Mura Inspention Spec 100120

G8 CF Mura検査装置見積仕様書

D.N.K.Co. ,Ltd.

項番日付版内容作成者 2010-01-08 1.0 初版新居康弘 2010-01-14 1.1 赤字部分訂正新居康弘 2010-01-20 1.2 青字部分訂正新居康弘

目次

1. System概要 (5)

2. Photo litho Line検査仕様 (6)

2.1. 検査対象物 (6)

2.2. 検出仕様 (6)

2.3. 入力Stage仕様 (8)

2.3.1. Camera仕様（１光学系あたり） (8)

2.3.2. 照明仕様（反射明視野光学系） (8)

2.3.3. 照明仕様（反射明視野光学系） (8)

2.3.4. 照明仕様（透過明視野光学系） (8)

2.4. 設備仕様 (11)

3. System構成 (13)

3.1. Hard ware構成図 (13)

4. Soft ware仕様 (14)

4.1. Software実行環境 (14)

4.2. Program一覧 (14)

4.3. ＩＮＩ file切替soft (15)

4.4. Monitoring soft (16)

4.4.1. 検査処理 (16)

4.4.2. 強調画像保存 (17)

4.4.3. 欠陥画像保存 (17)

4.4.4. 欠陥情報保存・重複検査防止 (17)

4.4.5. 強調画像表示 (17)

4.4.6. 検査結果表示 (18)

4.4.7. 環境設定Parameter管理 (18)

4.4.8. 品種Parameter管理 (19)

4.4.9. 入力条件設定 (20)

4.4.10. 検査範囲設定 (20)

4.4.11. 不良率Graph表示 (20)

4.4.12. Real time感度変更 (21)

4.4.13. 画像Simulation機能 (21)

4.4.14. 検査異常監視 (21)

4.4.15. 表示／Buzzer機能 (22)

4.4.16. 品種切替 (22)

4.4.17. 光学系自動切替 (22)

4.5. Maintenance soft (23)

4.5.1. 概要 (23)

4.5.2. 機能 (23)

4.6. 画像閲覧Soft ware (24)

4.6.1. 概要 (24)

4.6.2. 機能 (24)

5. Utility (25)

6. 御見積条件 (25)

7. 納期及び納入条件 (26)

8. 検収条件 (26)

9. 保障期間 (26)

G8 Mura検査装置仕様書

1. System概要

本装置は、Conveyerで搬送される基板をLine sensor cameraで撮影した画像DataにShading補正、Noise除去、濃度強調、合成・領域抽出等の処理を施し、処理後の画像をＰＣのMonitorに表示します。処理画像は貴社画像ServerへFileとして保存します。さらに処理画像に対してPin-Mura・Slit-Muraの検査をおこない、検査結果をMonitorに表示するとともにfile serverへ出力します。以上の動作はLine上の製品の搬送と連動し自動運転します。

本装置の機器電源仕様はAC208V±21Vに対応します。

2. Photo litho Line検査仕様

2.1. 検査対象物

1 一般名称液晶用Color filter

2 材質 Glass基板

3 材料寸法基板Size：2200 × 2500ｍｍ

基板厚さ ：0.6～1.1ｍｍ（0.7, 0.63, 1.1）

4 検査面１基板あたりのTip多面取り仕様は無制限に対応します。

※但し、最小Tip sizeは20mm×20mm以上になります。

5 画像可能Area 基板周囲2mmより内側

6 検査可能Area 基板周囲10mmより内側

※上記以外の製品については照明調光範囲、光学系設計範囲での対応とします。2.2. 検出仕様

1 欠陥種類塗布後BMの塗り残し

塗布後RED / GREEN / BLUE / OC / PSの膜厚Mura

現像後BMの開口Mura

2 Defect判定Level (OK, Gray, NG)

Suji

Simi (Suji以外)

3 Glass判定

(OK, Gray, NG, etc.) Glass判定Panel判定共通欠陥判定

4 Masking処理共通欠陥Masking処理

上流欠陥Masking処理

5 Mura検出処理検査中Parameter変更可

6 擬似欠陥対策 Shading補正処理

照度check機能

照度調整機能

7 Additional Function Mura Image 保存

(to file-Server)

2 検出精度検出目安

・Pin-Mura：φ1mm以上

・Slit-Mura：幅1mm以上

但し、検出精度に関しては、貴社から欠陥Sampleをご提示頂き

評価させて頂きます。

※検査精度の詳細については、別途提示とさせて頂きます。