SEMI S2半导体制程设备安全准则

S E M I S2半导体制程设备安全准则2003年9月29日Content: 1. 目的；2. 范围；3. 注意事项；4. 参考标准；5. 术语；6. 安全理念；7. 一般准则；8. 评估过程；??????????????????????????? 9. 提供给使用者的文件；10. 危险性警告标志；11. 安全连锁装置；12. 紧急停机；13. 电气安全；14. 消防安全；15. 化学物质加热槽；16. 人体工学；17. 危险能量隔离；18. 机械设计安全；19. 地震保护；20. 自动机械设备；21. 环境因素；22. 排气；23. 化学品安全；24. 游离辐射安全；25. 非游离辐射安全；26. 激光安全；27. 噪音

1.? 目的(PURPOSE)

为半导体制程设备提供一套实用的环保、安全和卫生准则。

2. 范围(SCOPE)

3.

3.1

3.2

3.3

4.

5. 术语

5.1

5.2

? 5.3

5.4 自燃物质(Pyrophoric material)：54.4℃以下在空气中可以自燃的化学品。

5.5 易燃液体(Flammable liquid)：闪点小于37.8℃（100F）之液体。

5.6 游离辐射(Ionizing radiation)：α、β、γ粒子，X射线，中子，高速离子，高速质子等所有在人体器官内可产生离子之粒子或射线。

5.7 非游离辐射(Non-ionizing radiation)：电磁波长在100nm以上者，包括普通电频、微波、红外线、紫外线及可见光等。

5.8 质量平衡(Mass balance)：输入与输出的质量流率定性(或定量)平衡。

5.9 灾祸(Mishap)：对人体造成死亡、伤害、职业病或对设备、财产、环境造成损失的未预计的或一系列的事件(events)。

5.10 职业曝露浓度极限(Occupational exposure limits, OELs)：以一天工作8小时为计算基础。PEL, TLV等皆属于职

业曝露浓度极限定义之专业名词。不同国家对PEL等的定义之标准可能不一致。

? 5.11 生殖毒害品(Reproductive toxicant)：已证实或怀疑对胚胎产生畸形危险，或对胚胎发育及人?? 体生殖功能有明显负面影响的化学物质。

5.12 风险(Risk)：以危害严重性和危害机率表示发生灾难的可能性。

5.13 速度压力(Velocity pressure, VP)：使空气速度从零到要求的速度所需要的压力值。VP和空气流的动能成正比。

5.14 失效也是安全的(Fail Safe)：一种设计，当系统中任何组件失效时，不可造成危险的升级。比如：一个具有失效也是安全设计的温度控制仪，如果失效，会立即停止制程，但同时还可以指示实际温度值。

5.15 危害性制程物料(Hazardous Production Material,HPM)：一种固体、流体或气体，其危险程度依NFPA 704标准之等级归类在健康危害、易燃性或反应性为3或4，直接用于研究、实验室或生产制程者，且其最终产品不具任何危害性。

5.16 到300GHz

? 5.17 ?? 控制电路。

5.18 照29CFR

6.

6.1

6.2

6.3

6.4????

6.5

? 6.6

6.7

? 6.8

6.9

危害曝露人员的专业水平和曝露频率、操作和保养的频率与复杂性、关键安全部件

? 6.10 控制危害的各种方法的选择顺序如下：

????? 设计时将之消除危害

????? 使用安全设施进行防护-工程控制

????? 提供安全警告设施-工程控制

????? 提供危害警告标签-管理控制

????? 训练-管理控制

????? 其他管理控制

????? 以上所有方法的组合???

6.11 此准则只是半导体设备设计时的最低考量。

7. 一般准则(GENERAL PROVISIONS)

7.1设备应符合一般安全规范，此准则只是设备之采购标准规范。次标准只是提供给用户采购符合SEMI S2的设备规范。若需要超出此准则，则由使用者与厂商另行书面订定之。

7.2 设备制造商应保证设备符合当地之有效法律及规定。需要经政府机构许可的设备，必须通过当地政府办理许可证。

7.3设备供应商应该提供给用户指定的代表来及时更新有关设备最新发现之危害因子或安全防护措施升级方案。

7.4 设备操作、维护使用的工具及附件必须由设备供应商提供给用户或者明确其规格。

8. 评估过程(EVALUATION PROCESS))

8.1 评估方应该按照此标准对设备进行评估并写出书面报告。内容包括手册（9.6 部分）和具体设计部分（本标准第10至第27部分）。只有当使用到附录时，附录才算作报告的一部分。

8.2

???????

???????

8.3

8.4

?????

? 8.5

?????

格等。

?????

?????

Note:

9.

???

(1)

(2)

(3) 地震保护信息

(4) 环境有关信息：包括能耗、质量平衡、废水废气处理等

(5) 工业卫生信息

(6) 手册。内容应该符合SEMI S13标准，另外还应包括：

活线作业(Type 4 task)的具体书面指南，包括问题解决(Troubleshooting)

能量隔离指导（Logout/Tagout）

??????? EMO和连锁功能描述

??????? 设备维护使用的危险物质（润滑油、清洗剂、冷冻液）

??????? 设备维护后产生的固体废弃物，或处理受到严格控制的

??????? 物质清单（含汞废物、电池、受污染部件、PM废弃物）