透射电镜PPT
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λ=h/mv
对于电子来说，这里， m 是电子质量［kg］， v 是 电子运动的速度［m·s-1］。
b
8
初速度为零的自由电子从零电位达到电位为U ( 单位为 v )的电场时电子获得的能量是eU
1/2mv2 = eU 当电子速度v 远远小于光速C 时，电子质量m 近 似等于电子静止质量m0，由上述两式整理得：
b
9
将常数代入上式，并注意到电子电荷 e 的单位 为库仑， h的单位为J·s，我们将得到：
1 .2 2 6 nm U
表9-1不同加速电压下的电子波长 加速电压/kV 20 30 50 100 200 500 1000 电子波长/10-3nm 8.59 6.98 5.36 3.70 2.51 1.42 0.687
作为照明源。热阴极发射的电子，在阳极加速电压的 作用下，高速穿过阳极孔，然后被聚光镜会聚成具有 一定直径的束斑照到样品上。具有一定能量的电子束 与样品发生作用，产生反映样品微区厚度、平均原子 序数、晶体结构或位向差别的多种信息。
b
15
• 1953年，日本发现了桑树维管束中的微生物。
• 80年代，电镜技术在自然学科的许多领域中 得到了广泛应用，并形成了一门交差型的新 型学科。科学家利用电镜技术发现了多种病 毒，污染水源中的微生物，有毒物质，纳米 材料等，其中纳米材料使纳米技术崛起并迅 速发展。
b
16
• 1982年，诺贝尔化学奖授予卓越的电镜应 用者——英国的分子生物学家克卢格 （A.Klug）
从E. Ruska等发明电镜那时起，其基本光学原理始终没有改变 过。后来主要是提高分辨本领和使用性能等。
b
13
诺贝尔物理奖牌正面
诺贝尔物理铜像
b
14
透射电镜发展历程de ：
• 1928年，柏林工科大学的克偌尔和茹斯卡奠定了电镜的理论基础。
• 1933年，茹斯卡制造的第一台电子光学装置，可放大12000倍。
现代仪器分析实验技术
透射电镜
2014.06.09
b
1
内容
一、为什么需要电镜 二、电镜的分类 三、透射电镜的发展历史 四、透射电镜的基本原理 五、透射电镜能做什么 六、HT-7700电镜的基本使用
b
2
观察事物的需要----电子显微镜
放大和分辨率
b
3
分辨率的追求 分辨本领
指显微镜能分辨的样品上两点间的最小距离。以 物镜的分辨本领来定义显微镜的分辨本领。
b
5
在物方介质为空气的情况下，任何光学透镜系 统的N·A值小于1。
D0 ≈ 1/2λ
波长是透镜分辨率大小的决定因素。
透镜的分辨本领主要取决于照明束波长λ。若 用波长最短的可见光(λ=400nm)作照明源。
200nm是光学d显0=微2镜0分0n辨m本领的极限
b
6
瑞利判据:对于两个等光强的非相干物点,如果其一个象斑的中心恰好落在另一象斑
b
17
值得一提：
1958年，我国成功地研制了第一台透射电子 显微镜，分辨本领为3nm，1979年分辨本领 达到0.3nm。
b
18
透射电镜的工作原理和特点
透射电镜是以波长极短的电子束作为照明源，用 电子透镜聚焦成像的一种具有高分辨本领、高放大倍 数的电子光学仪器。
透射电镜，通常采用热阴极电子枪来获得电子束
b
11
电镜的分类
透射电子显微镜
电子束透过样品(透射电子) 直接放大成像
扫描电子显微镜
电子束以扫描形式轰击在样品上，产生二次电子 等信息，而后再将二次电子等信息收集起来放大 成像。
分析电子显微镜
b
12
透射电镜的发展
First TEM (rudiment),1931 E. Ruska and M. Knoll
• 1986年，瑞典皇家科学院将诺贝尔物理学 奖授予电子显微镜的发明者——德国科学 家恩斯特.茹斯卡（ErnstRuska，19061988）；授予扫描隧道显微镜的设计者— —德国物理学家宾尼希（Gerd Binnig， 1947-）和瑞士物理学家罗雷尔（Heinrich Rohrer，1933-）。
1) 人的眼睛仅能分辨0.1~0.2mm的细节
2) 光学显微镜，人们可观察到象细菌那样小的物体。
3) 用光学显微镜来揭示更小粒子的显微组织结构是不
