真空镀膜机作业指导书
镀膜机操作说明书
(3)半自动操作：换完钨丝、铝丝、关上门后，在触摸屏上面按住自动按钮不放，几秒钟后，按钮会在自动和半自动之间转换，将按钮调至半自动，然后按下控制面板左边的自动按钮。程序会自动控制到J6灯亮（显示屏上会显示不停闪动的可镀），需手动操作整个蒸发过程，以及剩余操作。
7.漏气的排查：主要是在粗抽或者精抽时会出现真空度一直抽不上去的现象。一般需要一人盯住真空计上面的真空度，另外一人根据当时工作的泵在其各个接口处滴撒乙醇，乙醇滴到哪个接口时真空度急剧上升则说明该阀门漏气。
镀膜机日常维护：
1.镀膜机的粗抽泵油和扩散泵油一般3个月换一次：都得拆开用乙醇擦洗，然后换新油。
2.镀膜机的腔体在每次真镀上产品前必须对铝屑等杂质进行清扫。腔体的不锈钢挡板需2周左右用烧碱洗一次。挡板清洗后，第一次真镀以前，要手动抽真空半小时左右，以将挡板上的水汽及其它的可挥发杂质除掉。
3.镀膜机的蒸发工艺参数设定：从电压上来说，蒸发过程分为1.预热；2.熔融；3.蒸发3个过程；从时间上来说蒸发过程分为1.预热；2.熔融；3.熔融保持4.蒸发5.蒸发保持等5个阶段。一般来说，电压的设定按照过程要逐渐增大，但是最大为6.0V。电压与各个时间的设定值要需要参照镀出来的产品是否发黄、飞铝等问题来调整。（蒸发与蒸发保持阶段的时间与压力的减小一般不造成真镀后的产品附着力不佳的情况。
2.水路开启：打开楼上冷却塔的扇叶冷凝。
3.电路开启：检查电柜箱的闸刀是否送上（一般情况下是送上的），开启镀膜机右边的电源总闸——调至ON档位，在镀膜机正上面的控制面板上，按下电源控制，开启真空计、按下粗抽泵，开启前置阀，检查水泵是否在工作，水路是否通畅，过几分钟至J1灯亮后开启扩散泵。待扩散泵开启约45Min后可以进行真镀操作。
国产镀膜机作业指导书
国产镀膜机作业指导书1. 目的/范围规范镀膜操作工艺，确保安全生产。
2. 定义/缩写词NA3. 参考文件NA4. 职责与权限本文件适用于高意光学镀膜中心镀膜工种，在所有工程师商讨通过之后有权改动其中内容。
文件制定、执行者姜海，镀膜总工艺李全民对此文件有最终解释权。
5. 工具及设备国产镀膜机及配件、分光光度计。
6. 作业内容1膜厚控制方式：过正极值法、定值法和晶控法。
2镀膜操作步骤：2.1镀膜员工基本要求：每天早晨开机之前了解一天内所要镀的产品，镀每一灶之前都要检查核对派工内容，检查产品或试镀品的生产任务单号、数量、镀膜指标，跟据相应的指标找出《镀膜生产工艺卡》，无相应镀膜生产记录表，操作员有权利拒绝镀膜。
2.2开机：2.2.1确认总电源、总气路、总循环水正常工作，开启镀膜机总电源。
(重要环节/语言很难描述的环节)2.2.2北仪：依次开（维持泵）、机械泵、前级阀、扩散泵，扩散泵温度到设定温度（须预热60分钟以上才能正常工作）。
南光：依次开机械泵、预阀、扩散泵（1#镀膜机260℃，7#镀膜机230℃，8#镀膜机240℃），各阀门开关间隔5秒。
2.2.3依次开启真空计、晶控仪、膜厚控制仪、气体流量显示仪、光源（预热80分钟，非正常工作下电流值调至工作状态的一半）、单色仪控制器、工转电源、计时器和照明。
2.3热机2.3.1如果超过8小时未开机，除7#镀膜机，其余都需要热机。
各机台大清洗之后，必须热机。
2.3.2 按照此文件依次执行抽低真空、抽高真空、镀膜前准备等各步骤，开烘烤到100℃恒温10分钟。
2.3.3开启离子源、电子枪，使机器处于镀膜状态，镀Ta2O5膜料10nm ，镀膜之后关闭电子枪，离子源，此操作为检验镀膜机各设备是否处于正常工作状态。
2.3.4按此文件执行镀膜后步骤，以上步骤具体内容详见下文。
2.4抽真空前准备：2.4.1北仪：按充气阀对真空室充气，充气完毕关充气阀。
南光：按放气阀对真空室充气（此时系统报警，十秒钟后报警消失，无报警系统镀膜机省略此步骤），充气完毕关放气阀。
ZZ1100箱式真空镀膜机说明书
1、概述本设备采用箱式结构，抽气系统后置，便于拆卸和维修。
整机表面平整，便于清洁，适合净化间安装。
蒸发室全部采用不锈钢制造，外有可通冷、热水的护罩，可对壁进行加热(热水器选配)或冷却。
