工厂无尘室培训教材
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无尘室培训教材
屋外
外衣衣柜 内务柜
管理区域
无尘衣衣架 无尘鞋鞋柜
无尘衣更衣室 准洁净区域
川奇光电科技（扬州）有限公司
洁净室
洁净区域
TRANSCEND OPTRONICS（YANGZHOU）CO., LTD
洁净室管理教育训练
4.人员训练与资格考核
4.1 凡需进入无尘室工作人员，无论本公司或公司外部人士，除外宾外(客户、VIP等) 任何人员皆需经洁净室训练或资格考核及格，方可进出无尘室 。 4.2 人员需经资格考核及格后，无尘室管制室方可发放无尘衣 。
18.1 各区无尘衣物清洗每周一次 。 18.2 原则上避免施工人员自备无尘衣物，统一由公司提供 。 18.3 无尘衣物管理单位应将发放给予公司同仁之无尘衣物加以编号管理 。 18.4 无尘衣磨 / 破损严重或修补超过三次应予以丢弃 。
19.稽核改善与奖惩
19.1 品保单位应定期检测无尘室环境状况并依追踪改善情形 。 19.2 制造单位或相关单位应全力配合品保单位之稽核行动，不可刁难或拒绝配合 。
川奇光电科技（扬州）有限公司
TRANSCEND OPTRONICS（YANGZHOU）CO., LTD
洁净室管理教育训练
9.纪律管理
9.1 Class10,000区人员至Class100,000区作业后，若需重回Class10,000区者需经 AIR SHOWER吹送后方可重回Class10,000区；而穿著Class100,000区无尘衣 人员绝对禁止至Class10,000区 。 9.2 不得坐于地板上，并严禁仅贴机台、墙壁、工作桌 。 9.3 面对Cassette或机台时禁止讲话、较大之肢体动作，并严禁快速走动或追逐 (警急警报响时除外)，保持慢速走动 。 9.4 除新人训练、公事交接外，应避免两人以上交谈 。 9.5 Cassette或 Tray 不可置于地面，除Cassette待清洗区外 。 9.6 禁止勾肩搭背、触摸其它人员或两人同坐一张无尘椅 。 9.7 无尘室内绝对禁止拍照录像，如有必要需经厂长同意 。 9.8 除非具合格之人员，否则严禁操作任何机台 。
无尘室工程师培训教材
净室工程师培训教材张利群的洁净室工程师培训教材，写的不错，大家参考:洁净技术基础培训教材张利群二OO六年十月目录一. 空气调节和空气净化的基础知识（一）空气调节的基本概念1. 空气调节及其分类2. 湿空气的焓湿图及其应用⑴ 湿空气的焓湿图⑵ 焓湿图中的名词定义⑶ 焓湿图的应用⑷ 焓湿图应用的举例3. 空调送回风的气流组织（二）空气净化的基础知识1. 洁净室及其四大要素2. 洁净室的应用及其分类3. 洁净室与一般空调的差别4. 工业洁净室与生物洁净室的差别5. 洁净室洁净度的等级标准二．洁净室的建造特点（一）建造的洁净室必须保证生产工艺所要求的各项参数（二）建造的洁净室要具有一定的灵活性（三）建造洁净室需要较大的投资（四）洁净室运行耗电量大运行费用高三．洁净室的竣工验收调试，性能测试和洁净室的综合评价（一）调试前的准备工作（二）单机试车（三）联动调试（四）洁净室的性能测试和综合评价四．洁净室的性能测试（一）洁净室性能测试的目的（二）洁净室性能测试的内容（三）洁净室性能测试的主要仪器和仪表（四）洁净室性能测试的方法五．洁净室维护管理的一问题（一）过滤器的基本知识及其维护管理（二）洁净室的发尘源和洁净室的清埽（三）洁净室的空气品质（四）洁净工作服及其清洗（五）洁净区厕所的设置（六）值班风机的设置（七）吹淋室的设置及吹淋效果（八）洁净室的正压维持（九）洁净室的消毒和灭菌（十）洁净室的颜色处理（十一）洁净室的静电和静电的消除（十二）洁净室的防火和防爆（十三）洁净室的能耗和节能（十四）洁净室的竣工验收调试和在线测试（十五）净化空调系统的家湿问题（十六）净化空调系统的管道保温和防结露问题（十七）净化空调系统的加热问题洁净室工程师培训教材一. 空气调节和空气净化的基础知识（一）空气调节的基本概念1、空气调节及其分类空气调节就是使房间或封闭空间的温度，相对湿度，洁净度，和气流速度等参数均达到给定要求的技术。
也就是说，在人们的生活和工作以及生产和科研的某一个特定的空间内其环境空气的温度，湿度，洁净度，和气流速度等构成了该空间的空气环境。
