半导体物理第3章
半导体物理第3章载流子的统计分布
非热平衡状态下的载流子浓度
01
在非热平衡状态下,载流子浓度不再由费米分布函数
决定,而是受到外部因素的影响,如光照、电场等。
02
光照条件下,光子激发电子从价带跃迁到导带,产生
光生载流子,导致载流子浓度增加。
03
电场作用下,载流子将受到电场力的作用,产生漂移
运动,导致载流子浓度和分布发生变化。
温度对载流子浓度的影响
N型半导体中的载流子浓度
N型半导体中,多数载流子是电子,其 浓度远高于空穴。
电子浓度主要由掺杂浓度决定,通常通过引 入施主杂质实现。
在绝对零度以上,由于热激发,会 有少量空穴产生。
P型半导体中的载流子浓度
P型半导体中,多数载流子是空穴,其浓度远高于电子。 空穴浓度主要由掺杂浓度决定,通常通过引入受主杂质实现。 在绝对零度以上,由于热激发,会有少量电子产生。
半导体物理第3章载流子的统计分 布
目 录
• 引言 • 载流子种类 • 载流子分布函数 • 载流子浓度与温度的关系 • 载流子浓度与掺杂的关系 • 结论
01 引言
主题概述
载流子
在半导体中,载流子是指能够导电的粒子,通常为电 子和空穴。
统计分布
载流子的统计分布是指载流子在不同能态上的分布情 况,它决定了半导体的导电性能。
新材料
半导体物理的发展也促进了新材料的发现和应用,如石墨烯、氮化镓 等新型半导体材料在电子器件领域具有广阔的应用前景。
02 载流子种类
电子
01
电子是带负电的粒子,是半导体的主要载流子之一。
02
在半导体中,电子可以在价带和导带之间跃迁,形成导电电 流。
03
电子的浓度和行为受温度、掺杂等因素影响。
半导体物理第三章半导体中的载流子统计分布
电子浓度:单位体积内导带中的电子数(单位:1/cm3)
20
导带中电子都聚集在 导带底 价带中空穴都聚集在 价带顶
21
计算电子:
单位体积中
dN = f (E)gc (E)dE
( ) =
V 2π
2
2me* h3
3/ 2
(E
−
EC
)1/ 2
exp⎜⎜⎝⎛ −
E − EF kBT
⎟⎟⎠⎞dE
( ) dn =
m
3 2
pl
+
3
m
2 ph
⎤ ⎥⎦
3
3
gv(E) =
V
2π 2
(2mdp ) h3
2
(Ev
1
− E) 2
mph 和mpl分别是重空穴和轻空穴的有效质量。由于mph>>mpl, 重空穴带的态 密度显著大于轻空穴带的态密度。所以空穴主要分布在重空穴带中。
§ 3.2 费米能级和载流子的统计分布
费米分布函数 玻尔兹曼分布函数 导体中的电子浓度和价带中的空穴浓度
gv (E)
=
V
2π 2
(
2
m
* p
)
3
2
h3
(Ev
1
− E) 2
实际情况:在价带顶有两种空穴
gv (E ) = gvl (E ) + gvh (E )
3
3
=
V
2π 2
⋅ (2m pl ) h3
2
1
(Ev − E) 2
+
V
2π 2
⋅ (2m ph ) h3
2
(Ev
1
− E) 2
半导体物理第三章 共102页PPT资料
Kz
2 n z L
(nz
0,1,2, )
(1-18)
k空间中,由一组整数(nx,ny,nz)决定一个波矢k,代表电子的一个允许 能量状态。这些允许量子态在k空间构成一个点阵。
k在空间分布是均匀的,每个代表点的坐标沿坐标轴方向都是2/L的 整数倍,对应着k空间中一个体积为83/V的立方体。
温度升高,电子占据能量小于费米能级的量子态的概率下降, 而占据能量大于费米能级的量子态的概率增大。
20
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§3.2.2 玻耳兹曼分布函数
f E
1
1exp(EEF )
k0T
量子态为电子占据的概率很小,泡利原理 失去作用,两种统计的结果变成一样了
(3-8)
10
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表明: 导带底(价带顶)附近单位能 量间隔内的量子态数目,随着 电子(空穴)的能量增加按抛 物线关系增大。即电子(空穴) 的能量越大,状态密度越大。
状态密度与能量的关系
11
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电子如何按照能量分布
允许量子态按能量的分布
状态密度g(E)
电子在允许量子态中的分布
费米和玻耳兹曼分布f(E)
g(E)
f(E)
能量
量子态分布
电子在量子态中分布
E到E+dE之间被电子占据的量子态f(E)g(E)dE
6
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半导体物理学-第三章-半导体中载流子统计分布
当 E-EF>>k0T时,
fB E e x E p k E F T e x E kF p T e x k E p T
费米和玻耳兹曼分布函数
三、空穴的分布函数
空穴的费米分布函数和波尔兹曼分布函数
当 EF-E>>k0T时,
1 fE e x E F p E e x E F p e x E
整个价带的空穴浓度为
p0 NVexpEFk 0TEV NV称为价带的有效状态密度.
