半导体材料气体检测器XPS-7说明书
【做计算 找华算】【干货】XPS基本原理、仪器结构和使用方法、实验技术、实验实例
表面分析神器丨XPS基本原理、仪器结构和使用方法、实验技术、实验实例X-射线光电子谱仪（X-ray Photoelectron Spectroscopy，简称为XPS），经常又被称为化学分析用电子谱（Electron Spectroscopy for Chemical Analysis，简称为ESCA），是一种最主要的表面分析工具。
XPS作为当代谱学领域中最活跃的分支之一，它除了可以根据测得的电子结合能确定样品的化学成份外，XPS最重要的应用在于确定元素的化合状态。
XPS可以分析导体、半导体甚至绝缘体表面的价态，这也是XPS的一大特色，是区别于其它表面分析方法的主要特点。
此外，配合离子束剥离技术和变角XPS技术，还可以进行薄膜材料的深度分析和界面分析。
基本原理XPS方法的理论基础是爱因斯坦光电定律。
用一束具有一定能量的X射线照射固体样品，入射光子与样品相互作用，光子被吸收而将其能量转移给原子的某一壳层上被束缚的电子，此时电子把所得能量的一部分用来克服结合能和功函数，余下的能量作为它的动能而发射出来，成为光电子，这个过程就是光电效应。
该过程可用公式表示：hγ=E k+E b+E r（1）hγ：X光子的能量（h为普朗克常数，γ为光的频率）；E k：光电子的能量；E b：电子的结合能；E r：原子的反冲能量。
其中E r很小，可以忽略。
对于固体样品，计算结合能的参考点不是选真空中的静止电子，而是选用费米能级，由内层电子跃迁到费米能级消耗的能量为结合能E b，由费米能级进入真空成为自由电子所需的能量为功函数Φ，剩余的能量成为自由电子的动能Ek。
公式（1）还可表示为：E k= hγ- E b-ΦE b= hγ- E k-Φ仪器材料的功函数Φ是一个定值（谱仪的功函数），约为4eV，入射光子能量已知，这样，如果测出电子的动能Ek，便可得到固体样品电子的结合能。
原子能级中电子的结合能(Binding Energy，简称为B.E.)。
气体检测仪器操作说明书
气体检测仪器操作说明书操作说明书一、概述气体检测仪器是一种用于检测和监测环境中气体浓度的设备。
本操作说明书旨在向用户介绍如何正确操作气体检测仪器，以确保准确可靠的气体浓度测量结果。
二、安全注意事项在操作气体检测仪器之前，请务必遵守以下安全注意事项：1. 仪器应由熟悉操作方法的人员操作，提前了解仪器的使用说明。
2. 使用前确保仪器功能正常，并检查是否有损坏或松动的部件。
3. 避免将仪器暴露于高温、湿度过大、有腐蚀性气体的环境中。
4. 操作时应佩戴适当的防护装备，如手套、护目镜等。
5. 若使用中发现任何异常情况，应立即停止使用并联系售后服务。
三、仪器操作流程以下为气体检测仪器的基本操作流程：1. 开始操作前，确保仪器已正确连接电源，并处于工作状态。
2. 检查仪器上显示屏，确认其处于正常工作状态。
3. 根据实际需要选择合适的测量模式，并设置相关参数。
4. 打开待测区域的气阀，允许气体进入仪器。
5. 等待一段时间，直至仪器完成测量过程，并显示出测量结果。
6. 对测量结果进行分析和评估，判断是否达到预定标准或偏离正常范围。
7. 根据实际需要记录测量结果，并进行后续处理。
四、常见故障处理1. 仪器无法开机或无法正常显示- 检查电源连接是否松动或损坏，重新连接或更换电源。
- 如电源正常，可能是仪器内部故障，需联系售后服务。
2. 仪器无法测量气体浓度- 检查传感器是否干净，若有污垢需清洁。
- 检查传感器是否损坏，如有需要更换传感器。
3. 仪器测量结果异常或不稳定- 检查环境是否存在干扰物质，如有需要采取相应措施消除干扰。
- 检查仪器校准是否正确，如需校准，按照校准流程进行操作。
五、养护与维护1. 定期清洁仪器外壳和传感器，避免灰尘和污垢的积聚。
2. 避免将仪器暴露在湿度过大或有腐蚀性气体的环境中，以免损坏仪器。
3. 如长时间不使用仪器，请将其存放在干燥通风的环境中，避免长时间不使用导致零件老化。
