无尘车间培训教材
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6S无尘室_培训教材
定義：制定并明确要与不要的人﹑事﹑物标准，区 分要與不要的人﹑事﹑物，在將要與不要的人﹑事﹑ 物加以處理.這是改善生產現場的第一步. 目的：将“空间”腾出来活用，该丢的决不手软. 找出現場不需要的物品 • 例如:用剩的材料﹑多余的半成品﹑切下的料頭 • 垃圾﹑廢品﹑多余的工具﹑報廢的設備 • 工人的個人生活用品等 整理的關鍵﹕堅決把现場不需要的東西清理掉
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第二章：无尘室管理及要求
14
•第一节.什么是无尘室
•无尘室是一间能够控制微尘粒子浓度的房间, 并且是采用将引进及产生的污染微粒子数降 到最低的原则来建造及使用。
•(1)稀释及移除房间内部发尘物。 •(2)房间内部加压并确保没有脏的气流进入到无尘室。 •(3)无尘室需使用不会发尘且容易清洁的材料. •(4)无尘室内的工作人员需要穿着无尘衣服.
如 何 实 施 4S
不恢复脏乱 不制造脏乱
不扩散脏乱
◆清洗次日要用的换洗品. ◆整理工作台面,将材料、工具、文件等放回规定位置. ◆理顺电话线,关闭电源、气源、水源. ◆清倒工作垃圾. ◆对齐工作台椅,并抹干净,人离开之前把椅子归位.
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工厂5S评分 办公室5S评分
9
5S—素养
• 定义：人人依规定行事，养成良好的习惯。 • 目的：提升“人的品质”，养成对任何工作都讲究认真 的习惯。
第一章：6S推行及要求 • 第一节：何谓6S
其中整理（SEIRI）、整顿（SEITON）、 清扫（SEISO）、清洁（SETKETSU）、素 养（SHITSUKE）五个项目，因日语的罗马 拼音均以“S”开头，简称为5S，再加上安全 （SAFETY）这个因素，统称为6S。
1
第二节：各6S的定义 1S-整理
不合格品区域等
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第二章：无尘室管理及要求
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•第一节.什么是无尘室
•无尘室是一间能够控制微尘粒子浓度的房间, 并且是采用将引进及产生的污染微粒子数降 到最低的原则来建造及使用。
•(1)稀释及移除房间内部发尘物。 •(2)房间内部加压并确保没有脏的气流进入到无尘室。 •(3)无尘室需使用不会发尘且容易清洁的材料. •(4)无尘室内的工作人员需要穿着无尘衣服.
如 何 实 施 4S
不恢复脏乱 不制造脏乱
不扩散脏乱
◆清洗次日要用的换洗品. ◆整理工作台面,将材料、工具、文件等放回规定位置. ◆理顺电话线,关闭电源、气源、水源. ◆清倒工作垃圾. ◆对齐工作台椅,并抹干净,人离开之前把椅子归位.
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工厂5S评分 办公室5S评分
9
5S—素养
• 定义：人人依规定行事，养成良好的习惯。 • 目的：提升“人的品质”，养成对任何工作都讲究认真 的习惯。
第一章：6S推行及要求 • 第一节：何谓6S
其中整理（SEIRI）、整顿（SEITON）、 清扫（SEISO）、清洁（SETKETSU）、素 养（SHITSUKE）五个项目，因日语的罗马 拼音均以“S”开头，简称为5S，再加上安全 （SAFETY）这个因素，统称为6S。
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第二节：各6S的定义 1S-整理
不合格品区域等
无尘车间管理工作培训培训材料
典型问题解决案例分析
问题案例一
设备故障导致生产中断。在无尘车间管理中，设备故障是常见的问题之一。针对这一问题，可以通过制定设备故障应 急预案，提前预测和预防设备故障的发生，同时建立快速响应机制，及时处理设备故障，减少对生产的影响。
问题案例二
人员操作不规范导致洁净度超标。在无尘车间中，人员的操作规范对环境洁净度的影响非常大。针对这一问题，可以 加强人员培训和管理，提高人员的操作技能和环保意识，确保人员操作的规范性和准确性，从而保证车间的洁净度。
趋势二
绿色环保。随着环保意识的不断提高，无尘车间将更加注 重绿色环保。通过采用环保材料、节能技术和绿色生产工 艺等手段，可以实现无尘车间的环保生产和可持续发展， 降低对环境的影响和资源消耗。
趋势三
多功能化应用。无尘车间不仅应用于电子行业，还将逐渐 拓展到其他领域，如生物医药、食品加工、航空航天等。 随着应用领域的不断拓展，无尘车间将呈现出多功能化的 发展趋势，满足不同领域的需求和特点。
气流组织
合理设计车间内的气流组 织，避免灰尘和污染物积 聚，保证空气洁净度的稳 定性。
人员与物料进出管理
人员进出管理
制定严格的人员进出管理制度，限制人员进入无尘车间，进入人员需穿戴洁净服 并经过风淋等净化处理。
