自动在固定地点上。
停止。
7.假如要停在没有铁板的地点上，起重时机以迟缓的速度飞走时取金属物体变轻。
稍微的感觉近距走开关，即立刻停止横行。
8.起重机在没有铁板的地点停止，不可以进行上涨或降落功能做。
9.选择滚筒启动开关，手动时连续旋转，停止时停止，自动上涨达到上限后，发动机自动旋转几秒后自动停止。
10.滚筒发动机旋转时间设置，计时器控制调整。
日期，日期20120301送修审批改正准核制度。
第一版次数第01版页01电镀机操作说明书种类ES/ZY-CW 2-015EVER SHINE全自动1.、将架子鼓放在各个固定地点，在指定起重机的地点上（步骤）图上的主场地点系有三角符号的人，将架子鼓指定的地点点搁置2.确认滚筒能否依据指定的符号搁置，而后将起重机转到指定地点。
配置。
地点3.将顶棚控制箱（半自动）选择开关置于全自动地点搁置4.去主控制箱按控制电源的按钮扭转。
停下来，把天车放在全自动地点。
5.第一依据程序进行冲洗（再按几次），而后在程序中随着启动。
假如要连续运行未运行的程序，请按程序冲洗别按了按吧。
节目开始了。
6.启动电源，千车自动启动。
7.程序暂停或停止方式（1）节天车的半自动（自动）将开关对半切断后自动启动行了。
（2）依据主控制箱的方式自动停止运行。
（3）依据主控制电源的停止切断电源。
（4）上下原料若有暂停开关，可临时运行原料或钢材可能。
国产镀膜机作业指导书
国产镀膜机作业指导书1. 目的/范围规范镀膜操作工艺，确保安全生产。
2. 定义/缩写词NA3. 参考文件NA4. 职责与权限本文件适用于高意光学镀膜中心镀膜工种，在所有工程师商讨通过之后有权改动其中内容。
文件制定、执行者姜海，镀膜总工艺李全民对此文件有最终解释权。
5. 工具及设备国产镀膜机及配件、分光光度计。
6. 作业内容1膜厚控制方式：过正极值法、定值法和晶控法。
2镀膜操作步骤：2.1镀膜员工基本要求：每天早晨开机之前了解一天内所要镀的产品，镀每一灶之前都要检查核对派工内容，检查产品或试镀品的生产任务单号、数量、镀膜指标，跟据相应的指标找出《镀膜生产工艺卡》，无相应镀膜生产记录表，操作员有权利拒绝镀膜。
2.2开机：2.2.1确认总电源、总气路、总循环水正常工作，开启镀膜机总电源。
(重要环节/语言很难描述的环节)2.2.2北仪：依次开（维持泵）、机械泵、前级阀、扩散泵，扩散泵温度到设定温度（须预热60分钟以上才能正常工作）。
南光：依次开机械泵、预阀、扩散泵（1#镀膜机260℃，7#镀膜机230℃，8#镀膜机240℃），各阀门开关间隔5秒。
2.2.3依次开启真空计、晶控仪、膜厚控制仪、气体流量显示仪、光源（预热80分钟，非正常工作下电流值调至工作状态的一半）、单色仪控制器、工转电源、计时器和照明。
2.3热机2.3.1如果超过8小时未开机，除7#镀膜机，其余都需要热机。
各机台大清洗之后，必须热机。
2.3.2 按照此文件依次执行抽低真空、抽高真空、镀膜前准备等各步骤，开烘烤到100℃恒温10分钟。
2.3.3开启离子源、电子枪，使机器处于镀膜状态，镀Ta2O5膜料10nm ，镀膜之后关闭电子枪，离子源，此操作为检验镀膜机各设备是否处于正常工作状态。
2.3.4按此文件执行镀膜后步骤，以上步骤具体内容详见下文。
2.4抽真空前准备：2.4.1北仪：按充气阀对真空室充气，充气完毕关充气阀。
南光：按放气阀对真空室充气（此时系统报警，十秒钟后报警消失，无报警系统镀膜机省略此步骤），充气完毕关放气阀。
镀膜机安全技术操作规程通用版
操作规程编号：YTO-FS-PD444镀膜机安全技术操作规程通用版In Order T o Standardize The Management Of Daily Behavior, The Activities And T asks Are Controlled By The Determined Terms, So As T o Achieve The Effect Of Safe Production And Reduce Hidden Dangers.标准/ 权威/ 规范/ 实用Authoritative And Practical Standards镀膜机安全技术操作规程通用版使用提示：本操作规程文件可用于工作中为规范日常行为与作业运行过程的管理，通过对确定的条款对活动和任务实施控制,使活动和任务在受控状态，从而达到安全生产和减少隐患的效果。
文件下载后可定制修改，请根据实际需要进行调整和使用。
一、目的消除一切使设备遭到损坏、使人身健康与安全受到威胁、使环境遭到污染的因素或现象，避免设备事故的发生，实现安全正常生产。