六、技术支持与售后服务如在仪器使用过程中遇到任何问题，可随时联系我们的技术支持与售后服务团队。
气体检测专家使用说明书
气体检测专家使用说明书目录注意事项仪器外观仪器包装显示开机倒计时屏幕快速操作指南设置基本流程正常操作气体检测屏幕自标定到现在的时间到达下次标定的时间零点标定(只对有毒气体传感器，氧气标定参见标定步骤)校零失败校零通过标定标定通过标定失败峰值读数TWA 读数STEL 读数生成文件数据记录关机关机密码设定模式简介密码标定启动打印低限报警设置高限报警设置TWA报警设置 1 2 2 3 4 4 4 5 7 7 8 8 9 9 9 10 12 12 13 13 14 14 15 16 16 17 17 18 18 18 19 20 21设定TWA间隔STEL警报设置设置标定气体浓度设置时钟设置日期设置密码设置采样间隔设置初始显示设置常开确认设置警报保持设置现场校零设置现场标定设置标定时间浏览设置标定过期警报设置标定过期设置连接DS2自动管理系统（选购件）数据下载（选购件）故障排除及维护常见问题警报显示电池失效传感器故障仪器故障更换部件更换传感器传感器参数仪器参数质量保证责任限制22 23 24 25 26 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 38 38 39 39 39 39 39 39 40 42 43 43 44 44警告及注意事项重要：某些错误操作和不当环境可能会对仪器性能有所损害，为了保证最大的安全操作，请详细阅读并遵循以下注意事项:重要：操作前仔细阅读和理解本操作手册.警告：使用非本公司替换件可能影响仪器的本安设计.警告：如果使用不当，本仪器使用的锂离子电池可能出现泄漏或爆炸危险，不要对电池进行拆卸或投入火中。
仅对欧洲客户：在30天或以内期间进行标定的条件下，GasBadge Pro已经获得下列认证：1) EN 45544-1 CO 在0-500ppm范围之内；H2S在 0-100 PPM范围之内2) EN 50104 O2 在缺氧和富氧条件下警告：为防止点燃可燃气体，不要在危险环境中对电池充电警告：为防止点燃可燃气体，严格阅读、理解和遵循制造商的维护规程.警告：为防止点燃可燃气体，必须使用经过验证的CR2锂电池GasBadge Pro认证使用的环境温度为-40℃到60℃。
XPA-7光催化反应仪使用说明——陈智琴
XPA-7光催化反应仪使用具体注意细节说明一、实验操作步骤：1. 连接好主体箱、光源控制器→接通冷阱的进、出水管→将选用的光源放入冷阱内直至底部，把灯插头插到主体箱左侧“灯输出”专用插座（20W低压汞灯用水泵插座，用此插座前必须先关水流量计，拔出水泵插座）→调节水流量，开启冷却水→开启光源控制器的总电源→选择对应“灯功率选择”旋钮→开启电机电源→开搅拌反应仪电源→开启灯电源，灯启动。
2. 试验完毕→关闭电源→5分钟后关冷却水。
二、注意事项：1. 石英冷阱1）用于循环冷却灯管发射出来的热量，直接接通自来水接口。
一般使用过程中需要一直开通自来水的开关，保持水的流量适中（转子流量计约为0.4 L/min）；在灯管停止工作后，自来水继续保持接通，10~20 min后方可关闭，以确保石英冷阱充分冷却。
2）冷阱进出水口不要触碰，在使用时间过长后，因实验需要要求取下冷阱时务必小心端头碎裂，一般采取剪掉橡胶管的方式取出。
2. 灯管如需特定波长的光进行实验，可按需要插入不同牌号（选取特定波长的光）和数量（决定光的强度）的滤光片（可插入0～6 块）。
1）300W汞灯（2支）、500W汞灯（1支）+ 紫外滤光片（6片，黑色钢化玻璃），可得到波长为365 nm的紫外光；2）350W氙灯（1支）、500W氙灯（2支）+ 可见光滤波片（6片，浅黄色透明玻璃），可得到波长≥420 nm的可见光（模拟日光灯）；3）500金卤灯（1支）+ 可见光滤波片（6片，浅黄色透明玻璃），可得到纯的可见光，用于测试可见光条件下材料的光催化性能；4）20W低压汞灯，无需滤光片，即可得到波长为254 nm的紫外光；5）灯管使用过程中避免频繁开关，打开之后尽量到实验结束后关闭灯电源开关；6）灯管的插头插在主体箱左侧内壁“灯输出”专用插座，务必保证插头插好，否则可能损坏光源控制器；更换不同灯管时，务必等灯管完全冷却之后取出，并务必轻拿轻放；7）更换灯管时，旋转光源控制器上的“灯功率选择”旋钮，选择对应的光源和功率，以保证灯管正常工作且不损坏光源控制器；8）反应器装有遮光装置，实验时将遮光套拉起，取样时将遮光套放下挡住光照。
