S扫描电镜操作步骤
S4800扫描电镜(SEM)操作手册
观测条件的选择
2、工作距离（WD）的设定 WD(working distance)是指物镜下端面到 焦点面之间的距离。 WD越小，图像的分辨率越高，而景深越浅。 做能谱时，WD必须设定为15mm。
观测条件的选择
3、探测器的选择 S－4800配备有上下两个二次电子探测器， 在WD较小时(<5)，推荐使用上探测器， 在WD较大时(>10)，推荐使用下探测器。 如果选择MIX，则同时使用两个探测器， 在整个WD的可变范围内，信号量不会发 生极端的变化。
2、加载样品
3）将样品架插入样品室
插入样品之前需要确认： (a)样品台的位置处于交换位置，并且没有处于锁定状态（Lock开关的灯 不亮） (b)加速电压处于OFF状态
（1）按交换室操作部分的AIR键，使交换室放气； （2）峰鸣器响后（对应键的灯不闪），将交换室打 开； （3）轻轻推入交换棒，此时保证交换棒后端的旋钮 处于UNLOCK状态； （4）用一只手拿着交换棒的旋钮，另一只手将样品 插入交换棒中；
观测条件的选择
1、加速电压的选择 从电子光学的角度讲，随着加速电压的升 高，电镜的分辨率也提高，但是电压越高，电 子束在样品中扩散范围就越大，同时放电和辐 照损伤现象也越严重。因此要根据样品的种类 及所要得到的信息，适当地选择加速电压。对 于导电性好的样品，可以选择较高的加速电压； 相反，对于导电性较差的样品，则应选择较低 的加速电压。
样品台旋转Rotation——R (360°连续)
样品台
样品台以通过其表面中心的法线为轴做平面内 旋转，是靠马达驱动的（自动）。
样品台旋转Rotation——R
Eucentric：当选中时，表示样品台旋转后， 观察区域仍然保持在当前位置。 Abs：绝对角度 正值0~360° Rel：相对角度（始终以当前位置为0） 可以输入正值0~360 °(顺时针) 负值0~-360 °(逆时针)
扫描电镜操作指南及注意事项
扫描电镜操作指南及注意事项
1、开机：打开循环水泵，开启主机DISPLAY。
刷卡上机，
进入系统后，打开电镜软件。
2、上样：按AIR，拔开进样仓，将样品台插在样品杆上，
旋转锁定。
再关闭进样仓，按EVAC抽真空，等到“嘀”
声响后，按OPEN，等到“嘀”声响后，将样品杆推到底，旋转放开，拔出样品杆，然后按CLOSE，关闭舱门。
3、观察：首先每天第一次使用需要进行FLASH操作，然后
调整电压，再低倍下找到样品，转换到高倍进行观察，选取好放大倍数和位置后，进行合轴校准。
调整焦距，再调整像散。
最后切换到慢扫模式进行拍照。
4、下样：归中样品，改为低倍，关闭电压。
然后按照上样
的反向进行下样。
5、关机：刷卡下机，将样品仓抽真空。
然后按顺序关闭软
件、关闭电脑，关闭DISPLAY，关闭循环水泵。
负责人：许碧超
分析测试中心。
扫描电子显微镜(SEM)标准操作规程
1. S—4300F型扫描电子显微镜操作规程：①将制备好的样品固定在样品架上，将样品台每个手柄调节至标准位置，打开AIR待预抽室放大气后装上样品。
推紧预抽室门按下EV AC键抽真空，待SEC、high灯亮后打开手动阀MV1推入样品后关闭MV1；②换样时，将所有旋钮调节至标准位置，打开手动阀MV1取出样品，关闭MV1重复第一步；③打开主机面板上display power 开关，接通操作系统开关，按照计算机提示进入WINDOWS操作界面；④点击桌面上的PC—SEM文件夹，进入扫描电镜操作平台；⑤打开LOCK开关，拨向AOUT OPEN方向，点击SEM操作界面上的vacc打开高压对话框。
将电流设置在10uA的位置上，电压可根据样品自由调节，调节范围1kv~20kv，点击ON，打开高压系统；⑥调节样品位置，选择所需结构。
利用桌面上AUTO按钮调节图像的对比度和亮度，调节扫描速度，得到一幅满意的图像。