二、适用范围本公司镀膜机的安全生产管理的全过程。
三、安全操作规程1、开机前先检查各真空泵的油位高度，如有不足要补充后再开机。
2、开高阀前必须对溅射室抽低真空，待压力达到5Pa 时，方可打开高阀，不允许直接用扩散泵抽高于5Pa压力的溅射室。
3、操作或维修高阀时，阀两侧压力基本一致时才能开高阀。
4、对溅射室充气前，应首先切断真空计的高真空测量，以免损坏电离规管。
5、设备使用中途停水时，应立即切断扩散泵和溅射电源。
6、设备使用中途停电时，应将真空计的电离规管关闭，关压电阀，关“充气阀”，关溅射电源，关工件旋转和烘烤电源等，待来电后重新启动。
7、应根椐使用情况定期观察弧靶腐蚀沟道的情况及时更换新靶材。
8、拆装弧靶时，应先关闭冷却水，拆下水管，用压缩空气吹净靶体内的水，防止水滴在溅射室内；并且不能损伤靶体，尤其是密封面。
镀膜机操作说明书
镀膜机日常维护：
1.镀膜机的粗抽泵油和扩散泵油一般3个月换一次：都得拆开用乙醇擦洗，然后换新油。
2.水路开启：打开楼上冷却塔的扇叶冷凝。
3.电路开启：检查电柜箱的闸刀是否送上（一般情况下是送上的），开启镀膜机右边的电源总闸——调至ON档位，在镀膜机正上面的控制面板上，按下电源控制，开启真空计、按下粗抽泵，开启前置阀，检查水泵是否在工作，水路是否通畅，过几分钟至J1灯亮后开启扩散泵。待扩散泵开启约45Min后可以进行真镀操作。
2.镀膜机的腔体在每次真镀上产品前必须对铝屑等杂质进行清扫。腔体的不锈钢挡板需2周左右用烧碱洗一次。挡板清洗后，第一次真镀以前，要手动抽真空半小时左右，以将挡板上的水汽及其它的可挥发杂质除掉。
3.镀膜机的蒸发工艺参数设定：从电压上来说，蒸发过程分为1.预热；2.熔融；3.蒸发3个过程；从时间上来说蒸发过程分为1.预热；2.熔融；3.熔融保持4.蒸发5.蒸发保持等5个阶段。一般来说，电压的设定按照过程要逐渐增大，但是最大为6.0V。电压与各个时间的设定值要需要参照镀出来的产品是否发黄、飞铝等问题来调整。（蒸发与蒸发保持阶段的时间与压力的减小一般不造成真镀后的产品附着力不佳的情况。
二、真镀操作
1.真镀操作流程：
换钨丝——换铝丝——上产品——关门——关前置阀——开启粗抽阀——（至J5灯亮）关粗抽阀——开前置阀——开精抽阀——（至J6灯亮）开蒸发开关——调节蒸发电流——蒸发电流复位——关蒸发开关——关精抽阀——（10S左右后）按下工作室放气——开门。
2.操作说明：
镀膜机安全技术操作规程
镀膜机安全技术操作规程一、概述镀膜机是一种用于在物体表面涂覆一层薄膜的设备。
由于涉及到高温、高压和有毒化学物质等安全风险，所以必须要严格遵守安全操作规程，确保操作人员和设备的安全。
本文将详细介绍镀膜机的安全技术操作规程。
二、安全操作规程1. 操作人员应穿戴合适的工作服，戴好安全帽、防护眼镜、手套和护腿装备，确保个人安全。
2. 在操作镀膜机之前，必须对设备进行全面的检查，确保所有的安全装置和传感器都正常工作。
3. 在操作过程中，要严格按照操作手册的要求来进行操作，不得超负荷或违规操作。
4. 在操作镀膜机之前，应该对设备进行预热处理，直到达到设定的工作温度。
5. 在加入涂覆材料之前，必须确保容器和管道内没有残留物，以免引发意外事故。
6. 操作人员必须熟练掌握设备的电气控制系统，熟悉各个开关、按钮的功能，以便在紧急情况下采取正确的应对措施。
7. 每次操作结束后，应及时关闭电源、气源和液源，清理设备，确保设备处于安全状态。
8. 如果发现设备出现故障或异常情况，应立即停止操作，并及时通知维修人员进行检修。
9. 操作人员不得擅自调整设备的参数和设定值，必须经过相关人员的批准和指导才能进行。
10. 在操作镀膜机之前，要对设备周围的环境进行检查，确保安全出口畅通，消防设备齐全可用，以便在发生紧急情况时能够迅速撤离和灭火。
11. 镀膜机设备通常使用高温和高压气体，操作人员必须注意防止烫伤和烧伤，不得将身体靠近高温区域和气体喷口。
12. 镀膜机设备使用化学品进行涂覆，操作人员必须佩戴防护口罩和呼吸器，保护呼吸道免受有害气体的侵害。
13. 在涂覆过程中，要时刻关注设备运行状态和涂覆效果，如发现异常情况应立即停止操作，并及时进行维修和处理。
14. 镀膜机设备的维修和保养应由专业人员进行，操作人员不得擅自进行维修和拆卸。
15. 镀膜机设备在长期不使用时，应进行适当的防锈和保护措施，以延长设备的使用寿命。
三、紧急情况处理1. 如果发生火灾，应立即关闭设备电源，并使用灭火器或消防器材进行灭火。
