制绒工序操作作业指导书
制绒机操作、保养、维护作业指导书
制绒机操作、保养、维护作业指导书使用环境环境温度0℃~50℃，相对湿度＜90％，海拔高度：2000m。
工作模式手动、自动两种工作模式。
制动模式工作能实现自动入料、自动定时制绒、自动定时清洗、自动出料作业；手动模式工作时能实现自动入料、人工定时制绒、人工定时清洗、自动出料作业功能。
温度控制控温精度：±1℃；控温范围：30℃～120℃。
加热管温度均匀性：±3℃。
加热方式制绒槽体用加热管加热溶液，温控仪加可控硅控制加热，从而保证了准确控温的目的。
六．设备介绍与操作6.1 制绒机介绍图a--1 1.自动制绒机全貌介绍。
如图a--16.2 制绒机组成6.2.1 植绒机上料装置。
如图 a—26.2.2 制绒机的制绒槽与清洗槽。
如图 a—3 图 a--4图a—2 图 a—3 图 a—46.2.3 制绒机的下料装置。
如图 a—56.2.4 制绒机配电柜。
如图 a—66.2.5 制绒机的触摸屏监控器。
如图 a—7图 a—5 图 a—6 图 a--7 6.3 制绒机的工作流程上料6.4 自动制绒机的开关机（一）开机:6.4.1 合上总电源开关图 1—16.4.2 打开触摸屏开关如图 1--2图 1—1 图 1—2 6.4.3 打开触摸屏上的加热开关图 1--3图 1—3注：在加热时只能同时开启两个加热槽，保温时才能全打开加热。
（二）关机6.4.4 关闭触摸屏上的加热软开关。
图 1--46.4.5 关闭触摸屏电源开关。
图 1—5图 1—4 图 1—5 6.4.6 关闭总电源开关（向箭头方向扳动空开）。
图 1--6图 1—66.5 自动作业时的设备操作步骤：图 5—1 图 5--26.5.1 打开触摸屏电源开关后，监视器自动进入主界面。
图 5—16.5.2 点击主菜单，进入“系统主菜单”界面。
图 5--2图 5—3 图 5--46.5.3 点击“主系统菜单”的第一个点选框。
可查看厂商介绍。
图 5--36.5.4点击“主系统菜单”的第二个点选框。
C1A制绒工序操作规程
C1A制绒工序操作流程1主题内容本文规定了C1A制绒工序的基本操作流程。
2适用范围本规定适用于C1A制绒工序。
3内容3.1 准备工作3.1.1 生产组长提前10分钟到岗与上班进行工作交接。
3.1.2 进入车间室时必须穿好工作服、工作鞋，戴工作帽、手套和防尘口罩，衣着标准严格按照6S执行，不得穿着工作服在车间外活动，进入车间必须走风淋门。
3.1.3进入车间后按照工序分工，清点员工是否到齐，安排进入各自的工作岗位，开始交接工作，听取上班组长说明生产运行情况。
3.1.4 检查车间卫生，物品是否摆放整齐；地面是否干净；车间内是否有杂物，垃圾是否全部清理出去。
如果有问题，马上要求上班给予解决。
3.1.5 观察自动补液罐液位情况，如液位低于警戒线，按工艺要求进行配液罐配液。
3.2操作规程3.2.1 上料3.2.1.1 用小推车从硅片检测间取硅片到制绒间。
注意流程单要和硅片相对应，防止搞混硅片。
3.2.1.2 从大花篮存放处取大花篮到制绒机上料台上，注意检查大花篮有无损坏。
3.2.1.3 取小花篮放到大花篮内，注意轻拿轻放，每次最多允许拿两个小花篮。
3.2.1.4 取小花篮“H”面起取第五片称重，记录于《制绒配液记录表》中。
3.2.1.5 填写《力诺电力生产流程单》和《制绒配液记录表》，要求各项都必须认真填写。
3.2.2 配液3.2.2.1 ND150溶液的配置：用专用器具吸取ND150于专用量杯内，然后倒入制绒1#槽内。
3.2.2.2 观察液位：打开制绒槽，观察液位是否符合工艺要求，若符合开始配液，若不符合及时调整。
3.2.2.3 NaOH的添加：先确认所加NaOH为工艺要求的NaOH，然后用NaOH专用量杯量取，最后加入制绒槽内。