(完整版)净化车间培训教材
注：顶点公司采用英制定义方式。
四. 洁净室的分类 现有三种级别的洁净室：
1、Class---100（百级） ≥0.5μm: ≤3500 个/m3 ≥5μm: 0 个/m3
2、Class---10K（万级） ≥0.5μm: ≤350 000 个/m3 ≥5μm: ≤ 2000 个/m3
3、Class---100K（十万级） ≥0.5μm: ≤3 500 000 个/m3 ≥5μm: ≤ 20 000 个/m3
八.尘粒的主要来源 （一）
测量 方法
人
环境
物料
机器
尘粒的来源
八.尘粒的主要来源 （二）
人
洁净室一有人员进入，其洁净室就将改变。服装与首饰等的磨擦，会增
加外皮释放的粒子数量。由于人员在工作时，会有更多的活动，所以释放的粒 子数量也相应增加。
人是洁净室最大的污染源，占90%左右。人和环境造成了洁净室的污染， 在洁净室中，人的数量和活动应有特别严格的限制。
五.尘粒的定义
尘粒的状态和大小
尘粒就是能对产品构成危害的足够大的物质颗粒。
1.污染的功能定义： 定义1：·对产品或工艺产生有害影响的任何外来物质或能量。
例如：微粒、离子、振动、电磁辐射、静电荷、分子污染等。 定义2：·所有存在于产品上，会对产品产生直接或间接危害的物质。
·所有存在于产品上，超出产品要求之外的物质。 ·任何客户不允许存在于产品上的物质。 2.尘粒的状态：尘粒不仅是指固体微粒，还包含固态微粒和液态微粒的多分散 溶胶。 3.尘粒的大小：尘粒尺寸一般在0.001~1000цm之间。
一.洁净室之定义
洁净室(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。
「洁净室」是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害 空气、细菌等污染物排除，并将室内温度、洁净度、室内压力、 气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求 范围内，而所给予特别设计的房间。
四. 洁净室的分类 现有三种级别的洁净室：
1、Class---100（百级） ≥0.5μm: ≤3500 个/m3 ≥5μm: 0 个/m3
2、Class---10K（万级） ≥0.5μm: ≤350 000 个/m3 ≥5μm: ≤ 2000 个/m3
3、Class---100K（十万级） ≥0.5μm: ≤3 500 000 个/m3 ≥5μm: ≤ 20 000 个/m3
八.尘粒的主要来源 （一）
测量 方法
人
环境
物料
机器
尘粒的来源
八.尘粒的主要来源 （二）
人
洁净室一有人员进入，其洁净室就将改变。服装与首饰等的磨擦，会增
加外皮释放的粒子数量。由于人员在工作时，会有更多的活动，所以释放的粒 子数量也相应增加。
人是洁净室最大的污染源，占90%左右。人和环境造成了洁净室的污染， 在洁净室中，人的数量和活动应有特别严格的限制。
五.尘粒的定义
尘粒的状态和大小
尘粒就是能对产品构成危害的足够大的物质颗粒。
1.污染的功能定义： 定义1：·对产品或工艺产生有害影响的任何外来物质或能量。
例如：微粒、离子、振动、电磁辐射、静电荷、分子污染等。 定义2：·所有存在于产品上，会对产品产生直接或间接危害的物质。
·所有存在于产品上，超出产品要求之外的物质。 ·任何客户不允许存在于产品上的物质。 2.尘粒的状态：尘粒不仅是指固体微粒，还包含固态微粒和液态微粒的多分散 溶胶。 3.尘粒的大小：尘粒尺寸一般在0.001~1000цm之间。
一.洁净室之定义
洁净室(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。
「洁净室」是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害 空气、细菌等污染物排除，并将室内温度、洁净度、室内压力、 气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求 范围内，而所给予特别设计的房间。
《无尘车间培训教材》课件
详细描述
在电子行业，无尘车间主要用于集成电路、 平板显示器、太阳能电池等产品的生产和制 造；在医药行业，无尘车间主要用于药品生 产、手术室、实验室等场合，以确保生产过 程和实验结果的准确性；在精密机械行业， 无尘车间主要用于高精度零件的加工和制造