气体分析仪器操作说明书
气体分析仪器操作说明书一、概述本操作说明书旨在向用户提供气体分析仪器的正确操作方法和使用注意事项，帮助用户科学合理地运用气体分析仪器从而获得准确可靠的结果。
二、仪器介绍1. 仪器外观及各部件功能气体分析仪器外观应整洁美观，各部件包括显示屏、按键、连接接口等，具体功能请参考仪器的用户手册。
用户在操作仪器前应仔细阅读用户手册以了解每个部件的具体作用。
2. 仪器安装与环境要求在安装气体分析仪器之前，要确保安装环境符合仪器要求。
具体要求包括电源、温度、湿度等，用户应根据仪器的要求准备好相应的环境，并按照仪器的安装说明进行安装。
三、操作步骤以下为气体分析仪器的操作步骤，供用户参考：1. 打开电源使用供应商提供的电源线将仪器连接到稳定的电源插座上，并将电源开关打开。
待仪器启动后，显示屏上会出现相关信息。
2. 设置参数根据需要进行相关参数的设置。
不同的仪器具有不同的参数设置方式，请参考用户手册进行正确设置。
3. 样品准备与输入根据实际需求，准备好待测样品并连接到仪器的样品输入接口。
注意，样品应该是干净、无污染且符合仪器的样品规格要求。
4. 开始分析确认仪器已连接到样品后，按照指示操作，开始进行气体分析。
在此过程中，用户应严格按照仪器要求进行操作，注意观察显示屏上的信息，避免操作错误导致数据不准确。
5. 结果处理与保存分析结束后，仪器通常会提供分析结果。
用户可以根据需要对结果进行处理，并将结果保存至 U 盘、计算机或打印机等储存设备上。
四、使用注意事项为了保证气体分析仪器的正常运行和操作人员的安全，以下是一些使用注意事项：1. 仪器使用前，请仔细阅读用户手册并了解仪器的性能和操作要求。
2. 请确保操作人员具备一定的仪器操作技能，以免操作不当影响分析结果。
3. 在连接样品进样管路和气源时，确保连接口密封可靠。
4. 样品应尽量避免过高温度或压力，以免引起仪器故障或样品质量变化。
5. 仪器使用完毕后，请将电源关闭，避免长时间不使用仪器时造成不必要的能源浪费。
半导体xps参数
半导体xps参数半导体XPS参数引言：半导体XPS（X射线光电子能谱）是一种表征材料表面化学成分和电子状态的分析技术。
它利用X射线照射样品表面，通过测量样品反射出的电子能谱，得到关于元素组成和化学状态的详细信息。
本文将介绍半导体XPS参数的相关内容。
一、能量分辨率（Energy Resolution）能量分辨率是指XPS仪器对于不同能量的电子能够分辨的能力。
通常用电子束缚能级（Binding Energy）的峰宽来表示，峰宽越窄，能量分辨率越高。
能量分辨率对于分析材料表面的化学状态非常重要，它能够提供元素之间的化学键信息。
二、峰形（Peak Shape）峰形是指XPS谱线的形状，通常用高斯分布或洛伦兹分布来拟合。
峰形的好坏直接影响峰面积的准确性和定量分析的可靠性。
较好的峰形能够提供更准确的峰面积信息，从而获得更可靠的定量结果。
三、光源（X-ray Source）XPS仪器中常用的光源是非单色X射线源，如Al Kα源或Mg Kα源。
光源的选择直接影响到测量结果的准确性和分辨率。
较好的光源能够提供更高的光子能量和更窄的能谱峰宽，从而提高分析的精确度。
四、取样方式（Sampling Mode）XPS分析中常用的取样方式有全谱（Survey）和高分辨（High Resolution）两种。
全谱模式能够同时获得所有元素的能谱信息，但分辨率较低；高分辨模式则针对某个元素或化学键进行更详细的分析，分辨率较高。
取样方式的选择应根据具体分析需求和样品特性来确定。
五、气氛（Atmosphere）XPS分析一般在真空环境下进行，以避免氧化和污染。
真空度的要求取决于样品的特性和分析目的。