NaOH出现结晶等异常情况时，立即停止使用并报告组长。
加液时要注意安全，防止灼伤。
3.2.2.4 添加剂的添加：先确认所加添加剂为工艺要求的添加剂，然后用量杯量取，最后加入制绒槽内。
作业指导书-制绒清洗
2.3.8制绒工序做好各种记录表格，包括：DI水电阻率检查表、制绒槽中定量补药记录表、每个槽的药液和水的更换记录表每个槽生产批次及停止生产时间记录表。
2.3.9当发现单面刻蚀深度低于8μm或高于13μm时，应及时调整该槽中KOH的加入量，通常以0.1L为单位。
4.5发现工艺槽槽体及液体颜色出现异常时，应立即通知设备工程师和工艺工程师。
4.6不允许将片盒或篮ຫໍສະໝຸດ 直接放在地面上并与金属直接接触。4.7每条线制绒与扩散工序之间的在制品在置时间不能超过4小时。
4.8每批测量3片硅片来检查腐蚀厚度，第一片架的第5片，第二片架的第55片，第三片架的第95片。
4.9在更换所有药液做清洗工作时，所有槽只需做一次溢流清洗，然后用水枪清洗干净即可。
3.2工具：防护用品（耐酸碱长袖手套、防酸碱围裙、防护眼镜、防护面罩）、PVC/昵绒手套。
3.2材料：硅片、NaOH、HF、HCL、IPA、DI水。
4.注意事项
4.1检查制绒质量，观察是否出现异常,详细参照代表性样品。若出现异常情况，目测或参考有代表性的样品，在WI规定范围内做调整（见2.2.8）整，问题仍不能解决则通知技术员做工艺调整。
2.3.2每一制绒槽中的溶液必须在十批硅片后更换。
2.3.3如果中间停止生产45分钟的话，制绒槽中加入IPA1.3 L，KOH补0.8 L。
2.3.4如果中间停止生产一小时的话，制绒槽中加入IPA1.7 L,KOH补0.8 L。
作业指导书
制绒清洗
文件号：YLOT-OI-S5D65-TEX
版本：2011.001（试行）
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制绒工序
清洗制绒工序初始配比：2#槽HNO3:HF=3:176(L)，设定温度3度；4#槽NaOH=52(L)，设定温度20度；6#槽HF: HCl =32:64(L)常见问题：A：新换制绒液1．新换制绒液，为保证片子不发白和保证绒面大小正常，前几张单子的减薄量控制在0.27～0.300克之间；添加酸前后的减薄量波动较大。
新换制绒液做出的片子减薄量偏小，但绒面正常；因此新换液减薄量要比老液小(＞0.275g即可接受，正常要求0.32-0.34g)。
2．开始时减薄量小，为了防止高温现象和温度波动过大，采取了降低传动带速；生产稳定后，逐渐调整到1.2M/S。
3．制绒槽新换制绒液，刚开始片子表面有污渍没洗干净，在碱槽中加20升NaOH后正常。
1．制绒槽硝酸流量计记数错误，导致硝酸加不进；设备维修。
2．制绒槽的HF的流量计不准，当加入80升时就液位超高，打开循环泵后继续加，当加到98升时自动排液，远未达到设定值176升，所以流量计的误差太大；更换新流量计。
添加液的量决定溶液配比浓度，故流量计应能准确计量。
3．PECVD二线有一个舟有问题，镀出膜边缘发红，舟已经换掉；4线由于清洗间新换制绒液(绒面偏大)，员工没有及时更改镀膜时间，用770秒镀膜使800多片片子发白，更改到750秒后正常。
PECVD镀膜时间与绒面相关：绒面大镀膜时间短，绒面小镀膜时间长。
另外：镀膜后片子边沿状况可以反映出舟的状态。
5．制冷机的乙二醇的液位传感器松动了，使制冷机无法正常工作；设备维修。
6．制绒槽风刀一端有点偏高，致使第4、第5道的片子边缘有残留液带出；片子镀完膜后有白边；调整风刀后正常。
7．制绒槽的风刀压力过大，液位过高；9．制绒槽温度在9点30分时温度突然升高，立刻停止生产，但制绒槽里没片子温度还是从3.7度升高到7.5度；KUTTLER的厂家派出工程师维修，修改控制程序。
