热生长SiO2 sin 薄膜厚度颜色对照表
合集下载
相关主题
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性,平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益,请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间:9:00-18:30)。
热生长SiO2(折射率1.48)和氮化硅(折射率1.97)颜色对照表颜色 SiO2厚度(单位:埃) Si3N4厚度(单位:埃)
银 270 200
褐 530 400
黄褐 730 550
红 790 730
深蓝 1000 770
蓝 1200 930
浅蓝 1300 1000
极浅蓝 1500 1100
银 1600 1200
浅黄 1700 1300
黄 2000 1500
橘红 2400 1800
红 2500 1900
暗红 2800 2100
蓝 3100 2300
蓝绿 3300 2500
浅绿 3700 2800
橘黄 4000 3000
红 4400 3300
注意存在多序列。一个红色的氧化膜可能是730~790,
2400~2500,或者4000~4400(单位:埃)
淀积的氮化硅薄膜在日光照射下垂直观察所呈现的颜色
与厚度对照表