价带空穴浓度可理解为:全部空穴集中在价带 顶EV上,其上空穴占据的状态数为NV个.
对于三种主要的半导体材料,在室温(300K)状 况下,它们的有效状态密度的数值列于下表中.
导带和价带有效状态密度(300K)〔见课本P77〕
一、费米〔Fermi〕分布函数与费米能级
1.费米分布函数
电子遵循费米-狄拉克〔Fermi-Dirac〕 统计分布规律。能量为E的一个独立的电 子态被一个电子占据的几率为
K0玻尔兹曼常数,T确定温度,EF费米能级
费米能级的物理意义:化学势
EF (N F)T
当系统处于热平衡状态,也不对外界做功的状 况下,系统中增加一个电子所引起的系统的自 由能的变化等于系统的化学势也即为系统的费 米能级
在导带中,E-EF>>k0T,则导带中的电 子听从波尔兹曼分布,且随着E的增大, 概率快速削减,所以导带中绝大多数电子 分布在导带底四周
在价带中,EF-E>>k0T,则空穴听从波 尔兹曼分布,且随着E的增大,概率快速 增加,所以价带中绝大多数空穴分布在价 带顶四周。
听从Boltzmann分布的电子系统 非简并系统
§3.1 状 态 密 度
假设在能带中能量E与E+dE之间的能量间 隔dE内有量子态dZ个,则定义状态密度g 〔E〕为:
半导体物理非热平衡状态下的半导体
• 作业: • 3-1、2、3
§3.2 复合理论
• 一、直接辐射复合 定义
• 1、直接辐射复合过程中的复合率和产生率
R rnp r :复合系数源自由热平衡状态下复合率等于热产生率,得
G
rn0
p0
rn2 i
2、直接辐射复合过程决定的少子寿命
由净复合率
Ud
RG
r(np n2) i
得
p
1
U d r(n0 p0 p)
激发电子
吸收光子 发射光子
复合中心
发射声子
表面复 合中心
发射声子
激发空穴
表面
(a) 直接辐射复合(产生)与直接俄歇复合 (b) 间接复合(产生)
(c) 表面复合(产生)
少子寿命 表面复合(产生)速度 图 5-1 半导体中载流子的复合(产生)过程及过程中的能量释放形式
差别在于复合中心的来源及其空间分布
p(t) / p(0) et /
p(20) / p(0) e20 /10 e2 0.135
p(0) G 10 106 1016 1011
四、非平衡状态下的载流子统计
• 1、准平衡状态 • 在整个系统处于非平衡态的情况下,价带和导带子系统中的
空穴与电子各自仍基本处于平衡态,有各自的费米能级,称 之为子系统的 “准费米能级”,分别用EFn和EFp表示 。 • 这样,统计分布函数分别对子系统仍然适用。
间接禁带半导体的少子寿命较长。
锗、硅、砷化镓相比,锗的少子寿命最长,硅次之,砷化 镓少子寿命最短。
同种材料的少子寿命在不同状况下变化范围也很大。
一块n型半导体样品的少子寿命 =10s,今用光照在
其中均匀注入额外载流子,产生率为1016cm-3s-1。问 光照撤销后20s时刻其额外载流子密度衰减到原值的 百分之几?还有多大?