对于某些特殊样品，如气敏材料，也可以在特定气氛下进行分析，如气体环境或高压气氛下。
六、基底效应（Substrate Effect）基底效应是指样品的基底对XPS信号的影响。
由于基底的存在，样品所在位置的信号会受到基底的衰减和散射，从而影响到信号的强度和形状。
XPS
主要内容
表面能谱技术简介及发展历史
XPS技术的定性及定量分析手段 XPS仪器介绍及催化应用实例 实际数据处理介绍
Hale Waihona Puke 表面能谱技术简介及发展历史
1887年，海因里希· 鲁道夫· 赫兹发现了光电效应, 1894年去世。 勒纳德系统研究了光电效应，1905年获得诺贝尔物理学奖 （阴极射线）。
质无损伤，电子和离子则不然； 表面灵敏 —— 分析除氢外所有元素，这些元 素的光电子能量范围50-1400 eV； 特别适合分析塑料和高分子聚合物；对半导 体和催化剂工业也有显著的作用； 有明确的化学位移 —— AES由于涉及三个能 级解释复杂。
XPS技术的定性及定量分析手段
定性分析
b
0k时固体能带中充 满电子的最高能级
hv E k E b
功函数
为防止样品上正电荷积累，固体样品必须保持 和谱仪的良好电接触，两者费米能级一致。
实际测到的电子动能为：
E k E k (sp s )
'
hv E b sp
E b hv E k sp
'
仪器功函数
hv E k E b
功函数
特征：
XPS采用能量为 1000～ 1500eV的射线源，能激 发内层电子。各种元素内层电子的结合能是有 特征性的，因此可以用来鉴别化学元素。 UPS采用 He I(21.2eV) 或 He II(40.8eV) 作激发 源。 与X射线相比能量较低，只能使原子的 价电子电离，用于研究价电子和能带结构的 特征。 AES大都用电子作激发源，因为电子激发得到 的俄歇电子谱强度较大。 光电子或俄歇电子，在逸出的路径上自由程很 短，实际能探测的信息深度只有表面几个至十 几个原子层，光电子能谱通常用来作为表面分 析的方法。
气体色谱仪操作说明书
气体色谱仪操作说明书操作说明书一、导言气体色谱仪是一种用于分离和分析气体混合物的仪器。
本操作说明书旨在为用户提供关于气体色谱仪的详细操作指南，帮助用户正确、高效地操作该仪器。
在使用本仪器之前，请仔细阅读本说明书，并按照指南进行操作。
二、安全注意事项在操作气体色谱仪之前，请务必注意以下安全事项：1. 在操作仪器时，确保身体和手部干燥，并戴上适当的防护手套和眼镜。
2. 在连接气体源和气体色谱仪之前，确保气路畅通，避免气体泄漏。
3. 使用气体色谱仪时，请勿将带电的金属物体靠近仪器或触摸仪器内部的电子元件。
4. 在使用气体色谱仪期间，严禁吸烟、饮食或饮水。
5. 请勿随意更改仪器的设置或参数，如需修改，请在专业人员的指导下进行。
三、仪器部件及功能1. 气路系统：气体色谱仪的气路系统包括进样口、进样器、色谱柱和检测器。
进样口用于引入待分析的气体混合物，进样器用于控制进样量，色谱柱用于分离混合物中的组分，检测器用于检测分离后的化合物。
2. 控制面板：控制面板上设有各种按钮和控制开关，用于控制仪器的开关机、温度设定、流速调节等功能。
3. 数据处理系统：气体色谱仪配备了数据处理系统，可用于数据采集、数据分析和结果输出。
四、操作步骤1. 打开电源开关，启动气体色谱仪。
根据需要，将仪器预热至设定的温度。
2. 设定进样量和流速。
根据待分析样品的性质和实验要求，在仪器控制面板上设定进样量和流速。
3. 准备样品。
将待分析的气体混合物注入进样器，并确保进样器密封良好，避免泄漏。
4. 进行分析。
将样品注入色谱柱，启动气体流动，并设置检测器进行检测。
记录所得数据。
5. 结果分析与输出。
通过数据处理系统对所得数据进行分析，并将结果输出到打印机或电脑等设备上。
6. 关闭仪器。
在分析结束后，按照操作顺序的逆序关闭仪器，关闭电源开关，并注意及时清洁和维护仪器。
五、维护与保养为保持气体色谱仪的正常运行和延长使用寿命，请定期进行以下维护与保养：1. 清洁色谱柱和检测器，避免污染和堵塞。
XPS
