Adixen氦质谱真空检漏仪-ASM142系列
ADIXEN ASM380真空检漏仪验收报告
ADIXEN ASM380真空检漏仪验收报告
一、供货清单
序号货物名称单位应交数量实际数量
1 ASM380主机台 2
2 专用工具包套 2
3 原厂检定证书份 2
4 卡箍DN40KF 套 2
5 氦气喷枪、气囊套 2
二、主要技术指标及技术性能
指标名称指标内容完成情况
1.型号ASM380 合格/不合格
2.产地法国ADIXEN 合格/不合格
3.最低可检漏率5×10-13Pa·m3/s 合格/不合格
4.检漏口对氦气抽速7L/s（精检模式下）合格/不合格
5.前级干泵抽速35m3/s 合格/不合格
6.检漏口类型KF40 合格/不合格
7.起动时间小于5.5分钟合格/不合格
8.最大可测入口压强1500Pa 合格/不合格
9.电源90-240 VAC，50Hz，单相合格/不合格
10.尺寸1065×455×1025mm 合格/不合格
11.重量110kg 合格/不合格
三、验收方案
1.所购仪器到达甲方所在地后，双方商定开箱验货时间，甲乙双方代表在场后方可开箱对到货仪器设备的型号、数量进行核对，并检查仪器外观。
2.正常开机稳定30分钟后，再执行一次自动校准，在菜单中手动打开内置标准漏孔进行测量并记录读书，与出厂提供的内置标准漏孔检定证书上的标定值进行比对（室温应为23度，如有温度差异需使用修正值，按检定证书上的数据进行计算）。
3.实际读数与目标值（考虑温度差异后的标定值）偏差应在正负20%以内。
验收方（甲方）：供货方（乙方）：
北京机械工业自动化研究所北京宝路多几点设备技术有限公司验收方代表：供货方代表：
2016年02月03日。
氦质谱检漏仪ppt课件
1
一、工作原理
2
灯丝 加热 电子 电离 室内残气和漏孔氦气
均匀电场
进入 分离放大
测量
加热：产生电子 电压：给电子加速 碰撞：电离气体 均匀磁场：离子圆周运动，半径不同，离子
分离
3
核心公式：
R为离子偏转轨道半径; B为磁场强度; M/Z为离子的质量与电荷之比; U 为离子的加速电压
信息：当B,U不变时，不同核质比M/Z的离子，圆
▪ 大部分的气体分子都能变成离子，离子在电场中 被（加速电压）加速，从而进入与其垂直的偏转 磁场，不同质量数的离子其偏转半径不同
▪ 加速电压使得氦离子可以打到放大器的入口（电 子倍增器），从而检测出氦离子流的强度，氦离 子流与容器内的氦分压成正比，因此对氦离子的 测量可以确定被检件的漏率
10
双级串联磁偏转型氦质谱检漏仪
向
▪ 漏率型（定量）：不确定检测器件的漏点或 漏孔的位置和数量，只是计算漏率（在已知漏泄
处两侧压差的情况下，单位时间内流过漏泄处的给定温度的干燥气体
量）
6
7
三、常见的两种检漏仪
▪ 单级磁偏转型氦质谱检漏仪 ▪ 双级串联磁偏转型氦质谱检漏仪
8
单级磁偏转型氦质谱检漏仪
9
步骤：
▪ 当质谱室内的总压强（真空度）＜10-6MPa 时， 电离室中由钨丝制成的灯丝启动，加热后产生高 速电子轰击离子源中的气体分子，使分子电离
11
与单级磁偏转型氦质谱检漏仪相比较：
▪ 离子在进入第二个分析器前再次被加速 ，减少了 非氦离子到达收器灵敏度
12
▪ 问题一：抽真空的真空度是多少 ▪ 问题二：氦质谱检漏仪的检测精度如何：
粗检和精检
▪ 问题三：一个好的设备
氦质谱仪检漏的原理
氦质谱仪检漏的原理1. 气体分析氦质谱仪检漏是一种基于气体分析的泄漏检测技术。
它通过将待检测部位与氦气环境隔离，然后测量该部位周围环境中氦气的浓度变化，从而确定是否存在泄漏。
在氦质谱仪检漏过程中，待检测部位被放置在一个密闭的测试腔内，氦气被充入测试腔中并达到稳定状态。
然后，通过质谱仪测量测试腔内氦气的浓度。
如果待检测部位存在泄漏，氦气会通过泄漏点泄漏到外部环境中，导致测试腔内氦气浓度下降。
通过测量氦气浓度的变化，可以确定泄漏的存在以及泄漏速率。
2. 泄漏检测氦质谱仪检漏是一种非破坏性的泄漏检测方法，适用于各种材料和连接方式的密封件。
其优点在于具有高灵敏度、高精度和快速检测能力。
在泄漏检测方面，氦质谱仪检漏的工作原理是通过测量氦气浓度的变化来确定泄漏的存在。
当待检测部位存在泄漏时，氦气会通过泄漏点泄漏到外部环境中，导致测试腔内氦气浓度下降。
通过比较测试前后氦气浓度的变化，可以确定泄漏的存在以及泄漏速率。
此外，氦质谱仪检漏还具有高精度和快速检测能力。
由于氦气的分子量和电离能较低，容易被电离成带正电的离子，因此可以通过离子加速器和磁分析器组成的质谱仪将氦离子分离出来并测量其浓度。
这种测量方法具有很高的精度和灵敏度，可以检测出微小的泄漏和非常低的泄漏速率。
3. 定量分析氦质谱仪检漏不仅可以确定泄漏的存在，还可以对泄漏进行定量分析，即测量泄漏速率。
