精密紫外真空光谱反射率测试系统

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光谱测试系统(透射、反射、吸收、荧光、PL、拉曼、紫外可见红外)

元件
□ 宽光谱范围全自动光谱扫描
□ 系统由激发光源部分、样品室部分、分光部分、探测部分、信号采集处理部分、软件部分组成
□ 采用了高通光效率、低杂散光水平的单色仪和优化的光路
光
□ 采用锁相放大器进行信号的处理，大大的提高了系统的信噪比
电
□ 系统经过多年技术积累和客户的成功使用经验，具有很高的可靠性
探
785nm 等
□薄膜厚度测量，厚度范围：10nm-50um，1nm 分辨率
光
□采用氘灯溴钨灯复合光源
学
□自动装载、卸载、定位，每 25 片一包
平
台
光学元件
六、LE-SP-SR 光电探测器光谱响应度测量系统 Spectral Response Measurement System
光
应用范围
电
□本系统专门用于测试光电探测器及各种光电转换材料和器件的光谱响应曲线。针对太阳能电池领域，可以测试太阳能电池的
器
□宽光谱范围，覆盖了紫外可见和红外
□结构设计紧凑，高分辨率
主要规格
光
□光谱范围：200-1100nm（Up to 2200nm 可选）
机
□采用低噪声线阵 CCD，2048 象素
产品
□适合晶圆尺寸：2 英寸、4 英寸、6 英寸、8 英寸
□多种激光波长可选：266nm、325nm、375nm、405nm、532nm、658nm、
测
□ 采用模块化设计，使用灵活，便于功能扩展和升级
弱
&
□ 可实现样品原位测量
信
□ 可升级做显微的 PL 光谱测试
号
处
□ 可升级做 EL 电致发光测量
理
□ 可升级做电场调制光谱

光谱测试系统(透射、反射、吸收、荧光、PL、拉曼、紫外可见红外)

主要规格
□光谱范围：250-1700nm（Up to 2.2um 可选） □系统空间分辨率：约 10um（1um 可选） □适合晶圆尺寸：2 英寸,4 英寸 □工作距离：30.5mm（Z 轴可调） □XY 电动样品台，最大速率：30mm/sec □激光波长可选范围：266-1064nm □各种 ND 滤光片实现激光能量可调范围：2%-99% □含激光线窄带滤光片和截止滤光片
1um@442nm（TEM00 Mode，100X 物镜）
光
□PL& Raman 扫描成像可选，可实现 1um 步距的分辨
学
平
□光谱范围：300-500nm（标配）；400-700nm（可选）
台
主要规格
□激光器：30mW@325nm,110mW@442nm,TEM00 模
□分别针对于 325nm 和 442nm 的高性能激光线截止滤光片
光
了关键数据反馈。除了 LED，PL 谱成像仪还适用于多种光电子材料（如高密度 DVD 和蓝光光碟用 UV 激光二极管）的制备过程。
源
PL 谱扫描成像仪通过集成的反射光谱仪，我们可以同时测得薄膜厚度图像，因此仅仅一个工具就提供了复杂的材料特性分析。
和激
光
器
Maple 系列 PL 谱扫描成像仪 Micro/Macro PL Mapping System
785nm 等
□薄膜厚度测量，厚度范围：10nm-50um，1nm 分辨率
光
□采用氘灯溴钨灯复合光源
学
□自动装载、卸载、定位，每 25 片一包
平
台
光学元件
六、LE-SP-SR 光电探测器光谱响应度测量系统 Spectral Response Measurement System