10．单晶制绒槽体温度测试，液体上表面的温度为80度，液体底为79.5度，相差很小。
制绒作业指导书
制绒作业指导书A1作业任务去除硅片表面的损伤层，在硅片的表面制作出均匀一致的金字塔形绒面,增加光的吸收。
2工艺控制标准初始参数3作业流程开机→配液→联动/单独→投片→转酸洗3.1开机3.1.1确认各空开都处于断开状态，没有物体阻碍机械臂正常运行，操作面板上“手动→单独→联动”选择开关处于手动位置。
确认高压空气、纯水、氮气等管道上的手动阀门均已打开；且压力正常，空压（0.5-0.6）MPa，N2（0.5-0.6）MPa，纯水（0.2-0.25）MPa。
3.1.2依次闭合控制底板上的空气开关QFO-14。
3.1.3将操作面板下方电源开关旋至“Ⅰ”位，系统处于手动状态开始自检。
3.2配液3.2.1在手动状态下，点击触摸屏，将相应的槽体盖子打开，点击注水，将所有工艺槽内注满水(注水停止为限)。
3.2.2准备好所需化学试剂，带上防护面具和长筒乳胶手套，将NaOH、Na2SiO3按量倒入相应槽内(由于Na2SiO3是块状，NaOH是细小颗粒状，配液时应先添加Na2SiO3，再加NaOH；另外在配液时，撒倒试剂时要缓慢、均匀，防止大量NaOH，Na2SiO3倒入，致使溶液飞溅，对人造成伤害)。
由于IPA在高温下具有很强的挥发性（沸点82.5℃），可在设备自动运行、载有硅片的片篮进QDR槽、制绒槽盖子打开时，加进制绒槽。
3.2.3 调节温控器将温度设定成工艺值，点击触摸屏上的加热按钮，给溶液加热。
3.3将设备运行状态启动成“联动”或“单独”状态。
3.3.1 当各温控器上的实际值达设定值时（室温升至80℃大约需要30分钟），点击“设备状态区”查看设备是否满足“单独”或“联动”运行条件。
3.3.2 当“设备状态区”条件满足时，点击“工艺选择区”，选择所需设定的工艺号；点击“工艺号”键。
利用弹出的键盘输入工艺号。
点击“工艺参数修改”键，进入请求密码屏，密码输入正确后进入更改工艺参数修改屏，点击各槽键设定相应槽的工艺参数，完毕后点击“确定”键然后再点击“返回”键，工艺设定完毕。
制绒工序技术文件
生产部：制绒工艺技术文件
每日需做:
1.每次交接班时，对制绒的上料和下料滚轮用无尘布沾酒精擦拭3遍，擦拭后检查滚轮表面无脏污等方可开始生产。
2.制绒后的片子使用片盒装载，上班生产前需将下料装片盒用干净无尘布擦拭。
3.上下料严禁裸手接放片子，手套穿戴时间太长，会将手套上的脏污、灰尘沾在片子上，造成手指印等不合格片。
4.每800片更换一次手套，同时要按要求戴两层手套，下料尽量少接触片子。
5.生产前需检查碱槽的喷淋是否堵塞，确保喷淋口没有堵塞后再行生产。
6.生产制绒后的硅片不能存放超过3分钟,需立即送到传递窗,并一定要把传递窗关上。
7.制绒间的温度需控制在: 20-27℃,湿度需在: 35-75%
8.当班组长可视减薄量情况进行调节制绒带速，允许最大调节范围是±0.3m/min，超过此要调节的带速请通知当班工艺人员。
9.减薄量则依工艺所给的,不同厂家硅片的减薄量来生产,若未制定出来的厂家硅片减重则依单片减重0.33g-0.39g执行
保养时需做:
1. 制绒槽换液时，需同时对各槽体进行清洗，包括清理各槽的碎片等
2. 每次排酸及清洗槽体时，将对应的盖板进行擦拭，清理。
设备部：制绒工艺技术文件
1. 酸槽、碱槽以及水槽的滤芯每一个月更换一次。
2. 制绒槽换液时，需同时对各槽体进行清洗，包括清理各槽的碎片等
3. 每次排酸及清洗槽体时，将对应的盖板进行擦拭，清理。
RG-PED-WI-001制绒作业指导书