，如光学零件、航空航天零件等。
无尘车间的环境要求
总结词
车间布局
根据生产工艺流程和安全、环保 等要求，合理规划车间的布局， 确保人流、物流的顺畅。
设备选型
根据生产需求，选择适合的设备 型号和规格，确保设备的性能和 稳定性。
空气净化系统设计
空气过滤方案
根据车间的空气质量要求，选择合适 的空气过滤器，如HEPA、ULPA等， 确保空气的洁净度。
气流组织
设计合理的气流组织形式，如乱流、 层流等，确保空气的均匀流动和洁净 度。
考核标准与方式
闭卷考试
针对理论知识的测试。
实操评估
在模拟无尘车间环境中，对学员的操作和维护技 能进行评估。
综合评价
结合学员的学习态度、安全意识等进行综合评价 。
培训效果评估与改进
评估方法 通过考核成绩评估学员的学习效果。
通过学员反馈了解培训的优缺点。
培训效果评估与改进
通过实际工作表现评估培训效果。 改进措施
人员与物流管理
人员进出管理
制定严格的人员进出管理制度，控制人员数量和进出频次，减少污染源的进入 。
物流管理
合理规划物流路线，确保物料、半成品、成品的传递过程中减少对空气的污染 。
03
无尘车间的操作与维护
操作规程与注意事项
操作规程
在无尘车间内操作时，需遵循一定的规程，包括进入车间的着装要求、设备操作 步骤、安全操作规程等。
《无尘车间培训教材》课件
• 对空气中的微生物进行 定期检测，及时进行清 洁和消毒。
静电控制
• 生产设备需要装备静电 消散装置，避免静电干 扰对产品质量的影响。
• 减轻操作人员和生产设 备产生静电的条件，避 免静电的累积。
• 及时更换和维护静电消 散装置，确保其运行稳 定和可靠。
结尾：问题答疑
本节将对无尘车间的相关问题进行答疑解惑。如遇到其他问题可咨询工作人员。
《无尘车间培训教材》 PPT课件
本课程将深入介绍无尘车间，为学员带来丰富的知识和实践操作体验。
车间概述
1 车间定义
无尘车间是通过严格的环境控制和人员行为规范，实现对生产过程无尘污染的控制。
2 车间特点
无尘车间具有温度、湿度和洁净度等各项参数高度可控，能够确保生产过程的稳定性和 一致性。
3 车间应用
关键参数控制要点
温度和湿度
• 车间温度和湿度需要保 持在一定范围内，避免 空气中的尘埃和微生物
• 扩减少散生。产工艺中的水分， 减轻湿度对生产的影响。
• 提高对温度和湿度的监 测频率，及时调整环境 参数。
空气洁净度
• 车间需要装备高效的空 气过滤器，减少空气中 的微生物和颗粒物。
• 提高车间内通风系统的 效率，保持新风的流通 和更替。
生产流程图与说明
1
步骤1 - 准备工作
对车间进行清洁消毒，准备生产所需材料和设备。
2
步骤2 - 生产操作
依照生产工艺要求，进行生产操作和参数控制。
3
步骤3 - 产品检测
对生产过程进行抽样检测，确保产品的质量符合要求。
4
步骤4 - 清理整理
对车间进行清理整理，准备下一轮生产工作。
清洁操作规范
操作区域
静电控制
• 生产设备需要装备静电 消散装置，避免静电干 扰对产品质量的影响。
• 减轻操作人员和生产设 备产生静电的条件，避 免静电的累积。
• 及时更换和维护静电消 散装置，确保其运行稳 定和可靠。
结尾：问题答疑
本节将对无尘车间的相关问题进行答疑解惑。如遇到其他问题可咨询工作人员。
《无尘车间培训教材》 PPT课件
本课程将深入介绍无尘车间，为学员带来丰富的知识和实践操作体验。
车间概述
1 车间定义
无尘车间是通过严格的环境控制和人员行为规范，实现对生产过程无尘污染的控制。
2 车间特点
无尘车间具有温度、湿度和洁净度等各项参数高度可控，能够确保生产过程的稳定性和 一致性。
3 车间应用
关键参数控制要点
温度和湿度
• 车间温度和湿度需要保 持在一定范围内，避免 空气中的尘埃和微生物
• 扩减少散生。产工艺中的水分， 减轻湿度对生产的影响。
• 提高对温度和湿度的监 测频率，及时调整环境 参数。
空气洁净度
• 车间需要装备高效的空 气过滤器，减少空气中 的微生物和颗粒物。
• 提高车间内通风系统的 效率，保持新风的流通 和更替。
生产流程图与说明
1
步骤1 - 准备工作
对车间进行清洁消毒，准备生产所需材料和设备。
2
步骤2 - 生产操作