这需要对测试过程中的氦气浓度进行精确测量，并根据测量结果计算泄漏速率。
在定量分析方面，氦质谱仪检漏的精度和准确度取决于多个因素，包括测试环境、测试温度、测试压力、气体流量等。
为了获得准确的测量结果，需要对这些因素进行控制和校准。
此外，还需要使用高精度的质谱仪和气体分析仪器，以确保对氦气浓度的精确测量。
在计算泄漏速率时，需要将测试过程中的氦气浓度变化与时间进行比较。
通常采用以下公式来计算泄漏速率：泄漏速率= (Δm/A) ×(dC/dt)其中，Δm为泄漏的氦气质量，A为泄漏面积，dC/dt为氦气浓度随时间的变化率。
ASM D T + +检漏仪控制面板的使用 自带手册
ASM 142/142D/182T/182TD+/192 检漏仪控制面板的使用1. 检漏仪控制面板示意图1 – 进气口压力模拟量显示2 – 控制和菜单选择显示灯（功能激活时灯亮）3 – Auto-Cal: 自动校准开始/停止控制键4 – Sniffer : 吸枪模式开始/停止控制键5 – Zero: 清零（忽略本底）功能开始/停止控制键6 – Cycle: 测试开始/停止控制键7 – 控制键（共4个）8 – Standby: 待机状态开/关显示灯9 – Evac: 初抽状态开/关显示灯10 – Test : 测试状态开/管显示灯11 – 氦信号模拟量显示12 – 氦信号模拟量显示状态开/管显示灯13 – 氦信号清零（忽略本底）显示状态开/关显示灯14 – 修正系数”COR”显示灯（适合数字显示栏）15 – 选择单位开/关显示灯16 – 氦信号数字显示17 – 文字数字显示栏（4行 x 20个字节）18 – 参数功能键F1,F2,F3,F4（每行1个键）19 – 修正键（共4个键）20 – Next : 下一个显示/参数功能键21/22 - +/-: 数值调节（加或减），参数选择，音量调节键23 – Reset: 之前显示的数值复位（取消暂时的输入值）24 – 菜单选择键（4个键）25 – Set Points: “设置点”菜单选择键26 – Spectro: “校准和质谱室设置”菜单选择键27 – Maintenance: “维护”菜单选择键28 – Other: “其他”菜单选择键（测试模式选择，进气口放气选择，日期/时间）29 – 远程控制接口2. 控制键的功能描述a. Cycle(6): 测试键。
检漏时开始测试与停止测试均使用此键，为检漏过程中最频繁使用的键。
b. Auto-Cal(3): 自动校准键。
任何时候若不确定检漏仪的准确性时，均可在Standby（待机）状态时按此键，开始自动校准。
氦质谱检漏仪使用说明
氨质谱检漏仪使用说明检漏仪及其真空系统的组成VARIAN959-50检漏仪检漏漏率范围从1X10* （毫升/秒）至lj 2X1 O'10（毫升/秒）（相当于30年漏1毫升）,它主要由质谱管、高真空泵、热偶规管、一系列按钮控制的阀、 测试接口、真空和漏率以及电路板等部分组成，其真空系统结构为（分子泵型）图1检漏仪真空系统结构图（分子泵型）指示， TC1V3-n-V6检漏仪开启后，VK V2 . V6阀打开，测试口与质谱管保持真空连接。
如果按下u VENT"键，放气阀V3打开，V1关闭，测试口处于大气状态，同时V2打开，使分子泵、质谱管和机械泵连通。
分子泵运行时，质谱管真空度要达到2X104TORR以上，才能给离子源灯丝加热。
检漏仪工作原理]<■（2340高斯）图2检漏仪工作原理图如果被检系统有微小漏孔，在小孔周围喷氨气时，总有部分氨原子会通过漏孔进入检漏仪接口，通过其真空系统扩散到质谱管。
质谱1%管是检漏仪核心组成部分，参见上图2,在电场和磁场作用下，灯丝 发射电子使气体电离，电离后带正电的离子通过聚焦和孔集中后，进 入分析磁场（磁场强度为2340高斯），由于受洛仑磁力作用，离子 会发生偏转，其它外界条件相同的情况下，偏转半径由带电粒子电量 与质量之比即荷质比决定，荷质比小的离子偏转半径小，荷质比大的 粒子偏转半径大，只有氮离子才能通过抑制小孔到达收集极，信号经 放大后，检漏仪报警。
三、控制和指示器功能说明： 序号 控制、指示器功能Vent Start Hold 和Test 按检漏仪开关时，控制各个阀的 钮 动作顺序显示测试口压力，单位millitorr 显示漏率，单位std cc/sec （标 准立方厘米每秒）,超过或低 于测 量量程，分别由上下端两 个发光二极管（LED ）“over 55和 “under 乃显示。