物料进出管理
对进入车间的物料进行清洁和净化处理，确保其不携带尘埃和污染物，同时对不 合格或损坏的物料进行控制和标识。
安全事故风险防范不足
• 总结词：安全事故风险防范不足是无尘车间管理中需要重视 的问题，因为安全事故可能对人员和企业造成重大损失。
安全事故风险防范不足
详细描述
无尘车间内部存在安全隐患，如电线裸露、地面 湿滑等。 安全管理制度执行不力，员工安全意识淡薄。
无尘车间管理工作培训培训材料
故障诊断及排除方法
空气净化系统故障诊断与排除
恒温恒湿设备故障诊断与排除
针对空气净化系统可能出现的故障，如送 风量不足、过滤器堵塞等，提供相应的诊 断方法和排除措施。
分析恒温恒湿设备常见故障，如温度波动 大、湿度控制不精确等，给出相应的解决 方案。
洁净工作台故障诊断与排除
静电消除设备故障诊断与排除
针对洁净工作台可能出现的故障，如气流 不均匀、台面震动等，提供诊断方法和维 修建议。
培训效果评估方法
制定明确的培训效果评估标准 采用问卷调查、考试等多种方式进行评估
对评估结果进行分析和总结，提出改进建议
考核评价机制建立
建立全面的考核评价体系，包括 理论考试、实操考核和日常表现
等多个方面
明确考核标准和要求，确保公平 公正
将考核结果与员工绩效挂钩，激 励员工积极参与培训和学习
THANKS FOR WATCHING
04
对事故处理结果进行跟 踪和评估，确保处理措 施的有效性。
06 人员培训与考核评价机制 构建
培训需求分析
分析无尘车间管理工作所需的知识、技能和态度 评估员工现有水平与所需水平的差距
确定培训目标和内容
培训课程设计思路
以实践为导向，注重理论与实 践相结合
采用案例分析、角色扮演等互 动式教学方法
强调无尘车间管理的重要性和 规范操作
包括高效过滤器、送风 口、回风口等，用于控 制车间内空气洁净度。
恒温恒湿设备
洁净工作台
静电消除设备
如空调机组、加湿器、 除湿机等，用于维持车
间内温湿度稳定。
提供局部高洁净度工作 环境，适用于精密操作。
如离子风机、静电棒等， 用于消除车间内静电，防 止对电子产品造成损害。
无尘车间培训教材
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美国联邦标准（USA Federal Standard）209E（1992年）
1m3=35.3ft3。 对照我国标准及美国标准可以看出，我国的3级标准与美国的1级标 准相当。从而可以看出随着半导体行业从um量级向nm量级发展的过程 中，洁净室等级要求也越来越高。 但目前半导体行业中普遍采用的均为千级（6级）或万级（7级）， 只有局部区域的高自动化作业才要求百级（5级）甚至更高。
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非单方向流方式
适用洁净等级 1,000-100,000级
乱流式典型结构形式
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2.层流式
层流式空气气流运动成一均匀直线形，空气过 滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回 风，此型式适用于洁净室等级需求较高之环境 使用，一般其洁净室等级为Class 1~100。其 型式可分为二种： (1)水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹 出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向 排出室外，一般在下流侧污染较严重。 优点：构造简单，运转后短时间内即可达到要 求，稳定运转。 缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩 充。 (2)垂直层流式：空气由上往下吹，可得较高之 洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可 快速排出室外而不会影响其它工作区域。 优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳 定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。 缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天 花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻 烦。
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人的污染—发菌量：