2、打开XPS Peak，引入数据：点Data----Import (ASCII)，引入所存数据，则出现相应的XPS谱图。
3、选择本底：点Background，因软件问题， High BE和Low BE的位置最好不改，否则无法再回到 Origin，此时本底将连接这两点，Type可据实 际 情况选择，一般选择Shirley 类型。
(8)点击click，可以 得到该标准数据的 出处，可以引用
这是数据出处的参考文献
谢谢大家，欢迎批评指正！
XPS数据分析
Region 1 2004 5 30 12 48 10 255 0 XPS Al K-alpha 1486.6 0 0 0 0 0 FAT 30 1E+37 4.453 0 0 0 0 0 N1s N1s -1 Kinetic Energy eV 1072.6 0.05 1
一、在Origin中作图步骤：
此次讨论北京化工大学的程斌老师对于谱图拟合的见解： 1、一定以物理意义为基础，而不是反过来；不要追求参差最小，而是追求物理意义； 2、半峰宽以几个峰接近为好， 3、合理的G/L比，对于我们新一代仪器，G可以100%，可以G/L80% 4、对双峰还应考虑：两个峰的合理间距、强度比。 从研究问题的角度程老师坚持第1点。必须以物理意义为基础来拟合，不追求参差最小。 而不是以参差最小来确定物理意义。 关于拟合的准则，大家的共同认识是相同的。具体的操作及拟合的心得需要多做，才 有更多的体会。拟合本身具有极大的随意*，只要拟合符合上述准则，结合其他表征手 段，能说明问题，能合理解释数据就ok。
将拟合好的数据重新引回到Origin:
谱线的曲线拟合，应考虑： 1，其合理的化学与物理意义 2，合理的半高宽 3，合理的G/L比：常取80％左右 4，对双峰还应考虑：两个峰的合理间距、强度比、半高宽比 5，峰位移的合理解释，如金属与半导体的强作用力（需要文献支持） *过渡金属的2p峰不对称，拟合较难
气体分析仪器使用方法说明书
气体分析仪器使用方法说明书1. 简介气体分析仪器是一种用来检测和分析气体成分和浓度的设备，广泛应用于环境监测、工业安全、科学实验等领域。
本说明书将详细介绍气体分析仪器的使用方法，帮助用户正确操作和获取准确的结果。
2. 仪器组成气体分析仪器主要由以下组件组成：- 采样系统：用来抽取待测气体样品；- 检测器：用于对气体样品进行分析和检测；- 数据处理单元：负责采集、处理和显示分析结果；- 控制模块：用于设定和控制分析过程中的参数。
3. 准备工作在使用气体分析仪器之前，需要进行以下准备工作：- 仪器检查：检查仪器是否完好，如有损坏应及时修理或更换；- 供气检查：确保供气系统正常运行，气源压力符合要求；- 校准和标定：根据仪器的要求进行校准和标定，以确保准确性和可靠性。
4. 样品采集与处理a. 样品采集：按照仪器要求进行样品采集，并确保采集过程中不受外界污染物的干扰；b. 样品处理：根据需要，对采集的样品进行预处理，如干燥、过滤等，以减少结果偏差。
5. 仪器操作步骤a. 打开仪器电源，并等待仪器自检完成；b. 通过操作界面输入所需分析参数，如气体种类、测量范围等；c. 根据仪器要求连接采样系统，并确保连接牢固无泄漏；d. 启动仪器，并按照仪器指示收集样品；e. 待分析完成后，关闭仪器电源，并及时处理样品残留。
6. 数据处理与结果分析a. 数据保存：将分析结果保存至仪器内部存储器或外部设备，确保数据的完整性和安全性；b. 结果分析：根据仪器的报告或数据接口，对分析结果进行解读和分析，得出结论；c. 报告生成：根据需要，将分析结果整理成报告，并进行必要的图表和图像展示。
7. 仪器维护与保养a. 定期校准：按照仪器规定的时间和方法进行定期校准，以确保仪器的准确性；b. 清洁保养：定期清洁仪器内部和外部的污垢，保持仪器正常运行；c. 避免震动：避免仪器受到剧烈震动和冲击，以免影响测量结果和仪器寿命。
8. 安全注意事项a. 使用过程中应戴防护眼镜和手套，以防样品喷溅造成伤害；b. 遵循气体采集和处理的相关标准和规范，保证操作安全；c. 确保仪器工作环境通风良好，避免气体积聚导致爆炸或窒息等危险。