反射率测定仪的参数及原理

反射率测定仪的参数及原理反射率测定仪是一种用于测量材料表面反射率的仪器，广泛用于电子、光学、材料科学等领域。

本文将介绍反射率测定仪的几个重要参数及其原理。

反射率反射率是指入射光在材料表面反射的比例。

一般用R表示，其值在0~1之间。

当R=1时，表示材料对入射光完全反射；当R=0时，表示材料对入射光完全吸收。

反射率测定仪的构成反射率测定仪由光源、光学系统、检测器和数据处理系统四部分组成。

其基本原理是通过测量入射光和反射光的强度来计算出材料表面的反射率。

参数解析光源光源是反射率测定仪的核心部件，其稳定性和光谱特性对测量结果有着很大的影响。

一般来说，反射率测定仪采用的是连续光源或单色光源。

连续光源一般采用钨丝灯或氙气灯，其光谱范围广，可用于测量不同波长范围的样品。

但由于其光线强度不稳定，容易产生较大误差。

单色光源一般采用LED或激光器，其光线强度稳定，精度高。

但由于其光谱范围较窄，只能用于测量特定波长范围的样品。

光学系统光学系统主要由光学镜组成，其作用是将光源发出的光线聚焦到样品表面上，并将反射光线聚焦到检测器上。

光学系统的分辨率和光斑大小对测量结果有着重要的影响。

检测器检测器用于测量反射光线的强度，一般采用光电二极管或光电探测器。

其灵敏度和带宽大小对测量结果有着决定性影响。

数据处理系统数据处理系统主要用于对测量结果进行处理和分析。

其功能包括自动零点校正、数据记录和输出等。

合理的数据处理能够提高测量精度和可靠性。

原理及测量方法反射率测定仪的测量原理基于菲涅尔反射定律和比较法原理。

其测量方法一般分为两类：准直法和照射法。

准直法是将反射率测定仪的光路调整至入射光垂直地照射在样品表面，反射光线与入射光线方向相同，使得测量结果与样品表面的粗糙度无关。

照射法是将反射率测定仪的光路调整至反射光线方向与入射光线方向垂直，使得反射光线只能从样品表面的最顶层反射回来。

此时，样品表面的粗糙度对测量结果有着重要的影响。

总结反射率测定仪是一种用于测量材料表面反射率的重要仪器，其测量精度和稳定性对材料表面质量的评估、光学设备的设计等方面都有着重要的意义。

光谱仪测量反射率方法

光谱仪测量反射率方法
光谱仪测量反射率的方法可以分为以下几步：
1. 准备测试样品：将待测样品放置在光谱仪的测试台上。

2. 调整光谱仪：根据待测样品的特性选择合适的光源和检测器，并进行相应的光谱仪参数调整。

3. 设置参考基准：使用一个已知反射率的标准物质作为参考基准，将其放置在光谱仪的测试台上，并用该物质的反射率校准光谱仪。

4. 测量样品：将待测样品放置在光谱仪的测试台上，启动测量程序，并记录测量结果。

5. 分析数据：根据测量结果得到的光谱数据，通过分析和处理数据，计算出样品的反射率。

需要注意的是，在进行测量时可能需要考虑一些因素，例如避免外界光源的干扰、对样品进行表面处理以减少表面反射等。

此外，具体的测量方法和步骤可能会因光谱仪的型号和样品特性的不同而有所差异，因此在进行测量前可以参考光谱仪的使用手册或相关文献进行操作。

紫外-真空紫外光谱辐照度校准系统

