洁净室的运行管理..

• • • •
1、进入洁净室的管理，包括对洁净室工作人员进入、物料进入、 各类设备的搬入以及相关的设备、管线的维护管理，应做到不得将 微粒、微生物带入洁净室。 2、操作管理技术，对洁净室内人员用洁净工作服的制作、穿着和 清洗；操作人员的移动和动作；室内设备及装修材料的选择和清扫、 灭菌等。尽可能的减少、防止洁净室内尘粒、微生物的产生、滞留、 繁殖等。 3、严格各类设备、设施的维护管理，制定相应的操作规程，保证 各类设备、设施按要求正常运转，包括净化空调系统、各类水气电 系统、生产工艺设备和工器具等。以确保产品生产工艺要求和空气 洁净度等级。 4、清扫管理，对洁净室内的各类设备、设施的清扫以及方法、周 期和检查作明确的规定，防止、消除洁净室内尘粒、滞留。
• 再有，加强洁净室的运行管理，对于洁净厂房的安全、稳
定的运转也是十分重要的。洁净厂房的安全管理工作比一 般生产厂房更为重要，这是因为洁净室的密闭性好、平面 布置曲折，洁净室内设施、装修要求严格，建造费用高， 洁净室内通常设置有贵重设备、仪器等，一旦发生安全事 故，损失巨大。另外，某些洁净厂房内的产品生产过程中 需要使用一定数量的可燃气体、溶剂、化学品，有的还需 使用有毒的气体、液体等，这样便容易引发安全事故的发 生。据调查资料表明，洁净厂房的安全事故时有发生，这 些安全事故发生的原因是多方面的，据统计，其中由于生 产工艺设备或生产环境控制设备的操作引发的安全事故占 总数的57%，所以加强洁净厂房内的各类设备及其相关设 施的维护管理，对确保洁净室的安全、稳定运行十分重要。
综上所述，加强洁净厂房运行中的维护管理，不仅能确保 洁净室内的空气洁净度等级，提高产品质量，而且还是保 证安全生产所必须的；洁净厂房的建造费用昂贵，大多洁 净室内生产高新技术产品，产品价值高，有的还是国民经 济的重要产品。因此，洁净厂房一旦因维护管理不善，至 使空气洁净度等级下降或出现安全事故，其经济损失巨大， 甚至造成严重的社会影响。
（2）、洁净室管理
1、熟知本企业洁净室的构造、净化空调系统的技术性能和保持空气洁净 度等级的技术措施； 2、熟知本企业洁净室产品生产环境所需的水、电、气等供应系统技术性 能，以及确保水、电、气等品质的技术措施； 3、熟知并掌握洁净厂房所需各项检查方法，并确定检测评价要求和时间； 4、熟知洁净室清扫、清洗和消毒方法，确定清扫、清洗和消毒时间和检 查的要求和时间； 5、决定洁净室及其相关技术设施的运行或停止，并定期检查运行日志及 有关记录； 6、当洁净室发生故障或出现安全隐患时，决定采取有效处理措施，并发 布相关命令直至停止运行。
洁净室内工作人员所散发的尘粒，也有来自口腔等产生的 微粒，曾经有学者对吸烟者呼气所发出的微粒进行测试和 调查，结果显示刚吸烟者呼气中0.3—0.5um的微粒浓度较 高。进入洁净室人员涂抹化妆品也是不适宜的，因其散到 洁净室的环境空气中，对产品质量造成很坏影响。近年来， 在超大规模集成电路生产中，高级别洁净室和微环境技术 的采用，对一些实际的洁净室的微粒来源的测试表明，人 体发尘量在全部尘源中可占比例有所下降。
• 所谓洁净室的维护管理应包括洁净室内的人员及生产工艺
设备、工器具的管理，空气、水、气体、化学品的设备及 输送过程的管理，洁净室的清扫灭菌等。通过一些事例说 明，洁净室不仅要建造好，而且更应该管好、用好，要增 强洁净意识，建立健全洁净室维护管理的规章制度，自觉 的做好洁净室的管理工作。实例：某工厂的洁净室，洁净 面积较大，投入运行之初，维护管理还较好，产品合格率 曾高达80%左右，后因种种原因，管理维护工作放松，洁 净室人员进入洁净房间不严格执行“人身净化程序”；洁 净服使用管理不善，不按规定清洗；洁净室内不按规定进 行清洁、清扫等，严重影响洁净室的空气洁净度等级，再 加上一些其他原因，使工厂生产的产品合格率下降到20% 左右。
2、管理的原则、内容
（1）、洁净室管理的原则