镀膜设备操作规程
镀膜设备操作规程镀膜设备操作规程一、镀膜线旋转A型架操作1、操作1.1、开机：上下片台旋转A型架的电源取自上下片台相应的急停开关后，当上下片台正常工作时，合上旋转A型架控制箱内的空气开关，上下片台旋转A型架即可得电工作。
1.2、A型架选择：旋动A型架控制柜上的A型架选择旋钮，选择1号架和2号架，则选定的A型架可以工作。
下片台A 型架控制箱，此旋钮只有一个有效位置。
1.3、前进后退：按动A型架控制柜上的相应按钮，1号架或2号架就会相应地向南或向北移动。
松开按钮，A型架会缓慢停止。
当A 型架移动到限位时，A型架会自动停止。
1.4、对位：当A型架运动到限位时，只能退回，不能继续前进。
如果位置不对，将A型架返回，再次无停顿地前行至自然停止即可。
当A型架运动到装卸位时，HEGLA操作屏上相应的A型架到位（rack in position）灯点亮，表明A型架确实到位，可以进行上片操作。
1.5、当上下片台机械手在对A型架进行取片的过程中，不可移动该A型架。
1.6、强行：强行按钮只在维修时使用。
1.7、关机：关闭控制箱中的空气开关；当上下片台关机时，A型架将自动关机。
2、注意事项2.1、A型架运动到装卸位并准备进行装卸时，必须将固定销销上。
2.2、移动A型架时必须注意观察A型架的实际位置，不要使A型架冲出限位。
2.3、在A型架上放置空箱时需要注意：2.3.1 A型架中部，即旋转部位，严禁垫放木块或其他支撑；2.3.2其他位置垫放支撑不得高于固定支撑；2.3.3检查空箱是否按照A型架固定支撑的位置垫放马粪纸；2.3.4移动过程中，必须保持A型架AB面固定，插上插销后方可进行。
二、镀膜线上片台操作1、开机首先将电源柜主电源开关（MAIN SWITCH）旋转到1位，然后按下电源控制启动按钮（CONTROL POWER ON）。
此时电源柜顶部左侧红色指示灯不停地闪，大约一分钟后，红色指示灯熄灭，电源柜顶部右侧和操作控制台的红色和绿色指示灯同时亮，按下复位键（RESET EMO），红色指示灯熄灭，绿色指示灯仍亮，显示进入自动控制状态（如果电源柜顶部右侧和操作控制台的红色指示灯熄灭，而黄色指示灯仍亮，说明进入手动状态）。
镀膜机安全技术操作规程模版（2篇）
镀膜机安全技术操作规程模版《镀膜机安全技术操作规程》第一章概述第一条目的和依据为确保镀膜机的安全操作，防止事故的发生，保护操作人员的人身安全和设备的正常运行，制定本操作规程。
第二条适用范围本操作规程适用于所有使用镀膜机的操作人员。
第三条安全技术管理1. 镀膜机的安全技术管理由公司安全管理部门负责，具体落实到各部门运行管理层。
2. 安全管理部门负责编制镀膜机的安全操作规程，并对操作人员进行相关的安全培训和教育。
第二章镀膜机的基本知识第四条镀膜机的功能和特点1. 镀膜机是一种用于在物体表面形成镀层的设备，常用于电子、装饰、医疗等行业。
2. 镀膜机具有高温、高压等特点，需要操作人员具备一定的专业知识和技能。
第五条镀膜机的主要组成部分1. 镀膜机主要由镀层反应室、真空系统、加热系统、喷涂系统、控制系统等组成。
2. 操作人员需要熟悉镀膜机的各个组成部分的功能和使用方法。
第六条镀膜机的安全设置1. 镀膜机需要设置安全防护装置，包括紧急停机按钮、安全门等。
2. 操作人员需要了解和熟悉这些安全装置的使用方法和操作流程。
第三章操作安全措施第七条操作前的准备1. 操作人员在进行任何操作前，需要进行必要的安全检查，确保设备处于正常工作状态。
2. 需要检查气压、真空度、温度等工作参数是否符合要求。
第八条操作步骤1. 操作人员需要根据工艺要求和操作规程逐步进行操作，确保每一步都符合标准。
2. 操作人员需要注意操作过程中的安全提示和警告。
第九条防护措施1. 操作人员在操作过程中需要佩戴相关的防护设备，如手套、护目镜等。
2. 需要注意操作过程中的气味、烟雾、粉尘等有害物质的排放。
第四章应急措施第十条突发情况处理1. 在突发情况下，操作人员需要迅速切断电源和气源，并向上级报告。
2. 在逃生时，应按照逃生通道进行疏散，不得乱闯、拥挤。
第十一条消防安全1. 镀膜机周围需要配备消防器材，以备发生火灾时使用。
2. 操作人员需要熟悉灭火器的使用方法和适用范围。
镀膜机操作指引
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客户型号
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工序号 工 序 名 称
标准作业指导书