依照生产工艺要求，进行生产操作和参数控制。
3
步骤3 - 产品检测
对生产过程进行抽样检测，确保产品的质量符合要求。
4
步骤4 - 清理整理
对车间进行清理整理，准备下一轮生产工作。
清洁操作规范
操作区域
高等级无尘室培训教材
1.1乱流式 非单方向流方式
空气由空调箱经风管与无尘室内之空气 过滤器进入无尘室，并由无尘室两侧隔 间墙板或高架地板回风。气流非直线型 运动而呈不规则之乱流或涡流状态。 优点：构造简单、系统建造成本低，洁 净室扩充比较容易 缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间 飘浮不易排出，易污染制程产品。另外 若系统停止运转再激活，欲需达到设定 要求之洁净度，往往须耗时相当长一段 时间。
4
一、无尘室基础知识
3.洁净度等级标准
国际标准ISO 14644-1 和 国家标准GB50073-2001 洁净度等级
5
一、无尘室基础知识
美国联邦标准（USA Federal Standard）209E（1992年）
注:1m3=35.2 ft3。 对照国标及美标可以看出，ISO6级与美国的1000级标准相当。随着半导体
14
二、无尘室设计
2.过滤网设计
95%@ ≥ 5 μm 90~95%@ ≥ 1 μm 99.99%@ ≥ 0.5 μm 99.999%@ 0.1~0.3 μm
无尘室洁净度之维持和控制，除了前期硬件设备投资外也需要良好的软件——管 理制度来搭配，方能维持良好的洁净度。由上图测试结果来看，作业人员对无尘 室内洁净度影响最大，作业人员进度无尘室时尘埃有显著增加，有人员来回走动 等动作时洁净度马上劣化，可见洁净度劣化的主要原因为人为因素
9
二、无尘室设计
1.无尘室之分类(按形式)
行业从µm量级向nm量级发展的过程中，洁净室等级要求也会越来越高。但目前 半导体行业中普遍采用的均为千级（6级）或万级（7级），只有局部区域的高 自动化作业才要求百级（5级）甚至更高。
6
一、无尘室基础知识
4.微粒粒径的感性认知 一般微粒粒径对比 0.3μm 微尘粒径
6S无尘室_培训教材
2
物品的分类处理
利用度
不用
使用频率
过去一年未使用过的物品
处理方法
丢弃
低
过去一年中﹐只用过几次的物品 过去一个月中﹐只使用几次的物品 一周使用一次的物品 每天都要使用的物品 每小時都要使用在物品
公司仓库 车间仓库
中
高
工位附近 随身携带
3
2S—整顿
定義：制定各項規章制度,使現場物品進行科學 的佈置和擺放.以便用最快的速度取得所需要的物品. 目的：提高工作效率和產品質量,保障生產安全.
不合格品区域等
2.人行走道 3.开门的范围﹐安全出口標識
Blue
固定位置的物品
4.危险区域
5.-----6
3S—清扫
定义：清除现场内的脏污，制定明确合理的清除周 期与责任者，防止污染的发生。 目的：消除“脏污”，保持现场干干净净、明明亮 亮。 从根本上消灭污垢发生源
• • • •
三掃的要點: 清扫：口诀﹕三扫 1.自己使用的物品:如設備工具. 1.扫黑：垃圾源污染源 2.設備的維護和保養. 2.扫漏：漏水漏電漏氣等 3.在清掃過程中發現設備有不正 常現象,立即處理,避免安全事 3.扫怪：不正常的現象
定義：制定并明确要与不要的人﹑事﹑物标准，区 分要與不要的人﹑事﹑物，在將要與不要的人﹑事﹑ 物加以處理.這是改善生產現場的第一步. 目的：将“空间”腾出来活用，该丢的决不手软. 找出現場不需要的物品 • 例如:用剩的材料﹑多余的半成品﹑切下的料頭 • 垃圾﹑廢品﹑多余的工具﹑報廢的設備 • 工人的個人生活用品等 整理的關鍵﹕堅決把现場不需要的東西清理掉
18
二. 无尘室人员作业规定
服 装：
1). 应按规定整齐穿着无尘衣。 2). 应按规定整齐脱无尘衣。 3). 服装应按规定日期换洗。 4). 服装有破裂、脱线时应立即更新。
物品的分类处理
利用度
不用
使用频率
过去一年未使用过的物品
处理方法
丢弃
低
过去一年中﹐只用过几次的物品 过去一个月中﹐只使用几次的物品 一周使用一次的物品 每天都要使用的物品 每小時都要使用在物品
公司仓库 车间仓库
中
高
工位附近 随身携带
3
2S—整顿
定義：制定各項規章制度,使現場物品進行科學 的佈置和擺放.以便用最快的速度取得所需要的物品. 目的：提高工作效率和產品質量,保障生產安全.
