多晶硅生产中废气淋洗塔着火及系统产生无定型硅的原因分析及处理措施
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在 一个 月 中 ， 废弃 淋 洗塔 有 ４次 明显 的着火 。 数 据表 明 ， 淋洗塔 着火期 间还 原炉 的炉 温如表 １ 。
表 １ ＭＳ 还 原 炉在 废 气 淋 洗 塔 着 火 期 间 的炉 温 Ａ
Ｔａ ｌ Ｔｈｅ ｒ ａ ｔ ｎ ｔ ｍ ｐ ｒ ｔ ｒ ｆ Ｍ Ｓ ＣＶＤ ｂｅ１ ｅ ｃｉ ｅ ｅ ａ ｕ ｅ ｏ ｏ Ａ ｄ ｒ ｎ ｈ ｆ － ａ ・ｃ ｕｂ ｅ ・ｙ ｔ ｍ ａｔｈ ｎ ｒ ｕ ｉ ｇ ｔ ｅ ｏ ｆｇ ｓ ｓ ｒ ｂ ｒ ｓ ｓ ｅ ｃ ｃ ｉ ｇ ｆ ｅ － ・ ｉ
不再着 火 ， 原 尾 气 回收 系 统 回收 的氯 硅 烷 颜 色 还
恢 复 。这一措 施不 仅 避免 了无 定形 硅 在 管道 内的
富集 ， 更避 免 了废 气淋 洗塔 的着火 ， 可 以提 高 产 还
品质量 。
１ 多晶 硅 还 原 炉 反 应 原 ｔ ］ ｊ［ ・
反 应 温 度 在 ９ ０～１０ ℃ 时 发 生 的 主 要 反 应 ： ０ ００
２１年 ０ ０１ ２月
云 南化 工
Ｙｕ ｎ ｎ Ｃ ｅ ｃ ｌ ｅ ｈ ｏｏｙ ｎ ａ ｈ ｍｉａ ｃ ｎ ｌｇ Ｔ
Ｆ ｂ． ０１１ ｅ ２
第３ ８卷 第 １期
Ｖｏ ． ８． ． １３ Ｎｏ １
多晶硅 生产 中废气 淋 洗塔 着 火及 系统产 生 无定 型硅 的 原 因分 析 及 处 理 措 施
送 入 ＭＳ Ａ还 原 炉 （ 国西 门子 公 司 生 产 ） Ｇ 德 及 Ｔ还
Ｓ（ ）＋ ｔ １ｇ ｉＳ ２１ （ ） Ｃ
２ ｉ Ｉ（ ） ＳＨＣ３ ｇ 一
ＳＣ４ ｇ ＳＨ Ｃ２ ｇ ｉＩ（ ）＋ ｉ ２ １（ ）
（） ３
当反应温度 １５ ００～１０ ￣ １０ Ｃ时发生 的主要反应 ：
氢硅 ， Ｃ ） 量超 高 ， Ｄ Ｓ含 比设 计值 高 出 ７ 。分 析研 ％ 究后 认 为 ， 于 Ｍ Ａ 还 原 炉 反 应 温 度 （０ ～ 由 Ｓ ９０
１０ ｏ 过低 ， ０ ０Ｃ） 刚好 处在 Ｄ Ｓ及 无定 型硅 生成 的温 Ｃ
２ 废气 淋 洗 塔 着 火 时 采集 的数 据
Ｓ Ｃ３ｇ ＋ ２ｇ－ ｉ Ｉ ） Ｈ （） Ｈ （
ＳＨ Ｃ ｇ － ｉ ２ １（ ）
Ｓ ２Ｉ（ ） Ｈ Ｉｇ １ ｉ Ｃ２ｇ ＋ Ｃ（ ） Ｃ ） 成 系统 未 开 车 ， 原 ＴＳ 合 该 料属于 外购 。外 购的 Ｔ Ｓ经 三级 精馏 系 统精 馏 后 Ｃ
度 区域 ， 系统 Ｄ Ｓ含 量过高 ， 使 Ｃ 管道 内富集 的无 定 形硅造 成 了 系统 堵 塞 ， 使 废 气 排 放 淋 洗 塔 频 繁 致 着火 ， 重威 胁 着安 全 生 产 。 当采 取将 ＭＳ 严 Ａ还 原 炉反应 温度 提 高 至 １０ １０～１５ ｏ 措 施 两 周 后 ， １０Ｃ的 系统 内 Ｄ Ｓ含 量 降至 ３ ～ ％ 左 右 ， Ｃ ％ ４ 还原 炉 内炉 壁 及基 盘表 面 的无 定 型硅 大 为 减 少 ， 气 淋 洗 塔 废