打开光路调节键，利用Beam、Aperture、StigX、StigY、STIGMATOR/ALIGNMENT相互配合调节光路系统；⑦选择选区扫描速度，调节高倍像中的像散，最终得到一幅高清晰图像，⑧存图像数据：点击Speed 3，点击M键，关闭Image窗口选择Yes，确定存储路径点击Save完成图像的抓取；2.注意事项：①换样品时样品杆只能在X方向上平行滑动，不得随意倾斜、旋转等；②样品预抽室放大气前必须关闭高压系统；③样品台锁定系统打开后，样品台只允许X、Y向的移动，不得做其他运动；③每次更换样品前后必须观察P1、P2、P3三级离子泵的真空情况，其中P1、P2不得小于3*10/-7，P3不得小于7*10/-7，如低于上述标准不得加高压；④如使用数码打印机打印图像，必须使SEM操作平台提前检索到打印机；⑤磁性材料的测试必须提前和管理人员联系，弱磁性材料必须经管理人员认可后方可上机实验，强词性材料不得上机测试，否则将停止其上机资格；⑥粉末样品测试前必须确定其粘结的牢固程度，禁止悬浮颗粒进入显微镜；。
SEM扫描电镜的使用流程
SEM扫描电镜的使用流程1. 准备工作在使用SEM扫描电镜之前，需要进行一些准备工作，以确保仪器能够正常运行并获取高质量的扫描电镜图像。
•确保SEM仪器的供电和连接正常。
检查电源线和连接线是否完好，并确保适配器与电源插座连接良好。
•校准仪器。
使用专用的校准标样对扫描电镜进行校准，以确保电子束的准确聚焦和定位。
•检查样品台的清洁度。
清除可能影响电子束的尘埃和污垢，以避免对图像质量的影响。
•准备好样品。
根据实验需求，选择合适的样品，并进行必要的样品制备，如表面涂覆金属或导电剂。
2. 启动仪器在准备工作完成后，可以启动SEM扫描电镜。
•打开SEM软件。
在计算机上打开SEM软件，并确保与扫描电镜的连接正常。
•打开仪器电源。
按照SEM仪器的操作手册上的指示，打开扫描电镜的电源。
•等待仪器启动。
SEM仪器需要一段时间进行启动和自检过程，等待仪器完全启动并进入工作状态。
3. 设置实验参数在SEM扫描电镜启动后，需要设置一些实验参数，以获得所需的图像。
•选择加速电压。
根据样品的性质和所需分辨率，选择合适的加速电压。
较低的加速电压适合观察表面形貌，较高的加速电压适合观察内部结构。
•确定扫描速度。
根据样品的特点和要求，选择合适的扫描速度，较高的扫描速度可快速获得图像，较低的扫描速度可获得更高的分辨率。
•设置探针电流。
根据样品的导电性，调整探针电流。
较高的探针电流适用于导电样品，较低的探针电流适用于非导电样品。
•设置探头聚焦。
通过调整探头聚焦参数，确保电子束的聚焦和定位良好，获得清晰的图像。
4. 放置样品并调整在设置好实验参数后，需要放置样品并调整到合适的位置。
•将样品放置在样品台上。
小样品可以直接放置在样品台上，大样品可以使用夹具固定在样品台上，确保样品与电子束的距离适当。
•调整样品位置。
使用显微镜调节样品的位置，使其处于电子束的入射区域，以便获取清晰的图像。
•调整对焦和亮度。
通过调节对焦和亮度参数，确保所观察的区域清晰可见，并且亮度适中。
扫描电镜操作手册
扫描电镜操作手册扫描电镜操作手册一、目的本操作手册旨在为使用扫描电镜（Scanning Electron Microscope，简称SEM）的用户提供操作步骤和指南，以确保仪器的正确使用和延长其使用寿命。
二、操作步骤1、准备样品：根据SEM的要求，准备需要观察的样品。
确保样品具有足够的稳定性和导电性。
2、打开仪器：按顺序打开SEM的电源开关，并确保仪器稳定运行。
3、选择工作模式：根据样品的特性选择适当的工作模式（如高分辨率、低分辨率等）。
4、调整工作参数：根据需要，手动设置电子束加速电压、扫描速率、扫描分辨率等参数。
5、安装样品：将样品固定在样品台上，确保其稳定不动。
6、聚焦和校准：通过操作台面上的按钮或软件界面，调整电子束的聚焦位置和校准参数，确保图像的清晰度和准确性。
7、观察和记录：启动扫描过程，观察样品的微观结构，并使用计算机软件记录观察到的图像。
8、调整和优化：根据需要，对扫描参数进行调整和优化，以获得更好的图像质量。
9、关闭仪器：在完成观察后，按顺序关闭SEM的电源开关，并确保仪器完全停止运行。
三、注意事项1、在操作SEM之前，请务必阅读并了解仪器的操作手册和安全规范。
2、确保SEM的工作环境干燥、清洁，并避免强磁场、振动的干扰。
3、在安装和移动样品时，请避免与仪器碰撞，以免损坏设备。
4、在操作过程中，请勿将身体任何部位置于仪器内部，以防意外伤害。
5、若遇到任何操作问题，请及时联系专业人员进行处理。
四、维护与保养为了保持SEM的性能和延长其使用寿命，建议定期进行以下维护与保养工作：1、清洁真空系统：定期清洗或更换真空系统的组件，以确保仪器在高真空状态下运行。