不合格品区域等
2.人行走道 3.开门的范围﹐安全出口標識
Blue
固定位置的物品
4.危险区域
5.-----6
3S—清扫
定义：清除现场内的脏污，制定明确合理的清除周 期与责任者，防止污染的发生。 目的：消除“脏污”，保持现场干干净净、明明亮 亮。 从根本上消灭污垢发生源
• • • •
三掃的要點: 清扫：口诀﹕三扫 1.自己使用的物品:如設備工具. 1.扫黑：垃圾源污染源 2.設備的維護和保養. 2.扫漏：漏水漏電漏氣等 3.在清掃過程中發現設備有不正 常現象,立即處理,避免安全事 3.扫怪：不正常的現象
定義：制定并明确要与不要的人﹑事﹑物标准，区 分要與不要的人﹑事﹑物，在將要與不要的人﹑事﹑ 物加以處理.這是改善生產現場的第一步. 目的：将“空间”腾出来活用，该丢的决不手软. 找出現場不需要的物品 • 例如:用剩的材料﹑多余的半成品﹑切下的料頭 • 垃圾﹑廢品﹑多余的工具﹑報廢的設備 • 工人的個人生活用品等 整理的關鍵﹕堅決把现場不需要的東西清理掉
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二. 无尘室人员作业规定
服 装：
1). 应按规定整齐穿着无尘衣。 2). 应按规定整齐脱无尘衣。 3). 服装应按规定日期换洗。 4). 服装有破裂、脱线时应立即更新。
无尘车间培训教材
优点：构造简朴，运转后短时间内即可到达要 求，稳定运转。
缺陷：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩 充。 (2)垂直层流式：空气由上往下吹，可得较高之 洁净度，在制程中或工作人员所产生旳尘埃可 迅速排出室外而不会影响其他工作区域。
优点：管理轻易，运转开始短时间内即可达稳 定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。
9
合用洁净等级 1,000-100,000级
乱流式经典构造形式
10
2.层流式
FFU
垂直单方向流方式
层流式空气气流运动成一均匀直线形，空气过 滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回 风，此型式合用于洁净室等级需求较高之环境 使用，一般其洁净室等级为Class 1~100。其 型式可分为二种： (1)水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹 出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向 排出室外，一般在下流侧污染较严重。
➢ 另外、在下列任何一种情况下，应更换高效空气过滤器: 1 气流速度降到最低程度。虽然更换初效、中效空气过滤器后， 气流速度仍不能增大。 2 高效空气过滤器旳阻力到达初阻力旳1.5～2 倍。 3 高效空气过滤器出现无法修补旳渗漏。
19
温湿度控制
初預 级冷 滤盘 网管
預 热 盘 管
加 湿 器
截 水 器
❖ 超高效空气过滤器 ：在额定风量下，对粒径0.1～0.2μm 粒子旳捕集效率在 99.999%以上及气流阻力在280Pa 下列旳空气过滤器。
4
洁净度等级原则
国家原则GB50073-2001
式中 ：Cn—不小于或等于要求粒径旳粒子最大允许浓度(pc/m3)。
Cn 是以四舍五入至相近旳整数，有效位数不超出三位数。
1、不同等级旳洁净室以及洁净区与非洁净区之间旳压差，应不不大 于5Pa；
缺陷：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩 充。 (2)垂直层流式：空气由上往下吹，可得较高之 洁净度，在制程中或工作人员所产生旳尘埃可 迅速排出室外而不会影响其他工作区域。
优点：管理轻易，运转开始短时间内即可达稳 定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。
9
合用洁净等级 1,000-100,000级
乱流式经典构造形式
10
2.层流式
FFU
垂直单方向流方式
层流式空气气流运动成一均匀直线形，空气过 滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回 风，此型式合用于洁净室等级需求较高之环境 使用，一般其洁净室等级为Class 1~100。其 型式可分为二种： (1)水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹 出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向 排出室外，一般在下流侧污染较严重。
➢ 另外、在下列任何一种情况下，应更换高效空气过滤器: 1 气流速度降到最低程度。虽然更换初效、中效空气过滤器后， 气流速度仍不能增大。 2 高效空气过滤器旳阻力到达初阻力旳1.5～2 倍。 3 高效空气过滤器出现无法修补旳渗漏。
