洁净车间环境监测

（一）、温度、湿度
项目
标准规定
监测时间
温湿度
监测工具 监测人员
内容 温度为18～28℃、相对湿度为45%～65% 净化空调系统正常运行于30min以后开始 指针式温湿度计，温度精度为1℃，湿度精度为1%
洁净室生产操作员
监测位置 监测频次
洁净室各区域 2次/天
通过洁净区各房间放置的温湿度表读数
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≥5pa
≥10pa
净化空调系统正常运行于30min以后开始 微压表
洁净室生产操作员
2次/天
动态测试
通过洁净区房间墙壁上的压差表读数
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注意：洁净区所有的门应关闭，测试时不允许有人穿越房 间，微压表示数稳定后再读数。测试过程必须在达到平衡 状态后进行。
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当洁净室压差不足时，应及时报告，立即调查原因，按 照《空气净化系统使用标准操作规程》（NOV-SJ-ZJⅢ-014）进行必要的调整，应检查洁净室密闭性或更 换初、中效过滤器或适当加大新风阀开度，以提高总送 风量和新风量，保证洁净区（室）压差合格。
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3.3 测试时间 1）静态a测试时，对非单向流洁净室，测试应在净化空
气调节系统正常运行时间不少于30min后开始。在静态b 测试时，对非单向流洁净室，测试宜在生产操作人员撤 离现场并经过20min自净后开始。 2）在动态测试时，须记录生产开始的时间及测试时间。
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洁净车间环境监 测
Small pure and fresh and beautiful r e p o 主讲人：王晓曦 r t t e m p l a t e
洁净车间环境监测
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洁净室环境控制要点 洁净车间环境监测分类及参数标准 车间环境监测方法 纯化水的检验方法及结果标准
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（四）、沉降菌
1、定义 沉降菌：空气中的活微生物粒子，通过专门的培养基，
在适宜的生产条件下繁殖可见的菌落数。 沉降菌菌落数：规定时间内每个平板培养皿收集到空气
中沉降菌的数目，以个/皿表示。
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2、监测要点
标准规定
具体内容
监测时间
净化空调系统正常运行时间不少于30min后开始
注：静态a：洁净室（区）在净化空气调节系统已安装 完毕且功能完备的情况下，生产工艺设备已安装、洁净 室（区）内没有生产人员的状态。
静态b：洁净室（区）在生产操作全部结束，生产操作 人员撤离现场并经过20min自净后。
动态：洁净室（区）已处于正常生产状态，设备在指定 的方式下进行，并且有指定的人员按照规范操作。
监测工具
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（2）压差 空气洁净度不同的洁净室（区）之间的压差应>5Pa，空气
洁净度级别要求高的洁净室（区）对相邻的空气洁净度级 别低的洁净室（区）一般要求呈相对正压。
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3.2 测试状态： 静态或动态均可进行测试。 静态测试时室内测试人员不得多于2人。 测试报告中应标明测试状态及室内测试人数。
6
浮游菌／m3
7
换气次数/h
控制要求
18℃-28℃
45-65%
洁净室（区）相对于室外大气的静压差应≥10pa
空气洁净级别不同的洁净室（区）之间的静压差应≥5帕
人流和物流通道应是从外向内压差逐步增加
≥0.5um
≥5um
3，500，000个/m3
20，000个/m3
10
500
≥15
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三、车间环境监测方法
3）采样管口置采样点采样时，在确认技术稳定后方可连续读数。 每次采样量不得低于最小采样量（附录C）。
4）将测试结果打印输出。
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7、采样注意事项
1) 非单向流洁净室（区），粒子计数器的采样管口宜向上。 2) 布置采样点时，应尽量避开回风口。 3) 采样时，测试人员应在采样口的下风侧，并尽量少活动。 4) 采样完毕后，宜对粒子计数器进行自净。 5) 应采取一切措施防止采样过程的污染。
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（三）、尘埃粒子
1 定义 尘埃粒子，一般指悬浮于空气中的固态和液态微粒。
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监测要点
标准规定 监测时间 监测工具 监测人员 监测方法、监测位
置
具体内容 净化空调系统正常运行时间不少于30min后开始
尘埃粒子计数器 质检部操作员
具体查看《尘埃粒子测定标准操作规程》
监测频次
3,500,000
2Βιβλιοθήκη Baidu,000
动态测30试0,0时00级以低一1级0,5洁00净,00度0 级别的60静,00态0 标准为参考。
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2、仪器 ：尘埃粒子计数器。 3、测试规则 3.1 测试条件 （1） 温度和湿度 洁净室（区）的温度和湿度应与其生产及工艺要求相适
应（温度控制在18℃-28℃，相对湿度控制在45%-65% 之间）。
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6、测试步骤
1）仪器开机接通电源，预热至稳定后将采样管接入仪器自净口， 仪器开始自净至尘埃粒子数为零。
2）采样点一般在离地面0.8m高度的水平面上均匀布置（《尘 埃粒子测定标准操作规程》（NOV-SJ-ZJ-Ⅲ-028）附录A）。按 附录B确定洁净室（区）采样点数目后进行采样。
在洁净区厂房温度或相对湿度监测中，发现结果超出范围 时，应及时查明原因，进行必要的调整。
《洁净区车间温湿度控制规程》（NOV-SJ-ZJ-Ⅲ-013）
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（二）、压差
压差
监测位置 监测标准 监测时间 监测工具 监测人员 监测频次 监测状态
空气洁净级别不同的相邻房间
洁净区（室）内外
正常生产过程中，生产洁净室（区）尘埃粒子的测定每季度一次， 停产时半年测定一次。
监测状态
静态测试（or动态）
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洁净度控制标准
不同洁净级别生产区域的控制标准
洁净度级别
静态尘粒最大允许数/立方米
≥0.5μm
≥5μm
100级
3,500
0
10,000级
350,000
2,000
100,000级
一、洁净室环境控制要点
温湿度、压差风速 、尘埃粒子、沉降 菌、浮游菌
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二、洁净车间环境监测分类及 监测结果标准
监测分类
试剂生产部 质量管理部
温湿度、压差、 风速
尘埃粒子、沉降菌 、浮游菌
洁净车间环境监测
十万级洁净室参数标准
序号 1 2
项目 温度 相对湿度
3
压差
4
尘埃粒子
5
沉降菌/皿