蒸发室底板有足够的面积布置蒸发源和各种接头。
阀门采用气动，操作方便，使用可靠。
液氮冷阱和水冷挡板设计为一整体。
蒸发室抽气口也设置一光学密封机械挡板，因此可使蒸发室的油污染降低到极低的程度。
本设备配备的抽气元件抽速较大，因此具有抽气时间短，工作真空度高，生产周期短等特点。
本设备适用于镀制各种多层光学薄膜和电学膜。
是有关工厂、研究院和大专院校进行生产和科研的理想设备。
2、主要技术数据2.1真空：2.1.1极限真空：2×10-4Pa。
2.1.2恢复真空：从大气→2×10-3Pa≤10min。
2.2 蒸发室：2.2.1直径：内部为φ1100mm。
2.2.2内腔尺寸：φ1100×1300mm。
2.2.3底板上有45个φ33.5通孔和2个斜光路孔。
3.3工件夹具：2.3.1外径φ1000mm。
2.3.2锥形球面夹具：2.3.3夹具转速N=3～31r.p.m。
2.4基片烘烤：可安装上下烘烤装置或其中一种，上烘烤为电阻丝（管状加热器）18KW(350℃全烘烤)；下烘烤为碘钨灯8KW(选配)，最高烘烤温度350℃，有上下烘烤接口。
2.5电阻蒸发电极：由技术协议确定，功率5KW/只。
2.6 2.7离子轰击：轰击电压0—300V2.8抽气系统2.8.1 主泵：K-630高真空油扩散泵，抽速12000L/s2.8.2 前级泵：ZJP-300罗茨泵，抽速300L/s2.8.3 2X-70机械泵：抽速70L/s2.9光路系统：2.9.1透、反射光路。
2.9.2六位(12位)比较片，另留一石英探头位置。
2.10其它2.10.1电源：3相220V/380V 50Hz2.10.2总功率：约40KW2.10.3耗水：约30L/min2.10.4压缩空气：5～6Mpa2.10.5水压:0.2～0.25MPa2.10.6总重量：（包括控电柜）约5吨2.10.7外型尺寸：主机：1390×3500×2300（宽×深×高）控电柜：1400×600×2100（宽×深×高）3、工作原理及结构说明该镀膜机由主机、控电柜二部份组成。
真空镀膜机操作指导
资料范本本资料为word版本，可以直接编辑和打印，感谢您的下载真空镀膜机操作指导地点：__________________时间：__________________说明：本资料适用于约定双方经过谈判，协商而共同承认，共同遵守的责任与义务，仅供参考，文档可直接下载或修改，不需要的部分可直接删除，使用时请详细阅读内容真空镀膜实验指导真空镀膜常用的方法有蒸发镀膜、射频溅射镀膜和离子镀膜等。
本实验通过介绍蒸发镀膜原理，掌握蒸发镀膜的操作方法。
真空镀膜技术在电真空、无线电、光学、固体物理、原子能和空间技术中有广泛的应用。
真空镀膜原理：蒸发镀膜机理蒸发镀膜是真空镀膜的一种，它是在高真空条件下将物质加热到沸腾状态，沸腾出来的原子或分子溅落在固体材料表面，形成一层或多层膜的方法。
凡是在沸腾温度下不分解或不变性的物质都可以用此法蒸镀成膜。
蒸发原子的成膜过程比较复杂，这里只能粗略描述如下：溅落原子首先被固体表面吸附，当表面温度低于某一临界温度时，原子开始“核化”——部分原子凝聚成团，出现若干“岛”，然后这些“岛”逐渐吸收周围的原子而长大，众多的“岛”相互连接成一片而成一块连续的膜。
蒸发镀膜的条件主要有两个，分别介绍如下：高真空我们希望蒸发出来的原子或分子不要受空气分子的阻挡而直接溅落到固体的表面，这样，蒸发镀膜的速度高，成膜质量也好。
相反，如果真空度低，有大量的空气分子存在，一方面，蒸发出来的原子或分子与空气分子碰撞，阻碍了膜材分子的扩散，降低了蒸镀的速度，影响了膜的均匀性，另一方面，空气的导热使得膜材的温度不能很快地升高，必然要加大加热功率；更有甚者，空气的存在可能使膜材的某些成分氧化，引起成分变性；在连接着抽气机的情况下，若不能很快完成镀膜，膜料将被抽走。
因此，蒸发镀膜需要在高真空条件下进行。
当然，真空度也不需要绝对地高。
事实上，只要分子的平均自由程大于膜材到基底的距离即可。
如果膜材到基底的距离为10 --20cm，根据自由程公式（d是分子的直径，n是分子数密度）不难估计真空度在Pa以上就可以满足要求。