1、人员产生的污染： （1）皮肤：人类通常每四天完成一次皮肤的完全脱换，人类每分钟脱落约1000片 皮肤（平均大小为30*60*3微米） （2）头发：人类的头发（直径约为50~100微米）一直在脱落。 （3）口水：包括钠、酶、盐、钾、氯化物及食品微粒。 （4）日常衣物：微粒、纤维、硅土、纤维素、各种化学品和细菌。 （5）人类静止和坐立每分钟将产生10000个大于0.3微米的微粒。 （6）人类在头部和躯干做动作时每分钟将产生1000000个大于0.3微米的微粒。 （7）人类以0.9m/s的速度行走时每分钟将产生5000000个大于0.3微米的微粒。 2、分析国外试验资料显示： （1） 无尘室内当工作人员穿无菌服时： 静止时的发菌量一般为10~300个/min.人 躯体一般活动时的发菌量为 150~1000个/min.人 快步行走时的发菌量为 900~2500个/min.人 （2） 咳嗽一次一般为 70~700个/ min.人 （3） 喷嚏一次一般为 4000~62000个/ min.人 （4） 穿平常衣服时发菌量 3300~62000个/ min.人 （5） 无口罩发菌量:有口罩发菌量 1:7~1:14 所以，洁净间的管理，关键是人员的管理，只有每位员工严格遵守洁净间管理规 定，才能真正发挥洁净间的作用，从而有效保证产线的正常运行，减少产品的人为不 良率，降低成本，提高企业产品的竞争能力。 25
(完整版)净化车间培训教材
注：顶点公司采用英制定义方式。
四. 洁净室的分类 现有三种级别的洁净室：
1、Class---100（百级） ≥0.5μm: ≤3500 个/m3 ≥5μm: 0 个/m3
2、Class---10K（万级） ≥0.5μm: ≤350 000 个/m3 ≥5μm: ≤ 2000 个/m3
3、Class---100K（十万级） ≥0.5μm: ≤3 500 000 个/m3 ≥5μm: ≤ 20 000 个/m3
八.尘粒的主要来源 （一）
测量 方法
人
环境
物料
机器
尘粒的来源
八.尘粒的主要来源 （二）
人
洁净室一有人员进入，其洁净室就将改变。服装与首饰等的磨擦，会增
加外皮释放的粒子数量。由于人员在工作时，会有更多的活动，所以释放的粒 子数量也相应增加。
人是洁净室最大的污染源，占90%左右。人和环境造成了洁净室的污染， 在洁净室中，人的数量和活动应有特别严格的限制。
五.尘粒的定义
尘粒的状态和大小
尘粒就是能对产品构成危害的足够大的物质颗粒。
1.污染的功能定义： 定义1：·对产品或工艺产生有害影响的任何外来物质或能量。
例如：微粒、离子、振动、电磁辐射、静电荷、分子污染等。 定义2：·所有存在于产品上，会对产品产生直接或间接危害的物质。
·所有存在于产品上，超出产品要求之外的物质。 ·任何客户不允许存在于产品上的物质。 2.尘粒的状态：尘粒不仅是指固体微粒，还包含固态微粒和液态微粒的多分散 溶胶。 3.尘粒的大小：尘粒尺寸一般在0.001~1000цm之间。
一.洁净室之定义
洁净室(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。
「洁净室」是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害 空气、细菌等污染物排除，并将室内温度、洁净度、室内压力、 气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求 范围内，而所给予特别设计的房间。
四. 洁净室的分类 现有三种级别的洁净室：
1、Class---100（百级） ≥0.5μm: ≤3500 个/m3 ≥5μm: 0 个/m3
2、Class---10K（万级） ≥0.5μm: ≤350 000 个/m3 ≥5μm: ≤ 2000 个/m3
3、Class---100K（十万级） ≥0.5μm: ≤3 500 000 个/m3 ≥5μm: ≤ 20 000 个/m3
八.尘粒的主要来源 （一）
测量 方法
人
环境
物料
机器
尘粒的来源
八.尘粒的主要来源 （二）
人
洁净室一有人员进入，其洁净室就将改变。服装与首饰等的磨擦，会增
加外皮释放的粒子数量。由于人员在工作时，会有更多的活动，所以释放的粒 子数量也相应增加。
人是洁净室最大的污染源，占90%左右。人和环境造成了洁净室的污染， 在洁净室中，人的数量和活动应有特别严格的限制。
五.尘粒的定义
尘粒的状态和大小
尘粒就是能对产品构成危害的足够大的物质颗粒。
1.污染的功能定义： 定义1：·对产品或工艺产生有害影响的任何外来物质或能量。
例如：微粒、离子、振动、电磁辐射、静电荷、分子污染等。 定义2：·所有存在于产品上，会对产品产生直接或间接危害的物质。
·所有存在于产品上，超出产品要求之外的物质。 ·任何客户不允许存在于产品上的物质。 2.尘粒的状态：尘粒不仅是指固体微粒，还包含固态微粒和液态微粒的多分散 溶胶。 3.尘粒的大小：尘粒尺寸一般在0.001~1000цm之间。
一.洁净室之定义
洁净室(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。
「洁净室」是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害 空气、细菌等污染物排除，并将室内温度、洁净度、室内压力、 气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求 范围内，而所给予特别设计的房间。