Standard Operation Procedure
文件编号 版本
工序编号
SOP-镀膜 A
001
工站名称
镀膜机操作指引
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页数
1/10
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作业步骤
图片
作业说明
备注
/ 镀膜机整体图示
蒸发器温控（保护）
冷阱温控（保 护）
/
镀膜机操作面板 各按钮说明
当，膜会渗到连接器的
端子上。
客户名称
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客户型号
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工序号 工 序 名 称
标准作业指导书
Standard Operation Procedure
文件编号 版本
工序编号
SOP-镀膜 A 001
工站名称
镀膜机操作指引
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作业步骤
图片
作业说明
备注
14.c 贴胶布
14.d
用胶布将保护盖与连接器之间 注意：胶布不可沾到电
客户名称
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客户型号
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工序号 工 序 名 称
21
打开盖子，取出 钢网
标准作业指导书
Standard Operation Procedure
文件编号 版本
工序编号
SOP-镀膜 A 001
工站名称
镀膜机操作指引
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作业步骤
图片
作业说明
备注
大约5分钟后（排完气），可以 打开Chamber密封盖子，取出钢 网，检查线与钢网接触面是否 完好；
16.d
电镀设备操作说明书
E．检查电线是否折断及是否有磨损之现象。
F．电源电压不正常（210V-230V）
F．检查三相电压是否平衡，电源线是否脱落或螺丝松动。
发
行
日期
修改
日期
批准
审核
编制
版次
第01版
次数
第次
EVERSHINE
电镀机械操作说明书
版次
01
类号
ES/ZY-CW2-015
3、重叠：
原因
改正方法
A．防止重叠之光电源开关未动作。
修改
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第01版ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ
次数
第次
EVERSHINE
电镀机械操作说明书
版次
01
类号
ES/ZY-CW2-015
三、故障分析：
1、马达不动作：
原因
改正方法
A．电源欠相，跳脱。
A．检查电源线及螺丝是否松脱，复归。
B．负载过重，跳脱。
B．减轻负载，复归。
C．刹车器没有动作或动作不完全。
C．调整刹车器，如已损坏，即更换。
（4）按控制电源之启动按扭。0
（5）开启电源。
8、停车关电
（1）须先将时间延迟定时器时间设定转至最大。
（2）待其定时器动作时，方可切程式停止。
（定时器右下方红色小灯亮时表示一回全部流程完了。）
（3）按控制电源之停止切断电源。
（4）关闭电源总开关。
（5）再将时间延迟定时器时间设定转回原设定时间。
发
行
日期
B．检查光电源开关之照射方向及距离光电开磁故障，更新。
4、定点不准：
原因
(整理)镀膜机操作说明书
关机准备：
关扩散泵——（1h后）关粗抽泵——关前置阀——关真空计——关镀膜机右边的电源总闸——关冷却塔扇叶冷凝——关压缩空气系统。
大纲要求关机操作说明：
(1)关扩散泵后，为了下次使用的抽真空时间不至于太长，一般将腔体抽成负压，一般操作为关掉扩散泵后，关门、关前置阀、开启粗抽阀、待真空度到100Pa左右后，关粗抽阀、开前置阀。1h后关粗抽泵、前置阀以及剩余操作。
(2)自动操作：换完钨丝、铝丝、关上门后，按下控制面板左边的自动按钮。剩余过程会在15Min左右由程序自动完成至开门。
(3)半自动操作：换完钨丝、铝丝、关上门后，在触摸屏上面按住自动按钮不放，几秒钟后，按钮会在自动和半自动之间转换，将按钮调至半自动，然后按下控制面板左边的自动按钮。程序会自动控制到J6灯亮（显示屏上会显示不停闪动的可镀），需手动操作整个蒸发过程，以及剩余操作。