2、检查电子枪：定期检查电子枪及其组件，确保其正常工作。
如需要，请更换老化的组件。
3、校准和调整：定期进行仪器的校准和调整，以保证图像的准确性和清晰度。
4、更换消耗品：根据需要，更换老化的真空泵油、过滤器等消耗品。
5、软件更新：定期更新SEM的软件系统，以确保其兼容性和稳定性。
扫描电子显微镜的操作步骤和注意事项
扫描电子显微镜的操作步骤和注意事项扫描电子显微镜的操作步骤与注意事项一、样品制备将分散好的样品滴于铜片上，干燥后将载有样品的铜片粘在样品座上的导电胶带上（对于大颗粒样品可直接将样品粘在导电胶带上）。
对于导电性不好的样品必须蒸镀导电层，通常为蒸金：将样品座置于蒸金室中，合上盖子，打开通气阀门，对蒸金室进行抽真空。
选择好适当的蒸金时间，达到真空度定好时间后加电压并开始计时，保持电流值，时间到后关闭电压，关闭仪器。
取出样品。
（注意：打开蒸金室前必须先关闭通气阀门，以防液体倒流。
）二、扫描电镜的操作1.安装样品1) 按“Vent”直至灯闪，对样品交换室放氮气，直至灯亮；2) 松开样品交换室锁扣，打开样品交换室，取下原有的样品台，将已固定好样品的样品台，放到送样杆末端的卡抓内（注意：样品高度不能超过样品台高度，并且样品台下面的螺丝不能超过样品台下部凹槽的平面）；3) 关闭样品交换室门，扣好锁扣；4) 按“EVAC”按钮，开始抽真空，“EVAC”闪烁，待真空达到一定程度，“EVAC”点亮；5) 将送样杆放下至水平，向前轻推至送样杆完全进入样品室，无法再推动为止，确认“Hold”灯点亮，将送样杆向后轻轻拉回直至末端台阶露出导板外将送样杆竖起卡好。
（注意：推拉送样杆时用力必须沿送样杆轴线方向，以防损坏送样杆）2.试样的观察（注意：软件控制面板上的背散射按钮千万不能点，以防损坏仪器）1) 观察样品室的真空“PVG”值，当真空达到9.0×10-5Pa时，打开“Maintenance”，加高压5kv，软件上扫描的发射电流为10μA，工作距离“WD”为8mm，扫描模式为“Lei”（注意：为减少干扰，有磁性样品时，工作距离一般为15mm左右）；2) 操作键盘上按“Low Mag”、“Quick View”，将放大倍率调至最低，点击“Stage Map”，对样品进行标记，按顺序对样品进行观察；3) 取消“Low Mag”，看图像是否清楚，不清楚则调节聚焦旋钮，直至图像清楚，再旋转放大倍率旋钮，聚焦图像，直至图像清楚，再放大……，直到放大到所需要的图；4) 聚焦到图像的边界一致，如果边界清晰，说明图像已选好，如果边界模糊，调节操作键盘上的“X、Y”两个消像散旋钮，直至图像边界清晰，如果图像太亮或太暗，可以调节对比度和亮度，旋钮分别为“Contrast”和“Brightness”，也可以按“ACB”按钮，自动调整图像的亮度和对比度；5) 按“Fine View”键，进行慢扫描，同时按“Freeze”键，锁定扫描图像；6) 扫描完图像后，打开软件上的“Save”窗口，按“Save”键，填好图像名称，选择图像保存格式，然后确定，保存图像；7) 按“Freeze”解除锁定后，继续进行样品下一个部位或者下一个样品的观察。
S4800扫描电镜(SEM)操作手册
• 如您的样品带有磁性或操作过程中遇到意外情况， 请垂询技术员彭开武/郭延军
（ Tel: 82545516 ）。
启动操作程序PC－SEM 加载样品
加高压及条件设定 调节电子光学系统
观察样品 记录图像 图像处理 SEM数据管理器 取出样品 刻录光盘 结束操作
采用慢扫描的方式能够提高图像的信噪比，从而提高图像的 质量，因此通常采用慢扫描方式记录图像。但是扫描速度越慢， 样品的放电现象越显著。所以，如果样品放电现象比较严重， 不能采用慢扫描方式记录图像，这时可以采用多次快速扫描叠 加的方式记录图像，同样可以提高信噪比。但是对于漂移明显 的样品无法采用这种技术。对于既放电又漂移的样品，采用单 次快速扫描的方式反而可以获得最高质量的图像。
倾转注意：
a)千万不要超过允许的倾转范围，为了安全起见， 不要倾转到极限，应留有一定的余量（至少1 °）
b)如果进行了倾转操作，当结束操作后使样品台回 到交换位置时，一定要先把T调回到0，然后再调Z 到8mm。
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可编辑
3）将样品架插入样品室