ａｎｄｔｈｅｓｏｕｒｃｅｗｈｉｃｈｗｅｒｅｃａｌｉｂｒａｔｅｄ．Ｓｐｅｃｔｒａｌｒａｎｇｅｉｓ１１０－４００ａｍ．Ｔｈｅｍａｘｉｍｕｍｕｎｃｅｒｔａｉｎｔｙｆｏｒ
ｔｈｅｃａｌｉｂｒａｔｉｏｎｏｆｕｌｒａｔｖｉｏｌｅｔｏｐｔｉｃａｌｓｏｕｒｃｅｓａｎｄｕｌｒａｔｖｉｏｌｅｔｄｅｔｅｃｔｏｒｓ，ａｆａｃｉｌｉｔｙｆｏｒｃａｌｉｂｒａｔｉｏｎｏｆｕｌｔｒａｖｉｏｌｅｔａｎｄｖａｃｕｕｍｕｌｔｒａｖｉｏｌｅｔｓｐｅｃｒａｔｌｉ￣ａｄｉａｎｃｅｗａｓｓｅｔｕｐ．Ｔｈｅｆａｃｉｌｉｔｙｗａｓｃｏｍｐｏｓｅｄｏｆｓｔａｎｄａｒｄｏｐｔｉｃａｌ
ｔｈｅｅｑｕｉｐｍｅｎｔｓ．Ａｓｗｅｌｌａｓｔｈｅｖａｌｕｅｏｆｈｅｔｓｔａｎｄａｒｄｄｅｔｅｃｔｏｒａｎｄｓｏｕｒｃｅｗｅｒｅｒａｔｎｓｆｅｒｒｅｄｔｏｔｈｅｄｅｔｅｃｔｏｒ
（ＢｅｉｊｉｎｇＺｈｅｎｘｉｎｇＭｅｔｒｏｌｏｇｙａｎｄＭｅａｓｕｒｅｍｅｎｔＩｎｓｔｉｔｕｔｅ，Ｂｅｉｊｉｎｇ１０００７４，Ｃｈｉｎａ）Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｉｎｏｒｄｅｒｔｏａｄａｐｔｔｈｅｆａｓｔｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔｏｆｕｌｔｒａｖｉｏｌｅｔｄｅｔｅｃｔｉｏｎａｎｄｉｔｆｔｉｎｇｔｈｅｒｅｑｕｉｒｅｍｅｎｔｓｆｏｒ

真空紫外波段光栅二级衍射效率测量装置

ｅｃｅｃｆｇａｉｎｖｃｕｌｒｖｏｅｉｆｉｎｙｏｒｔｎｇｉａｕｍｕｔａｉｌｔ
ＱｉＵＹ
（ｈｎｅｕｎｔｕｐｉ，ｉｃａｉｎｈｓｓＣａｇｈｎＩｓｔｔｏＯｔｓＦｎＭｅｈｎｃａｄＰｙｉ，ｉｅｆｃｅｓｃ
ｄｅｃｉｄ，ｗｈｉｈｔｋｓａｄｕｅｉｓｒｂｅｃａｅｅｔｒｕｍｌｐｓｈｉｈｓｕｃａａｔｅｌｇｔｏｒｅ，ａＲ６９５ｈｔｍｕｉｌｅｓｈｅｅｅｔｒａｄ０ｐｏｏｈｐｉｒａｔｄｔｃｏ，ｎｔａｆｒｈｅｖｏｅｉｈｎｏａｖｓｂｅｌｈｙａｓｄｕｓｌｃｌｔｃｎｉａｏｌ．Ｂｙｕｉｇｔｅｉｓｒｍｅｔｒｎｓｏｍｓｔｉｌｔｌｇｔｉｔｉｉｌｉｔｂｏｉｍａｉｙａｅｓｉｔｌｔｒｆｍｇｌｉｓｎｈｎｔｕｎ，ｔｅｓｃｎ — ｒｅｉｆａｔｎｅｃｅｃｆｔｅｇａｉｓｍｅｓｒｄｆｏｈｅｏｄｏｄｒｄｆｒｃｉｆｉｎｙｏｈｒｔｏｉｎｇｉａｕｅｒｍ１０ｔ６ｎｃｎｉｕｕｓｙＯｂａｎｄ２ｏ１５ｍｏｔｎｏｌ．ｔｉｅ
ＣｉｓＡａｅｏｉｃ，ｈｎｃｕ３０３ＣｉａｈｅｅｃｄｒｆＳｅｅＣａｇｈｎ１０３，ｈ）ｎＷｃｎｓｎ
Ａｂｓｒｃｔａｔ：Ａｔｄｆｒｍｅｓｒｎｈｅｏｄ— ｒｅｉｆａｔｏｆｃｅｃｆａｇａｉｇｉｈａｕｍｌａｉｌｔｍｅｈｏｏａｕｉｇｔｅｓｃｎｏｄｒｄｆｒｃｉｎｅｉｎｙｏｒｔｎｎｔｅｖｃｕｕｔｖｏｅｉｒｒｇｏｓｉｔｏｕｅｎｔｅｂｓｓｏｈｈｏｙｔａｈａｌｅｌｃａｃｓｉｆｕｎｅｙｔｅｓｃｎｏｄｒｅｉｎｉｎｒｄｃｄｏｈａｉｆｔｅｔｅｒｈｔｔｅｓｍｐｅｒｆｅｔｎｅｉｎｅｃｄｂｈｅｏｄ—ｒｅｌｄｆｒｃｉｎｅｃｅｃｆｔｅｇａｉｇｉａｔｏｆｉｎｙｏｈｒｔｎ．Ｔｈａｕｉｇｉｓｒｍｅｔｂｓｎｇａｄｕｌａｈｍｏｏｈｏｔｒｉｌｏｆｉｅｍｅｓｒｎｎｔｕｎｙｕｉｏｂｅｐｔｎｃｒｍａｏｓａｓ