四、镀膜机的日常维护
（三）安全评价的内容和分类镀膜机常见问题排查：
（2）可能造成轻度环境影响的建设项目，编制环境影响报告表，对产生的环境影响进行分析或者专项评价；1.真镀的产品发蓝一般是扩散泵油有问题。
2.真镀产品返油是扩散泵油或者水冷不够的问题。
（4）化工、冶金、有色、建材、机械、轻工、纺织、烟草、商贸、军工、公路、水运、轨道交通、电力等行业的国家和省级重点建设项目；3.真镀产品发黄一般是由粗抽泵的油太脏或者蒸发的电压过高或者蒸发保持时间过长造成的。
(2)腔体抽成负压完成后，一定要检查前置阀、粗抽泵要处于开启状态。否则会导致扩散泵内的油被烧坏。
1.筛选环境影响：环境影响被筛选为三大类，一类是被剔除、不再作任何评价分析的影响，如内部的、小的以及能被控抑的影响；另一类是需要作定性说明的影响，如那些大的但可能很不确定的影响；最后一类才是那些需要并且能够量化和货币化的影响。(3)镀膜机的水路与气路在关粗抽泵以前不能关掉，水路关掉会导致扩散泵冷却不够而扩散泵油被烧坏；气路关掉会导致各个阀门关不紧而空气进入氧化扩散泵油。
镀膜机操作规程
镀膜机操作规程RDBL/WJ-7.5.1-011概述 : 本指导书对镀膜机的起动、生产、关机及进气的操作做了比较具体的规定，用以指导微机岗工艺控制员对镀膜机的操作；2适用范围 : 镀膜机的操作3操作步骤 :3.1设备起动3.1.1说明 : 设备起动即为生产做准备，包括真空泵的起动及各仓室抽气到工作压力。
各起动步骤可在自动和手动方式下实现。
3.1.2设备准备 :a 检查下列单元的可靠性：真空泵的油位（应保持 2/3 的油位）、阴极冷却水白罐应保持一半以上的水位；外循环泵供水泵开启，且供水压力值在0.5〜0.75Mpa范围内，供水温度v 30C ;压缩空气（压力值在0.6 〜0.8Mpa）;b 开设备总电源开关、开启 PLC;c 检查 PLC 中央控制器及扩展单元的缓冲寄存装置电池，此电池只能由受过培训的人员更换，更换电池前应开启电源，如电源已关，应在外部电池插孔中接入一外部电源（电压 3.4V）;d 按“急停复位”按钮;e 检查信号灯（所有信号灯必须亮）f开启温控单元，水压0.4〜0.7MPa,水温40C；g开启下列真空测量仪:TM210S IM110D IM210,其中IM110D IM210 要在传输室TM210S显示值小于5X 10-2mbar时才能开启。
h 手动方式下的起动过程见第 3节，自动方式下起动过程见第 4节3.1.3手动方式下起动3.1.3.1在大气压状态（1bar）下起动此方式只用于维修维护或换靶后设备进大气的情况下。
a开启“手动方式”；b关入口室锁阀，开传输室1的锁阀；c 开启各室的泵单元及过渡抽气的泵单元;d 入口室开始抽气;e 溅射室通过入口室抽气 , 等待溅射室压力小于或等于 8X 10-2mbar, 溅射室开始抽气 , 起动分子泵并升速到额定速度。
f 分子泵进入正常工作 , 关闭传输室1的锁阀；g 进入“生产”一节3.1.3.2溅射室 P= 30mbar...1bar 时的起动溅射室压力在P= 30mbar...1bar之间，不能直接开始抽气，长时间停机后，溅射室内的压力可能会有一定的升高，检测设备泄漏率，并与标准值比较（见“维护”一章中“真空检测”一节）如实际值与标准值有较大差值，应进行检漏。
镀膜机作业指导书
晶控自动镀膜系统作业指导书1．镀膜机开、关机操作开机1．打开主电源。
2．将“运行/待机”开关打道“待机”位置。
3．打开显示器和计算机电源，待计算机启动完成。
4．开机械泵。
5．开扩散泵。
6．将“运行/待机”开关打道“运行”位置。
7．扩散泵预热30分钟后可以工作了。
关机1．关闭扩散泵冷却30分钟2．将“运行/待机”开关打道“待机”位置。
3．关闭计算机4．关闭机械泵5．关闭主电源2.运行参数设置晶片初始频率：输入被镀晶片的中心频率，例如：12160－－12170KHZ应输入12165KHZ；如果要加镀高频片，先进行频率修正，然后在晶片初始频率中输入加镀高频片的中心频率。
注意加镀完毕后要及时把晶片初始频率修正回原始值。
晶片目标频率：输入镀到的目标频率，例如：12M晶体镀到1000PPM，晶片目标频率应输入12012KHZ；3.579M晶体镀到700PPM，晶片目标频率应输入3581.5KHZ单面镀膜时间：用于时间镀膜时钼舟打开的时间，时间长短以能将所有的银全部蒸发完为标准。
机台修正系数：用来调整计算的理论膜厚值与实际膜厚值的差异的。