插入样品之前需要确认：
(a)样品台的位置处于交换位置，并且没有处于锁定状态（Lock开关的灯不 亮）
(b)加速电压处于OFF状态
（1）按交换室操作部分的AIR键，使交换室放气；
（2）峰鸣器响后（对应键的灯不闪），将交换室打 开；
（3）轻轻推入交换棒，此时保证交换棒后端的旋钮 处于UNLOCK状态；
样品台
样品台以通过其表面中心的法线为轴做平面内 旋转，是靠马达驱动的（自动）。
Eucentric：当选中时，表示样品台旋转后，观察区域仍然保 持在当前位置。
S-4800扫描电镜操作步骤
扫描电镜S-4800操作规程一、日常开机打开Display开关，电脑自动开机进入s-4800用户界面，PC_SEM程序自运行，点击确认进入软件界面。
二、装样品1.将样品台装在样品座上，根据标尺调整高度及确认样品位置后旋紧。
2.按下AIR键，当AIR灯变绿时拉开样品交换室，水平向前推出交换杆，把样品座插在交换杆上，逆时针旋转交换杆（即按照杆上的标示转至LOCK）锁定样品座后，将交换杆水平向后拉回原处。
3.关闭交换室，按下EV AC键，当EV AC绿灯亮时，按OPEN键至绿灯亮样品室阀门自动打开。
4.水平插入交换杆，直至样品座被卡紧为止，顺时针旋转交换杆（即按照杆上的标示转至UNLOCK）后水平向后拉回原处，点CLOSE键至绿灯亮样品室阀门自动关闭。
三、图像观察1.加高压点击屏幕左上方的高压控制窗口，弹出HV Control对话窗。
选择合适的观察电压和电流，点击ON，弹出提示样品高度的对话框，点击确定出现HV ON 提示条，待图像出现后，关闭HV Control对话窗。
2.在低倍、TV模式下，找到所要观察的样品，点击H/L按钮切换到高倍模式，通过调节样品位置，找到所要观察的视场。
3.聚焦、消像散选好视场后，放大到合适的倍数聚焦消像散。
先调节聚焦粗调和细调旋钮，使图像达到最佳状态，若图像有拉长现象，则需进行消像散。
调节STIGMATOR/ALIGNMENT X使图像在水平方向的拉长消失，再调节STIGMATOR/ALIGNMENT Y使图像在垂直方向的拉长消失。
4.图像采集及保存用A.B.C.键或BRIGHTNISS/CONTRAST旋钮自动或手动调节图像的对比度和亮度，扫描速度变为慢扫，点击抓拍按钮进行采集。
采集后暂时存放在窗口下侧，选中要保存的图像，点击Save，弹出Image Save对话框，输入文件名，选好存储位置保存即可。
5.对中调整改变加速电压和电流时，或图像在高倍聚焦发生漂移时，需要进行对中调整，方法如下：(1)选取样品上一个具有明显特征的位置放在视场中心。
日立S4800扫描电镜中文使用手册
一、介绍Hitachi S-4800场发射扫描电镜采用了新型ExB式探测器和电子束减速功能,提高了图象质量(15 kV下分辨率1 nm)，尤其是将低加速电压下的图象质量提高到了新的水平(1 kV下1.4 nm)；新型的透镜系统，提高了高分辨模式、高速流模式、大工作距离模式、磁性样品模式等多种工作模式，使其能够精确和清楚地捕捉最短暂的瞬间。
二、操作说明1．开机（1）日常开机：打开Display的开关，PC自动开机进入用户界面并自动运行PC_SEM程序，以空口令登入。
（2）完全关闭电源后开机：接通配电盘电源→拔上MAIN Swith 开关→按一下Reset按钮，→将MAIN控制面板上EVAC POWER按至ON，SC EVAC指示灯处于常绿状态后，等半小时→按下Display开关至ON, PC 自动开机进入用户界面并自动运行PC_SEM程序，以空口令登入。
2．图像观察（1）装入样品制样→把样品托装入样品座，并用标尺确定高度、旋紧→按AIR按钮→将样品座插在样品交换杆上，并锁紧→将交换杆拉至尽头卡紧，关闭交换室→按下EVAC按钮→按下OPEN 按钮打开MV-1后，推进交换杆，旋转样品杆UNLOCK位置后拉出交换杆→按下CLOSE 按钮。
（2）图像观察及保存SC真空恢复正常后（显示为L E-3）→选择适当的加速电压（Vacc）→加高压→在低倍、TV模式下将图像调节清楚→聚焦、消象散→Slow3确认图像质量→点击Capture按钮拍照→点击右下方Save按钮→选择保存位置、使用者及样品信息，保存。
（3）结束观察点击OFF按钮关闭加速高压→将放大倍率还原设至×1.00K→按操作界面上home使样品台回到初始位置→依照装入样品的方式反序取出样品。