亚克力真空镀膜操作规程(3篇)
第1篇一、前言亚克力真空镀膜技术是一种在亚克力板材表面形成金属或金属化合物薄膜的工艺，具有优良的装饰性和功能性。
本规程旨在规范亚克力真空镀膜的操作流程，确保产品质量和操作安全。
二、适用范围本规程适用于亚克力板材的真空镀膜操作，包括但不限于装饰性镀膜、功能性镀膜等。
三、操作准备1. 设备准备：（1）检查真空镀膜机是否正常运行，包括真空度、温度、压力等参数；（2）确保镀膜机内部清洁，无杂物；（3）检查设备各部件是否完好，如有损坏及时更换。
2. 材料准备：（1）亚克力板材：确保板材表面平整、无划痕、无污渍；（2）镀膜材料：根据需求选择合适的金属或金属化合物；（3）辅助材料：如清洗剂、干燥剂、保护膜等。
3. 操作人员准备：（1）操作人员需经过专业培训，熟悉设备操作流程；（2）操作人员应了解安全操作规程，确保操作安全。
四、操作步骤1. 板材预处理：（1）将亚克力板材放入清洗剂中，进行表面清洗，去除油污、灰尘等杂质；（2）清洗后，将板材放入干燥剂中，进行干燥处理；（3）将干燥后的板材表面涂覆一层保护膜，防止镀膜过程中出现划痕。
2. 设备调试：（1）开启真空镀膜机，进行预热；（2）调整设备参数，包括真空度、温度、压力等，确保设备正常运行。
3. 镀膜过程：（1）将预处理后的亚克力板材放入镀膜机；（2）开启真空泵，逐渐降低镀膜机内部压力，达到真空状态；（3）将镀膜材料放入镀膜机，调整加热温度，使镀膜材料蒸发；（4）在真空状态下，镀膜材料蒸汽在亚克力板材表面形成薄膜；（5）根据需求调整镀膜时间，确保薄膜厚度均匀；（6）关闭真空泵，使镀膜机内部压力逐渐恢复至大气压。
4. 后续处理：（1）将镀膜后的亚克力板材取出，去除保护膜；（2）检查镀膜质量，如有缺陷，重新进行镀膜；（3）对镀膜后的亚克力板材进行清洗、干燥等处理。
五、注意事项1. 操作过程中，确保真空度、温度、压力等参数稳定，避免波动影响镀膜质量；2. 镀膜材料的选择应与亚克力板材和镀膜需求相匹配；3. 操作人员需严格按照操作规程进行操作，确保产品质量；4. 操作过程中，注意安全，防止烫伤、划伤等事故发生；5. 定期检查设备，确保设备正常运行。
山东真空镀膜机操作规程
山东真空镀膜机操作规程
《山东真空镀膜机操作规程》
一、操作前准备
1. 确认设备及工具完好无损，必要时进行维修及更换。
2. 检查真空镀膜机的电源及周围环境，确保安全使用。
3. 穿戴好防护用具，如手套、护目镜等。
二、操作步骤
1. 打开真空镀膜机的电源，根据设备要求设定好相应的工作参数。
2. 将待处理材料放置于真空镀膜机的工作台上，注意放置位置及稳定度。
3. 启动真空镀膜机，观察真空度及工作状态，确保正常运行。
4. 根据需要，进行镀膜的预处理，如清洗、打磨等。
5. 将镀膜材料放置于真空镀膜机内，注意操作时避免碰触到内部设备。
6. 根据具体要求，进行镀膜操作，注意控制镀膜层厚度及均匀度。
7. 镀膜完成后，关闭真空镀膜机，将待处理材料取出，进行必要的后续处理。
三、操作注意事项
1. 操作人员需熟悉真空镀膜机的工作原理及操作要点，严格按
照规程进行操作。
2. 避免在真空镀膜机运行过程中对设备进行擅自操作，以免造成意外伤害。
3. 定期进行真空镀膜机的维护保养，确保设备的正常运行。
4. 操作结束后，做好设备清洁及安全关闭工作，及时进行设备及工具的归位整理。
以上即为《山东真空镀膜机操作规程》，希望操作人员严格遵守并按规定进行操作，确保设备的正常使用及工作安全。
喷涂设备(真空镀膜机系统)作业指导书[模板]
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1. 目的
规范真空镀膜机的操作：防止操作不当产生安全事故及增加设备的故障率。
2. 术语
3. 具体内容
3.1首先打开空压机，冷却水塔，再打开冰水机，待气压表压力达到4KG后再打开机器电源。
3.2进入机器操作作业面，手动打开RP机械泵，在开启DP扩散泵，加热，待温度达到设定
温度后便可正常生产。