反射率测试仪使用方法说明书

反射率测试仪使用方法说明书一、简介反射率测试仪是一种用于测量不同材料表面反射率的仪器。

通过该仪器，可以准确、快速地测试不同物体表面的反射性能，对于各种领域的研究、生产和应用具有重要意义。

本说明书将详细介绍反射率测试仪的使用方法，以帮助用户正确、高效地操作该仪器。

二、仪器组成反射率测试仪主要由以下几个部分组成：1. 主机：包括仪器的控制、测试和数据输出等功能。

2. 测试平台：用于放置待测试的样品，并确保样品与仪器保持稳定的接触。

3. 光源系统：提供光源，并产生光线照射到待测试样品表面。

4. 探测器：用于检测反射光线，并将检测结果传输给主机进行处理和分析。

5. 显示屏：显示测试过程和结果，方便用户观察和操作。

三、使用方法1. 连接仪器将主机、测试平台和显示屏等部件按照正确的方式连接好，并确保连接稳固可靠。

检查电源电压和电源线是否符合要求，确保仪器处于正常工作状态。

2. 校准仪器在进行正式测试之前，需要进行仪器的校准。

按照仪器说明书的要求，使用标准样品进行校准，调整仪器参数，保证测试结果的准确性和可靠性。

3. 准备测试样品选择待测试的样品，并根据需要进行合理的处理，如除去尘土、涂抹保护涂层等。

确保测试样品表面干净、整齐，无影响测试结果的因素。

4. 进行测试将准备好的样品放置在测试平台上，按照要求调整样品的位置和姿态，使样品表面与光源系统良好接触。

启动仪器，并按照仪器说明进行操作，选择合适的测试参数和模式。

5. 数据分析和结果输出仪器将自动检测测试过程中的反射光线，并将数据传输到主机进行处理和分析。

用户可以在显示屏上观察测试过程和结果，也可以通过连接计算机进行数据处理和保存。

6. 维护和保养测试结束后，及时清理仪器各部件，并进行必要的维护和保养。

保持仪器的干燥、清洁，并避免暴露在潮湿和腐蚀性环境中，以延长仪器的使用寿命。

四、注意事项1. 对于不同类型的样品，应选择对应的测试参数和模式，以保证测试结果的准确性和可比性。

真空紫外-极紫外反射率计控制与数据采集系统

文章编号：1005-5630(2020)03-0071-10DOI : 10.3969/j.issn.1005-5630.2020.03.011真空紫外–极紫外反射率计控制与数据采集系统谢春1，姚倩霞2，余越3,4，李文斌3,4（1．同济大学中德工程学院，上海 201804；2．同济大学机械与能源工程学院，上海 201804；3．同济大学先进微结构材料教育部重点实验室，上海 200092；4．同济大学物理科学与工程学院精密光学工程技术研究所，上海 200092）摘要：针对自行研制的真空紫外-极紫外（VUV –EUV ）波段反射率计运行需要，基于LabVIEW 软件构建了该反射率计控制和数据采集系统。