分发部门份数分发部门份数修改日期版本修改内容号文控中心(DCC)正本人力资源部 1 2012/11/07 A/0 首版发行总经理 1 总务部0常务副总 1 商务副总0管理者代表 1 商务部0技术副总 1 昆山办事处0技术研发部 1 财务副总0生产工艺部 1 财务部0品质控制部 1 董事长0生产副总 1生产部铸切0生产部电池片 1设备部0厂务部0安环部0行政副总0资材部0分发总数10编制 / 日期： /审核 / 日期： /受控印章受控印章为红色有效，请依据受控副本；批准 / 日期： / 未经授权，本文件不得拷贝及外传。
1.0目的在硅片表面用一定比例硝酸,氢氟酸及水的混合液处理以形成有一定规则的绒面。
2.0范围适用于多晶硅片(硅片型号：RG156*156)。
3.0职责3.1所有操作人员都必须严格按照本文件进行操作。
3.2在操作过程中遇到问题应及时向相关技术员或设备工程师反应，相关技术、设备工程师及时提供帮助。
4.0作业流程4.1注意4.1.1用腐蚀性的化学品工作时需要足够的防护，需使用能抵抗腐蚀性的遮板、衣服、鞋、手套和护目镜。
4.1.2确保自己如果发生事故,能找到适当的紧急冲洗设施。
决不单独进入机器内工作，正在作业的机器不允许打开、除去盖板，因为内部气体有特别危险的碱或酸化学品。
4.2生产准备4.2.1穿上工作服，戴上PVC乳胶手套；清洗操作人员需要戴上安全眼镜、防护面具、防酸碱围裙、长袖防酸手套。
4.2.2确保手套没有粘有油脂性物质，严禁直接接触硅片的正反面，只允许接触硅片的两侧，戴好手套后，在插片过程中禁止手套正面接触皮肤等污染物体，如接触过皮肤、头发或者是带有油脂的物品，请更换手套。
4.2.3确认配套各动力项目是否正常4.2.3.1压缩空气：压缩空气压力要求4～6bar 的气压。
当 Air Knifes 不使用时，压力必须大于4bar。
4.2.3.2化学品供应：查看供应化学品的手阀是否处于开启状态。
1.RENA制绒工序作业指导书
文件修订记录目录1.目的 (3)2. 范围 (3)3. 职责 (3)4. 内容 (3)5. 记录 (3)6. 附件 (4)1. 目的规范多晶硅电池片生产中制绒工序的各项操作。
2. 范围用于本公司156 多晶电池片生产中RENA 清洗机制绒工序的操作作业指导。
3. 职责3.1 所有操作人员都必须严格按照本文件进行操作。
3.2 在操作过程中遇到问题应及时向工艺和设备人员反应，工艺和设备人员及时提供帮助。
3.3电池技术部负责按文件要求对产线进行检查、监督。
4. 内容4.1 制绒工序注意事项规定，见5-8页。
4.2 RENA制绒上料操作作业指导书（多晶），见9-10页。
4.3 RENA制绒流程操作作业指导书(多晶)，见11-12页。
4.4 RENA制绒下料操作作业指导书（多晶），见13-14页。
4.5 减薄量测试作业指导书, 见15页。
4.6返工片操作作业指导书，见16-20页。
4.7产线异常控制作业指导书，见21页。
4.8 D8反射率使用作业指导书见22-23页。
5. 记录5.1 制绒减重反射率记录表（电子版）5.2 制绒换液记录表5.3 制绒工艺日常点检表5.4 电池生产流程单6. 附件6.1制绒常见异常处理方法（设备），见24-25页。
6.2多晶制绒工艺流程图，见26页。
6.3 化学品安全使用和应急处理，见27-28页。
制绒工序注意事项规定1．制绒工序区域环境要求1.1 洁净度：控制线8000 级，停产线10000 级1.2 温度：22±2℃1.3 湿度：<70%1.4 对参观通道保持3pa 正压1.5 排风：（500±50）Pa(RENA 机排风)2．着装及劳保用品使用要求2.1 人员着装要求：现场作业人员、支持人员须穿戴整齐（包括公司配备的洁净服、洁净帽、工作鞋、口罩）并保证着装整洁（如脏污须清洗或更换）。