3.3关机时一定要先关DP扩散泵，待冷却1小时后才可关RP机械泵，再关闭冰水机，冷却水塔及空压机和总电源。
4 注意事项
4.1控制柜必须由经过培训且有相应操作权限的专职人员操作，严禁正常生产期间擅自操
作和调改；严禁非专业人员对电柜内元器件进行任何操作调改。
4.2观察空压气体，冰水机开启后是否正常运转，查看操作柜上水气指示灯是否正常亮起。
4.3待加热温度达到设定温度后，抽空炉查看排气是否正常。
4.4每镀一炉后查看钨丝是否全部蒸发干净，是否有折断或需要更换的。
4.5如发生故障和异常情况，请立即汇报相关人员，必要时按下电箱上的红色“急停”按钮和关掉电源总制。
5 相关文件
6 文件拟制/修订记录。
真空镀膜机作业指导书
真空镀膜机作业指导书检查水路是否畅通，确定冷却塔、激进泵是否正常工作（水压需达到0、4Mpa以上）。
2，检查气路是否畅通，确定空压机是否正常工作（气压需达到0、5Mpa）3，开启电源开关，打开《开机》、《维持泵》开关，待真空计的热偶计读数在10pa以下时，打开《扩散泵温控仪1、2》《扩散泵1、2》四个开关。
即扩散泵升温（大约1小时左右）4，距加热时间约10分钟左右，开启低温捕集器，待6分钟冷却时间过后，按《F1》启动低温捕集器。
待温控仪上的设定温度达到时，即可正常生产操作。
二，生产操作1，确定真空室内膜料、离子源灯丝、工件架已按要求放置完毕。
2，开启《粗抽泵》，将抽气手自动档切换至自动档，打开《自动抽气》开关，待真空室大门吸合即可。
3，当罗茨泵自动开启时，按低温捕集器《F2》，开启捕集器制冷功能。
4，此操作应工艺的不同而有较大的变化，此处不一一详述，即为口述。
5，工艺完成后，关闭电子枪、离子源（必须先归零灯丝电流，再关电源）等开关，打开《自动充气》开关，待精抽阀闭合后，将抽气手自动档切换至手动档（此处必需注意除维持泵、扩散泵、粗抽泵、开机这四个开关是按下去的外，其他开关都不可按下，以免操作失误造成扩散泵暴露大气！），按捕集器F3，开启回温功能，待低温捕集器温度回温到30摄氏度以上，打开《充气阀》，待真空室门打开，关闭《充气阀》。
（注：《自动抽气》与《自动充气》开关严禁混淆）6，以上循环，即为正常操作流程。
三、停机1，将真空室门吸合，抽至一定真空，关闭除《停机》开关的所有开关。
（注：此停机开关，正常生产中严禁开启）2，待真空镀膜机冷却一小时后，方可关闭电源，空压机，冷却塔，激进泵。
注：以上所有操作必须严格执行，未经允许不可更改，若应操作失误造成镀膜机受到损坏，影响等因素，操作员将承担相应责任。
警告：本机器有多处高压变压器，电压高达8KV，为避免安全事故，未经允许不可开启电柜、真空室下的屏蔽门。
真空电镀机作业指引
3.1.5达到指定真空值(真空显示计以一号红灯亮为标准)后关闭二号粗抽泵同时打开罗茨泵进行二级辅助真空运作.
3.1.6待真空值上升到指定值后(真空显示计以二号红灯亮为标准)开启前置阀并同时关闭粗抽阀,然后紧接打开粗抽阀进行三级高真空运作.
3.2.1抽泵(滑阀泵)在指定油位内正常运转3-5个月后更换新的真空泵油(原油从机器排除口排除,在泵体内干净的情况下从加油口加新的真空泵油进去直至在油位显示标准的地方).
3.2.2罗茨泵与维持泵同上操作.
3.2.3扩散泵在正常运转12个月后更换扩散泵油(由专业人员拆斥散泵,对泵体内原油进行清除直至干净,然后加新的扩散油进去)后对扩散泵内真空值进行检测,待达到1pa以上方可使用.
3.1.7待真空显示计达到设定真空值时(真空显示计以三号红灯亮为标准)表示可以正常对产品进行真空蒸发电镀.
3.1.8此时开启蒸发电源按钮按照工艺规定参数进行三段时间的蒸发操作,直至蒸发完比,然后关掉真空蒸发电源.
3.1.9按照依次顺序关闭精抽阀,前置阀,罗茨泵,然后等待10秒钟左右.
3.2按充气阀按钮进行充气开门.
V0
新版发行
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表此文件并非合法之版 COLOR IS NOT RED ,THEN IT
本，并不会受到控制及 IS AN UNCONTROLLED COPY.