《无尘车间培训教材》课件
详细描述
在电子行业，无尘车间主要用于集成电路、 平板显示器、太阳能电池等产品的生产和制 造；在医药行业，无尘车间主要用于药品生 产、手术室、实验室等场合，以确保生产过 程和实验结果的准确性；在精密机械行业， 无尘车间主要用于高精度零件的加工和制造
，如光学零件、航空航天零件等。
无尘车间的环境要求
总结词
车间布局
根据生产工艺流程和安全、环保 等要求，合理规划车间的布局， 确保人流、物流的顺畅。
设备选型
根据生产需求，选择适合的设备 型号和规格，确保设备的性能和 稳定性。
空气净化系统设计
空气过滤方案
根据车间的空气质量要求，选择合适 的空气过滤器，如HEPA、ULPA等， 确保空气的洁净度。
气流组织
设计合理的气流组织形式，如乱流、 层流等，确保空气的均匀流动和洁净 度。
考核标准与方式
闭卷考试
针对理论知识的测试。
实操评估
在模拟无尘车间环境中，对学员的操作和维护技 能进行评估。
综合评价
结合学员的学习态度、安全意识等进行综合评价 。
培训效果评估与改进
评估方法 通过考核成绩评估学员的学习效果。
通过学员反馈了解培训的优缺点。
培训效果评估与改进
通过实际工作表现评估培训效果。 改进措施
人员与物流管理
人员进出管理
制定严格的人员进出管理制度，控制人员数量和进出频次，减少污染源的进入 。
物流管理
合理规划物流路线，确保物料、半成品、成品的传递过程中减少对空气的污染 。
03
无尘车间的操作与维护
操作规程与注意事项
操作规程
在无尘车间内操作时，需遵循一定的规程，包括进入车间的着装要求、设备操作 步骤、安全操作规程等。
无尘车间培训教材共31页
谢谢
11、越是没有本领的就越加自命不凡。——邓拓 12、越是无能的人，越喜欢挑剔别人的错儿。——爱尔兰 13、知人者智，自知者明。胜人者有力，自胜者强。——老子 14、意志坚强的人能把世界放在手中像泥块一样任意揉捏。——歌德 15、最具挑战性的挑战莫过于提升自我。——迈克尔·F·斯特利
无尘车间培训教材
1、战鼓一响，法律无声。——英国 2、任何法律的根本；不，不成文法本 身就是 讲道理 ……法 律，也 ----即 明示道 理。— —爱·科 克
3、法律是最保险的头盔。——爱·科 克 4、一个国家如果纲纪不正，其国风一 定颓败 。—— 塞内加 5、法律不能使人人平等，但是在法律 面前人 人是平 等的。 ——波 洛克
ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ
高等级无尘室培训教材
1.1乱流式 非单方向流方式
空气由空调箱经风管与无尘室内之空气 过滤器进入无尘室，并由无尘室两侧隔 间墙板或高架地板回风。气流非直线型 运动而呈不规则之乱流或涡流状态。 优点：构造简单、系统建造成本低，洁 净室扩充比较容易 缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间 飘浮不易排出，易污染制程产品。另外 若系统停止运转再激活，欲需达到设定 要求之洁净度，往往须耗时相当长一段 时间。
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一、无尘室基础知识
3.洁净度等级标准
国际标准ISO 14644-1 和 国家标准GB50073-2001 洁净度等级
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一、无尘室基础知识
美国联邦标准（USA Federal Standard）209E（1992年）
注:1m3=35.2 ft3。 对照国标及美标可以看出，ISO6级与美国的1000级标准相当。随着半导体
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二、无尘室设计
2.过滤网设计
95%@ ≥ 5 μm 90~95%@ ≥ 1 μm 99.99%@ ≥ 0.5 μm 99.999%@ 0.1~0.3 μm
无尘室洁净度之维持和控制，除了前期硬件设备投资外也需要良好的软件——管 理制度来搭配，方能维持良好的洁净度。由上图测试结果来看，作业人员对无尘 室内洁净度影响最大，作业人员进度无尘室时尘埃有显著增加，有人员来回走动 等动作时洁净度马上劣化，可见洁净度劣化的主要原因为人为因素
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二、无尘室设计
1.无尘室之分类(按形式)
行业从µm量级向nm量级发展的过程中，洁净室等级要求也会越来越高。但目前 半导体行业中普遍采用的均为千级（6级）或万级（7级），只有局部区域的高 自动化作业才要求百级（5级）甚至更高。
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一、无尘室基础知识
4.微粒粒径的感性认知 一般微粒粒径对比 0.3μm 微尘粒径