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温湿度控制
初預 级冷 滤盘 网管
預 热 盘 管
加 湿 器
截 水 器
❖ 超高效空气过滤器 ：在额定风量下，对粒径0.1～0.2μm 粒子旳捕集效率在 99.999%以上及气流阻力在280Pa 下列旳空气过滤器。
4
洁净度等级原则
国家原则GB50073-2001
式中 ：Cn—不小于或等于要求粒径旳粒子最大允许浓度(pc/m3)。
Cn 是以四舍五入至相近旳整数，有效位数不超出三位数。
1、不同等级旳洁净室以及洁净区与非洁净区之间旳压差，应不不大 于5Pa；
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ppt课件
Fan Filter Unit
制造区
(3,000+37) /3,500 = 0.87个 / ft3符合
机台 人员 建筑
滞留系数0.1
发尘30,000个/s 3,000个/s未带走
D 27,000个/s 被气流带走
C
Air Flow
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无尘室控制—人员的进出管控
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无尘室控制—温湿度的控制
振动值
3
ppt课件
无尘室的定义
无尘室(Clean Room)： 指将一定空间范围内的空气中的微粒子、有害空气、细菌等
之污染物排除；
并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、
噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予
特别设计之房间。 亦即是不论外在的空气条件如何变化，其室内均能俱有
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无尘室控制--微尘粒子的排除
洁净度控制举例
(符合CLASS 1 @ 0.3ΜM范例)
外气空调箱
假设换气量每秒3,500ft3
HEPA去除效 率99.99%每秒 约通过36.1个
334,250+27,000 = 361,250个/s
来自空调箱供应 955个/ft3x350ft3/s
=334,250个/s
• 滤除大气中0.3μm以下之微粒子 • 过滤效率99.97% 以上DOP(即穿透率小于万分之三)
2. ULPA—Ultra Law Penetration Air Filter
• 滤除大气中0.1μm以下之微粒子 • 过滤效率99.999%以上DOP(即穿透率小于十万分之一)
Note :传统滤材为玻璃纤维材,随晶圆线径越細, 滤材逐渐为PTFE
ppt课件
8
无尘室控制--微尘粒子的排除
空调箱内空气过滤网种类
1. 预滤网(Pre-filter)
• 滤除大气中1μm以上之粗粒子 • 过滤效率70~90% ASHRAE
ARRESTANCE • 用来延长中级过滤网之效率
2. 中级过滤网(Middle filter)
• 滤除大气中1μm以下之粗粒子 • 过滤效率35~95 % Dust Spot • 用来延长最终过滤网之效率
经预冷盘管后冷却 为16.6oC RH 100%
初预 级冷 滤盘 网管
预加 热湿 盘器 管
假设送风量10m3/sec
经加热盘管后 改变 湿度11.2oC RH 90%
截冷 水却 器盘
管
加 送 初中 Ｈ 逆 热 风 级级 Ｅ 止 盘 机 滤滤 Ｐ 风 管 组 网网 Ａ 门
无 尘 室
夏天外气条件
DB 35oC，RH 80% (气象统计1%)
3.不堆积 A. LAYOUT无死角 B. 设备四周留空间 C. 定期保养与清扫
ppt课件
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无尘室控制--微尘粒子的排除
污染物大小与对比
0.5um粒径
人类头发直径-100um
肉眼可视粒径-5um
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ppt课件
无尘室控制--微尘粒子的排除
1. 减少粒尘进入无尘室 • 去除外器引入之尘粒 • 控制正压 • 设置Air Shower • 设置Pass Box 2. 去除无尘室内之尘粒 • 冲淡法:以洁净空气冲淡无尘室内尘粒 • 置换法:以洁净空气置换无尘室内之尘粒
Fan Filter Unit
设定温度20.5oC
空调箱供应 11.2oC 90% 10 m3/s
冷盘管容量= 1.17x90x(22.95-20.5) -1.17x10x(20.5-11.2) = 257.99 - 108.81 = 149.18→选160 KJ/s
经冷却盘管后除湿 为9.5oC RH 100%
外气空调箱控制 温度、湿度
无尘室运转条件