在第一次镀某个系列晶片的时候，第一锅可以设为1，当前标晶频率：程序实测的标晶当前的频率。
标晶目标频率表示标晶应该达到的频率，达到这一频率后，被镀晶片也会达到目标频率了，以KHz为单位。
镀膜速率：标晶当前的变化速度，以Hz/S为单位。
数值大小与电流有关。
延时倒计时表示在所有延时程序中动态显示延时时间和剩余的延时时间。
当剩余时间变为0时，本次延时结束，以KHz为单位。
镀膜总时间为自动镀膜或取消自动镀膜的总的时间。
当前实测高真空度值和当前实测低真空度值为实测的高真空和低真空值。
串口通讯的真空计显示测量真空度值；指针表不显示。
3静态参数设置。
轰击真空预置：若真空计型号为指针，设置为0表示在低真空轰击，设置为大于0的整数，表示在高真空轰击。
若真空计型号为串口，设置为0表示在低真空轰击，设置1―100(RF离子轰击)，表示在高真空轰击。
镀膜机安全技术操作规程
镀膜机安全技术操作规程一、安全技术操作规程概述本安全技术操作规程适用于镀膜机的操作与维护，旨在加强人员安全意识，确保工作环境安全，提高工作效率。
所有操作人员必须严格遵守本规程的各项要求。
二、工作前的准备1. 检查设备在开始操作之前，操作人员应仔细检查镀膜机的各项设备是否完好，特别是相关传感器、电缆与管路等是否松动或破损。
2. 确认工作区域清洁操作人员应确保工作区域干净整洁，避免有杂物或其他障碍物存在。
3. 穿戴个人防护装备进行镀膜机操作前，操作人员必须穿戴符合安全标准的个人防护装备，包括防滑鞋、防护手套、护目镜、防护服等。
4. 检查电源与紧急停止装置操作人员应检查所用电源是否正常，并确保紧急停止装置处于可正常使用状态。
5. 准备工作文件操作人员应将操作手册、设备维护手册、应急处置手册等相关文件整理齐备，并放置在易于取阅的位置。
三、操作规程1. 操作前确认操作人员在开始操作之前，应确保工作区域内没有其他人员，以免造成人身伤害。
2. 启动设备操作人员应按照操作手册的要求，依次启动镀膜机的各系统，并确保各个系统正常工作。
3. 参数设定根据所要进行的镀膜工艺要求，操作人员应在操作界面上设定相应的参数，并确保参数设置正确无误。
4. 工艺样品制备操作人员在进行正式镀膜之前，应上传工艺样品，进行预试验以验证设定参数的正确性。
5. 操作过程监控在镀膜过程中，操作人员应始终关注设备运行情况，特别是注意各个系统的工作状态，以及可能发生的异常情况。
6. 操作中禁止（1）禁止用手触摸正在运转的设备，以免发生意外伤害。
（2）禁止在设备工作过程中随意调整参数，以免影响正常运行。
（3）禁止在设备运行过程中将其他物品放置在设备上，以免堵塞管路或导致设备故障。
7. 预警与处理操作人员在发现任何异常情况时，应立即停止设备运行，并按照应急处置手册的要求采取相应的措施。
8. 操作结束操作人员在完成镀膜工艺后，应按照操作手册要求，依次关闭设备的各个系统，并进行清洁和维护。
镀膜机操作步骤
镀膜机操作步骤1、打开冷却水开关、空压机开关（空压机红色按钮向上拔为打开，向下按为关闭）和镀膜机总电源开关。
2、将玻璃基板至于样品托中，导电一面向下，刻蚀带一侧靠近样品托蓝色线条一侧。
3、预处理室放气，待放好气后拧紧放气阀，打开预处理室仓门，将样品托放在推拉杆上，关闭仓门。
4、打开机械A、机械B泵及四个真空计。
5、基片预处理：打开角阀，当预处理室真空度达到 2.0E1 ～5.0E1 (2.0×10～5.0×10)Pa时，关闭角阀、打开真空蒸镀室角阀。
打开直流溅射电源、再按下启动按钮，调节电流0.020-0.025A，轰击10分钟，将电流调节至0A，按下停止按钮，关闭电源。
6、打开A泵，角阀，待度达4.0E0以下时，即当两边真空气压基本相当的的时候（约十分钟），关闭角阀，A阀，打开蒸镀室与预处理室之间的闸板阀（顺时针方向开，逆时针方向关），检查旋转台下的挡板，一定要将挡板放在恰当位置。
样品传送至蒸镀室，用机械手抓取样品托，并保持在机械手上；然后将推拉杆拉回至预处理中，关闭闸板阀；降低蒸镀台与机械手平齐，将样品托轻轻推入蒸镀台下方的样品托导引槽（上方导引槽）。
7、当蒸镀室真空度达到1.2E1（1.2×10） Pa以下时，关闭角阀、机械A泵。
打开闸板阀，将蒸镀室抽高真空至7.0E-4Pa（约2个小时）。
8、插入掩模板：将样品升降电源调到手动，将蒸镀台旋转180度（用皮带精确定位），用升降盒使蒸镀台最下方的掩模板导引槽与掩膜版库轨道，至于同一水平线上，用机械手将掩膜版轻轻推至蒸镀台的掩模板导引槽。
（注意机械手用完一定要挂起）9、蒸镀过程：打开快门总开关，膜厚测试仪（F1是清零，F5是开始或停止）放样品托的架子升最高，且旋转。