随“range 55 和 tfiHi-Lo Sensitivity ”档位选择不 同， X 10指数窗口将显示4、5、6、2 Pressure （压力指示）3 Leak rate （漏率指示）Coarse zero （粗调）Fil. Selector （灯丝选择）Fil. On - Off （灯丝开关）EMIS （发射控制）AUDIO （声音调节）CAL.（校准控制）漏率显示粗调二位开关选择灯丝1或灯丝2开关离子源灯丝通过改变灯丝电流来调节离子源电子发射调节检漏仪板警声音Range （量程选择）Zero （调零）FIL （灯丝指示）Hi vac ok （真空度ok ）Main power （主电源）Focus （聚焦）ION （离子源控制）Residual background （残余本底）量程选择共四个档位。
氦质谱检漏仪原理
氦质谱检漏仪原理氦质谱检漏仪是一种用于检测真空系统中微小泄漏的仪器，它利用氦气的独特性能和质谱技术来实现高灵敏度的泄漏检测。
在氦质谱检漏仪的工作原理中，氦气被用作探测气体，并通过质谱仪来分析和检测氦气的存在，从而确定真空系统中的泄漏位置和泄漏量。
氦质谱检漏仪的工作原理基于氦气的特性。
氦气是一种极为稳定的惰性气体，它在大气压下不会与其他气体发生化学反应，因此可以作为探测气体在真空系统中使用。
当氦气被注入真空系统中，如果系统中存在泄漏，氦气会随着泄漏点的位置进入系统外部环境。
质谱仪会通过质谱分析技术检测氦气的存在，并根据氦气的质谱特征来确定泄漏位置和泄漏量。
在氦质谱检漏仪中，氦气首先被注入真空系统中，然后通过真空泵将系统抽空至一定真空度。
当系统达到预定真空度后，质谱仪开始工作，它会不断地监测系统中的氦气浓度，并根据质谱图谱来分析氦气的质谱特征。
如果系统中存在泄漏，氦气会随着泄漏点的位置进入质谱仪，从而被检测到。
质谱仪会根据氦气的特征质谱图谱来确定泄漏点的位置和泄漏量，从而实现对真空系统泄漏的精准检测。
氦质谱检漏仪的工作原理基于质谱分析技术，它具有高灵敏度、高精度和高可靠性的特点。
通过对氦气的质谱特征进行分析，氦质谱检漏仪可以实现对真空系统中微小泄漏的检测，能够准确地确定泄漏位置和泄漏量，为真空系统的维护和安全运行提供了重要的技术支持。
总之，氦质谱检漏仪利用氦气的特性和质谱分析技术，实现了对真空系统中微小泄漏的高灵敏度检测。
它的工作原理简单而有效，具有高精度和高可靠性，为真空系统的安全运行提供了重要的保障。
氦质谱检漏仪在工业生产和科学研究中具有广泛的应用前景，将为各行业的真空系统维护和安全管理提供重要的技术支持。
氦质谱检漏仪的使用是怎样的呢
氦质谱检漏仪的使用是怎样的呢
氦质谱检漏仪是一种专业用于检测真空系统漏气的仪器。
它使用氦气作为测试
气体，利用氦气极小的分子大小和无色无味的特性，在真空系统中通过泄漏孔进入真空室进行检测。
通过对泄漏氦气进行检测，可以确定系统中的漏率并定位漏点。
氦质谱检漏仪广泛应用于各种机械、电子、航空航天等各个领域，因其检测精
度高、可靠性强而备受青睐。
在此介绍氦质谱检漏仪的使用方法及注意事项。
1. 准备工作
在使用氦质谱检漏仪进行检测之前，需要做好各种准备工作：
•确定检测目标
•安装适当的接口及氦气瓶
•检查真空系统密封性
2. 检测前操作
使用氦质谱检漏仪进行检测前，需要进行一些操作：
•安装检测器
•启动氦气供应
•实施排气处理
•进行预漏测试
3. 进行检测
进行氦质谱检漏仪检测的步骤如下：
1.将氦气从氦气瓶中引入到真空系统中。
2.在检测器控制面板上设置好检测参数，如检测压力、场强、灵敏度等。
3.开始检测，并对检测结果进行分析定位漏点。
4. 注意事项
在使用氦质谱检漏仪进行检测时，需要注意以下事项：
1.氦气具有燃爆性，检测过程中禁止吸烟、使用明火等行为。
2.氦气具有极小的分子大小，在真空系统中容易扩散，因此检测时需要
尽可能避免漏气。
3.在检测前需仔细检查检测设备和真空系统密封性，以免测结果不准确
或漏点不能定位。
4.在检测过程中需要根据实际情况进行调整，调整参数，增强检测灵敏
度，以更好地检测漏点。
以上是氦质谱检漏仪使用方法及注意事项，正确使用氦质谱检漏仪可以确保系统的安全性，保障产品质量。
ASM 142系列蜜芬泄漏检测器说明书
G B 00207 - E d i t i o n 05 - F e b r u a r y 121/1A 100Introduction to the ASM 142 seriesA new generation of adixen helium leakdetectorModel photographed: ASM 142The ASM 142/142 D/142 S/ASM Graph/ASM Graph D/ASM Graph D+ are universal helium leak detectors which set new performance standards for multi-purpose unit.These detectors are the end-result