2.2 手套使用要求：现场作业人员须戴乳胶手套作业，沾污、破损必须更换新手套；手动放片每两小时更换一次手套，出入车间后更换手套。
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5.7下片时，操作人员用吸笔把经Intex 处理好的硅片从滚轮上卸载到片盒内（见图2）。
5.8把装满硅片的片盒放入传递窗，流入扩散工序工作，并在流程单上记录清楚。
5.9抽取每批的四片进行制绒前和制绒后称重测量，将所测数据记入规定表格。如有异常，通知值班工艺技术员做出相应的调整。
5.10 每个班结束，要做好每个班的产量、碎片、差异记录。
5.5戴好一次性手套拿取其中一片，对照模板检查，检查硅片尺寸是否符合要求，用螺旋测微器检验硅片原始厚度，用塞尺检验弯曲度是否合格，合格及开始投片。（照片后补）
5.6投片开始，把取出的硅片放在工作台上，两手拿取约100片片子，放在左手，右手将片子轻轻拧开，把硅片轻放在滚轮上，保证硅片整齐且每片之间的前后距离大于1cm。（见图1）
5.3对照配料单填写《操作记录》上的型号、定单号、日期。（照片后补）
5.5用美工刀将纸箱的封箱口划开，检查内包装盒数量合计是否与外箱数量一致，如一致，戴好一次性手套拿取其中一小包装盒，放到桌子固定位置，将内包装盒标签上晶体编号及数量记录在《操作记录》上，用美工刀拆包，刀尖不得超过3mm，检查是否有碎片。检查片子的大小是否一致，是否有缺角片，硅晶脱落现象。（照片后补）
六、操作注意事项
6.1操作时必须带好橡胶手套、口罩、帽子和工作服，每投完400PCS更换一次手发现不合格片必须及时挑出并反馈意见给巡检，如：针孔、崩边、裂纹等等。下料时要注意硅片是否吹干、带液、碎片。将它们分类摆放，同时反馈给工艺与设备。
3.3生产人员
3.3.1负责依照作业指导书要求，按标准进行生产作业，掌握正确的操作方法，确保操作安全、人身安全。
3.3.2细心总结操作经验，发现新问题或改善建议，及时向工艺技术员汇报。
3.3.3配合、协助设备的日常维护工作。
四、操作规范
4.1、操作前准备工作
4.1.1正确穿戴方法及要求
4.2．生产前工夹具的准备
6.4 正常生产过程中保持设备门窗关闭。
6.6将不合格品进行分类放置。（照片后补）
七、5S要求
7.1工作用具合理的排放。
7.2 注意工艺卫生，生产结束要打扫卫生，擦拭吸笔。
编 制
会审/校审
审 核
批 准
3.1.3负责应对RENA InTex设备常见、突出、重大的工艺异常，制定落实整改措施、预防措施、应急方案。
3.2设备技术人员
3.2.1负责RENA InTex设备开关机、故障分析、设备维护及检修。
3.2.2如有工艺需求，积极配合工艺人员调整设备硬件设置。
3.2.3负责部门内设备运行原始资料的累积，保管，随时检查设备运行状态，并记录异常，积极跟踪异常情况，处理设备故障.
一、目的
建立正确操作RENA InTex设备的规范，以保证制绒的质量及保护机器和人身安全。
二、范围
适用于电池生产制绒工段，从制绒作业准备至结束所有生产操作步骤和要求
三、职责
3.1工艺技术人员
3.1.1负责RENA InTex设备工序生产工艺运行的正常性、稳定性。
3.1.2负责部门内工艺运行原始资料的累积、保管，随时检查工艺运行状态，并记录异常，积极处理工艺异常。
工具要求：承载盒、模板、美工刀、电子秤、海绵垫、一次性手套、螺旋测微器和塞尺。（见下图）
五、操作要求及步骤
5.1检查外包装箱子是否有破损，检查配料单和Qc检验入库信息是否一致，同时核对外包装箱上的数量合计是否与配料单一致。（照片后补）
5.2搬动一箱硅片在电子秤上称重，检查包装箱上的重量是否与电子秤是否一致，如一致，将秤的重量写在装片记录上，称完重量的硅片立即从称上取下，电子称上严禁长时间放置物品。（照片后补）