可能的，受光学显微镜分辨本领(或分辨率)的限制。
b
4
光学透镜分辨本领d0的公式：
d0 n0.s6i1n0N .6.1.A
式中：λ是照明束波长，α是透镜孔径半角，n 是物方介质折射率，n·sinα或N·A称为数值孔径。
的边缘(第一暗纹处),则此两物点被认为是刚刚可以分辨。两艾里斑中心距小于艾里
斑半径,两象点不能分辨。
衍射屏
L
观察屏
(
刚可分辨
不可分辨
1
艾 里
斑
)
圆孔孔径为D
f
相对光 1 I / I0
强曲线
中央为亮斑,外围为一些同心亮 环.光强主要在中央亮斑区 (84%)——艾里(Airy)斑。
0 1.22(/D) sinBiblioteka Baidu
• 1938年，茹斯卡制造的第一台透射电子显微镜，分辨率达100埃。
• 1939年，德国西门子公司按该样机生产了世界第一批商品电镜40台， 并在战后运往其他国家，使人类的形态学研究跨入了超微结构新领域。
• 1939年，茹斯卡通过电镜技术发现了烟草病毒，解决了30年前的悬案， 引起了世界震动，加速了电镜技术的发展。继而在植物中发现了彩虹 病毒、风轮病毒、家蚕病毒等；在人体中发现了流感病毒、天花病毒、 肝炎病毒、麻风杆菌等，同时也找出了一些污染源和毁灭性的瘟疫流 行渠道。
艾里斑
b
7
随着人们对微观粒子运动的深入认识，用于显微 镜的一种新的照明源 — 电子束被发现了。
1924年法国物理学家德.布罗意(De Broglie)提出一 个假设：运动的微观粒子(如电子、中子、离子等)与光 的性质之间存在着深刻的类似性，即微观粒子的运动 服从波-粒两象性的规律。两年后通过电子衍射证实了 这个假设，这种运动的微观粒子的波长为普朗克常数 h 对于粒子动量的比值，即：
b
10
当加速电压为100kV时，电子束的波长约为可 见光波长的十万分之一。因此，若用电子束作照明 源，显微镜的分辨本领要高得多。但是，电磁透镜 的孔径半角的典型值仅为10-2-10-3rad。如果加速电 压为100kV，孔径半角为10-2rad，那么分辨本领为：
d0 = 0.61×3.7×10-3/10-2 = 0.225 nm
对于电子来说，这里， m 是电子质量［kg］， v 是 电子运动的速度［m·s-1］。
b
8
初速度为零的自由电子从零电位达到电位为U ( 单位为 v )的电场时电子获得的能量是eU
1/2mv2 = eU 当电子速度v 远远小于光速C 时，电子质量m 近 似等于电子静止质量m0，由上述两式整理得：
b
9
将常数代入上式，并注意到电子电荷 e 的单位 为库仑， h的单位为J·s，我们将得到：
1 .2 2 6 nm U
表9-1不同加速电压下的电子波长 加速电压/kV 20 30 50 100 200 500 1000 电子波长/10-3nm 8.59 6.98 5.36 3.70 2.51 1.42 0.687
作为照明源。热阴极发射的电子，在阳极加速电压的 作用下，高速穿过阳极孔，然后被聚光镜会聚成具有 一定直径的束斑照到样品上。具有一定能量的电子束 与样品发生作用，产生反映样品微区厚度、平均原子 序数、晶体结构或位向差别的多种信息。
b
15
• 1953年，日本发现了桑树维管束中的微生物。
• 80年代，电镜技术在自然学科的许多领域中 得到了广泛应用，并形成了一门交差型的新 型学科。科学家利用电镜技术发现了多种病 毒，污染水源中的微生物，有毒物质，纳米 材料等，其中纳米材料使纳米技术崛起并迅 速发展。
b
16
• 1982年，诺贝尔化学奖授予卓越的电镜应 用者——英国的分子生物学家克卢格 （A.Klug）
从E. Ruska等发明电镜那时起，其基本光学原理始终没有改变 过。后来主要是提高分辨本领和使用性能等。
b
13
诺贝尔物理奖牌正面
诺贝尔物理铜像
b
14
透射电镜发展历程de ：
• 1928年，柏林工科大学的克偌尔和茹斯卡奠定了电镜的理论基础。
• 1933年，茹斯卡制造的第一台电子光学装置，可放大12000倍。
现代仪器分析实验技术
透射电镜
2014.06.09
b
1
内容