半导体物理与器件第3章
kT
T = 0K 时,
(1) E > EF , 分母中 exp(+∞) → fF(E)= 0 ◆能量高于费米能级的量子态是空的 (2) E < EF , 分母中 exp(-∞)= 0 → fF(E)= 1 ◆能量低于费米能级的量子态是满的 (3) E = EF , 分母中 exp(0)= 1 → fF(E)= 1/2 ◆能量等于费米能级的量子态被电子
大量包含多个电子的原子靠得很近形成晶体材料之 后,原来相同的电子能级发生分裂的情况。
原子靠近→电子云发生重叠→电子之间存在相互作用→分立 的能级发生分裂形成能带
大量硅原子(N)形成硅晶体的电子能级分裂示意图
T=0K
价带
s, p轨道杂化
k=2π/λ
3
硅晶体形成过程中发生的 sp3轨道杂化,形成填 满电子的价带和没有电子的导带,二者之间为禁带 宽度Eg。
3.3 三维扩展
三维情况下各方向势场不同
电子在不同 方向上运动 会遇到不同 的势场,从 而产生不同 的k空间边 界。
31
硅和砷化镓的k空间能带图
直接带隙半导体:价带 间接带隙半导体:价带
能量最大值和导带能量 能量最大值和导带能量
最小值的K坐标一致 最小值的K坐标不一致
32
3.5 统计力学
在一定温度下,半导体中的大量电子不停地 作无规则热运动,从一个电子来看,它所具 有的能量时大时小,经常变化。但是,从大 量电子的整体来看,在热平衡状态下,电子 按能量大小具有一定的统计分布规律性,即 电子在不同能量的量子态上统计分布几率是 一定的。
温度升高时,共价键中的个别电子可能会获得足够 大的能量,从而克服共价键的束缚,进入导带。
3.2固体中电的传导 3.2.4空穴的运动
半导体物理第三章
p0 = ∫
价带底能量
Ev
/ Ev
gv (E) [1 − f ( E )] dE V ( 2m ) h
* 3/ 2 p 3
= 4π
∫
Ev
/ Ev
e
E − EF kT 0
( Ev − E ) dE
1/ 2
令x = ( Ev − E ) /(k0T ) ( Ev − E )1/ 2 = (k0T )1/ 2 x1/ 2 d ( Ev − E ) = −(k0T )dx x' = ( Ev − Ev' ) /(k0T )
导带中大多数电子是在导带底附近,而价带中大多数空穴 则在价带顶附近。 1. 导带中电子浓度 在能量E~(E+dE)之间有: 量子态:dZ=gc(E)dE 电子占据能量为E的量子态的概率: 则电子数为:
29
f B (E) = e
E − EF − kT 0
dN = dZ ⋅ f B ( E ) ( 2m ) = 4πV h
利用前述方法可得:
k12 + k 2 2 k3 2 h E ( k ) = Ec + + 2 mt ml
2
电子态 密度有 15 效质量
2. 价带顶状态密度 在实际Si、Ge中,价带中起作用的能带是极值相重合的 两个能带,与这两个能带相对应的有轻空穴有效质量(mp)l和 重空穴有效质量(mp)h,因此价带顶附近状态密度应为这两个 能带的状态密度之和,称为价带顶空穴的状态密度有效质量 价带顶空穴的状态密度有效质量 (空穴态密度有效质量 空穴态密度有效质量)。价带顶状态密度式子与球形等能面情 空穴态密度有效质量 况下的价带状态密度式(5)有相同的形式,
半导体物理学-第3章
根据U=G,知 半 导 体 物 理 学
p G
三、额外载流子密度随时间衰减的规律
设在t=0时刻突然去除光照,∆p将随时间而减少。
dp (t ) p (t ) dt
半 导 体 物 理 学
二、非热平衡状态下的载流子统计
对非简并半导体,即有
EFp E E EFn f n ( E ) exp , f p ( E ) exp . kT kT
2015/5/7 Prof.LEI 17
半导体的非热平衡状态
EFp EV EC EFn p NV exp n NC exp kT kT EC E Fn E Fn E F E Fn Ei n N C exp( ) n0 exp( ) ni exp( ) kT kT kT EFp EV EF EFp Ei EFp p NV exp( ) p0 exp( ) ni exp( ) kT kT kT 相应的准费米能级分别为 n n EFn EC kT ln EF kT ln NC n0