复。 关键词 ： 多晶硅； 淋洗 塔 ； 定 型 硅 ； 原 炉 无 还
中图分类号： Ｔ ３４ １ Ｎ ０ ． ２
文 献标 识 码 ： Ａ
文 章 编 号 ： １０ ０ ４—２５ （ ０ １０ － ５ －２ ７ Ｘ ２ １ ） １０ ７０ ０
我公 司新上 改 良西 门子 法 ３ ０ 多 晶硅生 产 ０ ０ｔ
有无定型硅粉 ， 回收 的氯 硅 烷 颜 色 呈 黑 灰 色 ， 统 检 测 Ｄ Ｓ含 量 达 １％ ； Ｓ 还 原 炉 反 应 温 度 在 ９ ０～１０ ￣ 之 系 Ｃ ０ ＭＡ ０ ０ ０（ ２ 间 ， Ｔ还原 炉 反 应 温 度 在 １５ ｏ ～１０ ￣ 间 。分 析 研 究 后 认 为 ， Ａ还 原 炉 反 应 温 度 过 低 ， 在 生 成 １ Ｓ和 无 Ｇ ０ ０Ｃ １０Ｃ之 ＭＳ 处 ｝ Ｃ 定型硅的温度区域 ， 管道 内 富集 了无 定 形 硅 ， 成 系 统 的堵 塞 ， 废 弃 淋 洗 塔 产 生 着 火 现 象 。 采 取 了 提 高 还 原 反 应 造 致 温 度 至 １０ １０—１５ ￣ 的措 施 ， 周 后 ， 统 检 测 Ｄ Ｓ含 量 降低 到 ４ 左 右 ， 洗 塔 不 再 着 火 ， １０（ ２ 两 系 Ｃ ％ 淋 回收 的氯 硅 烷 颜 色 恢
着 火期间 （ ００ １－ ２ １ － １ ２３ ） 分析 检 测还 原 ２ ５～１ — ， Ｏ
尾气 回收 的氯硅烷 含量在 ９ ９ ８ ％ ～ ０ ６ ５ ％ ， ．０ １ １ ．５６ 但
收 稿 ：０ １ １１ ２ １ － ．１ ０
接 受 ：０ １ ３ ８ ２ １－ － ０ ０
作 者 简 介 ：陆大 军 ， ， 南 宣 威 人 ， 工 工 艺工 程 师 ， 事 生 产 管 理 工 作 。 男 云 化 从
原炉（ 国 Ｇ 美 Ｔ公 司生 产 ） 。试 生产 多 晶硅 一个 月 后 ， 气 淋洗塔 却 连续 着火 ， 废 最多 一 周 达 ９次 。检
查后 发现 ， 还原 回收 系统 的氯 硅 烷 （ 产物 二 氯二 副
ＳＨ １（ ）＋Ｈ （ ） ： ｉｓ ３ Ｃ （ ） （ ） ｉ Ｃ３ ｇ ｇ Ｓ（ ）＋ Ｈ １ｇ ４ ２ ｉ Ｃ３ｇ ＝ ｉｓ ＋ Ｈ １ｇ ＋ ｉ１（ ） （ ） ＳＨ Ｉ（ ） ｓ（ ） ２ Ｃ （ ） ＳＣ４ｇ ５
陆 大 军 ＇
（ ．ＩＪＩ 学 化 工 学 院 ， １ ￣［ ｔ大 四川 成 都 ６ ０ ６ ； ．昆 明 冶 研新 材 料 股 份 有 限 公 司 曲 靖 生 产 区 ， 南 曲 靖 ６ ５ １ ） １０ ５ ２ 云 ５０ １ 摘 要 ： 多 晶 硅 炉 试 生产 一 个 月 后 ， 气 淋 洗 塔 在 ～ 周 内着 火 ９次 。 经 检 查 ， 原 炉 炉 壁 、 子 基 盘 上 散 布 废 还 炉