详细介绍该系统的组成和主要硬件单元模块的控制流程与方法，并给出准直调试程序和反射率数据采集程序的架构、用户界面和数据采集方法。

提出的新数据采集算法有效提高了弱信号条件下反射率测量的可靠性。

利用该控制与数据采集系统，对Si 基板开展了准直校准与反射率测量实验。

结果表明，在7.5°～87.5°范围内直通光电流信号为20 pA 时仍能获得可靠的反射率，且基于入射光监测方法的反射率测量实验结果与理论计算相符更好。

除在布儒斯特角附近信号电流小于本底电流0.7 pA 时，反射率重复测量误差优于1.6%。

关键词：反射率计；LabVIEW ；锁相放大器；数据采集中图分类号：TP 274.2 文献标志码：AControl and data acquisition system for VUV-EUVreflectometerXIE Chun 1，YAO Qianxia 2，YU Yue 3,4，LI Wenbin3,4（1. Sino-German College of Applied Sciences, Tongji University, Shanghai 201804, China;2. College of Mechanical Engineering, Tongji University, Shanghai 201804, China;3. Key Laboratory of Advanced Micro-Structure Materials, Ministry of Education, Tongji University, Shanghai 200092, China;4. Institute of Precision Optical Engineering, School of Physics Science and Engineering,Tongji University, Shanghai 200092, China ）Abstract: Aiming at the operation needs of the self-developed vacuum ultraviolet-extreme ultraviolet (VUV-EUV) reflectometer, this reflectometer control and data acquisition system was收稿日期：2020-02-23基金项目：国家自然科学基金创新研究群体基金（61621001）；国家自然科学基金面上项目（11875203）作者简介：谢春（1963—），女，副教授，研究方向为光学仪器、先进制造技术与设备及精密加工工艺。

一种真空紫外波段像增强器光谱响应测试系统[发明专利]

专利名称：一种真空紫外波段像增强器光谱响应测试系统专利类型：发明专利
发明人：钱芸生,张翔,姜云龙,张益军,潘治云,李永春
申请号：CN201710150648.0
申请日：20170314
公开号：CN106950037A
公开日：
20170714
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本发明公开了一种真空紫外波段像增强器光谱响应测试系统，该系统包括氘灯、能量优化器、单色仪、准直器、真空室、抽气系统、测试样品真空腔及其样品夹具、机械泵、分子泵、直流—交流电流计、高压电源、斩波器、锁相放大器、真空度测试仪、工控计算机。

该系统使用氘灯作为光源，使用单色仪得到单色光，使用已定标的硅光电池测试得到单色光光功率，使用电流计直接测量直流光电流得到测试数据。

本发明使用斩波器得到交流光信号，通过像增强器交流的光信号变成交流的电信号，经过交流放大电流和锁相放大器得到测试数据。

本发明可以对真空紫外波段像增强器的光谱响应进行定量测试。

申请人：南京理工大学
地址：210094 江苏省南京市孝陵卫200号
国籍：CN
代理机构：南京理工大学专利中心
代理人：马鲁晋
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紫外_真空紫外傅里叶变换光谱仪