更新，请使用受控之文件。 PLEASED REFER ONLY TO THE CONTROLLED
客户：/
真空电镀标准作业指导书sop
8
工具
清洁工具 治具
治具、四方管 治具杆、四方管 治具杆、四方管
目视 目视
NO
变更内容
1
日期
担当
确认
品质注意点
确保环境、工具符合作业要求。 治具不能错位
产品摆放的间隙不能太密 产品摆放的间隙不能太密 产品之间保持距离不可相互碰撞 参照[产品检验基准]及外观限度
样品 参照[包装仕样书]
承认 确认 作成
文件编号：TSK-QC-O02
版次
A/0 文件发行章
2 将擦试好的产品整齐摆放在胶盆里进行组装。
3 将装配好的产品上在流水线之治具杆上进行喷底油。
4 喷底油之后的产品装上真空室内的转架上进行直空电镀。
5 将电镀之后产品从四方管上取出插在流水线上进行喷面油。
6 UV作业完后，由线户指定包装方式进行包装。
SOP 真空电镀标准作业指导书
客户
作业步骤 前处理
机种 装配
品名
左小剑
颜色
金色
上架
喷底油
镀膜
喷面油
下架
包装
重点管控说明: 1.镭雕处不可有飞油现象. 2.镭雕反面不可有刮伤\脏污等不良现象. 3.产品A正面颗粒不能超过0.20mm/个（4c㎡范围内），整面不能超过5个。
NO
作业内容
1 清洁作业现场，作业用具。
ACS真空镀膜机操作手册
自动镀膜控制装置 使用说明书ACS(Gener)Optorun Co., Ltd. Japan350-080110-1 Takeno Kawagoe Saitama-Ken目录开始 (1)术语 (2)改版履历 (3)第1章基本操作 (4)1.1. 计算机及系统的起动 (4)1.1.1.计算机的起动 (4)1.1.2.系统的起动 (4)1.2. 系统ACS及计算机的关闭 (4)1.2.1.系统的关闭 (4)1.2.2.计算机的关闭 (4)1.3. 主操作画面 (5)1.3.1.文件选择部分 (6)1.3.2.设定部分 (7)1.3.3.命令项目部分 (8)1.3.4.电子枪控制部分 (8)1.3.5.维护部分 (9)1.3.6.确认部分 (10)1.4. ACS文件夹构造 (11)第2章工艺文件 (12)2.1. 预溶工艺文件 (12)2.1.1.文件部分 (12)2.1.2.参数部分 动作条件 (13)2.1.3.参数 EB放射电流控制 (14)2.1.4.参数 Beam Rotation (14)2.1.5.参数 CUP指定 (15)2.1.6.命令部分 (16)2.2. 成膜参数文件 (16)2.2.1.命令部分 (17)2.2.2.Batch参数 (17)2.2.3.各层参数 (18)2.2.4.Material、Material(RH) (20)2.2.5.IBS (26)2.3.参照L OG文件时的操作 (26)第3章材料预熔 (27)3.1.参数 (28)3.2.处理状态 (28)3.3.EB微调整 (29)3.4.Cup状态 (29)第4章成膜 (30)4.1. 成膜处理流程 (30)4.2.复原动作的选择 (30)4.3.确认TOGGLE SWITCH (31)4.4.F ILAMENT ANNEAL (31)4.5.确认成膜开始条件 (32)4.6.离子枪暖机 (33)4.7.设定离子枪参数 (34)4.8.指定层分的成膜 (35)4.8.1.表示层处理状态 (36)4.8.2.当前层参数 (36)4.8.3.数据图形 (38)4.8.4.EB,RH等的设定变更部分 (39)4.8.5.接续机器的状态表示 (42)4.8.6.命令按钮部分 (42)第5章 水晶传感器检测 (44)第6章 维护 (45)6.1.维护参数的种类 (45)6.2.维护时期的管理 (45)6.3.进展条的设定方法 (45)第7章 异常处理 (46)7.1.异常发生时的操作 (46)7.2.异常的种类及原因 (46)7.3.异常终了时的操作 (47)使用注意事项 (48)开始…本使用说明书讲述了使用自动镀膜程序（以后称为ACS）时必要的操作方法及使用时的注意事项。
真空镀膜机安全操作指导书
冷却；
6.6 经过培训合格后的操作员才可以操作设备；
6.7 如有发现设备异常请及时通知设备维护人员。
水泵指示灯 关机延时 见机指示灯
主水泵停止 主水泵启动
副水泵停止 副水泵启动
风机停止 风机启动
图1
冷却水控制箱
图2
镀膜机控制柜
真空镀膜机安全操作指导书
文件编号：WI-ZG-SB-077 版本/版次：A0 页 次：3/3
6.保养及注意事项
6.1 开启冷却水塔前先检查循环水是否足够，不足时要及时添加；
6.2 开启镀膜机前先检查真空泵油是否足够，不足时要及时添加；
6.3 蒸镀炉是干净度要求很高的设备，所以要时刻保持炉膛卫生，清洁用；
6.4 工件装好后要先手动快速转动转架,检查是否有产品掉落；
6.5 待扩散泵温度降到 80℃后,才可关闭工作电源、控制柜电源开关，如意外停止电也要及时人工
注：若选择手动状态，其操作与全自动相似，根据相应提示操作即可
真空镀膜机安全操作指导书
文件编号：WI-ZG-SB-077 版本/版次：A0 页 次：2/3
5.2 关机
5.2.1 清理炉内卫生后,关上炉门真空抽至 5*E1-4Pa,
5.2.2 点击触摸屏“后退”按钮一次,关罗茨泵(如图 2 示)；
5.2.3 点击触摸屏“后退”按钮一次,关滑阀泵(如图 2 示)； 5.2.4 点击触摸屏“扩散泵”三个字,关停扩散泵加热，三相电流表读数为零（如图 2 示）； 5.2.5 待扩散泵温度降到 80℃以下后,即可关闭工作电源、控制柜电源开关（如图 2 示）； 5.2.6 按下冷却水控制箱面板上水泵及风机停止开关(红色按钮),指示灯灭(如图 1 示)。
真空镀膜机安全操作指导书
真空镀膜机保养作业指导[模板]
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1. 目的
明确真空镀膜机保养周期，保证设备的使用稳定性及产品电镀的品质。
2. 术语
3. 具体内容
3.1 保养的等级划分：日保养、周保养、月保养、大保养。
3.1.1 日保养
3.1.1.1 每生产四小时用吸尘器将电镀机内的废渣及粉尘吸干净。
3.1.1.2 每天下班前，电镀技术员安排人员将真空镀膜机表面用无尘布擦拭干净。
3.1.2 周保养
3.1.2.1 每周一上午对RP粗抽泵进行排水处理。
3.1.2.2 每两周对镀膜机内炉炉板及莲花转架更换并清洗一次。
3.1.2.3 每两周对冷却水塔清洗一次。
3.1.3 月保养
3.1.3.1 每三个月更换一次RP粗抽泵油。
3.1.3.2 每三个月对钨丝架及铜电极清洗一次。
3.1.4 大保养
3.1.