3．关机（1）日常关机退出PC_SEM程序→退出Windows XP系统→关闭DISPLAY（2）完全关机短时间关机：退出PC_SEM程序→退出Windows XP系统→关闭DISPLAY→关闭EVAC→等待约35分钟后Multi Indicator区域显示“POFF”→关闭MAIN SWITCH→关闭电源总开关。
SEM扫描电镜操作规范和图像解读流程整合
SEM扫描电镜操作规范和图像解读流程整合SEM（扫描电子显微镜）是一种先进的显微镜技术，它利用高能电子束对样品进行扫描，产生高分辨率的图像。
SEM图像具有高放大倍率、高解析力和三维表面拓扑信息等特点，广泛应用于材料科学、生命科学、地球科学和工业领域。
然而，正确的SEM操作规范和图像解读流程对于获得可靠的结果和准确的分析至关重要。
本文将介绍SEM扫描电镜的操作规范和图像解读流程，以帮助用户正确操作和解读SEM图像。
一、SEM操作规范1. 样品制备：在进行SEM观察之前，必须对样品进行适当的制备。
样品应该是干燥的，并且必要时要进行表面处理，如金属镀膜或碳镀膜。
同时，样品应该固定在SEM样品台上，并保持平整和稳定。
2. 启动SEM：在启动SEM之前，必须进行一系列的准备工作。
首先，检查并确保SEM的真空系统正常工作，真空度在要求范围内。
然后，对SEM电子枪进行预热，通常需要10-15分钟。
最后，调整束流强度和对焦，以获得最佳的图像质量。
3. 设定参数：SEM操作期间，需要根据具体的样品和实验需求来设定不同的参数。
主要包括加速电压、电流、探针大小和扫描速度等。
这些参数的设定应该根据经验和实验要求来确定，以获得清晰的图像和准确的分析结果。
4. 扫描图像：在开始扫描之前，必须调整样品镜头和对焦。
然后，选择合适的扫描模式和区域，并开始扫描图像。
SEM图像的质量取决于扫描速度、像素大小和电子束与样品之间的距离等因素。
因此，在操作过程中应密切注意这些因素，并进行必要的调整和优化。
5. 图像保存：每次扫描完毕后，及时保存SEM图像。
可以选择将图像保存为原始格式（如TIFF格式），以便在需要时进行后续分析和处理。
此外，还可以对图像进行调整和标记，如亮度和对比度调整、边缘检测和像素统计等。
二、SEM图像解读流程1. 初步观察：首先，进行初步观察，浏览SEM图像的整体特征和形貌。
注意图像中的明暗对比、细节和粗糙度等特征。
SEM操作手册
扫描电镜基本操作步骤和注意事项一、基本操作步骤：1. 块状样品尺寸不宜过大（形状不规则的样品应咨询管理老师如何测试，不能想当然），用铜导电胶；粉末样品，则需碳导电胶带，用牙签制样，尽可能少量，并用洗耳球吹掉粘结不牢的粉末样品；做好样品后，把导电胶带等放入抽屉，并收拾好桌面。
2. 测样品时需换鞋，请同学们注意保持实验室卫生。
实验完毕后将拖鞋放回鞋架。
3. 观察屏幕右下角“Status”栏里的参数是否正常，尤其是Emission Current值是否正常。
测试前应在SEM记录本上记录IGP1、IGP2和Emission Current的值。
每次实验要在实验记录本上记录：时间，样品名称，数量，测试人姓名，仪器是否正常。
4. 未测试前系统处于“P ump”状态（黄色），按“V ent”键往样品室充高纯氮气（变黄色），约2分钟后“V ent”键变灰色可以轻轻缓慢的拉开样品室的门（如果打不开门，马上联系管理人员）。
5. 将附有样品的铝台，用洗耳球吹洗干净，并放入。
放置样品时切忌对着样品室说话，并且样品室的门不能开着太久，以保证样品室的清洁。
（正常的操作：右手握住带有样品的镊子，左手轻轻拉开门，马上把样品放置在支架（Holder）上，并立刻用左手“轻推”，右手扶住门正上端边缘的中间部位，双手配合，以防止门和电镜系统接触时过大的撞击，一直到门和电镜完全接触）6. 放好样品后，轻轻将样品室门推入保证接触，将右手指放在门上接触边缘缝隙处，左手点击“Pump”，当右手指感觉到门缝渐渐变紧时说明泵抽气正常。
鼠标左键选中左上窗口，按住鼠标中间滚轮往上拉，样品台会上升，视样品具体情况，控制样品台和极靴之间的距离（Work Distance, WD），Work Distance不能小于6mm。
等待操作界面右下角“Chamber Presure”真空优于8*10-3 Pa时，设置好高压和Spot的值，方可点击“High Voltage”加上高压。