of an innovative engineering approach utilizing the latest electronics technologies and vacuum concepts, whichmake them a truly universal unit:142I high performances, such as, a roughing capacity of 7 CFM (60 l/mn) with a usable helium sensitivity in the 10-11 /sec range.x x xI high performances, such as, a dry roughing capacity of 0.9 CFM (1.5 m 3/h) with a usable helium sensitivity in the 10-11 /sec range.x x xI a usable helium sensitivity in the10-7 /sec range (with auto-zero function).xI comprehensive control panel with two distinct areas (one for the operation of the unit, the other for entering the test parameters).x x x x x xI evolved features to assist the operator in his daily operation (auto-calibration, auto-zero, helium signal direct readout, ...).x x x x x xI very rugged design, based on field-proven components, which makes it ideal for any industrial environment.x x x x x xI various accessories to reinforce the versatility of the product (remote control, sniffer probe).x x x x x xI totally dry leak detector.x xxI specific to sniffing test mode applications.xI graphic interface.xxxWe suggest that you read this manual before you start to use your detector to obtain optimum levels of performance and complete satisfaction.adixen Vacuum Products - ASM 142 S Operating instructions。
和谐电子-ASM310氦气检漏仪 电厂专用型
投标文件
SUZHOU OFFICE:TEL:(86512)65163986 FAX: (86512)65163987 E-mail:sales@ Page 1 of 1 便携式氦检漏仪ASM 310
Adixen 阿尔卡特 ASM 310是维修技术员与工程师期待已久的产品。
它支持两种示踪气体，氦气和氢气。
极轻的重量（21kg/46lb.）使它成为理想的维修工具。
它能跟随您去任何地方并完成工作。
阿尔卡特 ASM 310是目前市场上最轻便紧凑的产品。
它集成了Adixen 高真空技术在检漏仪领域超过45年的专业研究和经验。
本产品的核心是最新一代高分辨率及高稳定性的Adixen 质谱仪。
氦气检漏仪ASM 310主要特点：
1. 1.7m3/h 粗抽能力
2. 超轻（21kg ）及便携占地面积小
3. 1.1l/s 氦气抽速
4. 可在任何放置角度和姿势运行
5. 大尺寸高亮彩色触摸屏
6. Adixen 氦质谱检漏仪最小可检漏率：
真空模式：5X10(-12) mbar l/s
吸枪模式：5X10(-7) mbar l/s
氦气检漏仪ASM 310技术规格。
氦质谱检漏仪工作参数
氦质谱检漏仪工作参数
氦质谱检漏仪是一种常用于检测密封件和容器泄漏的仪器。
其工作参数包括以下几个方面：
1. **检测灵敏度（Leak Detection Sensitivity）**：是指仪器能够检测到的最小泄漏速率，通常以标准气体氦（He）为例，单位一般为毫升/秒。
2. **泄漏检测范围（Leak Detection Range）**：该参数表示仪器能够检测的泄漏量的范围。