4.1 每年对DP扩散泵清洗一次并更换DP扩散泵油。
3.1.
4.2 每两年安排供应商对电镀机做一次全面的保养。
3.2 异常的反馈及处理
3.2.1 电镀出来的每炉产品都必须先由技术员及品质人员抽检，当发现产品表面黑点超5%时必须停止电镀并对镀膜机进行彻底的保养（按周保养的方式进行）后，重新制作首件，确认不良率，控制在标准范围内才能生产。
3.2.2 电镀炉真空抽不到时，真镀技术员必须上报给真镀课长，前来协助调试，若改善无效果时，上报总经办，安
排厂商来厂协助处理。
4.注意事项
5.相关文件
6.文件拟制/修订记录。
(整理)镀膜机操作说明书
关机准备：
关扩散泵——（1h后）关粗抽泵——关前置阀——关真空计——关镀膜机右边的电源总闸——关冷却塔扇叶冷凝——关压缩空气系统。
大纲要求关机操作说明：
(1)关扩散泵后，为了下次使用的抽真空时间不至于太长，一般将腔体抽成负压，一般操作为关掉扩散泵后，关门、关前置阀、开启粗抽阀、待真空度到100Pa左右后，关粗抽阀、开前置阀。1h后关粗抽泵、前置阀以及剩余操作。
(2)自动操作：换完钨丝、铝丝、关上门后，按下控制面板左边的自动按钮。剩余过程会在15Min左右由程序自动完成至开门。
(3)半自动操作：换完钨丝、铝丝、关上门后，在触摸屏上面按住自动按钮不放，几秒钟后，按钮会在自动和半自动之间转换，将按钮调至半自动，然后按下控制面板左边的自动按钮。程序会自动控制到J6灯亮（显示屏上会显示不停闪动的可镀），需手动操作整个蒸发过程，以及剩余操作。
四、镀膜机的日常维护
（三）安全评价的内容和分类镀膜机常见问题排查：
（2）可能造成轻度环境影响的建设项目，编制环境影响报告表，对产生的环境影响进行分析或者专项评价；1.真镀的产品发蓝一般是扩散泵油有问题。
2.真镀产品返油是扩散泵油或者水冷不够的问题。
（4）化工、冶金、有色、建材、机械、轻工、纺织、烟草、商贸、军工、公路、水运、轨道交通、电力等行业的国家和省级重点建设项目；3.真镀产品发黄一般是由粗抽泵的油太脏或者蒸发的电压过高或者蒸发保持时间过长造成的。
(2)腔体抽成负压完成后，一定要检查前置阀、粗抽泵要处于开启状态。否则会导致扩散泵内的油被烧坏。
1.筛选环境影响：环境影响被筛选为三大类，一类是被剔除、不再作任何评价分析的影响，如内部的、小的以及能被控抑的影响；另一类是需要作定性说明的影响，如那些大的但可能很不确定的影响；最后一类才是那些需要并且能够量化和货币化的影响。(3)镀膜机的水路与气路在关粗抽泵以前不能关掉，水路关掉会导致扩散泵冷却不够而扩散泵油被烧坏；气路关掉会导致各个阀门关不紧而空气进入氧化扩散泵油。
真空镀膜工序控制作业指导[模板]
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1. 目的促使真空镀严格按照生产作业并保证真空镀各生产工序顺利完成。
使产出的产品满足客户的要求。
2. 术语3. 具体内容3.1生产前准备3.1.1真镀生产计划（物料组）根据PMC总部下达的《生产任务单》拟制生产内部的《生产排程》并下达至生产部。
3.1.2前处理组长根据《生产排程》领出当天生产所需的素材、夹具及其它辅助物料。
3.1.3调漆员根据《生产排程》，按《调油喷涂作业指导卡》的要求调配好当天使用的油漆并把调油参数记录在《调油记录表》上，把调配好的油漆加到相应的喷柜。
喷涂技术员确认调油参数并记录于《生产工艺表》中。
3.1.4喷涂技术员根据《真镀喷涂作业指导卡》规定的工艺范围，调好喷枪的角度、气压、油量进行试喷。
3.1.5装配组长根据《生产排程》安排前处理人员进行夹具清洗、产品清洗及装配。
a.根据产品的种类安装好夹具并放入胶盘摆好垫好泡棉。
b.把装配清洗好的产品安装在底漆喷涂线上。
3.2 真空镀底漆/面漆喷涂过程控制3.2.1 真空镀产品的生产工序为a.NCVM：UV底漆→真空镀膜→UV中漆→UV面漆.b.PPVD：喷底（色漆）→UV底漆→真空镀膜→保护漆→曝光→退镀→清洗→UV中漆→UV面漆。
c.OPVD:喷底（色漆）→UV底→光学镀膜→UV中漆→UV面漆。
VM:UV底漆→真空镀膜→NCVM UV中漆→NCVM UV面漆→全检→装遮喷夹具→腐蚀→清洁→CCVM UV中漆→CCVMUV面漆。