扫描电镜 S-4800操作规程
4. 盖好相应的传感器的罩子；
5. 通过面板处选择Bake设定内外烘烤的时间， 根据自己的时间情况设定如Ou12，In8；Ou 24 ，In12；等等（注意Ou≥In）之后点击 Start 开始烘烤；
6. 烘烤的冷却时间是结束后需要自然冷却6 小时； 7. 冷却后清洗电子枪和镜筒后再将电子枪装 入镜筒； 8. 开机执行Flashing，先F1 0～10uA、F2 30 ～40uA、 F3 50～60uA最后再调回到 F2。
取样品步骤
1. 关掉高压，并样品台归位；
2. 关闭Aperture 从Heat到Off，等待30分钟；
3. 关闭Display 和 Stage 的开关，按住面板处 Air键2～5秒钟；
4. 等待破真空后，取下固定样品室的4个内六 角螺丝； I型：拆下相连接的信号线，小心的取下样品 台；
II型：接上轨道延长杆将样品台缓缓滑出；
5. 戴上手套进入样品室取出样品；
6. 将样品台和线等复原，点击Evac抽真空， 待真空抽好后将Aperture再开始加热；
日常维护保养
1. 清洗冷却循环水过滤网；
2. 空压机放水；
3. 检测RP泵油液面；
关机步骤
1. 点击Stage Home样品归位后，取出样品； 点软件右上角X ，退出软件，正常关机显示 器出现黑屏后关闭Display开关。
烘烤步骤
1. 关掉高压，取下电子枪上的两个固定螺丝；
2. 轻轻的取下高压电缆，将取下的枪头放于 侧面的支架上；
3. 检查镜筒是否干净，安装内外烘烤的电源 线；
二：取样品步骤：
1. 样品检测结束后，关闭高压，点击Stage菜 单的Home 图标使样品归位；
2. 点击样品交换室处的Open键，推进样品杆 将香蕉头插入至样品基座，旋转手柄至Lock 位置；
扫描电镜操作手册
扫描电镜操作手册一、引言扫描电镜（Scanning Electron Microscope，简称SEM）是一种高分辨率的显微镜，通过扫描样品表面并测量电子束与样品之间的相互作用来获取显微图像。
SEM具有广泛的应用领域，如材料科学、生物学、地质学等。
本操作手册将介绍如何正确地使用扫描电镜并获取高质量的图像。
二、安全注意事项在操作扫描电镜之前，必须了解并遵守以下安全注意事项：1. 确保操作室的通风良好，以避免可能的有毒气体积聚；2. 戴上适当的个人防护设备，如手套、防护眼镜和防护服；3. 使用扫描电镜时务必遵循厂商提供的操作指南和安全规程；4. 确保在扫描电镜操作室中无可燃物或易爆物。
三、扫描电镜基本操作步骤1. 打开电源：确认设备的电源开关处于关闭状态，然后将电源插头插入电源插座，并按下电源开关将设备打开；2. 仪器预热：根据设备的要求，进行预热操作，通常需要预热几分钟或更长时间；3. 样品准备：将待观察的样品固定在扫描电镜样品台上，确保样品表面平整并去除任何可能的尘埃；4. 进样室准备：打开进样室门，将样品小心地放入进样室中；5. 调整焦距：根据样品的特性，调整合适的工作距离和适当的放大倍数；6. 调节束流强度：根据样品要求和所需的图像质量，调整束流强度，确保图像清晰度和对比度；7. 获取显微图像：通过电镜操作软件，选择合适的参数和扫描模式来获取样品的显微图像；8. 图像处理和分析：将获取的显微图像导入图像处理软件中进行后期处理和分析；9. 关机：关闭设备时，首先关闭电源开关，然后将电源插头从电源插座拔出。
四、扫描电镜维护和保养为了保持扫描电镜的正常运行并延长设备的寿命，应定期进行下列维护和保养操作：1. 清洁样品台和进样室：使用特定的清洁剂和软布清洁样品台和进样室，避免使用含酸性或碱性溶液；2. 清理镜头和探针：使用干净的棉签蘸取少量的清洁剂，轻轻地擦拭镜头和探针表面，注意不要在镜头和探针上留下棉签绒毛；3. 替换耗材：根据设备的使用寿命和厂商的建议，定期更换扫描电镜所需的耗材，如探针和滤光片；4. 定期保养：根据设备的保养手册，定期进行设备内部的保养和维护工作，如清洁电子束发射器和调整光学系统。
Hitachi S-4800 型扫描电镜简易操作指南解析
注意！
Байду номын сангаас
本文件的目的在于帮助用户记忆培训的内 容，不能代替培训。有意自己操作扫描电 镜的用户请到现场参加培训。 为了把此文件的篇幅限制在一个合理程度， 文件内容难于面面俱到。 欢迎各位对本文件的内容提出宝贵意见！
