制绒标准作业指导书

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目录

一、制绒目的 (2)

二、制绒原理 (2)

三、适用范围 (2)

四、职责 (2)

五、操作流程 (2)

1. 开机 (2)

2. 关机 (3)

3. 生产 (3)

4. 配液 (3)

5. 补液 (3)

6. 配液操作 (4)

六、检测内容及技术要求 (4)

七、关键控制点和检查频次 (4)

八、设备及物料清单 (5)

九、具体规范图示 (5)

十、注意事项 (10)

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一、制绒目的

1.去除硅片表面的机械损伤层；

2.在硅片表面形成金字塔状绒面以减少反光率；

3.酸洗去除硅片表面的硅酸钠、氧化层及金属离子。

二、制绒原理

1. 在低浓度NaOH水溶液中，硅片表面发生各向异性腐蚀，产生密集的金字塔型角锥体结构。

2. 化学反应方程式：Si+2NaOH+H

2O=Na

2

SiO

3

+2H

2

↑。

三、适用范围

本作业指导书适用于单晶车间内，制绒工段所有工作人员。主要设备为台州强丰清洗制绒机。

四、职责

1.操作员负责依照作业指导书要求，按标准进行生产作业，掌握正确的操作方法，确保人身安全、操作安全。

2.在操作过程中遇到工艺或设备问题应及时向工艺或设备人员反映，相关人员须及时提供帮助，解决问题。

五、操作流程

1. 开机

a.检查确认纯水、电、压缩空气、氮气是否供应正常；

b.检查确认设备排风是否正常；

c.开机，打开位于设备后配电箱内的电气开关并确认二级开关全部打开；

d.登录，点击触摸屏，确定登录；

e.切换为手动模式，在手动模式下打开所有槽盖，确认各槽溶液是否正常，确认各槽内无花篮无杂物；

f.将设备切换为自动模式，各槽开始自动升温；

g.待温度达到设定值后，开始试片投产。

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2. 关机

a 在手动模式下打开所有槽盖，检查确认各槽内有无花篮，待所有花篮都取出后方可进行关机操作；

b 关闭所有槽盖；

C.关机，关闭位于设备后的电气开关。

3. 生产

生产过程

A. 装片, 将仓库领来的硅片从箱子中取出，然后小心插入小花篮中，并以200片为一生产批次并做好所

有相关记录，；

B 进篮。将清洗完的小花篮装上压条，放入大花篮中（200片/篮，大花篮放在进料台上），按下“上料确

认”键；

C 取篮。花篮依次经过机器内所有流程后，从下料台下料，拿出大花篮并取下所有小花篮压条；

D. 甩干。硅片在制绒机内取出后，在甩干区进行甩干，甩干后，应达到硅片、花篮表面无水迹。

E. 绒面检测。在制绒好的花篮中，取出事先称重的硅片，观察绒面质量是否合格。同时进行称重，确保

制绒后的硅片减重在控制范围之内。

F 对绒面质量做好记录，真实准确的填写工艺流程单，并确认下个生产批次投片前溶液补充量。

4. 配液

粗抛2#：NAOH 6kg、乙醇8L、时间120s；

制绒4#：NAOH 2.5kg、乙醇5L、制绒添加剂：500ml、时间1200s；

制绒5#：NAOH 2.5kg、乙醇5L、制绒添加剂：500ml、时间1200s；

制绒7#：NAOH 2.5kg、乙醇5L、制绒添加剂：500ml、时间1200s；

制绒8#：NAOH 2.5kg、乙醇5L、制绒添加剂：500ml、时间1200s；

酸洗11#：HF 4L 、HCL 4L、时间120s；

酸洗13#：HCL 8L、时间120s；

5. 补液

一般情况下每两批补一次化学试剂；

粗抛2#：NAOH 750g 乙醇1.5L；

制绒槽4#、5#、7#、8#：NAOH 500g 乙醇 1.5L 制绒添加剂70-100ml；

注：补液量应参考上一批硅片的减重量，将硅片减重保持在0.5g左右，酌情适当增减NaOH 量；

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6. 配液操作

A. 将设备设为手动模式；

B. 打开槽盖，排掉老液，然后用纯水冲洗化学槽，确保槽的清洁干净；

C. 首先补充纯水，水位要低于上限位处3-7cm（确保一定的余量为要添加的化学溶剂留下空间）；

D. 关闭槽盖，将设备设为自动模式，化学槽开始升温；

E. 待水温升至70℃时，将氢氧化钠缓慢均匀倒入槽中，并充分搅拌均匀；

F. 待温度达到设定值后，将乙醇及制绒添加剂缓慢均匀的倒入槽中，并充分搅拌均匀，开始试片；

G. 试片绒面状况及减重正常，可以不加液，立即大批量投片；如有异常通知工艺员检查解决。

六、检测内容及技术要求

1.硅片重量

要求减少重量控制在0.45g<△<0.55g之间；

检测数量：每一批（200片）抽检3片；

检测工具：电子天平（精度：0.001g）；

检测方式：自检；

2. 绒面状况

要求角锥体大小均匀，覆盖率在95%以上

检测数量：每一批（200片）抽检3片；

检测工具：金相显微镜；

检测方式：自检

3. 表面清洁度

要求表面无明显的沾污物、指纹和划痕，

检测数量：每一批（200片）抽检3片；

检测工具：目检；

检测方式：自检；

七、关键控制点和检查频次

1. 制绒槽内温度：每次上料时需确认；

2. 压缩空气和氮气压力：每班检查一次；

3. 工艺参数确认：每次进行交接班时确认；

4. 工艺参数的调节：需进行记录；