通常以不同的单位表示，包括毫升/秒、立方厘米/分钟等。
3. **响应时间（Response Time）**：指仪器检测到泄漏后产生警报或显示结果所需的时间。
4. **泄漏定位精度（Leak Location Accuracy）**：表征在泄漏检测过程中，仪器可以精确定位泄漏的能力。
5. **氦气检测液体（Helium Detection Gas）**：氦质谱检漏仪使用氦气作为检测气体，因此氦气的纯度、流量等参数是关键的工作参数。
6. **环境要求（Environmental Requirements）**：包括工作温度、工作湿度等环境要求，以保证仪器的正常工作。
以上参数可能会根据具体的仪器型号和制造商而有所不同。
在使用氦质谱检漏仪时，需要仔细阅读相关的使用说明书和操作手册，以确保正确操作和准确的泄漏检测结果。
如果您有特定型号的氦质谱检漏仪，建议查阅相关的制造商提供的技术资料，以获取更详细的工作参数信息。
最新智能型氦质谱检漏仪校准规范.pdf
7.3 仪器启动时间试验（对 ZLS-26D/T 型） 用秒表记录仪器自开机后至真空达到 1×10－2 Pa 的时间（仪器已停机 8h
但未超过 24h，系统保持真空）。
7.4 漏率音响报警功能的试验
调节放大器的输出示值，检验报警点的设定范围及音响器频率的变化。
7.5 仪器的最小可检漏率
按正常开机过程，抽到高真空，激发冷规，待抽到真空度为
HJ-M-187-2009
智能型氦质谱检漏仪校准规程
2009-11-20 发布
2009-12-01
实施
陕西华燕航空仪表有限公司质量保证部
HJ-M-187-2009
本规程签署人员
编制： 校对： 审核： 审定： 标审： 批准：
管理室 仪器仪表室
发放单位及份数
1
长度计量室
2
理化实验室
HJ-M-187-2009 代替 HJ-M-187-96 智能型氦质谱检漏仪校准规程
7.9 仪器的自身漏隙检查
当仪器处于最佳灵敏状态，对仪器自身的真空系统进行仔细的喷氦检漏， 观看是否有漏隙。
8. 校准结果处理及校准周期
8.1 校准结果处理
经检测所检项的指标均符合本规范技术要求的检漏仪应粘贴“ 证”。
1. 范围
本规范适用于我公司使用中及修理后的 ZLS-24C 型和 ZLS-26D/T 型氦质 谱检漏仪的校准。（法国阿尔卡特的 ASM182T 型氦质谱检漏仪可参照本规范 校准）。
2. 概述
氦质谱检漏仪主要包括参考漏孔、 节流阀、质谱室、抽气机组（真空部分）、 质谱分析器电源、报警器、信号显示（电器部分） 。由吸枪或喷枪将通过漏孔 漏出的氦气引入质谱室，经过质谱分析，漏气信号的大小由输出指示显示出 来，通过校准可计算出漏率值的大小。经过漏孔标定过的检漏仪，即可用来 检查产品和器件的微小漏隙。
eemua142标准
eemua142标准
EEMUA（欧洲紧急维护机构）标准是由欧洲紧急维护组织发布的用于指导紧急维护操作的标准。
这些标准涵盖了各种工业领域，包括石油、化工、电力和制药等，提供了关于设备维护和故障排除的指导，以确保在紧急情况下能够快速、有效地进行维护工作。
EEMUA 142标准是关于紧急维护操作中使用的气体检测设备的标准。
该标准规定了气体检测设备的性能要求、测试方法和使用条件，以确保在紧急情况下能够准确、可靠地检测气体泄漏或气体浓度，从而保障人员安全和防止事故发生。
具体来说，EEMUA 142标准涵盖了以下方面：
设备性能要求：包括设备的准确性、灵敏度、稳定性和可靠性等方面的要求。
测试方法：规定了测试设备性能的方法和程序，以确保设备符合性能要求。
使用条件：规定了气体检测设备的使用环境条件，如温度、湿度、压力和气体种类等。
维护和校准：规定了设备的维护和校准要求，以确保设备的准确性和可靠性。
总之，EEMUA 142标准为紧急维护操作中的气体检测设备提供了指导和规范，以确保在紧急情况下能够准确、可靠地检测气体泄漏或气体浓度，保障人员安全和防止事
故发生。
氦质谱真空检漏方法
氦质谱真空检漏方法氦质谱真空检漏啊，就像是在微观世界里玩一场超级刺激的捉迷藏。
那些微小的漏点就像狡猾的小妖怪，藏得严严实实的。
而我们的氦气呢，就像是带着特殊使命的小侦探，准备把这些小妖怪给揪出来。
你想啊，整个真空系统就像是一座神秘的城堡，表面看起来严丝合缝，但是谁知道里面有没有偷偷开了个小“暗门”呢。
这个时候，氦气就大摇大摆地走进这座城堡。
要是有漏点，那就相当于小妖怪留下的踪迹，氦气就会顺着这个踪迹溜出去。
氦质谱仪就更厉害了，它就像是一个超级嗅觉灵敏的大鼻子妖怪探测器。
氦气从漏点跑出去一点，就像小妖怪释放出了独特的气味。
氦质谱仪一下子就能闻到这种“气味”，然后大喊：“嘿，找到你这个小漏点妖怪了！”而且它还特别精确，就好像能精确地定位小妖怪在城堡的哪个角落一样。