22±2oC，RH 45±5% (依产品制造要求)
ppt课件
15
无尘室控制—温湿度的控制
(符合22±2OC相对湿度45±5%范例)
外气空调箱
假设每秒换气量100m3(比容1.17)
机台 人员 建筑
4F发热量：180 KJ/秒 3F发热量：100 KJ/秒
无尘室培训教材
ppt课件
1
无尘室的起源与发展
十九世纪初期，各种细菌被相继发现，为防止病房、手术室中细菌 传播，无菌室成为最有效的对策，这便是现代无尘室的前身。
飞机所使用的小轴承及齿轮若至于粉末，灰尘多的环境中制造，不 但故障频发而且容易引发严重事故，这个事实在二战前就已经被了解。
二战时，美国将零件置于空气浮尘较少处进行加工组合，装备的可 靠性得到极大的提升。
初预 级冷 滤盘 网管
预加 热湿 盘器 管
截冷 水却 器盘
管
加 送 初中 Ｈ 逆 热 风 级级 Ｅ 止 盘 机 滤滤 Ｐ 风 管 组 网网 Ａ 门
无 尘 室
每立方呎屋外空气 尘粒(≧0.3μm)数量 大约7,143,000个
ppt课件
外气空调箱
假设送风量350ft3/sec
经最终滤网去除
数量99.97%通过 955个/ft3进无尘室
3. 最终过滤网(Final filter)
• 滤除大气中0.5μm以下之微粒子 • 过滤效率99.97% 以上DOP • 可分----HEPA及ULPA
ppt课件
9
无尘室控制--微尘粒子的排除
天花板上最终空气过滤网种类
1. HEPA—High Efficiency Particulate Air Filter
维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
ppt课件
4
洁净等级分类
ppt课件
5
维持洁净度的基本准则
1.不带入 A. 适当压差 B. MAU过滤器 C. AIR SHOWER
2.不发尘 A. 用人少,动作轻 B. 人员穿着无尘衣 C. 使用CR专用器具
4.速排除 A. 污染源直接排除 B. 换气次数要足够 C. 适当的回风术气流速
与此同时，美国的曼哈顿计划中，为除去放射性微粒，制造了超高 性能过滤器(HEPA FILTER)，对日后洁净技术的开发影响极大。
1967年，美国进行阿波罗计划时，为防止细菌在大气层和外太空 传播，制定了无尘室的相关规格。
ppt课件
2
无尘室的控制要素
静电
湿度
噪音
照度
微尘
气流
温度
粒子
型态
电磁波
压力 气体分子
ppt课件
10
无尘室控制--微尘粒子的排除
外气空调箱
Fan Filter Unit
D C
ppt课件
Tools
Tools
Humidifier
D
经初级滤网去除数量
1%(重量去除85%) 通过7,072,000个/ft3
洁净度控制举例
经 中级滤网
去除数量55%通 过3,182,400个/ft3
Fan Filter Unit
制造区
(3,000+37) /3,500 = 0.87个 / ft3符合
机台 人员 建筑
滞留系数0.1
发尘30,000个/s 3,000个/s未带走
D 27,000个/s 被气流带走
C
Air Flow
13
无尘室控制—人员的进出管控
ppt课件
14
无尘室控制—温湿度的控制
振动值
3
ppt课件
无尘室的定义
无尘室(Clean Room)： 指将一定空间范围内的空气中的微粒子、有害空气、细菌等
之污染物排除；
并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、
噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予
特别设计之房间。 亦即是不论外在的空气条件如何变化，其室内均能俱有
12
无尘室控制--微尘粒子的排除
洁净度控制举例
(符合CLASS 1 @ 0.3ΜM范例)
外气空调箱
假设换气量每秒3,500ft3
HEPA去除效 率99.99%每秒 约通过36.1个
334,250+27,000 = 361,250个/s
来自空调箱供应 955个/ft3x350ft3/s
=334,250个/s
• 滤除大气中0.3μm以下之微粒子 • 过滤效率99.97% 以上DOP(即穿透率小于万分之三)
2. ULPA—Ultra Law Penetration Air Filter
• 滤除大气中0.1μm以下之微粒子 • 过滤效率99.999%以上DOP(即穿透率小于十万分之一)
Note :传统滤材为玻璃纤维材,随晶圆线径越細, 滤材逐渐为PTFE
ppt课件
8
无尘室控制--微尘粒子的排除
空调箱内空气过滤网种类
1. 预滤网(Pre-filter)
• 滤除大气中1μm以上之粗粒子 • 过滤效率70~90% ASHRAE
ARRESTANCE • 用来延长中级过滤网之效率
2. 中级过滤网(Middle filter)
• 滤除大气中1μm以下之粗粒子 • 过滤效率35~95 % Dust Spot • 用来延长最终过滤网之效率
