洁净室及相关控制环境国际标准

洁净室及相关控制环境国际标准

ISO14644

前言

ISO为全球各国标准化团体（ISO 会员团体）的联合会。其国际标准工作一般是由ISO 各技术委员会执行。每个会员团体若对技术委员会的某一课题感兴趣，均有权作为此技术委员会的代表。任何与ISO保持联系的国际组织，无论是政府的还是非政府的组织，同样可参加此项工作。ISO与国际电气技术委员会（IEC）在电气技术标准化方面进行紧密合作。

国际标准草案由其技术委员会认可后送各会员团体进行传阅，以待表决。草案作为国际

标准颁布至少需要75%的会员团体投赞成票。

国际标准ISO 14644-1由ISO/TC209洁净室及相关受控环境技术委员会提出。

ISO 14644在洁净室及相关受控环境的总标题下，由下述各部分组成：

第1部分：空气洁净度等级划分

第2部分：为认证与ISO 14644-1 连续的相符性的测试和监测技术要求

第3部分：计量和测试方法

第4部分：设计、施工和启动

第5部分：运行

第6部分：术语和定义

第7部分：增强的洁净装置

用户应注意，第2至第7部分的标题为第1部分发行时的工作标题。如果从工作计划中

删除了一部分或几部分，剩余部分可以重新编写。

附录B和C为ISO 14644的组成部分，附录A、D、E和F仅作资料用。