HSG PVD镀铬-铝膜作业指导书

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批准

1.0 目的：指导HSG PVD镀铬-铝膜相关人员按标准流程作业。

2.0 范畴：

适用

HSG 镀铬

-

铝膜。

3.0 设备、辅助材料及工具：新柯隆RAS-1100镀膜机、待清洗后HSG 产品、纯度99%的Al靶、Cr靶、吸尘器、无尘手套、酒精、无尘布、镊子。文件名称

HSG PVD 镀铬-铝膜操作指导书

（新科隆RAS机）

初版发行

4.0 操作方法：

产品操作指导书

镀 膜文件修订履历

第四步：选择镀膜程序

操作方法：

在电脑内选择‘HSG-PVD-Cr-Al ’专用程序进行自动成膜。 注意事项：

工艺参数必须由技术员设定。操作员不得修改机器参数。全程自动成膜入换。

第二步：安装挂板

操作方法：

将装有HSG 的夹具固定在挂板后，按顺序将挂板安装在溅射机载物鼓上，依次拧紧各个挂口螺丝； 注意事项：

确保HSG 夹具螺丝拧紧；旋转鼓且依次逐个检查挂板，确保各个挂板螺丝无松动。

操作方法：

按顺序将HSG 五种通孔用塞子遮蔽，使用单面高温胶覆盖协助固定，然后将HSG 轻轻放入专用夹具后固定夹具盖板； 注意事项：

确保各个通孔正确遮蔽，且用单面高温胶覆盖；盖板螺丝要拧紧。

第一步：HSG 遮蔽与装夹

第三步：关门排气

操作方法：

关闭真空腔门，触摸屏点"Evac"排气。 注意事项：

关门后旋转紧固阀，全部紧固阀打紧，直至显示屏Close 指示灯变绿色。点‘Evca'后排气无漏气气流声。

第五步：下锅 操作方法：

镀膜完成后自动入换，开门后挂板从锅上取下至无尘风淋柜暂放区。 注意事项：

挂板不能叠加，操作员必须穿戴干净手套，禁止任何物品触碰触碰镀膜表面。

第六步：已镀产品冷却

操作方法：

已镀膜产品挂板放置无尘风淋柜下锅暂放区冷却至常温（冷却20分钟） 注意事项：

无尘风淋柜确保风机为打开状态，产品需关门冷却。

第七步：拆夹下片 第八步：产品标识

操作方法：

产品从无尘风淋柜转无尘工作台后，拆卸夹具，轻轻取出HSG 产品，然后拆除塞子，将塞子放在指定位置回收。 注意事项：

操作员取片过程中需带指套，动作要轻缓；遮蔽塞子不要随意丢放。

操作方法：

将产品整齐地放好并将产品名称、机台号、时间等标识记录。 注意事项：

产品轻拿轻放，用专用PET 膜将剥离后产品包装好，作好标示，发送后工序。

Evac 按键

Close 指示灯

紧固阀