这个检漏过程有时候就像一场紧张的追捕。
氦气在真空系统里到处跑，要是有漏点，就像是小妖怪不小心暴露了自己的藏身之处。
而我们就通过氦质谱仪这个厉害的“追踪器”，眼睛紧紧盯着数据的变化，就像猎人盯着猎物的动静一样。
如果把真空系统比作一个大口袋，那漏点就是口袋上的小破洞。
氦气就像是口袋里调皮的小精灵，一有机会就从破洞里钻出去。
氦质谱仪呢，就站在外面，把那些逃跑的小精灵一个一个逮住，然后告诉我们：“看，这里破了个洞，得赶紧补补啦！”有时候，那些漏点特别小，就像微观世界里的小蚂蚁洞。
可是别小瞧这些小蚂蚁洞，氦气就像一群执着的小蚂蚁探险家，总能发现这些小通道，然后带着消息跑回氦质谱仪这个“蚁巢”报告。
在这个检漏的世界里，我们操作人员就像是指挥这场“捉妖”行动的魔法师。
我们操控着氦气的走向，看着氦质谱仪这个魔法探测器给出的结果，然后施展“修补魔法”，把那些漏点小妖怪封印起来，让真空系统这个神秘城堡重新变得严严实实。
而且啊，这个过程就像在解一个超级神秘的微观谜题。
每一个数据的跳动，每一个发现的漏点，都是解开谜题的一块小拼图。
我们就在这种有趣又刺激的过程中，把整个真空系统的“健康状况”摸得一清二楚。
智能型氦质谱检漏仪校准规范
HJ-M-187-2009智能型氦质谱检漏仪校准规程2009-11-20发布 2009-12-01实施陕西华燕航空仪表有限公司质量保证部HJ-M-187-2009 本规程签署人员编制：校对：审核：审定：标审：批准：发放单位及份数HJ-M-187-2009代替 HJ-M-187-96智能型氦质谱检漏仪校准规程1.范围本规范适用于我公司使用中及修理后的ZLS-24C型和ZLS-26D/T型氦质谱检漏仪的校准。
（法国阿尔卡特的ASM182T型氦质谱检漏仪可参照本规范校准）。
2.概述氦质谱检漏仪主要包括参考漏孔、节流阀、质谱室、抽气机组（真空部分）、质谱分析器电源、报警器、信号显示（电器部分）。
由吸枪或喷枪将通过漏孔漏出的氦气引入质谱室，经过质谱分析，漏气信号的大小由输出指示显示出来，通过校准可计算出漏率值的大小。
经过漏孔标定过的检漏仪，即可用来检查产品和器件的微小漏隙。
3.引用文件Q/20192316-X-61-2001 成都仪器厂企业标准ZLS-26D/T 氦质谱检漏仪说明书ASM182T 氦质谱检漏仪使用手册陕西华燕航空仪表有限公司质保部4.技术要求4.1外观质量4.1.1仪器涂层应色泽均匀，外表不得有明显的损伤和锈蚀。
4.1.2仪器上的开关、旋钮和调节机构应安装牢固，转动灵活。
4.2绝缘电阻在正常工作条件下，仪器的电源线和机壳之间的绝缘电阻应大于5MΩ。
4.3仪器的错、缺相保护功能（ZLS-24C型）使用三相电源的仪器应当有错、缺相保护措施。
4.4仪器启动时间（ZLS26D/T型）仪器开机5min后，真空应达到1×10－2Pa（仪器已停机8h但未超过24h，系统保持真空），可以启动灯丝，进行检漏工作。
4.5仪器漏率音响报警功能漏率音响报警点应能任意设置。
开始报警后，音响的频率应随输出示值的变化而变化。
4.6检漏率仪器的最小可检漏率ZLS-24C型应优于2×10－11 Pa.m2.s-1（对空气）ZLS-26D/T型应优于5×10－12 Pa.m2.s-1（对空气）ASM182T型应优于5×10－12 Pa.m2.s-1（对空气）4.7粗抽到检漏的切换点（ASM182T型无此项）粗抽到检漏的切换点，应能在电阻计指示值为40Pa至0.1Pa的范围内任意设定。
氦质谱检漏仪基本原理简介
氦质谱检漏仪基本原理简介氦质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点。
是真空检漏技术中灵敏度最高，用得最普遍的检漏仪器。
氦质谱检漏仪是磁偏转型的质谱分析计。
单级磁偏转型仪器灵敏度为lO-9～10-12Pam3／s，广泛地用于各种真空系统及零部件的检漏。
双级串联磁偏转型仪器与单级磁偏转型仪器相比较，本底噪声显著减小．其灵敏度可达10-14～10-15Pam3／s，适用于超高真空系统、零部件及元器件的检漏。
逆流氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局，被检件置于检漏仪主抽泵的前级部位，因此具有可在高压力下检漏、不用液氮及质谱室污染小等特点．适用于大漏率、真空卫生较差的真空系统的检漏，其灵敏度可达10-12Pam3／s。
(1)工作原理与结构氦质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。
①单级磁偏转型氦质谱检漏仪现以HZJ—l型仪器为例．介绍单级磁偏转型氦质谱检漏仪。