2015/5/7 Prof.LEI 5
半导体的非热平衡状态
3、小注入和大注入 小注入是指注入的额外载流子密度比热平衡条件下的 多数载流子密度低得多,以n型半导体为例,即
p0 n p n0
半 导 体 物 理 学 在非热平衡状态,导带和价带的载流子密度分别为:
n n0 n n0 ;
2015/5/7 Prof.LEI 8
半 导 体 物 理 学
半导体物理第三章03
Ev EF p0 NV exp( ) k0T
都是由费米能级EF和温度T表示出来的,通 常把温度T作为已知数,因此这两个方程式 中还含有 n0, p0, EF三个未知数。
第三章03
2/56
为了求得它们,还应再增加一个方程 式。从3.3节(本征半导体的载流子浓度) 及3.4节(杂质半导体的载流子浓度)中 看到这第三个方程式就是在具体情况 下的电中性条件 (或称为电荷中性方程 式)。 无论是在本征情况还是只含一种杂质 的情况下,都是利用电中性条件求得 费米能级EF,然后确定本征的或只含 一种杂质的情况下的载流子统计分布 。
第三章03
19/56
式(3-85)就是施主杂质未完全电离情况下载流子浓 度的普遍公式。对此式再讨论如下两种情况: ①极低温时,N’c很小,而NA很大, N’C <<NA。 则得 (N N ) 4N (N N ) N N
n0
' ' 2 ' c A
2
c
A
c
D
A
2 4 Nc' 1 (ND N A ) N A2 2
这就是同时含有一种施主杂质和一种受主 杂质情况下的电中性条件。
第三章03
8/56
它的意义是半导体中单位体积内 的正电荷数 (价带中的空穴浓度与 电离施主杂质浓度之和)等于单位 体积中的负电荷数 (导带中的电子 浓度与电离受主杂质浓度之和)。
第三章03
9/56
当半导体中存在着若干种施主杂质和若干 种受主杂质时,电中性条件显然是:
上式表明在低温弱电离区内,导带中电子浓度与 (ND-NA)以及导带底有效状态密度Nc都成正比关系, 并随温度升高而指数增大。
半导体物理课件1-7章(第三章)
V
dN 2 2
2mn* 3
2
exp
E EF k0T
E
1
Ec 2 dE
积分
E
' c
导带顶能量
3
n0
dN
V
1 Ec'
Ec 2 2
2mn* 3
2
exp
E EF k0T
E Ec
1
2 dE
热平衡3状2 态下非简并半导体的导带电子浓度n0
3
n0
dN V
1 Ec'
Ec 2 2
3.2费米能级和载流子的统计分布
3.2.1 费米分布函数
⑴把半导体中的电子看作是近独立体系,即认为电子之间的相互 作用很微弱. ⑵大量电子的运动是服从量子力学规律的,用量子态描述它们的 运动状态.电子的能量是量子化的,即其中一个量子态被电子占据, 不影响其他的量子态被电子占据.并且每一能级可以认为是双重 简并的,这对应于自旋的两个容许值. ⑶在量子力学中,认为同一体系中的电子是全同的,不可分辨的. ⑷电子在状态中的分布,要受到泡利不相容原理的限制.
电子在允许的量子态上如何分布的一个统计分布
函数。
f E
1
1 exp( E EF )
k0T
EF:费米能级或费米能量,与温度、半导体材料的导电类
型、杂质的含量以及能量零点的选取有关。
一个很重要的物理参数
在一定温度下电子在各量子 态上的统计分布完全确定
17
将半导体中大量电子的集体看成一个热力系统, 由统计理论证明,费米能级EF是系统的化学势:
•半导体的导电性受温度影响剧烈。
本章讨论: 1、热平衡情况下载流子在各种能级上的分 布情况 2、计算导带电子和价带空穴的浓度,分析 它们与半导体中杂质含量和温度的关系.
半导体物理第三章半导体中载流子的统计分布
半导体物理第三章半导体中载流子的统计分布第三章半导体中载流子的统计分布第三章 Part 1 3.1 状态密度 3.2 3 2 费米能级和载流子的统计规律3.3 电子和空穴浓度的一般表达式电子和空穴浓度的般表达式 3.4 本征半导体的载流子浓度3.5 杂质半导体的载流子浓度3.6 杂质补偿半导体 3.7 3 7 简并半导体3.1 状态密度状态密度g(E)dZ(E) g( E ) = dE表示在能带中能量E附近单位能量间隔内的量子态数。