表 １ ＭＳ 还 原 炉在 废 气 淋 洗 塔 着 火 期 间 的炉 温 Ａ
Ｔａ ｌ Ｔｈｅ ｒ ａ ｔ ｎ ｔ ｍ ｐ ｒ ｔ ｒ ｆ Ｍ Ｓ ＣＶＤ ｂｅ１ ｅ ｃｉ ｅ ｅ ａ ｕ ｅ ｏ ｏ Ａ ｄ ｒ ｎ ｈ ｆ － ａ ・ｃ ｕｂ ｅ ・ｙ ｔ ｍ ａｔｈ ｎ ｒ ｕ ｉ ｇ ｔ ｅ ｏ ｆｇ ｓ ｓ ｒ ｂ ｒ ｓ ｓ ｅ ｃ ｃ ｉ ｇ ｆ ｅ － ・ ｉ
不再着 火 ， 原 尾 气 回收 系 统 回收 的氯 硅 烷 颜 色 还
恢 复 。这一措 施不 仅 避免 了无 定形 硅 在 管道 内的
富集 ， 更避 免 了废 气淋 洗塔 的着火 ， 可 以提 高 产 还
品质量 。
１ 多晶 硅 还 原 炉 反 应 原 ｔ ］ ｊ［ ・
反 应 温 度 在 ９ ０～１０ ℃ 时 发 生 的 主 要 反 应 ： ０ ００
２１年 ０ ０１ ２月
云 南化 工
Ｙｕ ｎ ｎ Ｃ ｅ ｃ ｌ ｅ ｈ ｏｏｙ ｎ ａ ｈ ｍｉａ ｃ ｎ ｌｇ Ｔ
Ｆ ｂ． ０１１ ｅ ２
第３ ８卷 第 １期
Ｖｏ ． ８． ． １３ Ｎｏ １
多晶硅 生产 中废气 淋 洗塔 着 火及 系统产 生 无定 型硅 的 原 因分 析 及 处 理 措 施
送 入 ＭＳ Ａ还 原 炉 （ 国西 门子 公 司 生 产 ） Ｇ 德 及 Ｔ还
Ｓ（ ）＋ ｔ １ｇ ｉＳ ２１ （ ） Ｃ
２ ｉ Ｉ（ ） ＳＨＣ３ ｇ 一
ＳＣ４ ｇ ＳＨ Ｃ２ ｇ ｉＩ（ ）＋ ｉ ２ １（ ）
（） ３
当反应温度 １５ ００～１０ ￣ １０ Ｃ时发生 的主要反应 ：
氢硅 ， Ｃ ） 量超 高 ， Ｄ Ｓ含 比设 计值 高 出 ７ 。分 析研 ％ 究后 认 为 ， 于 Ｍ Ａ 还 原 炉 反 应 温 度 （０ ～ 由 Ｓ ９０
１０ ｏ 过低 ， ０ ０Ｃ） 刚好 处在 Ｄ Ｓ及 无定 型硅 生成 的温 Ｃ
２ 废气 淋 洗 塔 着 火 时 采集 的数 据
Ｓ Ｃ３ｇ ＋ ２ｇ－ ｉ Ｉ ） Ｈ （） Ｈ （
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Ｓ ２Ｉ（ ） Ｈ Ｉｇ １ ｉ Ｃ２ｇ ＋ Ｃ（ ） Ｃ ） 成 系统 未 开 车 ， 原 ＴＳ 合 该 料属于 外购 。外 购的 Ｔ Ｓ经 三级 精馏 系 统精 馏 后 Ｃ
度 区域 ， 系统 Ｄ Ｓ含 量过高 ， 使 Ｃ 管道 内富集 的无 定 形硅造 成 了 系统 堵 塞 ， 使 废 气 排 放 淋 洗 塔 频 繁 致 着火 ， 重威 胁 着安 全 生 产 。 当采 取将 ＭＳ 严 Ａ还 原 炉反应 温度 提 高 至 １０ １０～１５ ｏ 措 施 两 周 后 ， １０Ｃ的 系统 内 Ｄ Ｓ含 量 降至 ３ ～ ％ 左 右 ， Ｃ ％ ４ 还原 炉 内炉 壁 及基 盘表 面 的无 定 型硅 大 为 减 少 ， 气 淋 洗 塔 废
