清洗制绒操作规程

前清洗&制绒作业指导书

前清洗&制绒作业指导书

1.目的

硅片表面制绒。

2 原理

在低浓度NaOH水溶液中，硅片表面发生各向异性腐蚀，产生密集的金字塔型角锥体结构。

化学反应方程式：Si+2NaOH+H

2O=Na

2

SiO

3

+2H

2

↑。

3.职责

3.1 生产准备

3.1.1 穿上工作服，戴上PVC/乳胶手套，加药操作人员需要戴上安全眼镜、防护面具、防酸碱围裙、长袖防酸手套。

3.1.2 确保手套没有粘有油脂性物质,在插片过程中请使用真空吸笔,如有其他取片需要,严禁直接接触硅片的表面，只允许接触硅片的两侧.手套若接触过皮肤、头发或者是带有油脂的物品，请更换手套。

3.1.3 在“工艺流程卡”上准确记录硅片批号、生产厂家、硅片类型，电阻率和投入数。

3.1.4 检查抽风是否正常，检查DI水的电阻率，实际观察值需＞2MΩ·cm,上班前并做好相应记录，低于规定数值，立即通知工艺人员。

3.2 生产操作过程

A：制绒槽的操作过程

3.2.1 把DI水装入制绒槽中，使水位到达预定的刻度，盖上槽盖，开启加热。

3.2.2 当屏幕显示制绒槽温度达到，先按工艺规定的配液比例加入 NaOH, 盖上盖子，无篮循环，鼓泡数分钟，使溶液混合均匀。

3.2.3 制绒槽持续加热溶液，直到控制屏幕实际显示温度达到工艺规定要求。

3.2.4 按工艺配液比例要求加入IPA、添加剂,盖上盖子。

3.2.5 当温度稳定后，开始投料生产，改为有篮鼓泡。

3.2.6 正式生产时，当硅片从制绒槽中提出后，在漂洗槽检查硅片质量（外观与重量检查，标准见质量检查一项）。

3.2.7在每个槽中做完一批后，需要定量补料，补料范围为：根据实际生产出片制绒效果结合工艺参数。

3.2.8 如果当班在下班时制绒槽如果没有做满20批，则不需要将药液放掉，下个班次可以继续使用10个批次。

B：其它辅助槽的操作过程

3.2.9 预清洗、HF、HCL槽将水位加到预定刻度处（在相应的槽中有标定刻度），溢流槽加满水。

3.2.10 在HF、HCL槽中分别加入工艺规定溶液配比量的HF和HCL，每个槽鼓泡数分钟,使溶液均匀。

3.2.11 在盐酸前面的漂洗槽检查硅片时，操作人员不应在盐酸槽一面，而应该在漂洗槽一面，同时要注意机械臂的运动。

3.3 工艺控制要求

3.3.1 所有漂洗槽中的水必须一个班次（12小时）更换一次，并清理槽内的碎片。

3.3.3 如果中途停止生产，则制绒槽中应加入工艺要求的IPA和添加剂。

3.3.4 如果停止时间超过三小时,这重新换药。

3.3.5 由于每个槽体的密封性不同，在制绒过程中应观察每个槽中的水位，如发现水位明显有异于其它槽体，应及时通知班技术人员，进行补水以及药液加入量的调整。

3.3.6 预清洗槽药液学用，因根据硅片情况选择20%NaOH溶液或酒精、IPA 混合溶液进行超声波清洗。

3.3.7 HF、HCL槽必须在做满三天进行药液更换。

3.3.8 制绒工序做好各种记录表格，包括：DI水电阻率检查表、制绒槽中定量补药记录表、每个槽的药液和水的更换记录表，喷淋装置工作记录表。

3.4 质量检验

3.4.1 当硅片到达漂洗槽中时，需检查腐蚀后硅片质量，包括绒面外观质量。外观要求绒面无明显白斑，无药液残留、无明显反光。

3.4.2 工序产品单面腐蚀深度如果不在工艺要求的范围之内,通知工艺工程师,采取改善措施，刻蚀深度最合适的范围在8至13微米之内。

4 仪器/工具/材料

仪器：测量范围100摄氏度的温度计、PH试纸。

工具：防护用品（耐酸碱长袖手套、防酸碱围裙、防护眼镜、防护面罩）、PVC/乳胶手套。

材料：硅片、NaOH、IPA、添加剂、HF、HCL、DI 水。

5.0 注意事项

5.1 检查制绒质量，观察是否出现异常,详细参照代表性样品。若出现异常情况，目测或参考有代表性的样品，在作业指导书规定范围内做调整（见3.2.7），问题仍不能解决则通知技术员做工艺调整。

5.2 如果需要更改工艺,一般只需更改制绒时间与IPA的加入量，NaOH和添加剂的加入量只有在上述调整效果不明显的情况下做改动。补药量超过控制作业指导书范围时，需工艺工程师同意。

5.3 所有生产人员必须严格遵守工艺规定，严禁越过一些工艺或者不按照工艺执行。

5.4 在制绒过程中，如发现在槽中有腐蚀锈迹，应立即通知设备工程师。

5.5 发现工艺槽槽体及液体颜色出现异常时，应立即通知设备工程师和工艺工程师。

5.6 不允许将片盒或篮子直接放在地面上，不允许硅片与金属直接接触。

5.7 每条线制绒与扩散工序之间的在制品在置时间不能超过4小时。

5.8 每批测量3片硅片（片架的固定位置）来检查腐蚀厚度。

5.9 在更换所有药液做清洗工作时，所有槽只需做一次溢流清洗，然后用水枪清洗干净即可。