dZ 为E到E+dE内的量子态数计算状态密度的方法:1、k空间的量子态密度 1 k空间的量子态密度2、dZ或Z(E)dZ=k空间量子态密度×能量间隔对应的k空间体积Z(E)=k空间量子态密度×能量为E的等能面在k空间的体积一、导带底附近的状态密度1、k空间的量子态密度对于边长为L的立方晶体,波矢对于边长为L的立方晶体波矢 k 的三个分量为的三个分量为: n n n 即( k x = x , = y , z = z ) k ky k x ,k y ,k z L L L 其中 n x , n y , n z 取 0,±1,±2… 每个代表点都与体积为每一个代表点都与体积为 1 = 1 的一个小的个小 L3 V 立方体相联系即 k 空间中,电子的状态密度是V 若考虑电子的自旋,量子态密度是2V。
若考虑电子的自旋量子态密度是2V一、导带底附近的状态密度2、求dZ或Z 2 dZ Z①等能面为球面:1 h2k2 假设导带底在k=0,即 E (k ) = EC + * 2 mn以k 为半径的球面对应E,以 k + d k 为半径的球面对应E+dEdZ = 2V × 4πk dk由 E - k 关系可解得关系可解得:(2m ) ( E - EC ) k= h2n112m dE kdk = 2 hn一、导带底附近的状态密度得到(2m ) dZ = 4π V ( E - EC ) dE h1 23 ? 2 n 3所以(2m ) g ( E ) = 4π V ( E - EC ) h3 ? 2 n 31 2一、导带底附近的状态密度②实际材料:对于Si、Ge来说,在导带底附近等能面为旋转椭球面假设有S个能谷,在每个能谷附近:2 2 ? k x + k y k z2 ? h E( k ) = Ec + + ? ? 2 ? mt ml ? 2将上式变形2 kx2mt ( E ? Ec ) h2态数为+2 ky2mt ( E ? Ec ) h2k z2 2ml ( E ? Ec ) h2=1能量为E的等能面在k空间所围成的s个旋转椭球体积内的量子4 2 mt ( E ? Ec ) [2 ml ( E ? Ec )]1 2 Z ( E ) = 2Vs π 3 h2 h一、导带底附近的状态密度则导带底(附近)状态密度为(8s m ml ) dZ ( E ) gC ( E ) = = 4π V dE h2 2 t 312( E ? Ec)12* mn = mdn = ( s 2 mt2 ml )1 3 令,称 m 为导带底电子状态密度 dn有效质量,则有效质量则(2m ) dZ d (E) = 4π V gC ( E ) = d E h* 32 n 3( E ? Ec)12二、价带顶的状态密度①等能面为球面:①等能面为球面h2k 2 E (k ) = Ev 2m* pg v ( E ) = 4π V ?(2 m * ) 3 2 p h3( Ev - E )1 2②实际材料:价带顶在价带顶在k=0,而且重空穴带(mp)h和轻空穴带 (mp)l在布里渊区而空穴带 ( ( 在布渊区的中心处重合。
半导体物理第三章
k空间状态分布
在k 空间量子态的分布是均匀的 量子态的密度为V/83(V立方晶体的体积)。 如果计入自旋,每个量子态可以允许两个自旋相反的电 子占据一个量子态。
换言之,k空间每个量子态实际上代表自旋方向相反的 两个量子态
所以,在k空间,电子允许的量子态密度为2V/83。 注意:这时每个量子态最多容纳一个电子。
(3). E-EF>>kT时,
f
E
exp
E
EF kT
exp
EF kT
exp
E kT
此时分布函数的形式同经典的波尔兹曼分布是一致的.对 于能级比EF高很多的量子态,被电子占据的几率非常小.
(4). EF-E>>kT时,
1
f
E
exp
EF kT
E
exp
EF kT
exp
E kT
f
EF
1
f
EF
1 2
EF实际上是一个参考能级,低于EF的能级被电子占据的 几率大于空着的几率;高于EF的量子态,被电子占据的几率 则小于空着的几率.
1.0
1 f E
0.5
f E
0
E EF KT
分布函数随 E EF KT 的变化
从图中可以看出,函数 f E和1 f E相对于费米能级EF
是对称的.