S－4800 扫描电镜外观
3、加高压及条件设定
1）设定样品尺寸 点击STAGE设定键，在SPECIMEN窗口画面，点 击SET键，设定样品的尺寸。 2）设定加速高压和发射电流 点击加速电压显示部分，设定所需要的加速电压和 发射电流。发射电流一般设为10A 3）加高压 点击ON键，出现确认样品尺寸对话框，确定后， 开始自动加电压
2、加载样品
（5）按逆时针方向旋转交换棒的旋钮到LOCK状态， 然后将交换棒完全拉出； （6）关闭交换室，按EVAC键，交换室抽真空； （7）峰鸣器响后，按OPEN键，打开样品室与交换 室之间的门（气阀）； （8）峰鸣器响后，一边探视里面，一边将样品架 充分地插入样品台的槽中（交换棒推到底）； （9）按顺时针方向旋转交换棒至UNLOCK位置， 卸下样品，然后将交换棒完全拉出； （10）按CLOSE键，气阀关闭。
2、加载样品
1）将样品装在样品托（specimen stub)上 （1）根据样品大小选择合适尺寸的样品托 （15mm,1inch,1.5inch,2inch）； （2）用碳导电胶带或银导电胶将样品粘在 样品托上。
注意： (a)对于不导电或导电性不好的样品，需要进行喷金等的导电处 理； (b)当在较高倍率下观察时（大于等于10万倍），建议使用银导 电胶，可以防止样品漂移；用了导电胶的样品需要用台灯烤 干或用吹风机吹干后再插入样品室。
012扫描电子显微镜操作规程
012扫描电子显微镜操作规程扫描电子显微镜（SEM）是一种非常强大的显微镜，可以提供高分辨率的表面图像。
为了确保SEM的正确操作和保持仪器的性能，以下是SEM 的操作规程：1.准备工作-首先，检查SEM仪器，确保所有部件都正常工作，并且真空系统正常工作。
-打开SEM软件，并设置所需的参数，例如加速电压、工作距离、探测器类型等。
-准备样品，确保样品是干燥的，卫星，引线等应该被裁剪掉，以免影响SEM的像质。
2.开始操作-打开真空系统，等待真空度达到所需的数值。
-将样品安装在样品台上，并用导电胶或导电碳粉将样品固定在样品台上。
-将样品台放入SEM仪器，然后封闭仪器的门，开始真空抽气。
-在真空达到所需数值后，调整加速电压和工作距离，直到获得清晰的图像。
-调整探测器和信号放大器以获得最佳的信号对噪声比。
-通过移动样品台或调整光斑位置来选择不同的观察区域。
3.结束操作-在使用完SEM后，关闭真空系统，并将所有参数恢复到默认设置。
-将样品台从SEM仪器中取出，并将样品从样品台上取下。
-清洁样品台和SEM仪器，确保仪器干净并存放在适当的位置上。
-记录SEM操作的所有参数和图像，以备后续分析和比较。
4.安全注意事项-在使用SEM时，应穿戴适当的个人防护装备，如实验服、手套和护目镜。
-不要在不了解SEM仪器操作规程的情况下使用SEM，以免造成设备损坏或人身伤害。
-在使用SEM时，不要将手指或其他物体放入SEM仪器中，以免危及人身安全。
总之，正确操作SEM仪器是非常重要的，不仅可以确保SEM仪器的正常运行，还可以获得高质量的表面图像。
遵循以上SEM操作规程并注意安全事项，可以提高SEM操作的效率和安全性。
扫描电镜的使用流程
扫描电镜的使用流程1. 准备工作在使用扫描电镜之前，需要进行一些准备工作，以确保设备的正常运行和样品的质量。
•将扫描电镜放置在稳定的平台上，并连接电源线。
•检查设备是否处于正常状态，保证电镜和屏幕功能正常。
•准备好需要观察的样品，并确保样品表面干净、平整。
2. 扫描电镜的打开和预热在正式使用扫描电镜之前，需要进行打开和预热的操作。
•按下电源按钮，启动扫描电镜。
•等待设备完成启动程序，通常需要几分钟的时间。
•在设备预热的过程中，可以将样品放置在样品架上准备观察。
3. 样品装载样品装载是使用扫描电镜的重要步骤，需要注意一些细节。
•打开样品室的门，并使用工具小心地将样品放置在样品架上。
•关闭样品室的门，确保样品安全。
•确保样品架和样品室的接触良好，以避免扫描电镜运行时的异常情况。
4. 图像获取和观察使用扫描电镜进行图像获取和观察是主要的操作步骤。
•打开扫描电镜软件，并选择合适的观察模式。
•调整图像的对比度、亮度和聚焦等参数，以得到清晰的图像。
•通过镜头调节观察范围和放大倍数，选择合适的视野。