气体色谱仪调试方法说明书
气体色谱仪调试方法说明书一、引言气体色谱仪作为一种常用的分析仪器，广泛应用于化学、生命科学、环境监测等领域。
本说明书将详细介绍气体色谱仪的调试方法，以帮助用户正确地进行仪器的调试操作，确保仪器的准确性和可靠性。
二、仪器概述气体色谱仪主要由进样系统、色谱柱、检测器和数据处理系统四部分组成。
进样系统负责样品的输入，色谱柱实现样品的分离，检测器用于检测样品组分，数据处理系统负责数据采集和分析。
三、调试前准备1. 仪器检查：检查仪器的电源、气源、进样口等部分是否正常工作。
2. 范围选择：根据待测样品的性质，在进样系统和检测器上选择合适的范围。
四、进样系统调试1. 进样口设置：根据样品的特性选择合适的进样口，调整进样口的位置和方向。
2. 进样量设置：根据样品的浓度和需求，设置合适的进样量。
3. 进样速度调节：根据样品的特性调节进样速度，确保样品均匀地进入色谱柱。
五、色谱柱调试1. 色谱柱安装：将色谱柱正确安装在柱槽中，注意连接的紧密性。
2. 色谱柱温度设置：根据待测样品的性质，设定合适的色谱柱温度并保持稳定。
3. 柱头压力调节：调整柱头压力以保证色谱柱内的流速稳定。
六、检测器调试1. 检测器温度设置：根据待测样品的要求，设定合适的检测器温度。
2. 检测器灵敏度调节：根据样品的浓度，调节检测器的灵敏度，确保准确的检测结果。
七、数据处理系统调试1. 参数设置：根据待测样品的特性，合理设置数据处理系统的参数。
2. 峰识别：对待测样品进行峰识别，确保能够准确地分析出每个组分。
八、调试完成在完成以上步骤后，对整个仪器进行综合检查，确保各部分工作正常。
同时，进行标准样品的分析，验证仪器的准确性和稳定性。
结论通过本说明书的阐述，我们详细介绍了气体色谱仪的调试方法。
在使用仪器时，请务必按照说明书的要求进行调试，以确保仪器的准确性和可靠性。
希望本说明书对您的工作能够提供帮助，如有任何问题，请随时与我们联系。
附录：常见问题解答1. 气体色谱仪无法正常通电时，应首先检查电源是否连接正常。
RAD7 说明书
RAD7
Electronic Radon Detector
RAD7 氡气探测器
操 作 手 册
R A D 7 氡 气 探 测 器
祝贺您购买了 R A D 7电子氡气探测器。这个仪器可是您的强有力、多用途的氡气和 钍气探测系统的核心组件。 这本手册包含了众多关于氡气、钍气及其探测的知识。建议您详细阅读它的每一 页。这里向 N I T O N 手册致谢，因为该手册的很多内容都结合进了 D U R R I D G E 手册，N I T O N 员工的很多杰出的贡献也包括在这本手册之中。 第一章足可以让您开始工作和进行很好的测量。第二章主要是作为参考。第三章 提供作为背景的科学知识，第四章给出更为详细的操作指导，第五章则联系到了外部 世界，第六章论述维修事宜。关于手册的任何反馈意见都将非常感谢。 仪器有一个附件箱。这个箱里配置了大多数附件的配件，包括实验室干燥器和打 印机。现场探测所需的每件配件都放在箱中，因此您只需要携带两个箱子，即 R A D 7 和 附件箱。 使用这台仪器工作，我们祝您事业成功，生意兴隆。
注释 1 ：乘以 3 7 ，转换为 B q / m 3 注释 2 ：除以 3 7 ，转换为 C P M / (B q / m ) 3 注释 3 ：乘以 3 7 ，转换为( B q / m ) / C P M 注释 4 ：基于参考仪器和本仪器的计数统计学 注释 5 ：参考仪器相对于绝对标准的校准不确定性还没有详细说明，我们估计在+ / 5 % 之内。
R A D 7装 箱 检 查 单
1 ． R A D 7 ，产品系列号 0 7 5 5 2 ． 箱子皮带和钥匙 3 ． 打印机 4 ． 打印机适配器 5 ． 干燥剂 6 ． 空气干燥器 7 ． 4 个干燥管 8 ． V e l c r o 胶带 9 ． 1 个灰尘过滤器 1 0 ．6 个单向流动过滤器 1 1 ．3 ×3 英尺乙烯基管，带衬垫和套管 1 2 ． 数据采集/ R A D L I N K 软件& 电缆线 1 3 ． 电源插线 1 4 ． 手册 1 5 ． 附件箱