第3章 半导体中载流子的统计分布
本章重点
计算一定温度下本征和杂质半导体中热平衡载 流子浓度;
探讨半导体中载流子浓度随温度变化的规律。
热平衡状态
一定的温度下,两种相反的过程(产生和复合)建 立起动态平衡
电子从价带跃迁到导带(本征激发),形成导电电 子和价带空穴。
半导体物理3
对于Ge、Si和GaAs:
简并度: gA=4 gD=2
施主浓度:ND
受主浓度: NA:
(1)杂质能级上未离化的载流子浓度nD和pA : 施主能级上的电子浓度 n D = N D f D (E ) (3) →
受主能级上的空穴浓度 p A = N A f A (E ) (4 ) →
(2)电离杂质的浓度
由(5)式
n i = n 0 = p0 = N c N v ⋅ e
Eg − 2k T 0
可以见到:
1、温度一定时,Eg大的材料,ni小; 2、对同种材料, ni随温度T按指数关系上 升。
§3.4 杂质半导体的载流子浓度
一、杂质能级上的电子和空穴
杂质能级
最多只能容纳某个自旋方向的电子。
电子占据施主能级E D的几率f D (E ) = 1+
空穴占据受主能级E A的几率f A (E ) = 1+
1 g D (E )
1 g A (E ) 1 e
EF − EA k 0T
1
e
ED −EF k 0T
(1) →
(2 ) →
g D (E )和g A (E )分别是施主和受主基态简并度
在k空间中,电子的 允许量子态密度是 2×V
一、球形等能面情况
假设导带底在k=0处,且
则 dZ = 2 V × 4 πk 2 dk
(2m ) = 4πV
h
n 3
(
)
1 2
h2k2 E( k ) = Ec + (2 ) → * 2m n
3 * 2
(E − Ec )
dE (3) →
导带底状态密度:
即 Nc ⋅ e
半导体器件物理3章平衡半导体
第三章:平衡半导体到现在为止,我们已经讨论了一般晶体,确定了单晶晶格中电子的一些特性。
这一章,我们将运用这些概念来研究半导体材料,尤其是用导带和价带中量子态密度以及费米-狄拉克分布函数来确定导带和价带中电子和空穴的浓度。
此外,我们还会利用这些概念给出半导体材料的费米能级。
这一章我们将涉及平衡半导体:所谓平衡半导体或处于热平衡状态的半导体,是指无外界(如电压、电场、磁场或温度梯度等)作用影响的半导体。
在这种情况下,材料的所有特性均与时间无关。
平衡状态是研究半导体物理特性的起点,之后我们才会研究偏离平衡状态时出现的特性,例如给半导体材料施加电压时的情况。
这一章我们将要讨论的内容有:1.确定本征半导体热平衡时的电子和空穴浓度2.确定非本征即掺杂半导体热平衡时的电子和空穴浓度3.研究电子和空穴浓度随能量和温度变化的统计规律4.确定本征半导体费米能级的位臵,讨论费米能级随掺杂浓度和温度的变化。
3.1本征半导体中的载流子浓度半导体器件的特性很大程度依赖于半导体材料的电导率,通过控制加入到半导体材料中的特定杂质的数量,就可以改变半导体的电学性能。
掺杂原子的类型决定了半导体材料中起作用的载流子是电子还是空穴。
掺杂原子的引入可以改变电子在有效能量状态上的分布,费米能级的位臵成了杂质原子类型和浓度的函数。
电流实际上表征了电荷的流动速度。
半导体中的两种载流子电子和空穴均对电流有贡献。
因为半导体中的电流大小取决于导带中的电子数目和价带中的空穴数目,所以半导体中的载流子浓度是一个重要参数。
电子和空穴浓度与状态密度函数及费米-狄拉克分布函数有关。
3.1.1本征半导体平衡时的电子和空穴浓度分布导带中电子(关于能量)的分布为导带中的有效量子态密度与某个量子态被电子占据的概率的乘积。
()()()()3.1c F n E g E f E =其中,()F f E 是费米-狄拉克分布函数,()c g E 是导带中有效量子态密度,在整个导带能量范围对上式积分便可得到导带中单位体积的总电子浓度。
半导体物理_第三章 ppt课件
在正常温度下,将这个施主电子激发到导带上所需的能 量显然要远远低于将共价键中的某个电子激发到导带所需的 能量。施主电子进入导带之后就可以参与导电,而留下带正
电的磷离子则在晶体中形成固定的正电荷中心。 Ed就是施主电子在半导体中引入的能级,叫做施主能级。
施主能级位于禁带中靠近导带底部的位置,通常将其
对于本征半导体材料来说,费米-狄拉克统计分布可 以简化为玻尔兹曼分布函数,即:
半导体物理_第三章
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其中NC称为导带的有效态密度函数,若取 mn*=m0,则当T=300K时, NC=2.5X1019cm-3, 对于大多数半导体材料来说,室温下NC确实是在 1019cm-3的数量级。
5. 掌握热平衡状态下半导体材料中两种载流子 浓度与掺杂之间的函数关系;
6. 熟悉费米能级位置与半导体材料中掺杂浓度 之间的函数关系;
半导体物理_第三章
所谓热平衡状态:不受外加作用力影响的状 态,即半导体材料不受外加电压、电场、磁场、 温度梯度、光照等的影响。此时半导体材料的 各种特性均不随时间变化,即与时间无关。它 是我们分析各种稳态和瞬态问题的起点
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其中NV称为价带的有效态密度函数,若取mp*=m0,则 当T=300K时, NV=2.5X1019cm-3以及费米能级的位置。
半导体物理_第三章
在一定温度下,对于给定的半导体材料来 说,NC和NV都是常数。下表给出了室温下( T=300K)硅、砷化镓锗材料中的导带有效态 密度函数、价带有效态密度函数以及电子和空 穴的有效态密度质量。
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第四章 热平衡状态下的半导体 本章学习要点: 1. 掌握求解热平衡状态下半导体材料中两种载
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半导体中的导电电子浓度和空穴浓度都保持 一个稳定的数值,这种处于热平衡状态下的 导电电子和空穴称为热平衡载流子。
当温度改变时,破坏了原来的平衡状态,又 重新建立起新的平衡状态,热平衡载流子的 浓度也将发生变化,达到另一稳定数值。
计算载流子浓度须掌握以下两方面的知识
允许的量子态按能量如何分布 电子在允许的量子态中如何分布
(c) 费米分布函数
(d) 载流子浓度
本征半导体
室温下三种半导体材料的禁带宽度和本征载流子浓度
Si
Ge
GaAs
ni(cm-3) Eg(eV)
1.5 ×1010
1.12
2.4 ×1013
0.67
1.1×107
1.43
把载流子浓度的乘积n0p0用本征载流子浓度ni表示出来,得
n0 p0 = ni2
在热平衡情况下,若已知ni和一种载流子浓度,则可以利用上 式求出另一种载流子浓度.