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v 超高效空气过滤器 ：在额定风量下，对粒径0.1～0.2μm 粒子的捕集效率在 99.999%以上及气流阻力在280Pa 以下的空气过滤器。
洁净度等级标准
• 国家标准GB500732001
• 式中 ：Cn—大于或等于要求粒径的粒子最大允许浓度(pc/m3)。
•
Cn 是以四舍五入至相近的整数，有效位数不超过三位数。
无尘车间培训教材
2020年4月22日星期三
•一、洁净室基础知识
1.洁净室定义 2.相关术语 3.洁净等级标准 4.感性认知
•二、洁净室设计简介
1、洁净室分类（形式） 2、洁净室设计基础
➢气流组织型式及换气次数 ➢滤网过滤流程 ➢送风量及FFU数量计算 ➢管控手段
•适用洁净等级 •10-100000级并装
•复合式典型结构形 式
洁净室设计基础
•气流组织型式及换气次数
空气洁净度
100级
10000级
100000级 大于100000级
感性认知
•一般自然界气体等级
•外大气层
•1,000
•大气层
•10,000
•田园地带 •街市区
•100,000
•工业地带
•1,000,000 •10,000,000
洁净室之分类(按形式）
•
•1.乱流式
•空气由空调箱经风管与洁净室内之空气
过滤器(HEPA)进入洁净室，并由洁净室
两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非
因此，洁净室是保证诸如医药、半导体、太阳能电池 板等对环境要求较高之行业进行批量生产所必备之条件要
求。
相关术语
v 悬浮微粒 ：一般指悬浮于空气中的固态和液态微粒，其粒径尺寸范围约在0.1 ～5μm 之间。
v 洁净度 ：用以表征单位体积空间内空气中所含微粒大小及数量的多少，是区 分空间洁净程度的标准。
•优点：构造简单，运转后短时间内即可达到要 求，稳定运转。
•缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩 充。 •(2)垂直层流式：空气由上往下吹，可得较高 之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃 可快速排出室外而不会影响其它工作区域。
•优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳 定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。
1.监测采样 2.制定监测表
•四、洁净室人员管理
1、洁净室最主要的污染源 ➢发尘源及量
➢人的污染--发菌量
2、洁净室人员管理规定
洁净室之定义
洁净室(Clean Room),也称为无尘室。 洁净室是指能将一定空间范围内之空气中的悬浮微粒
、细菌等污染物排除，并将室内之温湿度、洁净度、压力 、气流速度及静电等影响生产之环境因素控制在某一设计 需求范围内，而给予特别设计的房间。亦即不论外面空气 条件如何变化，其室内均能具有维持所设定的洁净度、温 湿度及压力等生产所需环境因素性能的特性。
标准相当。从而可以看出随着半导体行业从um量级向nm量级发展的过
程中，洁净室等级要求也越来越高。
•
但目前半导体行业中普遍采用的均为千级（6级）或万级（7级）
，只有局部区域的高自动化作业才要求百级（5级）甚至更高。
感性认知
•一般微粒粒径对比
•0.3μm 微尘粒径
•肉眼可视 (5μm)
•人类头发 (15μm)
直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状
态。此型式适用于洁净室等级1,000-
100,000级。
•优点：构造简单、系统建造成本低，洁
净室扩充比较容易
•缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间
•非单方向流方 式
飘浮不易排出，易污染制程产品。另外 若系统停止运转再激活，欲需达到设定
要求之洁净度，往往须耗时相当长一段
• 间
N—洁净度等级，数字不超出9，洁净度等级整数之间的中
•
数可以按0.1 为最小允许递增量。
•
D—要求的粒径(μm)。 0.1—常数，其量纲为μm。
美国联邦标准（USA Federal Standard）209E（1992年）
•
1m3=35.3ft3。
•
对照我国标准及美国标准可以看出，我国的3级标准与美国的1级
•缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天 花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻 烦。
•适用洁净等级 •1-100级
•层流式典型结构形 式
•3.复合式
•混流方式
