涡轮分子泵抽气系统的组成

书山有路勤为径，学海无涯苦作舟

涡轮分子泵抽气系统的组成

典型的涡轮分子泵抽气系统如式（3）表明，涡轮分子泵抽速和前级泵抽速之比S1/S2 应该在30 到60 的范围内，对于最大的对氢压缩比小于500 的泵来说，其级配比应该为20∶1。

1.涡轮分子泵

2.液氮冷阱

3.放气阀

4.电离规

5.热传导规

6.粗抽阀

7. 机械泵

8.前级管路阀

9.高真空阀

涡轮分子泵抽气系统通常不需要用常见的液氮冷阱来阻止轴承润滑油或机械

泵泵液的返流。只要泵是以额定角速度旋转，那么泵对除最轻的气体氢以外的

所有气体都具有比较高的压缩比，足以阻止这些气体从前级管道端返流到高真

空端。液氮冷却的表面不能捕集因压缩比低而返流到真空室的少量的氢。液氮

冷阱可用来提高系统对水蒸气的抽速，其最好的安装位置是在高真空阀的后

面，也就是直接设置在涡轮分子泵的喉部上方。还可以考虑在高真空阀后面装

一个三通管，把涡轮分子泵接在它的一个接口上，而把液氮冷却的表面接在另

一个接口上。而三通的任何两个接口之间的流导都要小于液氮冷阱的通导。然

而要使分子泵对水蒸气和空气都具有最大抽速，最佳的安排还是将液氮冷阱安

装在涡轮分子泵和高真空阀门之间。

涡轮分子泵抽气系统既不需要用粗抽阱也不需要用前级管道冷阱。粗抽

与主抽系统之间较高的切换压力能防止机械泵油通过粗抽管道迁移到真空室中去，而泵对碳氢化物馏分的高压缩比也阻止它们从前级管道通过泵反扩散到真

空室中去。

同时启动涡轮分子泵和机械泵，通过涡轮分子泵进行粗抽，必须正确选

配前级机械泵。假如机械泵的抽速小，它是不能在涡轮分子泵达到最大转速以