3.2.3导带中的电子浓度和价带中的空穴浓度
导出导带电子浓度的基本思路是:和计算状态密度是 一样
认为能带中的能级是连续分布的,将能带分成一个个 很小的能量间隔来处理。
对导带分为无限多的无限小的能量间隔,则在能量E 到E+dE之间有 dZ 个量子态
而电子占据能量为E的量子态的几率是 f (E)
f (E) > 1;
2
f (E) < 1
2.
例: E − EF > 5kT时,f (E) < 0.007; E − EF < −5kT时,f (E) > 0.993.
EF标志电子填充能级的水平
3.2.2玻耳兹曼分布函数
(3). E-EF>>kT时,
f (E) ≈ exp⎜⎛ − E − EF ⎞⎟ = exp⎜⎛ EF ⎞⎟ exp⎜⎛ − E ⎟⎞
f
(E)
=
1
+
1 E exp(
−
EF
)
k 0T
k0玻尔兹曼常数,T绝对温度,EF费米能级
费米分布函数,它描述每个量子态被电子占据的几率随E的变化.
费米分布函数性质
⒈量子态:空着的,或被电子占据的
能量为E的量子态未被电子占据(空着)的几率是:
1−
f
(E)
=
exp⎜⎛
1 EF −
E
⎞⎟
+1
⎝ kT ⎠
⎝ kT ⎠ ⎝ kT ⎠ ⎝ kT ⎠
此时分布函数的形式同经典的波尔兹曼分布是一致的.对 于能级比EF高很多的量子态,被电子占据的几率非常小.
(4). EF-E>>kT时,
1− f (E) ≈ exp⎜⎛ − EF − E ⎞⎟ = exp⎜⎛ − EF ⎞⎟ exp⎜⎛ E ⎟⎞
⎝ kT ⎠ ⎝ kT ⎠ ⎝ kT ⎠
极限工作温度
半导体材料制成的器件都有一定的极限工作温度 这个工作温度受本征载流子浓度制约 一般半导体器件中,载流子主要来源于杂质电离,而将本
征激发忽略不计。 在本征载流子浓度没有超过杂质电离所提供的载流子浓度
的温度范围,如果杂质全部电离,载流子浓度是一定的, 器件就能稳定工作。
但是随着温度的升高,本征载流子浓度迅速地增加。
第3章 半导体中载流子的统计分布
本章重点
计算一定温度下本征和杂质半导体中热平衡载 流子浓度;
探讨半导体中载流子浓度随温度变化的规律。
热平衡状态
一定的温度下,两种相反的过程(产生和复合)建 立起动态平衡
电子从价带跃迁到导带(这就是本征激发),形成 导电电子和价带空穴。
与此同时,还存在着相反的过程,即电子也可以从 高能量的量子态跃迁到低能量的量子态,并向晶格 放出一定能量,从而使导带中的电子和价带中的空 穴不断减少,这一过程称为载流子的复合。
上式表明: •本征载流子浓度只与半导体本身的能带结构和温度T 有关。 •在一定温度下,禁带宽度越窄的半导体,本征载流子浓度越大。 •对于一定的半导体,本征载流子浓度随着温度的升高而迅速增加
E
导带
EC Eg
EV
价带
(a) 能带图
E
E
E
EC
EF
EF
EV
N(E)
(b) 态密度
0 0.5 1.0
F(E)
n(E)和p(E)
k空间状态分布
在k 空间量子态的分布是均匀的 量子态的密度为V/8π3(V立方晶体的体积)。
如果计入自旋,每个量子态可以允许两个自旋相反的电 子占据一个量子态。 换言之,k空间每个量子态实际上代表自旋方向相反的 两个量子态 所以,在k空间,电子允许的量子态密度为2V/8π3。 注意:这时每个量子态最多容纳一个电子。
Ev′
V
p0
=
2
(2πm
* p
k
0T
)
3
2
h3
exp( Ev − EF k0T
)
=
Nv
f
(Ev )
Nv
=
2
(2π
m
* p
k 0T
)
3
2
h3
价带的有效状态密度
3.2.4载流子浓度乘积n0p0
