Centrotherm 扩散炉操作规程

内容

1．装片将来片装至石英舟上。装片过程中,石英舟的斜度向左,将每两片正片插入同一插槽中方向从右向左。

并保证扩散面向外, 插片过程中严禁用手(包括戴手套)直接接触硅片绒面。

2. 上舟将以装好产品的石英舟放置于Slider上，如图所示：

3. 运行工艺

3.1点击Jobs,进入Jobs界面，确认tube状态并进入SETUP菜单

3.2选择BOAT LOT，可选择没有对号的Boat

3.3进入下个菜单如下．并进行如下选择,之后点击Next

3.4输入BOAT ID(石英舟架的编号)，并选择wafer尺寸

3.5勾选run（运行）的炉管

3.6选择进货时炉管状态

3.7选择recipe ,根据工艺要求选择相应的recipe，然后点击Finish

3.8确认界面．确认之前设置无误，点击OK。

3.9点击Jobs返回Jobs菜单,点击RUN就可开始自动进炉扩散

3.10当RECIPE（程序）结束后会跳出如下对话框，点OK 机台自动运行UNLOAD(硅片出炉，冷却后下片)程序。

4.常见报警及处理方法：

5.设备故障汇报机制

接到设备故障报告后，现在技术员立即到现场处理维修，半小时内无法解决，当班技术员即时通知到机台责任工程师，工程师两小时内无法解决问题，则立即通知相应的设备主管，四小时无法解决问题，通知设备经理。