为了保持洁净室内的空气洁净度，必须建立一套科学的、有效的维护 管理规定，对于具体的某一洁净室在制定维护管理规定的，必须按自 身的特点和具体的构造、空气洁净度等级、生产工艺要求以及配置的 系统、设备情况确定，但是都应该以防止洁净室内尘粒、微生物的产 生、滞留、繁殖和安全生产为宗旨，通用的洁净室维护管理的原则大 体如下：
不同衣着、不同动作时的人体产尘量
产尘
状态 衣着 静站 静坐 339×103 302×103
≥0.5um颗粒数/pc.（min.人）-1
一般工作服 白色无菌工作服 113×103 112×103 全包式洁净工作服 5.6×103 7.45×103
腕上下运动
上身前屈 腕自由运动 脱帽 头上下左右 上身扭动
（5）、洁净室工作人员须知
• a．进入洁净室的人员应该严格执行人身净化制度、线路 • • • • •
二、人员管理
1、人员与室内空气污染
洁净室内的尘源，主要来自生产工艺设备运转中发尘，产 品和材料运送过程中发尘，洁净室内建筑内表面等的发尘 和人员产尘。来自生产设备运转中的尘粒有的可通过局部 排风装置排除；按洁净室的管理规定，产品和材料均应进 行清洁，在运送过程中的发尘量与人体发尘量相比是很少 的；洁净室内表面只要严格按规定进行清扫、清洁，其发 尘量也可控制到很少。洁净室的尘源主要来自操作人员的 发尘，即使按规定对洁净室人员按“人净程序”进行了人 生净化，洁净室内人员的产尘仍是主要污染源。在洁净生 产环境内，工作人员的发尘量多少与其穿着的洁净工作服 种类、形式和洁净服的着装的材质类型有关，与工作人员 在洁净室内的活动、动作的幅度等因素有关。
• （3）、对洁净室工作人员应按规定进行定期考核、培训；
对临时进入人员应进行监督、记录。
• （4）、进入洁净室的工作人员不准带入下列物件：
a．未按规定进行洁净处理的各类材料、设备和仪器 等物件； b．纸（包括硬纸和记录用纸）和笔（包括铅笔、钢 笔以及墨水、橡皮等）； c．工作人员的各种个人物品，如手表、化妆品、手 纸、钱包、钥匙、装饰品、食品、香烟、打火机、火柴等。
•
• • •
•
（3）、洁净室定期检查的项目
洁净室在设计建造、竣工验收后应进行综合性能测试、评价。为了监 控洁净室在使用过程中的正常运行和维护，应对洁净室的运行状况及 相关的设施进行定期检查，一般定期检查的项目见下表：
项目 尘埃数 温湿度 菌落数 风量 检查方法及其他 在规定的时间、地点，用粒子计数器测定控制粒径的微粒数 在规定的时间、地点测定和核对连续测定记录 在规定的时间、地点、测定沉降菌数或浮游菌数等 测量净化空调系统的高效过滤器的压差，检查过滤器是否堵塞、安装 的密封垫是否完好或过滤器损坏而引起的泄露情况。使用风速计检查 局部排风装置的风量 使用压力表测定洁净室内外的静压差 检查送风机轴承，送风机运行状态、尘埃和污物，送、回风管道内部 和送风口的腐蚀及污垢等情况
3、洁净室人员数量和出入管理
（1）、严格控制进入洁净室的人员数量，由洁净室专职管理 人员、企业负责人共同确定洁净室的操作人员数量，一经 商定必须严格控制；严格控制临时进入洁净室的维护、检 测人员和其他人员，如参观者等，临时进入者必须办理申 请、批准手续并佩带进出标志。
（2）、下列人员不准进入洁净室： a．皮肤有晒焦、剥离、外伤和炎症、瘙痒症者； b．鼻子排出物过多者； c．感冒、咳嗽、冻伤、湿疹等疾病患者； d．过多掉头皮，头发者，有搓皮肤、挖鼻孔、搔头等 不良习惯者； e．没有按规定洗去化妆品、指甲油和未穿洁净工作服者； 没有及时刮须、剪指甲者。
洁净室的运行管理
• • • •
一、洁净室的管理及定期检查 二、人员管理 三、洁净室的清扫 四、设备管理
回风 送风
高效过滤器
新风
粗 效 过 滤 器
中 效 过 滤 器
工作区
差压计
回 风 夹 道
空调机组
一、洁净室的管理及定期检查
Baidu Nhomakorabea、管理的意义