打开PID（束源炉）开关，调节温度，依次蒸镀相关材料，制备OLED器件。
10、若继续实验，打开机械A泵、预处理室角阀，至预处理室真空度达到4.0E0（4.0×1） Pa以下，同时将掩膜版归位，用机械手将样品托取下。
镀膜机安全技术操作规程(通用版)
The prerequisite for vigorously developing our productivity is that we must be responsible for the safety of our company and our own lives.（安全管理）单位：___________________姓名：___________________日期：___________________镀膜机安全技术操作规程(通用版)镀膜机安全技术操作规程(通用版)导语：建立和健全我们的现代企业制度，是指引我们生产劳动的方向。
而大力发展我们生产力的前提，是我们必须对我们企业和我们自己的生命安全负责。
可用于实体印刷或电子存档（使用前请详细阅读条款）。
一、目的消除一切使设备遭到损坏、使人身健康与安全受到威胁、使环境遭到污染的因素或现象，避免设备事故的发生，实现安全正常生产。
二、适用范围本公司镀膜机的安全生产管理的全过程。
三、安全操作规程1、开机前先检查各真空泵的油位高度，如有不足要补充后再开机。
2、开高阀前必须对溅射室抽低真空，待压力达到5Pa时，方可打开高阀，不允许直接用扩散泵抽高于5Pa压力的溅射室。
3、操作或维修高阀时，阀两侧压力基本一致时才能开高阀。
4、对溅射室充气前，应首先切断真空计的高真空测量，以免损坏电离规管。
5、设备使用中途停水时，应立即切断扩散泵和溅射电源。
6、设备使用中途停电时，应将真空计的电离规管关闭，关压电阀，关“充气阀”，关溅射电源，关工件旋转和烘烤电源等，待来电后重新启动。
7、应根椐使用情况定期观察弧靶腐蚀沟道的情况及时更换新靶材。
8、拆装弧靶时，应先关闭冷却水，拆下水管，用压缩空气吹净靶体内的水，防止水滴在溅射室内；并且不能损伤靶体，尤其是密封面。
9、更换靶材时，不能损坏密封表面、靶阴极体及靶零件，必须清除油污及汗渍。
10、开启溅射室盖时，室内应处于常压，决不允许真空室处于真空状态时开启室盖。
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南光镀膜机说明书
该机用于半导体组件及光学件生产和研究是比较理想的设备,在极限真空,防止油污和缩短工作等方面都具有较好的性能,它用于单层光学薄膜和生产也是比较理想的设备.
一.工作条件 1.电源总功率约30KW,220V/380V,50HZ 线制为三相四线制.2.接地电阻小于4欧,接地导线截面积大于等于10mm2 3.安装环境必须具备良好通风条件.4.水流约1.5L/min.5.气压:0.5MPa
二.主要技术性能:(一)真空控制系统 1.半自动/手动旋钮置手动可按常规进行各种泵,阀的启动与停止操作. 2.自动/手动旋钮置自动时通过开机,真空,取件三个按钮的动作可分别执行开机/停机,真空/中止真空,取件/取件关程序.(1)a.当按下开机钮,设备将按下列步骤运行:开机械泵,截放阀延时10秒开预阀,延时30秒开扩散泵.b.当松开开机钮,设备将按下列步骤停机:关扩散泵冷却延时1小时,关预阀延时5秒关机械泵,截放阀.
(2).在执行开机程序以后 a按下真空钮设备将按下列步骤运行:开低级阀,低真空信号到,关低阀延时3秒开预阀,再延时3秒开高阀,直至高真空.松开真空钮,设备将回到开机状态.(3)a 在执和行真空程序之后,当按下取件钮,关高阀并延时5秒打开放气阀.b.当松开取件钮,在真空室门已关好之后,设备将自动回到真空程序运行.(4).通过在真空程序执行后,反复使用取件钮,可达到真空,取件的连续过程.(二).工转及比较片转动系统:工转控制采用直流调速器对工件电机进行调速,转速为连续可调.比较片电机控制为点动连续转位控制.(三).烘烤系统:本系统采用三(单)相调功器(移相或过零触发)和进口数显温控仪对工件进行烘烤,温度可控可调,设定好温度后,参照温控仪说明书,采用自整定运行,自整定运行结速后进行恒温控制(第一次自整定温度会出现过冲现象,自整定运行结束后再开机,就不会出现过冲,用户可根据不同的温度要求全部进行自整定1次.)
NG-3型电子束蒸发源电源装置包括X-Y磁偏转扫描单元,枪灯丝及束流控制单元,高压自动控制装置,坩埚转动控制装置及手持控制盒.