气体分析仪操作说明
气体分析仪操作说明一、前言气体分析仪是一种用于测量和分析气体成分的仪器。
本操作说明旨在帮助用户正确操作气体分析仪，以达到准确并安全地进行气体分析的目的。
在使用气体分析仪之前，请仔细阅读本操作说明，并按照操作步骤进行操作。
二、设备准备在操作气体分析仪之前，需要确保以下准备工作已完成：1. 确保气体分析仪已连接到电源，并处于正常工作状态。
2. 确保所需被测气体已经准备好，并接入到气体分析仪中。
3. 清理并检查气体分析仪的传感器和探头，确保其表面干净无污染。
三、操作步骤以下是气体分析仪的操作步骤：1. 打开仪器按下仪器上的电源按钮，等待仪器启动。
确保仪器显示屏正常亮起，并进入运行状态。
2. 设置测量参数根据需要，使用仪器上的菜单或按钮设置所需的测量参数。
这些参数可以包括被测气体种类、测量单位、采样时间等。
3. 进行预热在开始气体分析之前，需要给仪器一定的预热时间以确保准确性。
根据仪器设备的要求，预热时间一般为几分钟至十几分钟不等。
4. 开始采样将气体分析仪的探头靠近被测气体源，按下采样按钮开始采样。
在采样过程中，保持探头与气体源的接触，并尽量避免探头受到外界干扰。
5. 数据记录与分析仪器会实时显示测量结果，在采样过程中可以进行数据记录。
根据需要，可以使用仪器上的数据存储或传输功能，将测量数据导出到计算机或其他设备进行进一步分析和处理。
6. 结束操作在完成气体分析后，按下仪器上的停止按钮或关机按钮，将仪器关闭。
断开与被测气体源的连接，并进行必要的清洁和维护工作。
四、注意事项在操作气体分析仪时，需要注意以下事项：1. 遵循操作规程：按照操作说明书上的步骤进行操作，避免随意更改操作流程或参数设置。
2. 安全使用：在操作时请佩戴适当的防护设备，确保操作环境良好通风，并避免有害气体直接接触皮肤或吸入呼吸系统。
3. 校准与维护：定期对气体分析仪进行校准和维护，以确保其准确性和可靠性。
4. 故障处理：在使用过程中如遇到异常情况或故障，请查阅仪器的使用手册或寻求专业人员的帮助。
XPS仪器及基础分析
➢XPS在表面分析领域中是一种崭新的方法。 虽然用X射线照射固体材料并测量由此引起 的电子动能的分布早在本世纪初就有报道， 但当时可达到的分辨率还不足以观测到光电 子能谱上的实际光峰。
➢ 化学分析光电子能谱得到的信号源于样品表面本身。 相反，低能离子散射谱(ISS)是靠测定表面散射的物 质，二次离子质谱(SIMS)和离子探针则靠测定表面 溅射的物质来进行分析。这就意味着化学分析光电 子能谱不像离子散射和溅射那样具有深度分析能力。 这可以说是一种优点也可说是缺点。
➢ 如果需要深度分布信息，那么最好是方法本身就具 有深度分析能力。然而，如要测量产生微弱信号的 痕量物质．那么，在一个不随实验时间变化的表面 上能够取得信号的平均值大概就是非常可贵的了。 当实在要求深度分布信息时，可以使用带有溅射装 置的化学分析光电子能谱。为某一特殊应用选择实 验方法时，总耍考虑由它们组合起来的一些折衷方 案。
➢ 用X射线照射固体时，由于光电效应，原子的某一能级的电 子被击出物体之外，此电子称为光电子。
➢ 如果X射线光子的能量为hν，电子在该能级上的结合能为Eb， 射出固体后的动能为Ec，则它们之间的关系为：
hν=Eb+Ec+Ws
➢ 式中Ws为功函数，它表示固体中的束缚电子除克服个别原 子核对它的吸引外，还必须克服整个晶体对它的吸引才能逸 出样品表面，即电子逸出表面所做的功。上式可另表示为：
➢电子检测系统及基于PC机或工作站的服务性 数据处理系统，两者同时控制谱仪操作并提 供处理数据的手段 。
仪Hale Waihona Puke 组成➢图14画出了X射线光电子能谱仪的基本组成 部分。谱仪的作用过程是：产生很强的X射 线，照射样品使内层电子产生光致发射，把 发射的电子引入能量分析器，探测经过能量 分析的电子，并输出一个与电子结合能呈函 数关系的信号。
Charpter_7XPS