4期
李志刚等 :
紫外真空紫外傅里叶变换光谱仪
461
HAMAMAT SU 公司 R928 型侧窗光电倍增管, 光谱使用范围 185 nm~ 900 nm, 辐射灵敏度峰值波长 400 nm, 阳极负载电阻 300 k , 工作电压- 500 V~ - 1000 V 。光电倍增管接收光谱干涉图并转换为电信号, 通过由射极跟随器、一级放大器、带通滤波器( 300 Hz~ 3000 Hz) 、二级放大器组成的预处理电路后 , 形成光源干涉图模拟输出信号 , 引至 12 位 A/ D模拟信号输入端。实验中的参考激光光源是利用双稳频横向塞曼效应氦氖气体激光 ( 频率稳定性高于 2 10- 10 ) , 经由多层介质膜偏振棱镜分光而获得的, 偏振度大于 99% 。光电三极管接收参考激光干涉信号后, 应用电子学自动增益控制 ( AGC) 和锁相环 ( PLL ) 倍频技术处理参考激光干涉图信号 , 可产生 1~ 15 倍频激光干涉方波脉冲信号, 以此同步触发 A/ D 转换器记录光电倍增管的测量干涉图电信号, 并将其转换为数字信号存储于计算机硬盘, 形成离散的光源干涉图数据文件, 以备分析处理。将光谱仪置于防振平台上 , 调节高压氮气输出气压, 控制液压油缸活塞杆推进动镜速度保持在 0. 1 mm/ s 左右。光源前置光阑孔直径 0. 8mm, 汞灯工作电压 94 V, 工作电流 400 mA, 光电倍增管工作电压- 700 V, 选择参考激光干涉信号倍频数为 8 ( 采样间隔 79. 1 nm) 的条件下, 测量了单次采样光源光谱干涉图。经过计算机软件对采集数据平滑、切趾、相位校正及快速傅里叶变换处理后, 得到的低分辨率光源光谱如图 3 所示, 其对应的动镜行程为 5 mm 。在紫外至可见区 , H g 元素较强的线谱发射占统治地位。可精确地辨认出 H g 和 Hg 的 579 07 nm 、 576 96 nm 、 546 08 nm 、 435 83 nm 、 404 66 nm 、 366 33 nm 、 365 48 nm 、 365 02 nm 、 334 15 nm 、 313 18 nm 、 312 57 nm 、 302 15 nm 、