洁净技术是一门新兴的综合性科学技术，随着经济和科学 技术的飞速发展，洁净技术在近20年发展十分迅速，各种 规模、不同洁净度等级的洁净室在电子、精密机械、航天、 冶金、生物制药、医疗、食品、化妆品等行业发挥着日益 重要的作用，为提高产品质量、开发高新精尖产品都做出 了重要贡献。实践已经证明，洁净室能否发挥预期的作用 和为各类产品生产提供一个预想的生产环境，与洁净室的 正确设计、精心施工和严格的维护管理均密切相关。一个 建好的洁净室，如果设计是正确的、合理的，施工建造是 高质量的，但运行中的维护管理不科学、不严格，必将使 该洁净室的空气洁净度等级逐渐下降，生产环境不能满足 产品生产的要求，从而使产品质量下降、成品率降低，甚 至不可能做出合格的产品。
2、洁净室专职管理人员及职责
根据洁净厂房的规模和工厂的组织机构设置情况，确定设 置洁净室专职管理人员或管理机构，负责进行洁净室及相 关设施的管理。洁净室管理人员宜少而精，并在洁净室投 入运行前就必须确定和制定出洁净室的各项管理制度。洁 净室专职管理人员应该熟悉洁净室内设备和相关设施、洁 净室构造、保持空气洁净度等级的技术措施、洁净室检测 技术、确保产品质量的相关洁净技术措施等；善于管理维 护洁净室及相关设施（含安全报警设施等），具有处理安 全事故的能力；必须具有生产环境洁净技术方面的广泛知 识，丰富的管理资历、经验和认真负责的工作精神等。洁 净室专职管理人员的主要职责和要求如下：
605×103
860×103 1010×103
37.3×103
44.8×103 56×103
•国内外的一些单位在某些场所通过污染平衡关系或采用实验室方法测定得到人 体发尘量的数据。见上表。由表中所列数据可以看到，工作人员着白色无菌工 作服的人体产尘量是在相同动作情况下着一般工作服的产尘量的1/5～1/3，而全 包式洁净工作服的产尘量就更少了。可见选择合适的材质和形式的洁净工作服 是十分重要的。
（1）、产品质量管理
1、应熟知洁净室内生产的产品的用途、生产工艺特点； 2、为确保产品质量与企业技术负责人共同确定对洁净厂房内各生产 工序或房间的空气洁净度等级、受控生产环境的各项要求，如温度、 相对湿度、压差和产品生产所需水电气的供应品质等 ； 3、洁净室内产品生产所需原辅材料和排出的废水、废气以及固体废 弃物的数量、性能特点等。
2980×103
2240×103 2240×103 1310×103 631×103 850×103
300×103
540×103 289×103 151×103 267×103
18.7×103
24.2×103 20.5×103 11.2×103 14.9×103
屈身
踏步 步行
3120×103
2300×103 2920×103
（2）、洁净室维护管理内容
•
•
1、人员管理，所谓洁净室的人员管理应包括：制定专职管理人员 的职责、洁净室人员的准入制度、人员培训教育规定、进入洁净室 人员的“人净程序”管理和退出管理制度等。 2、洁净服的管理，包括：洁净服采购和制作（含材料选择）、洁 净服使用管理、洁净服的清洗规定等 3、物流管理，包括：进入洁净室的物料准入制度，物料的清理和 清扫规定、“物净程序”管理、废弃物管理制度等。 4、洁净室器具管理，包括：设备及工器具内设备及工器的搬入管 理，清扫 和清洁规定，设备及工器具的退出管理等。 5、洁净室用净化空调系统及设备的维护管理，制定相应的操作规 程、维修制度等，包括净化空调系统和洁净室相关的公用动力系统 的设备、管线等管理维护，如，空气过滤器、空调机、局部净化设 备、冷冻机及水泵、纯水设备、配电设备、安全报警设施等。 6、洁净室的清洁、清扫管理，包括：清扫、清洁规定，清扫和清 洁设备管理，清洗设施管理等。 7、洁净室安全管理，包括：安全报警方面的管理制度，洁净室安 全管理制度。
静压差 送风机和管道类
照度
噪声 其他
使用照度表在规定的时间、地点测定照度值
使用噪声测定仪在规定的时间地点测定噪声值 室内是否保持清洁、顶棚和墙面是否有裂缝或腐蚀、涂敷状态，机械 和设备类有没有异常现象等，必须逐个列表检查，不能遗漏任何一项。 根据产品生产工艺要求所必须的检查内容，如微震动、电磁干扰等