华东理工大学科技成果——超净高纯微电子化学品制备技术

华东理工大学科技成果——超净高纯微电子化学品

制备技术

项目简介

微电子化学品是电子技术微细加工制作过程中不可缺少的关键性基础化工材料之一，主要用于半导体制造过程，用以冲洗晶片及制作研磨剂、蚀刻剂和光刻胶去除剂等。本项目采用吸附-离子交换-膜分离集成纯化制备了超净高纯电子化学品制备技术，成功制备了超大规模集成电路用超净高纯过氧化氢等微电子化学品，产品性能达到超净高纯级过氧化氢（SEMI-C12，金属离子杂质低于0.1ppb）。

所属领域化工、材料

技术要点

创新点：采用吸附-离子交换-膜分离集成纯化制备技术。

技术成熟度：已建成年产1000吨的工业化装置。

应用前景全国建有的15家33条超大规模集成电路生产线，对微电子化学品的需求量将达到7.2万t/a以上。

知识产权及项目获奖情况

“耐高浓度双氧水膜及其双氧水纯化装置的开发”上海市科学技术委员会2003年鉴定，达国际先进水平；“ULSI用超纯氨水和超纯硝酸试剂纯化的研究”上海市科学技术委员会2006年鉴定，达国际先进水平；“863”计划项目1项“ULSI超纯试剂制备工艺研究子项目年产500吨超净高纯过氧化氢连续制备试验的技术开发”（编号：2002AA3Z1310）通过专家验收；发明专利一项。

应用案例

与上海华谊微电子化学品有限公司进行国家“863”计划0.09-0.2μm技术用SEMI-C12级超净高纯化学品的研究工作，建成年产1000吨的工业化装置。

合作方式技术开发、技术转让