光谱反射率测量

光谱反射率测量是一种光学测量技术，用于确定物体对不同波长光的反射能力。

进行光谱反射率测量，需要使用专业的光学仪器，如光谱仪。

在测量过程中，需要先将样品放置在样品台上，然后将光源照射到样品上，通过光谱仪对反射回来的光进行测量和分析。

根据测量结果，可以得出样品的反射光谱曲线，进而分析样品的反射特性和吸收特性。

这些信息对于研究材料的光学性质、表面特性以及应用领域具有重要意义。

例如，在研究金属表面的光学性质时，可以通过光谱反射率测量得出金属表面的反射率和吸收率等重要参数。

这些参数对于金属表面的涂层设计、光学检测和光学镀膜等领域都有重要的指导意义。

总之，光谱反射率测量是一种精确的光学测量技术，广泛应用于材料科学、表面工程、环境科学等多个领域。

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双光补偿法消除了时间漂移，提高了相位锁定微弱信号的测量精度。该系统根据调制光信号与参考信号进行相乘的相干检测原理，采用锁相放大器，利用光学积分器，将信号平滑地输入
Ａ／Ｄ转换器。反射率测试结果表明，波长精度为０．１ｎｍ，波长重复性０．０３５ｎｍ，可以实现真
ｍｅｎｔｉｎｖａｃｕｕｍ，ｔｈｅｒｅｆｌｅｃｔｉｖｉｔｙｔｅｓｔｉｎｇｓｙｓｔｅｍｉｓｃｏｎｓｔｒｕｃｔｅｄ．Ｔｈｅｒｅｆｌｅｃｔｉｖｉｔｙｔｅｓｔｉｎｇｓｙｓ — ｔｅｍｉｓｃｏｎｓｉｓｔｅｄｏｆａｌｉｇｈｔｓｏｕｒｃｅ，ｔｈｅＳｅｙａ — Ｎａｍｉｏｋａｖａｃｕｕｍｖｉｓｉｂｌｅｍｏｎｏｃｈｒｏｍａｔｉｃｓｐｅｃ — ｔｒｏｍｅｔｅｒ，ｔｈｅｓａｍｐｌｅｒｏｏｍａｓｔｈｅｍａｉｎｓｔｒｕｃｔｕｒａｌａｎｄｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓｙｓｔｅｍｃｏｍｐｏｎｅｎｔｓ．Ｄｕａｌｏｐ—
精密紫外真空光谱反射率测试系统
姜源，徐庶，汪龙祺
（Ｉ．武警工程大学研究生管理大队，西安，７１００８６；
２．中国科学院长春光学精密机械与物理研究院，长春，１３００３３）
ｕｒｅｍｅｎｔａｃｃｕｒａｃＹｗｉｔｈｐｈａｓｅ — ｌｏｃｋｅｄｗｅａｋｓｉｇｎａｌａｍｐｌｉｆｉｃａｔｉｏｎｍｅｔｈｏｄ．Ｔｈｅｓｙｓｔｅｍｕｓｅｓａ１ｏｃｋ — ｉｎａｍｐｌｉｔｅｆｒａｃｃｏｒｄｉｎｇｔｏｔｈｅｔｅｃｈｎｉｑｕｅｂａｓｅｏｎｔｈｅｐｒｉｎｃｉｐｌｅｏｆｃｏｈｅｒｅｎｔｄｅｔｅｃｔｉｏｎｔｈａｔｔｈｅｍｏｄｕ１ａｔｅｄｏｐｔｉｃａ１ｓｉｇｎａｌｉｓｍｕｌｔｉｐｌｉｅｄｗｉｔｈｔｈｅｒｅｆｅｒｅｎｃｅｓｉｇｎａ１．Ｂｙｕｓｉｎｇｔｈｅｏｐｔｉｃａｌｉｎｔｅ —
空下光学元件的高精度测量。关键词：反射率；真空；锁相；双光补偿法
中图分类号：ＴＨ７４１；ＴＮ２３
文献标志码：Ａ
文章编号：２０９５ — ３９８４（２０１６）０６ — ００１０ — ０５
ＣｈｉｎｅｓｅＡｃａｄｅｍｙｏｆＳｃｉｅｎｃＣｈｉｎａ）
Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｏｏｂｔａｉｎｔｈｅｓｐｅｃｔｒａｌｒｅｆｌｅｃｔｉｖｉｔｙｏｆｌｅｓｓｔｈａｎ２８０ｍｉｌｌｉｍｅｔｅｒｄｉａｍｅｔｅｒｏｐｔｉｃａｌｅｌｅ —
（１．ＰｏｓｔｇｒａｄｕａｔｅＢｒｉｇａｄｅ，ＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＰＡＰ，Ｘｉａｎ７１００８６
２．ＣｈａｎｇｃｈｕｎＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＯｐｔｉｃｓ，ＦｉｎｅＭｅｃｈａｎｉｃｓａｎｄＰｈｙｓｉｃｓ，
２０１６篮
１１月
武警工程大学学报
ＪｏｕｒｎａｌｏｆＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＰＡＰ
ＮＯＶ．Ｖ０１．３２
２０１６Ｎｏ．６
第３２卷第６期
ｔｉｃａ１ｃｏｍＤｅｎｓａｔｉｏｎｍｅｔｈｏｄｉｓｕｓｅｄｔｏｅｌｉｍｉｎａｔｅｔｈｅｓｏｕｒｃｅｏｆｔｉｍｅｄｒｉｆｔ，ｉｍｐｒｏｖｅｔｈｅｍｅａｓ —
摘要：为测试小￣－２８０ｍｍ口径光学元件在真空中的光谱反射率，构建了反射率测试系统。该系统的反射率由光源、Ｓｅｙａ — Ｎａｍｉｏｋａ真空可见单色仪，样品室为主要结构组成，同时采用
ＰｒｅｃｉｓｉｏｎＵＶＶａｃｕｕｍＳｐｅｃｔｒａｌＲｅｆｌｅｃｔｉｖｉｔｙＴｅｓｔＳｙｓｔｅｍ
ＪＩＡＮＧＹｕａｎ，ＸＵＳｈｕ，ＷＡＮＧＬｏｎｇｑｉ。