热生长SiO2 sin 薄膜厚度颜色对照表

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热生长SiO2(折射率1.48)和氮化硅(折射率1.97)颜色对照表颜色 SiO2厚度(单位:埃) Si3N4厚度(单位:埃)

银 270 200

褐 530 400

黄褐 730 550

红 790 730

深蓝 1000 770

蓝 1200 930

浅蓝 1300 1000

极浅蓝 1500 1100

银 1600 1200

浅黄 1700 1300

黄 2000 1500

橘红 2400 1800

红 2500 1900

暗红 2800 2100

蓝 3100 2300

蓝绿 3300 2500

浅绿 3700 2800

橘黄 4000 3000

红 4400 3300

注意存在多序列。一个红色的氧化膜可能是730~790,

2400~2500,或者4000~4400(单位:埃)

淀积的氮化硅薄膜在日光照射下垂直观察所呈现的颜色

与厚度对照表

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