一、为什么需要电镜 二、电镜的分类 三、透射电镜的发展历史 四、透射电镜的基本原理 五、透射电镜能做什么 六、HT-7700电镜的基本使用
b
2
观察事物的需要----电子显微镜
放大和分辨率
b
3
分辨率的追求 分辨本领
指显微镜能分辨的样品上两点间的最小距离。以 物镜的分辨本领来定义显微镜的分辨本领。
b
5
在物方介质为空气的情况下，任何光学透镜系 统的N·A值小于1。
D0 ≈ 1/2λ
波长是透镜分辨率大小的决定因素。
透镜的分辨本领主要取决于照明束波长λ。若 用波长最短的可见光(λ=400nm)作照明源。
200nm是光学d显0=微2镜0分0n辨m本领的极限
b
6
瑞利判据:对于两个等光强的非相干物点,如果其一个象斑的中心恰好落在另一象斑
b
17
值得一提：
1958年，我国成功地研制了第一台透射电子 显微镜，分辨本领为3nm，1979年分辨本领 达到0.3nm。
b
18
透射电镜的工作原理和特点
透射电镜是以波长极短的电子束作为照明源，用 电子透镜聚焦成像的一种具有高分辨本领、高放大倍 数的电子光学仪器。
透射电镜，通常采用热阴极电子枪来获得电子束
b
11
电镜的分类
透射电子显微镜
电子束透过样品(透射电子) 直接放大成像
扫描电子显微镜
电子束以扫描形式轰击在样品上，产生二次电子 等信息，而后再将二次电子等信息收集起来放大 成像。
分析电子显微镜
b
12
透射电镜的发展
First TEM (rudiment),1931 E. Ruska and M. Knoll
• 1986年，瑞典皇家科学院将诺贝尔物理学 奖授予电子显微镜的发明者——德国科学 家恩斯特.茹斯卡（ErnstRuska，19061988）；授予扫描隧道显微镜的设计者— —德国物理学家宾尼希（Gerd Binnig， 1947-）和瑞士物理学家罗雷尔（Heinrich Rohrer，1933-）。
1) 人的眼睛仅能分辨0.1~0.2mm的细节
2) 光学显微镜，人们可观察到象细菌那样小的物体。
3) 用光学显微镜来揭示更小粒子的显微组织结构是不
可能的，受光学显微镜分辨本领(或分辨率)的限制。
b
4
光学透镜分辨本领d0的公式：
d0 n0.s6i1n0N .6.1.A
式中：λ是照明束波长，α是透镜孔径半角，n 是物方介质折射率，n·sinα或N·A称为数值孔径。
的边缘(第一暗纹处),则此两物点被认为是刚刚可以分辨。两艾里斑中心距小于艾里
斑半径,两象点不能分辨。
衍射屏
L
观察屏
(
刚可分辨
不可分辨
1
艾 里
斑
)
圆孔孔径为D
f
相对光 1 I / I0
强曲线
中央为亮斑,外围为一些同心亮 环.光强主要在中央亮斑区 (84%)——艾里(Airy)斑。
0 1.22(/D) sinBiblioteka Baidu
• 1938年，茹斯卡制造的第一台透射电子显微镜，分辨率达100埃。
• 1939年，德国西门子公司按该样机生产了世界第一批商品电镜40台， 并在战后运往其他国家，使人类的形态学研究跨入了超微结构新领域。
• 1939年，茹斯卡通过电镜技术发现了烟草病毒，解决了30年前的悬案， 引起了世界震动，加速了电镜技术的发展。继而在植物中发现了彩虹 病毒、风轮病毒、家蚕病毒等；在人体中发现了流感病毒、天花病毒、 肝炎病毒、麻风杆菌等，同时也找出了一些污染源和毁灭性的瘟疫流 行渠道。
艾里斑
b
7
随着人们对微观粒子运动的深入认识，用于显微 镜的一种新的照明源 — 电子束被发现了。
1924年法国物理学家德.布罗意(De Broglie)提出一 个假设：运动的微观粒子(如电子、中子、离子等)与光 的性质之间存在着深刻的类似性，即微观粒子的运动 服从波-粒两象性的规律。两年后通过电子衍射证实了 这个假设，这种运动的微观粒子的波长为普朗克常数 h 对于粒子动量的比值，即：
b
10
当加速电压为100kV时，电子束的波长约为可 见光波长的十万分之一。因此，若用电子束作照明 源，显微镜的分辨本领要高得多。但是，电磁透镜 的孔径半角的典型值仅为10-2-10-3rad。如果加速电 压为100kV，孔径半角为10-2rad，那么分辨本领为：
d0 = 0.61×3.7×10-3/10-2 = 0.225 nm