3.2.2 喷涂技术员在进行喷涂作业时，须严格按《喷涂作业指导卡》及《自动喷涂设备操作规范》的规定进行作业。
制作首件，底漆首件要求水煮，百格及弯拆等常规经测试OK再送电镀试镀，正常真镀工艺的产品在生产中各工序间的停留时间不可超过2小时，防止产品在UV底漆和镀膜后裸露时间过长，导致产品物性测试部稳定。
3.2.3 喷涂技术员在进行底漆作业前先点检各设备是否正常。
3.2.4 批量投入生产前，必须先试喷、试镀产品，由喷漆技术员、镀膜技术员及质检员共同进行首件确认。
全自动真空离子镀膜机操作手册说明书
全自动真空离子镀膜机操作手册地址：中国广东省潮州市潮安区凤塘镇创高真空 备工艺厂电话：+86－0768*******+86－0768*******第一打开择需作系一章：用开控制电源需要用的用系统。
用户登陆源后，触用户名，在陆画面说明摸屏启动在密码窗明动进入止画口输入相画面。
在“应的密码“用户名”码后点击确下拉菜单确定键进入点单的单选入操击下拉菜单选择相应用户名输入相应的密码报警显示示设备冷却开关压缩空气开关工关工件加热开关工件加热关热时间设置镀膜计延时计数时关机时间设设置工艺选择择输入手动设置跳至当前工动镀膜气体置曲线画第五工五章：工工艺层数 度工艺参数数设置画面气号面说明体编号说明工艺状态显示延时开源时间设弧电设置氩气输入框此层镀膜第六本画绿色六章：IO 画面显示色代表此O 监控画示PLC 的此IO=ON画面说明的输入输出N出状态，红色代代表此IO ＝OFF第七章：开机步骤说明1、打开控制柜上主断路器2、打开控制电源开关后等待触摸屏启动3、选择相应用户名称4、输入相应用户密码后点击“确定”进入系统画面5、点击“功能画面”6、打开“冷却水泵”开关后返回系统画面7、打开维持泵开关8、打开扩散泵开关9、检查设备冷却水、压缩空气是否正常，等待扩散泵温度达到90摄氏度以上。
10、打开弧电源的总电源开关和气瓶开关12、打开“滑阀泵”13、设定好需要的工艺参数并选择14、打开“系统自动开关”和“镀膜自动”15、装好工件后关闭大门开始粗抽直到充气完成后开门取出工件第七章：关机步骤说明1、“系统自动”和“系统手动”开关关闭2、关闭弧电源的总电源开关3、关闭滑阀泵和扩散泵4、点击“功能画面”设定好自动关机时间（一般是120分钟）5、打开“自动关机”功能开关6、达到设定的时间后系统自动关闭“维持泵”和“冷却水泵”7、关闭总电源。
镀膜机作业指导书
晶控自动镀膜系统作业指导书1．镀膜机开、关机操作开机1．打开主电源。
2．将“运行/待机”开关打道“待机”位置。
3．打开显示器和计算机电源，待计算机启动完成。
4．开机械泵。
5．开扩散泵。
6．将“运行/待机”开关打道“运行”位置。
7．扩散泵预热30分钟后可以工作了。
关机1．关闭扩散泵冷却30分钟2．将“运行/待机”开关打道“待机”位置。
3．关闭计算机4．关闭机械泵5．关闭主电源2.运行参数设置晶片初始频率：输入被镀晶片的中心频率，例如：12160－－12170KHZ应输入12165KHZ；如果要加镀高频片，先进行频率修正，然后在晶片初始频率中输入加镀高频片的中心频率。
注意加镀完毕后要及时把晶片初始频率修正回原始值。
晶片目标频率：输入镀到的目标频率，例如：12M晶体镀到1000PPM，晶片目标频率应输入12012KHZ；3.579M晶体镀到700PPM，晶片目标频率应输入3581.5KHZ单面镀膜时间：用于时间镀膜时钼舟打开的时间，时间长短以能将所有的银全部蒸发完为标准。
机台修正系数：用来调整计算的理论膜厚值与实际膜厚值的差异的。
在第一次镀某个系列晶片的时候，第一锅可以设为1，当前标晶频率：程序实测的标晶当前的频率。
标晶目标频率表示标晶应该达到的频率，达到这一频率后，被镀晶片也会达到目标频率了，以KHz为单位。
镀膜速率：标晶当前的变化速度，以Hz/S为单位。
数值大小与电流有关。
延时倒计时表示在所有延时程序中动态显示延时时间和剩余的延时时间。
当剩余时间变为0时，本次延时结束，以KHz为单位。
镀膜总时间为自动镀膜或取消自动镀膜的总的时间。
当前实测高真空度值和当前实测低真空度值为实测的高真空和低真空值。
串口通讯的真空计显示测量真空度值；指针表不显示。
3静态参数设置。