在质谱室内有：由灯丝、离化室、离子加速极组成离子源；由外加均匀磁场、挡板及出口缝隙组成分析器；由抑制栅、收集极及高阻组成收集器；第一级放大静电计管和冷阴极电离规。
在离化室N内，气体电离成正离子，在电场作用下离子聚焦成束。
并在加速电压作用下以一定的速度经过加速极S1的缝隙进入分析器。
在均匀磁场的作用下，具有一定速度的离子将按圆形轨迹运动，其偏转半径可计算。
可见，当B和U为定值时，不同质荷比me-1的离子束的偏转半径R不同。
仪器的B和R是固定的，调节加速电压U使氦离子束恰好通过出口缝隙S2，到达收集器D，形成离子流并由放大器放大。
使其由输出表和音响指示反映出来；而不同于氦质荷比的离子束[(me-1)1(me-1)3]因其偏转半径与仪器的R值不同无法通过出口缝隙S2，所以被分离出来。
(me-1)2=4，即He+的质荷比，除He+之外，C卅很少，可忽略。
②双级串联磁偏转型氦质谱检漏仪由于两次分析，减少了非氦离子到达收集器的机率。
氦质谱仪文档
氦质谱仪引言氦质谱仪（Helium Mass Spectrometer）是一种利用质谱原理来检测氦气泄漏的仪器。
它具有高灵敏度、高精确度和快速响应的特点。
氦质谱仪广泛应用于各个行业中，特别是在气体工业、核能行业和航空航天领域。
本文将介绍氦质谱仪的工作原理、应用场景以及一些注意事项。
工作原理氦质谱仪的工作原理基于质谱法，即利用气体分子的质量-电荷比进行分析。
下面是氦质谱仪的基本工作原理：1.抽气系统：氦质谱仪通常配备有真空系统，用于将被测物体周围的气体抽出。
这样可以降低背景气体对测量结果的影响。
2.氦离子源：氦气通过电离源被电离成氦离子。
3.加速器：氦离子经过加速器加速，形成高能氦离子束。
4.分析器：高能氦离子经过磁场分析器，不同质量的氦分子会以不同的轨迹弯曲度通过，从而实现质量选择。
5.检测器：通过检测器对质谱图谱进行记录和分析，最终获得样品中氦气的含量。
应用场景氦质谱仪在以下场景中具有广泛的应用：1.气体工业：氦质谱仪被广泛用于检测气体管道、气体设备和密封系统的泄漏。
由于氦气具有很小的分子尺寸和较高的扩散速率，所以常常被用作探测气体泄漏的追踪气体。
2.核能行业：在核能行业中，氦质谱仪也被广泛用于检测核反应堆的泄漏问题。
由于氦气对环境影响较小且不易受到局限，所以可以快速、准确地定位和检测可能存在的泄漏点。
3.航空航天领域：氦质谱仪被广泛用于航空航天领域中的真空系统和航天器密封测试。
通过对真空系统和航天器进行泄漏检测，可以确保系统的正常运行和安全性。
注意事项在使用氦质谱仪时，需要注意以下几点：1.安全操作：氦气是一种无色、无味、无毒但是易燃且高压的气体，所以在操作过程中需要注意安全。
确保实验室或使用场所有良好的通风系统，并遵循相关的安全操作规程。
2.校准和维护：定期对氦质谱仪进行校准和维护，以确保其精确性和可靠性。
校准需要使用已知氦气浓度的样品进行比对，维护则包括定期清洁仪器、更换部件等。
3.操作技巧：熟悉氦质谱仪的操作步骤和参数设置，合理选择分析方法，并根据样品的特性进行合理调整。
ASM142氦检漏仪操作规程
ASM142氦检漏仪操作维护规程一、运行前检查1、清洁检漏仪及其周围的卫生。
2、检查机械泵油窗，看油层是否位于最大值和最小至之间，如果不是，添加油，直到满足要求。
3、检查进气口是否与测试设备连接并紧固好。
4、检查喷枪是否与氦气源连接好。
5、检查电源线是否连接好。
二、操作程序1、将检漏仪左侧下方的电源开关拨到“1”，即打开电源。
控制面板指示灯闪烁，分子泵启动，系统进行自检。
当自检完成时，测试循环准备就绪，可以进行检测。
这时伴有声音提示“detector ready for cycle”且在LCD显示：2、打开进气阀：a、按F3+”键，显示屏上显示“INLET VENT：ON”；c、按F3键。
3、启动测试模式：按“CYCLE”。
4、打开连接管路的阀门。
5、观察数码显示屏显示的数值，等到其显示的数值稳定后，可以开始检漏。
6、调节喷枪的流量大小，靠近脸部只要能感觉到气流即可。
用喷枪在可能漏气的地方喷射氦气，同时有人观察检漏仪数码显示数值，只要有较大变化（迅速升高），就表明此处漏气，这样就能定位漏气点。
通过反复查找，直到找到主要漏气点。
7、检查结束后，关闭连接管路上的阀门，按“CYCLE”键使循环结束，然后关闭电源，即将左侧下方开关拨到“0”。
8、拆除连接管路。
三、设备安全1、禁止任何外来物掉在或洒在检漏仪上，尤其是进气口中。
2、由于氦检漏仪为高精度精密仪器，其存放和使用环境要保持干净、卫生。
3、只有经过培训或有资格的设备维护工程师，才能使用此仪器。
4、由于检漏仪内部有真空部件，其存放环境要保持干净、无尘土，并且在仪器不使用时，其进气口要用密封法兰密封，以避免真空元件的污染。