n0
p0
=
Nc Nv
exp(−
Ec − E k0T
v
)
=
Nc Nv
exp(−
Eg k0T
)
=
4(
2π k0
h2
)3 (mn*m*p
3
) 2T
3
exp(−
Eg k0T
)
Eg = EC − EV 半导体材料的禁带宽度
热平衡状态下,对于一定的半导体材料,浓度积只 由温度决定,而与所含杂质无关。
3.3 本征半导体的载流子浓度
所谓本征半导体,就是完全没有杂质和缺陷的半导体。
导带中的电子都是由价带激发得到的,(只有导带和价带, 禁带中没有杂质能级)。
例如在室温附近,纯硅的温度每升高8K左右,本征载流子 的浓度就增加约一倍。
而纯锗的温度每升高12K左右,本征载流子的浓度就增加 约一倍。
当温度足够高时,本征激发占主要地位,器件将不能正常 工作。
因此,每一种半导体材料制成的器件都有一定的极限工作 温度,超过这一温度后,器件就失效了。
例如,一般硅平面管采用室温电阻率为1·cm左右的原材 料,它是由掺入5×1015cm-3的施主杂质锑而制成的。
3.1.2 状态密度
根据能量E和波矢k之间的函数关系, 由k空间的状态密度,求出导带和价带中的状态密度
导带底E(k)与k的关系
E(k)
=
Ec
+
2k 2 2mn*
3.1.2 状态密度
k空间的状态密度
2V
8π 3
能量E~(E+dE)间的量子态数
dZ
=
2V
8π 3
× 4π k 2dk
可得
(−e)n0 + (+e) p0 = 0
通常称这种关系为电中性条件或电中性方程.
二、本征费米能级
由电子和空穴浓度的表达式和电中性条件,得
NC
exp
⎛ ⎜
−
⎝
EC − EF k0T
⎞ ⎟ ⎠
=
NV
exp
⎛ ⎜
−
⎝
EF − EV k0T
⎞ ⎟ ⎠
两端取对数后,得
Ec
Ei
=
EF
=
1 2
(
EC
+
EV
)+
1 2 k0T
k
=
(2mn*
)1 2(EFra bibliotek−1
Ec ) 2
,
kdk = mn*dE 2
代入可得
dZ
=
V
2π 2
(2mn* )32
3
(E −
1
Ec ) 2 dE
导带底附近状态密度
gc (E)
=
dZ dE
=
V
2π 2
(2mn* )32
3
(E
−
1
Ec ) 2
注意:状态密度与有效质量有关,有效质量大的能带,状态密度也大.
3.1状态密度
状态密度
g(E) = dZ dE
计算步骤
单位能量间隔内的量子态数
计算单位k空间中的量子态数; k空间的状态密度
计算能量间隔所对应的k空间体积;
计算能量间隔内的量子态数;
求得状态密度。
3.1.1 k空间中量子态的分布
对于边长为L的立方晶体
kx = 2πnx/L (nx = 0, ±1, ±2, …) ky = 2πny/L (ny = 0, ±1, ±2, …) kz = 2πnz/L (nz = 0, ±1, ±2, …)
费米分布函数的性质:
⑴随着能量E的增加,每个量子态被电子占据的几率 f (E)
逐渐减小,而空着的几率 (1− f (E))则逐渐增大.即电子优
先占据能量较低的能级.
当E等于EF时,有
f
(EF
)
=1−
f
(EF
)
=
1 2
EF实际上是一个参考能级,低于EF的能级被电子占据的 几率大于空着的几率;高于EF的量子态,被电子占据的几率 则小于空着的几率.
例: 室温时硅的Ei就位于禁带中央之下约为0.01eV的地方. 也有少数半导体,Ei相对于禁带中央的偏离较明显.如锑化铟 m*p mn* ≈ 32 Eg ≈ 0.17eV , 在室温下,本征费米能级移向导带.
三、本征载流子浓度