•复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用， 可提供局部超洁净之空气。 •(1)洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过 滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度 等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此 型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予 以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质。 洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B. 维修设备时可在维修区轻易执行。 •(2)洁净管道(Clean Tube)：将产品流程经过的自 动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至 100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔 离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省 能源，不需人工的自动化生产线为最适宜使用。 药品、食品业界及半导体业界均适用。 •(3)并装局部洁净室(Clean Spot)：将洁净室等级 10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的 洁净度等级提高为10~1000级以上。
v 气闸室：设置在洁净室出入口，阻隔室外或邻室污染气流和压差控制而设置 的缓冲间。
v 风淋室：气闸室的一种，通过安装风机、过滤网及控制系统等对入室人员进 行周身吹扫通道，它是减少外来污染的有效途径之一。
v 洁净工作服 ：为把工作人员产生的粒子限制在最小程度所使用的发尘量少的 洁净服装。
v 高效空气过滤器 HEPA ：在额定风量下，对粒径大于等于0.3μm 粒子的捕集 效率在99.9%以上及气流阻力在250Pa 以下的空气过滤器。
时间。
•适用洁净等级 •1,000-100,000级
•乱流式典型结构形 式
•2.层流式
•FF U
•垂直单方向流方式
•层流式空气气流运动成一均匀直线形，空气过 滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回 风，此型式适用于洁净室等级需求较高之环境 使用，一般其洁净室等级为Class 1~100。其 型式可分为二种： •(1)水平层流式：水平式空气自过滤器单方向 吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风 向排出室外，一般在下流侧污染较严重。
洁净度等级标准
• 国家标准GB500732001
• 式中 ：Cn—大于或等于要求粒径的粒子最大允许浓度(pc/m3)。
•
Cn 是以四舍五入至相近的整数，有效位数不超过三位数。
无尘车间培训教材
2020年4月22日星期三
•一、洁净室基础知识
1.洁净室定义 2.相关术语 3.洁净等级标准 4.感性认知
•二、洁净室设计简介
1、洁净室分类（形式） 2、洁净室设计基础
➢气流组织型式及换气次数 ➢滤网过滤流程 ➢送风量及FFU数量计算 ➢管控手段
•适用洁净等级 •10-100000级并装
•复合式典型结构形 式
洁净室设计基础
•气流组织型式及换气次数
空气洁净度
100级
10000级
100000级 大于100000级
感性认知
•一般自然界气体等级
•外大气层
•1,000
•大气层
•10,000
•田园地带 •街市区
•100,000
•工业地带
•1,000,000 •10,000,000
洁净室之分类(按形式）
•
•1.乱流式
•空气由空调箱经风管与洁净室内之空气
过滤器(HEPA)进入洁净室，并由洁净室
两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非
因此，洁净室是保证诸如医药、半导体、太阳能电池 板等对环境要求较高之行业进行批量生产所必备之条件要
求。
相关术语
v 悬浮微粒 ：一般指悬浮于空气中的固态和液态微粒，其粒径尺寸范围约在0.1 ～5μm 之间。
v 洁净度 ：用以表征单位体积空间内空气中所含微粒大小及数量的多少，是区 分空间洁净程度的标准。
•优点：构造简单，运转后短时间内即可达到要 求，稳定运转。
•缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩 充。 •(2)垂直层流式：空气由上往下吹，可得较高 之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃 可快速排出室外而不会影响其它工作区域。
•优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳 定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。
1.监测采样 2.制定监测表
•四、洁净室人员管理
1、洁净室最主要的污染源 ➢发尘源及量
➢人的污染--发菌量
2、洁净室人员管理规定