•使用扫描电镜的操作杆或按钮，移动和调整样品的位置和角度，以获取更多的信息。
5. 数据保存和分析在观察完样品并获得需要的图像后，需要进行数据保存和分析。
•将观察到的图像保存到计算机或其他存储设备中。
•根据需要，对图像进行后续的操作和分析，如测量、计数、拼接等。
•将分析结果整理并保存，以备将来参考和报告使用。
6. 关闭扫描电镜使用完扫描电镜后，需要进行关闭和清理的操作。
•关闭扫描电镜软件。
•关闭扫描电镜设备，并断开电源线。
•清理样品架和样品室，确保下次使用时的卫生和安全。
•将设备和周围环境归位，保证实验室的整洁。
以上就是使用扫描电镜的基本流程，希望能对你在使用扫描电镜时有所帮助。
记得在操作过程中遵守安全规范，保护好设备和样品的安全。
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S扫描电镜操作步骤集团标准化工作小组 [Q8QX9QT-X8QQB8Q8-NQ8QJ8-M8QMN]
扫描电镜S-4800操作规程
一、日常开机
打开Display开关，电脑自动开机进入s-4800用户界面，PC_SEM程序自运行，点击确认进入软件界面。
二、装样品
1.将样品台装在样品座上，根据标尺调整高度及确认样品位置后旋紧。
2.按下AIR键，当AIR灯变绿时拉开样品交换室，水平向前推出交换杆，把样
品座插在交换杆上，逆时针旋转交换杆（即按照杆上的标示转至LOCK）锁定样品座后，将交换杆水平向后拉回原处。
3.关闭交换室，按下EVAC键，当EVAC绿灯亮时，按OPEN键至绿灯亮样品室
阀门自动打开。
4.水平插入交换杆，直至样品座被卡紧为止，顺时针旋转交换杆（即按照杆上
的标示转至UNLOCK）后水平向后拉回原处，点CLOSE键至绿灯亮样品室阀门自动关闭。
三、图像观察
1.加高压
点击屏幕左上方的高压控制窗口，弹出HV Control对话窗。
选择合适的观察电压和电流，点击ON，弹出提示样品高度的对话框，点击确定出现HV ON提示条，待图像出现后，关闭HV Control对话窗。
2.在低倍、TV模式下，找到所要观察的样品，点击H/L按钮切换到高倍模式，
通过调节样品位置，找到所要观察的视场。
3.聚焦、消像散
选好视场后，放大到合适的倍数聚焦消像散。
先调节聚焦粗调和细调旋钮，使图像达到最佳状态，若图像有拉长现象，则需进行消像散。
调节STIGMATOR/ALIGNMENT X使图像在水平方向的拉长消失，再调节STIGMATOR/ALIGNMENT Y使图像在垂直方向的拉长消失。
4.图像采集及保存
用键或BRIGHTNISS/CONTRAST旋钮自动或手动调节图像的对比度和亮度，扫描速度变为慢扫，点击抓拍按钮进行采集。
采集后暂时存放在窗口下侧，选中
要保存的图像，点击Save，弹出Image Save对话框，输入文件名，选好存储位置保存即可。
5.对中调整
改变加速电压和电流时，或图像在高倍聚焦发生漂移时，需要进行对中调整，方法如下：
(1)选取样品上一个具有明显特征的位置放在视场中心。
(2)点击Aling键，出现Alignment窗口，在Beam项，视场中出现圆形光
斑，用STIGMATOR/ALIGNMENT X Y将圆形光斑调至视场中央。
(3)在Aperture, STIGX 和STIGY档，将图像放大至10万倍以上，若图像发
生晃动，调节STIGMATOR/ALIGNMENT X使图像在水平方向的晃动消失，再调节STIGMATOR/ALIGNMENT Y使图像在垂直方向的晃动消失。
四、取样品
1.打开高压控制窗口，点击OFF关掉高压。
点击HOME样品台自动归位至中
心，同时确认Z=8mm，T=0°。
2.按下OPEN键，绿灯亮时，样品室阀门自动打开，插入交换杆将样品座卡在
杆上，旋转交换杆至LOCK锁定样品座后，将杆水平向后拉回原处，按
CLOSE键，绿灯亮时阀门自动关闭。
3.按下AIR键，待绿灯亮时，拉开交换室，水平向前推出交换杆，旋转杆至
UNLOCK把样品座从杆上取下后，将杆水平向后拉回原处。
4.关闭样品交换室，点EVAC键抽真空。
五、数据获取
打开电脑桌面上的 Date upload 快捷方式，将数据拷贝到以课题组长为名的文件夹中。
在所内的电脑上登录后，打开S-4800文件夹，将数据直接拖出即可下载。
六、日常关机
依次关闭PC_SEM软件、电脑、Display开关。