经预冷盘管后冷却 为16.6oC RH 100%
初预 级冷 滤盘 网管
预加 热湿 盘器 管
假设送风量10m3/sec
经加热盘管后 改变 湿度11.2oC RH 90%
截冷 水却 器盘
管
加 送 初中 Ｈ 逆 热 风 级级 Ｅ 止 盘 机 滤滤 Ｐ 风 管 组 网网 Ａ 门
无 尘 室
夏天外气条件
DB 35oC，RH 80% (气象统计1%)
3.不堆积 A. LAYOUT无死角 B. 设备四周留空间 C. 定期保养与清扫
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6
无尘室控制--微尘粒子的排除
污染物大小与对比
0.5um粒径
人类头发直径-100um
肉眼可视粒径-5um
7
ppt课件
无尘室控制--微尘粒子的排除
1. 减少粒尘进入无尘室 • 去除外器引入之尘粒 • 控制正压 • 设置Air Shower • 设置Pass Box 2. 去除无尘室内之尘粒 • 冲淡法:以洁净空气冲淡无尘室内尘粒 • 置换法:以洁净空气置换无尘室内之尘粒
Fan Filter Unit
设定温度20.5oC
空调箱供应 11.2oC 90% 10 m3/s
冷盘管容量= 1.17x90x(22.95-20.5) -1.17x10x(20.5-11.2) = 257.99 - 108.81 = 149.18→选160 KJ/s
经冷却盘管后除湿 为9.5oC RH 100%
外气空调箱控制 温度、湿度
无尘室运转条件
22±2oC，RH 45±5% (依产品制造要求)
ppt课件
15
无尘室控制—温湿度的控制
(符合22±2OC相对湿度45±5%范例)
外气空调箱
假设每秒换气量100m3(比容1.17)
机台 人员 建筑
4F发热量：180 KJ/秒 3F发热量：100 KJ/秒
无尘室培训教材
ppt课件
1
无尘室的起源与发展
十九世纪初期，各种细菌被相继发现，为防止病房、手术室中细菌 传播，无菌室成为最有效的对策，这便是现代无尘室的前身。
飞机所使用的小轴承及齿轮若至于粉末，灰尘多的环境中制造，不 但故障频发而且容易引发严重事故，这个事实在二战前就已经被了解。
二战时，美国将零件置于空气浮尘较少处进行加工组合，装备的可 靠性得到极大的提升。
初预 级冷 滤盘 网管
预加 热湿 盘器 管
截冷 水却 器盘
管
加 送 初中 Ｈ 逆 热 风 级级 Ｅ 止 盘 机 滤滤 Ｐ 风 管 组 网网 Ａ 门
无 尘 室
每立方呎屋外空气 尘粒(≧0.3μm)数量 大约7,143,000个
ppt课件
外气空调箱
假设送风量350ft3/sec
经最终滤网去除
数量99.97%通过 955个/ft3进无尘室
3. 最终过滤网(Final filter)
• 滤除大气中0.5μm以下之微粒子 • 过滤效率99.97% 以上DOP • 可分----HEPA及ULPA
ppt课件
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无尘室控制--微尘粒子的排除
天花板上最终空气过滤网种类
1. HEPA—High Efficiency Particulate Air Filter
维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
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4
洁净等级分类
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5
维持洁净度的基本准则
1.不带入 A. 适当压差 B. MAU过滤器 C. AIR SHOWER
2.不发尘 A. 用人少,动作轻 B. 人员穿着无尘衣 C. 使用CR专用器具
4.速排除 A. 污染源直接排除 B. 换气次数要足够 C. 适当的回风术气流速
与此同时，美国的曼哈顿计划中，为除去放射性微粒，制造了超高 性能过滤器(HEPA FILTER)，对日后洁净技术的开发影响极大。
1967年，美国进行阿波罗计划时，为防止细菌在大气层和外太空 传播，制定了无尘室的相关规格。
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无尘室的控制要素
静电
湿度
噪音
照度
微尘
气流
温度
粒子
型态
电磁波
压力 气体分子
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10
无尘室控制--微尘粒子的排除
外气空调箱
Fan Filter Unit
D C
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Tools
Tools
Humidifier
D
经初级滤网去除数量
1%(重量去除85%) 通过7,072,000个/ft3
洁净度控制举例
经 中级滤网
去除数量55%通 过3,182,400个/ft3