洁净室之定义
洁净室(Clean Room),也称为无尘室。 洁净室是指能将一定空间范围内之空气中的悬浮微粒
、细菌等污染物排除，并将室内之温湿度、洁净度、压力 、气流速度及静电等影响生产之环境因素控制在某一设计 需求范围内，而给予特别设计的房间。亦即不论外面空气 条件如何变化，其室内均能具有维持所设定的洁净度、温 湿度及压力等生产所需环境因素性能的特性。
标准相当。从而可以看出随着半导体行业从um量级向nm量级发展的过
程中，洁净室等级要求也越来越高。
•
但目前半导体行业中普遍采用的均为千级（6级）或万级（7级）
，只有局部区域的高自动化作业才要求百级（5级）甚至更高。
感性认知
•一般微粒粒径对比
•0.3μm 微尘粒径
•肉眼可视 (5μm)
•人类头发 (15μm)
直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状
态。此型式适用于洁净室等级1,000-
100,000级。
•优点：构造简单、系统建造成本低，洁
净室扩充比较容易
•缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间
•非单方向流方 式
飘浮不易排出，易污染制程产品。另外 若系统停止运转再激活，欲需达到设定
要求之洁净度，往往须耗时相当长一段
• 间
N—洁净度等级，数字不超出9，洁净度等级整数之间的中
•
数可以按0.1 为最小允许递增量。
•
D—要求的粒径(μm)。 0.1—常数，其量纲为μm。
美国联邦标准（USA Federal Standard）209E（1992年）
•
1m3=35.3ft3。
•
对照我国标准及美国标准可以看出，我国的3级标准与美国的1级
•缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天 花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻 烦。
•适用洁净等级 •1-100级
•层流式典型结构形 式
•3.复合式
•混流方式
•复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用， 可提供局部超洁净之空气。 •(1)洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过 滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度 等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此 型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予 以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质。 洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B. 维修设备时可在维修区轻易执行。 •(2)洁净管道(Clean Tube)：将产品流程经过的自 动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至 100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔 离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省 能源，不需人工的自动化生产线为最适宜使用。 药品、食品业界及半导体业界均适用。 •(3)并装局部洁净室(Clean Spot)：将洁净室等级 10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的 洁净度等级提高为10~1000级以上。
v 气闸室：设置在洁净室出入口，阻隔室外或邻室污染气流和压差控制而设置 的缓冲间。
v 风淋室：气闸室的一种，通过安装风机、过滤网及控制系统等对入室人员进 行周身吹扫通道，它是减少外来污染的有效途径之一。
v 洁净工作服 ：为把工作人员产生的粒子限制在最小程度所使用的发尘量少的 洁净服装。
v 高效空气过滤器 HEPA ：在额定风量下，对粒径大于等于0.3μm 粒子的捕集 效率在99.9%以上及气流阻力在250Pa 以下的空气过滤器。
时间。
•适用洁净等级 •1,000-100,000级
•乱流式典型结构形 式
•2.层流式
•FF U
•垂直单方向流方式
•层流式空气气流运动成一均匀直线形，空气过 滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回 风，此型式适用于洁净室等级需求较高之环境 使用，一般其洁净室等级为Class 1~100。其 型式可分为二种： •(1)水平层流式：水平式空气自过滤器单方向 吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风 向排出室外，一般在下流侧污染较严重。