轰击真空预置：若真空计型号为指针，设置为0表示在低真空轰击，设置为大于0的整数，表示在高真空轰击。
若真空计型号为串口，设置为0表示在低真空轰击，设置1―100(RF离子轰击)，表示在高真空轰击。
真空电镀机操作规程书
真空电镀机操作规程书真空电镀机操作规程书一、设备概述真空电镀机是一种常用于金属材料表面电镀的设备，通过在真空环境下进行电镀处理，可以使金属表面具有更高的光泽度和硬度。
二、操作前准备1. 确认真空电镀机的设备运行正常，检查电源是否稳定。
2. 检查电镀槽中是否有足够的电镀液，并确保电镀液的浓度符合要求。
3. 检查工作台面的清洁状况，确保工作环境整洁。
三、操作步骤1. 打开真空电镀机的外控面板，将其设置为待机状态。
2. 打开真空泵开关，启动真空泵，待压力达到设定值后，关闭真空泵开关。
3. 打开电镀槽的排液阀门，将槽内的电镀液排空。
4. 打开电镀槽的充液阀门，将符合要求的电镀液充注到电镀槽中，同时观察电镀液的液位是否在合适范围内。
5. 调整电源参数，如电压、电流等，根据所需的电镀效果进行设置。
6. 打开电镀槽的加热装置，将电镀槽的温度调整到适宜的范围内。
7. 将待电镀的金属材料放置到电镀槽内，注意避免不同金属材料接触。
8. 打开真空电镀机的真空开关，启动真空泵并开启真空阀门，等待设定的真空度达到要求后，关闭真空开关和真空阀门。
9. 开始电镀过程，按照设定的电源参数和电镀时间进行操作。
10. 结束电镀后，关闭电镀槽的加热装置，同时打开电镀槽的排液阀门，将电镀液排空。
11. 清洗电镀槽和电镀机，彻底清除电镀液和残留物。
12. 关闭真空电镀机的外控面板和电源开关，彻底停机。
四、安全注意事项1. 操作时需穿戴好个人防护装备，如手套、口罩、护目镜等。
2. 在操作过程中避免直接接触电镀槽和电镀液。
3. 调整电源参数时需小心操作，避免触摸导电部件。
4. 严禁操作人员未经培训和未取得操作资格的人员进行操作。
5. 若发现设备异常或故障，应立即停机并及时报修。
五、操作记录1. 每次操作结束后，应当记录电镀槽的使用时间和电镀液的使用量。
2. 若发现电镀效果不理想，应及时记录和调整相应的参数。
六、设备维护1. 定期清洁和保养真空电镀机，保持其正常运行。
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真空镀膜机作业指导书
检查水路是否畅通，确定冷却塔、激进泵是否正常工作（水压需达到0、4Mpa以上）。
2，检查气路是否畅通，确定空压机是否正常工作（气压需达到0、5Mpa）3，开启电源开关，打开《开机》、《维持泵》开关，待真空计的热偶计读数在10pa以下时，打开《扩散泵温控仪1、2》《扩散泵1、2》四个开关。
即扩散泵升温（大约1小时左右）4，距加热时间约10分钟左右，开启低温捕集器，待6分钟冷却时间过后，按《F1》启动低温捕集器。
待温控仪上的设定温度达到时，即可正常生产操作。
二，生产操作1，确定真空室内膜料、离子源灯丝、工件架已按要求放置完毕。
2，开启《粗抽泵》，将抽气手自动档切换至自动档，打开《自动抽气》开关，待真空室大门吸合即可。
3，当罗茨泵自动开启时，按低温捕集器《F2》，开启捕集器制冷功能。
4，此操作应工艺的不同而有较大的变化，此处不一一详述，即为口述。
5，工艺完成后，关闭电子枪、离子源（必须先归零灯丝电流，再关电源）等开关，打开《自动充气》开关，待精抽阀闭合后，将抽气手自动档切换至手动档（此处必需注意除维持泵、扩散泵、粗抽泵、开机这四个开关是按下去的外，其他开关都不可按下，以免操作失误造成扩散泵暴露大气！），按捕集器F3，开启回温功能，待低温捕集器温度回温到30摄氏度以上，打开《充气阀》，待真空室门打开，关闭《充气阀》。
（注：《自动抽
气》与《自动充气》开关严禁混淆）6，以上循环，即为正常操作流程。
三、停机1，将真空室门吸合，抽至一定真空，关闭除《停机》开关的所有开关。
（注：此停机开关，正常生产中严禁开启）2，待真空镀膜机冷却一小时后，方可关闭电源，空压机，冷却塔，激进泵。
注：以上所有操作必须严格执行，未经允许不可更改，若应操作失误造成镀膜机受到损坏，影响等因素，操作员将承担相应责任。
警告：本机器有多处高压变压器，电压高达
8KV，为避免安全事故，未经允许不可开启电柜、真空室下的屏蔽门。