洁净室及洁净区选列的悬浮粒子洁净度等级

洁净室及洁净区选列的悬浮粒子洁净度等级

洁净室的等级划分

【提要】洁净室是根据产品制造所在空间的洁净度标准的空气中所要求达到的尘粒浓度来定级的，级别越高尘粒浓度越低。

洁净室分级目前可以根据国际标准ISO14644-1（欧盟1999年、美国2001年采用）进行。然而，最早被接受的方法是已经被废弃的美国联邦标准（FED-STD 209）。它仍然被广泛地使用。

a.)美国联邦标准（FED-STD 209）

美国联邦标准209首次发表于1963年，标题为“洁净室及工作区域要求，受控环境”。1992年修订为209E版本，2001年撤消。洁净室是根据每立方英尺（ft^3）空气中的直径0.5微米(um)微粒个数来定级。

b.)ISO标准:

ISO(国际标准化组织)制订了洁净室标准系列，其中ISO14644标题为“洁净室及其关联的受控环境”。它的第一部分为:空气洁净度的等级分类.它给出了不同标准的洁净室的空气悬浮微粒的限度,同时也给也了测试洁净室确定其级别时测量空气悬浮微粒所用的方法。

ISO 14644-1 给出了一种洁净室定级的方法。公式为：

其中：Cn：是指等于或大于所关注直径尺寸的空气悬浮微粒的最大允许浓度，且四舍五入最接近的整数，不多于三个有效数字；

N ：是指ISO级别编号，且最大不超过9，N的最小允许增值是0.1;

D ：是指所关注的微粒直径尺寸,单位um;0.1是一个单位为um的长度常数.

根据这个公式,空气悬浮微粒的最大允许浓度(级别限定)能够针对任何微粒直径尺寸计算出来。

c.)美国联邦标准与ISO标准的相关性

两种标准有一个交叉:ISO标准的每M^3微粒浓度换算成每ft^3微粒浓度数需除以35.2，而等同的美国联邦标准FED-STD209级别基于0.5um尺寸。例如，ISO级别Class5等同于FED-STD 209 级别 Class 100。

等同级别对照表(FED-STD 209与ISO 14644-1)