PM参数记录表
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tube PS1-4
P5
machine SiH4（1）NH3（1）SiH4（2）NH3（2）p Pl
number[ sccm ][ sccm ][ sccm ][ sccm ][ mbar ][ W ]
6801720000.254100
E1E2E3
TK RI TK RI TK RI
Middle85.3 2.207985.9 2.18186.6 2.1794
tube PS5-8
P5
machine SiH4（1）NH3（1）SiH4（2）NH3（2）p Pl
number[ sccm ][ sccm ][ sccm ][ sccm ][ mbar ][ W ]
0048019200.254100
E1E2E3
TK RI TK RI TK RI
Middle90.7 2.06189.2 2.03487.7 2.0383
center：
Pr speed PM
[ W ][ cm*min-1 ][ °C ]
380095380/350/380
E4E5
TK RI TK RI
84.5 2.191982.3 2.2015
thickness RI
84.92 2.19234
Pr speed PM
[ W ][ cm*min-1 ][ °C ]
380080380/350/380
E4E5
TK RI TK RI
87.4 2.037788.6 2.0445
thickness RI
88.72 2.0431