一.工作条件:1.电源:总功率约为10KW,220V/380V,50HZ;三相四线制. 2.接地电阻小于4欧,接地导线截面积大于等于10mm2. 3.安装环境必须具备良好通风条件.
二.主要技术性能: 1.X-Y磁偏转扫描单元具有波形可选,频率可调之特点. (1).偏转(或称位移)电流:(在4-7欧负载上) IX=0-1.8A IY=0-±1.5A (2).扫描波形:矩形波,三角形,正玄波任选. (3).扫描电流:IX=IX±0.25A IY=IY±0.5A (4).扫描频率:1-20HZ可调. (5).失偏保护(只对X线圈而言):当IX大于等于0.4A时,电源输出一对常开触点,可用以联锁直流高压或其它用途的控制.
2.枪灯丝单元:(1).接上枪灯丝,真空度高于 6.7X10-3Pa时,灯丝变压器原边:U~约等于0~200V I~约等于0~1.5A (2).具有过流,失压保护功能.
3.高压控制单元:采用SKQH高压自动控制装置,克服了电子管固有的缺点.(1).直流高压:6KV,8KV,二档.换档时改变变压器抽头即可.(2).最大电流:600毫安.(3).自动控制功能:电子枪打火时能自动降低高压,随后自动迅速恢复原值.
4.坩埚转位控制单元提供四位坩埚点动. 三.安装与调试:为保证本电源正常可靠工作,必须严格按以下步骤及要求正确进行安装与调试. (一).系统接线:电源线截面积大于等于2.5平方毫米导线;接地线截面积大于等于10平方毫米导线,先连接至主机,
再由主机接大地;HV-高压线用随机所附专用高压线. (二).检查与调试:在保证系统连线正确之后,检查各单元盒内,前后面板,背板上各零件有无松动,脱落及损坏情况(若有即排除),并清除污物(尤其是高压部分)后,可作如下操作:(1).高压控制单元 a.从电源柜端脱开HV-高压电缆,按下遥控盒上高压按钮,本单元开通指示灯亮,相序指示灯亮,若均不亮,则表示本单元三相电源进线相序不正确或缺相.关掉电源,检查三丰电源是否缺相,或调换电源线,直到相序正确,这时开通,相序指示灯均亮,高压表指示为6KV(或所选高压值).历时2分钟,高压单元内无打火现象属正常.缺相或相时保护电路使高压无输出.b电子枪打火时过流灯闪烁,高压控制装置进行自动调节,当电子枪严重短路时自动切断高压,此时须关掉高压电源,排除故障后再重新开启电源.c关掉电源.注意:高压操作须遵守高压操作规程,以免发生人身事故. (2).X-Y磁偏转扫描单元 a.检查偏转线圈接线正确后,按下该单元面板上电源按钮,相应按上指示灯亮.b.分别调节手控盒上X,Y电位器为零,再分别调节X电位器,面板上相应电流表应指示0-1.8A,调节Y电位器,相应电流表指示0-(±1.5A). c.关X电位器至零,关Y电位器至中点(电表指示为零),复位电源按钮,断电源.(如果观察交流扫描波形及幅值,可用示波器直接于X及Y偏转线圈上观察).
(3).枪灯丝及束流控制单元:此项工作须在系统接线正确,并保证真空室真空度高于6.7X10-3Pa以上时进行. a.待真空度满足要求后,按下本单元面板上枪灯丝按钮,按钮上面指示灯亮,调节灯丝电流电位器,交流电压表指示枪灯丝变压器原边电压在0-200V连续变化,相应原边交流电流可在0-1.5A左右(视枪前头而定)连续变化. b.调节遥控盒上束流调节电位器,因此时高压尚未启动,故电压表,电流表均无变化,表明失压保护节工作正常. c.回零上述电位器,关电源.至此为止,本系统各单元工作正常.接通HV-高压电缆,便可按镀膜机电子枪操作步骤进行操作.
四.说明:本电源为电子束蒸发源的独立供电系统,为确保电子枪及本电源的安全使用,若采用本电源对电子枪独立供电,在使用前必须对电子枪作耐压试验,方法为:当真空度达 6.7X10-3Pa之后,不开枪灯丝,按高压单元的操作顺序,对电子枪施加8KV高压,应稳定2分钟,无打火,击穿视为正常.然后满足电子枪工作的条件:(一)先确定电子枪X偏转磁场的方向-正对枪头:其左面磁极为南极,右面磁极为北极(若方向不对,可调换X偏转电源接线),然后将X偏转位移电流调在IX=0.6A左右. (二).在室温25度以下时,电子枪冷却水压不低于1.5Kg/cm2,并保证水源通畅. (三).电源柜门,机柜门关闭,并在周围树立高压危险标志若本电源与其它设备协同工作,可根据需要加入述各条件的联锁保护环节.。