5、使用时，注意观察仪器的运行情况，一旦发现问题（如较大振动、高噪音等），马上切断电源，并排除故障。
四、维护1、做好检漏仪的日常清洁及使用情况记录工作。
2、经常检查机械泵油层是否满足使用要求，即在最大值和最小值之间。
3、在LCD显示屏出现“CRITICAL FAILURE”、伴有提示声音通知操作者部件损坏或应进行维护、数字显示区显示“.”、所有的指示灯熄灭时，这说明比较重要的部件损坏或者应进行维护。
氦质谱检漏仪操作规程
氦质谱检漏仪操作规程《氦质谱检漏仪操作规程》一、引言氦质谱检漏仪是一种专业用于检测密闭容器和管道系统泄漏的仪器。
它利用氦气作为探测气体，通过质谱分析技术来检测微小泄漏。
正确的操作规程能够确保检测的准确性和可靠性，提高工作效率。
二、操作规程1. 准备工作：检测前需要确认被检测系统已断开氦气供应，并且处于密闭状态。
检测仪器也需要连接好电源和氦气供应管路。
同时，在进行实际操作之前，需要对界面软件进行启动和设置。
2. 仪器校准：启动检测仪器后，需要进行系统的自动校准，确保各项参数的正常工作。
包括氦气流量、真空泵运转状态、质谱仪的灵敏度等。
同时还需要对氦气的纯度进行测试，并记录相关数据。
3. 检测操作：将检测仪器放置在被检测系统附近，打开氦气供应阀门，开始充入氦气。
在氦气充入的过程中，观察质谱仪的数据显示，一旦出现氦气浓度异常升高的现象，即可判定系统存在泄漏。
并且质谱仪会自动记录并报警。
4. 结果分析：当检测结束后，需要对检测仪器的数据进行分析。
包括泄漏位置、泄漏程度等情况。
同时也需要对数据进行记录和存档。
5. 整理仪器：检测完成后，及时关闭氦气供应管路，关闭仪器电源，并对仪器进行整理清洁。
同时还需要进行定期的维护和保养。
三、注意事项1. 操作人员需要经过专业培训，并严格按照操作规程进行操作。
2. 在使用时，需要对仪器进行定期的校准。
3. 在检测过程中需要保持现场通风良好，避免仪器受到污染。
4. 检测仪器需放置在平稳的工作台上，避免因振动引起误差。
通过严格按照《氦质谱检漏仪操作规程》进行操作，能够有效提高检测的准确性和可靠性，保障设备和系统的正常运行。
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Adixen氦质谱真空检漏仪-ASM142系列
特点及应用：
•ASM142系列操作简单，可靠，应用广泛。
•有2种主要机型
ASM142（真空法、Bombing法、吸枪法（需配吸枪）），ASM142S （吸枪法）
•主要应用领域
石油化工、电力、制冷、冶金：用于容器、管道、焊接的检漏
电子、仪表阀门、汽车、照明：用于密封性器件、传感器、机械连接的检漏
航空航天、科研、医疗设备：用于元器件、仪器、标定装置的检漏•几种主要检漏方法：
真空法（亦称负压法）：被测部件与检漏仪相连，在被测部件外部喷氦
Bombing法：被测部件充入一定压力的氦气，然后放置在容器中，容器与检漏仪相连
吸枪法（亦称正压法）：被测部件充入一定压力的氦气，然后用吸枪在外部检测
主要配置及选配附件：
•ASM142内部主要配置:
旋片式真空油泵: 10 m3/h
真空分子泵：1.3 l/s 氦抽速
质谱分析室：双灯丝结构
标准漏孔：带温度补偿
选配附件
吸枪外置漏孔进口过滤器移动小车
ASM142系列检漏仪的新功能：
•自动标定，标准漏孔带温度补偿
•自动标定，标准漏孔带温度补偿
•氦气本底清零功能
在测试环境中氦气本底高的情况下，能抑制本底对检漏的影响•防氦气污染功能
当出现大漏或是误操作的情况下，检漏仪将会根据用户设定的值，关闭进入质谱室的阀门，防止分析单元受到污染
•红/绿颜色指示、声音报警
不会错过任何一次泄露
操作界面简单易用：
• 左边为设置区、右边为操作
区
• 只需按CYCLE键，整个检漏过程自动完成
• 清晰地显示出被检部件的漏率值
• 可设置报警点，漏率超过报警点，条形柱会变成红色并有声音提示
技术参数：
中山共享光电专业维修-Adixen ASM142
数量(件) 价格(元/件)
1-1 10000.00元/件
•发货地：广东中山市
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适合多种用途的应用，操作容易、结实耐用，是入门级别检漏设备的最佳选择。
重量56kg；尺寸510＊343＊428mm；内置旋片泵抽速10m³／h；另有干式的ASM Graph D，ASM142D，内置隔膜泵与分子拖曳泵，抽速从1m³／h 到18m³／h；当需要更加清洁可靠的使用条件（如半导体行业应用），可选择内置ACP15干泵的ASM Graph D＋。
真空模式最小可测泄漏量5.10-12mbar. l／s，吸枪模式最小可测泄漏量1.10-7mbar.l／s，反应时间＜1s。