复。 关键词 ： 多晶硅； 淋洗 塔 ； 定 型 硅 ； 原 炉 无 还
中图分类号： Ｔ ３４ １ Ｎ ０ ． ２
文 献标 识 码 ： Ａ
文 章 编 号 ： １０ ０ ４—２５ （ ０ １０ － ５ －２ ７ Ｘ ２ １ ） １０ ７０ ０
我公 司新上 改 良西 门子 法 ３ ０ 多 晶硅生 产 ０ ０ｔ
有无定型硅粉 ， 回收 的氯 硅 烷 颜 色 呈 黑 灰 色 ， 统 检 测 Ｄ Ｓ含 量 达 １％ ； Ｓ 还 原 炉 反 应 温 度 在 ９ ０～１０ ￣ 之 系 Ｃ ０ ＭＡ ０ ０ ０（ ２ 间 ， Ｔ还原 炉 反 应 温 度 在 １５ ｏ ～１０ ￣ 间 。分 析 研 究 后 认 为 ， Ａ还 原 炉 反 应 温 度 过 低 ， 在 生 成 １ Ｓ和 无 Ｇ ０ ０Ｃ １０Ｃ之 ＭＳ 处 ｝ Ｃ 定型硅的温度区域 ， 管道 内 富集 了无 定 形 硅 ， 成 系 统 的堵 塞 ， 废 弃 淋 洗 塔 产 生 着 火 现 象 。 采 取 了 提 高 还 原 反 应 造 致 温 度 至 １０ １０—１５ ￣ 的措 施 ， 周 后 ， 统 检 测 Ｄ Ｓ含 量 降低 到 ４ 左 右 ， 洗 塔 不 再 着 火 ， １０（ ２ 两 系 Ｃ ％ 淋 回收 的氯 硅 烷 颜 色 恢
着 火期间 （ ００ １－ ２ １ － １ ２３ ） 分析 检 测还 原 ２ ５～１ — ， Ｏ
尾气 回收 的氯硅烷 含量在 ９ ９ ８ ％ ～ ０ ６ ５ ％ ， ．０ １ １ ．５６ 但
收 稿 ：０ １ １１ ２ １ － ．１ ０
接 受 ：０ １ ３ ８ ２ １－ － ０ ０
作 者 简 介 ：陆大 军 ， ， 南 宣 威 人 ， 工 工 艺工 程 师 ， 事 生 产 管 理 工 作 。 男 云 化 从
原炉（ 国 Ｇ 美 Ｔ公 司生 产 ） 。试 生产 多 晶硅 一个 月 后 ， 气 淋洗塔 却 连续 着火 ， 废 最多 一 周 达 ９次 。检
查后 发现 ， 还原 回收 系统 的氯 硅 烷 （ 产物 二 氯二 副
ＳＨ １（ ）＋Ｈ （ ） ： ｉｓ ３ Ｃ （ ） （ ） ｉ Ｃ３ ｇ ｇ Ｓ（ ）＋ Ｈ １ｇ ４ ２ ｉ Ｃ３ｇ ＝ ｉｓ ＋ Ｈ １ｇ ＋ ｉ１（ ） （ ） ＳＨ Ｉ（ ） ｓ（ ） ２ Ｃ （ ） ＳＣ４ｇ ５
陆 大 军 ＇
（ ．ＩＪＩ 学 化 工 学 院 ， １ ￣［ ｔ大 四川 成 都 ６ ０ ６ ； ．昆 明 冶 研新 材 料 股 份 有 限 公 司 曲 靖 生 产 区 ， 南 曲 靖 ６ ５ １ ） １０ ５ ２ 云 ５０ １ 摘 要 ： 多 晶 硅 炉 试 生产 一 个 月 后 ， 气 淋 洗 塔 在 ～ 周 内着 火 ９次 。 经 检 查 ， 原 炉 炉 壁 、 子 基 盘 上 散 布 废 还 炉