清洗制绒操作规程

清洗制绒操作规程

1.目的

为规范清洗制绒的操作流程，正确的、有效的、高效的进行生产，特制定本规程。

2.适用范围

上海超日太阳能科技发展有限公司辖区内的清洗车间。

3.职责

3.1操作不规范可能引起原材料硅片的损耗，在进行操作之前，务必仔细阅读

本规程。

3.2熟练掌握每道操作步骤的注意点，精确掌控每道操作步骤的时间。

3.3严格根据本规程对化学品进行合适的操作。

4. 定义

4.1生产车间只负责按规程操作，没有改动化学品含量的权利

4.2对于生产过程中需要改变的参数，必须经由技术部门的授权。

5. 程序

5.1将各槽注满去离子水，打开控制柜上的电源开关，打开1、3、5、7、15

槽的加热开关，打开3、5、7槽的循环泵开关。

5.2将硅片插入花篮，插片时若发现硅片外观不良的挑出，插完一篮后扣好档

条、夹上夹子。

5.3在10槽前槽加入规定量的柠檬酸，用玻璃棒搅拌直至其完全溶解。

5.4待3槽水温达到50℃后，在后槽加入规定量的氢氧化钠。

5.5待5槽水温达到60℃后，在后槽加入规定量的氢氧化钠。

5.6将四篮硅片放入1槽内进行超声波清洗。花篮在槽内遵循先进先出原则。

5.7将硅片放入2槽进行超声波漂洗。

5.8开启鼓泡开关，氮气流量大小应适中。

5.9将硅片放入3槽进行去损伤，从冒泡反应起开始计时。

5.10将硅片拿出迅速放入4槽进行漂洗。

5.11在5槽后槽加入规定量的异丙醇，10分钟后将4槽的硅片放入5槽进行

制绒。

5.12将硅片拿出迅速放入8槽进行漂洗。漂洗结束后，取出1~2片观察绒面

情况。

5.13将硅片放入9槽进行漂洗。

5.14打开10槽的超声波电源开关，将硅片放入10槽进行超声波酸洗。

5.15打开11槽的超声波电源开关，将硅片慢慢从10槽拿出，放入11槽进行

超声波漂洗。

5.16将硅片放入13槽进行漂洗。

5.17将硅片放入14槽进行漂洗。

5.18开启15槽前槽注水开关，待前槽水量约有3/4时将硅片放入15槽进行

切水，切水时取下夹子。

5.19将硅片放入烘箱内烘干。

5.20烘干后将硅片送入扩散车间，做好各项记录表单。

5.21操作结束后，关闭鼓泡开关，关闭所有循环泵开关、加热开关和电源开

关。

5.22将各槽的水排放干净并对所有槽子的内外壁彻底清洗干净。

6. 附件

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