粉末有机和高聚物样品： 压片法，适用于软散的样品。 溶解法。适用于溶于易挥发有机溶剂的样品。将1～2滴 溶液滴在镀金的样品托上，晾干。 研压法。适用于不溶于易挥发有机溶剂的样品，将少量 样品研磨在金箔上，形成薄层。
41
其它注意事项
样品要充分干燥 粉末样品要尽量细 薄膜样品表面要平整 不要用手摸样品表面
光电离后，未成对电子的轨道运动和自旋运动存在电磁作用 （自旋－轨道偶合作用）使能级发生分裂
15
原子能级的划分
原子的电子能级
d (l = 2)
j l ms
1 ms 2
M (n = 3) p (l = 1)
S轨道，l = 0，j = 1/2； P轨道，l = 1， j = 3/2和 1/2； d轨道，l = 2， j = 5/2和 3/2； L (n = 2) f轨道，……
振激和振离都会降低光电子的动能，从而在光电子的低动能端出
现伴峰（振激）或者台阶（振离）
28
G、鬼峰（Ghost Lines）
XPS谱图中有时会出现一些难以解释的光电子线，这时要考 虑该线是否是鬼线。 鬼线来源于阳极靶材料中的微量杂质。
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3. 背底峰的特点 在谱图中随着结合能的增加，背底的强度逐渐上升 。
s (l = 0) p(l = 1) s (l = 0)
K (n = 1) s (l = 0)
偶合前
j = 5/2 3d5/2 j = 3/2 3d3/2
j = 3/2 3P3/2 j = 1/2 3P1/2 j = 1/2 3S j = 3/2 2P3/2 j = 1/2 2P1/2 j = 1/2 2S
1. XPS谱图的表示 横坐标：动能或结合能，单位是eV，一般以结合能 为横坐标。 纵坐标：相对强度（CPS）。 结合能为横坐标的优点： ➢ 结合能比动能更能反应电子所处的能级 结构 ➢ 结合能与激发光源的能量无关
气体纯度分析仪操作步骤
气体纯度分析仪操作步骤气体纯度分析仪是一种常用于测量气体成分及纯度的设备，在各个行业中都有广泛的应用。
正确的操作步骤可以确保仪器的准确性和稳定性，下面将为您详细介绍气体纯度分析仪的操作步骤。
一、安全准备1. 确保操作环境通风良好，并远离易燃易爆物品。
2. 佩戴个人防护设备，如防护眼镜和手套，确保操作的安全。
二、准备工作1. 将气体纯度分析仪放置在稳定的工作平台上，并确保设备的底座平稳牢固。
2. 检查仪器的电源线是否连接好，并确保电源的供应稳定。
3. 检查仪器是否正确连接到气源，并确保气源的压力符合仪器要求。
4. 打开气体纯度分析仪的电源开关，等待一段时间，让仪器自行进行初始化。
三、校准操作1. 进入菜单界面，选择校准功能，并按照仪器要求的步骤进行校准。
2. 在校准前，将仪器的气路进行清洁，以去除可能的污染物。
3. 使用标准气体进行校准，按照仪器说明书上的要求，依次接入标准气体，并等待仪器读数的稳定。
4. 仪器校准完成后，进行校准后的验证，确保仪器的读数准确。
四、样品测试1. 进入菜单界面，选择样品测试功能，并按照仪器要求的步骤进行操作。
2. 连接待测气体至仪器的气路系统，确保气体流通畅通。
3. 设置样品测试的相关参数，如采样时间、采样次数等。
4. 开始样品测试，等待仪器读数的稳定后记录结果。
五、数据分析与处理1. 关闭样品测试功能，进入数据分析界面。
2. 根据需要，选择合适的数据分析方法进行处理，如求平均值、标准差等。
3. 将处理后的数据导出至计算机或其他存储设备，并保存相关记录。
六、仪器维护1. 测试结束后，关闭仪器的电源开关，并断开气源供应。
2. 清洁仪器的气路系统，确保无污染物残留。
3. 定期对仪器进行维护，如更换气源滤芯、校准气体等，以保证仪器的正常运行。
4. 仪器长时间不使用时，应妥善放置，并进行防尘、防潮处理。
请注意，以上操作步骤仅供参考，在具体操作中应根据您所使用的具体型号气体纯度分析仪的说明书进行操作。
气体质谱仪操作说明书
气体质谱仪操作说明书操作说明书一、概述气体质谱仪是一种通过分析样品中气体分子的质量-荷电比来确定其组成和浓度的分析仪器。
本操作说明书旨在介绍气体质谱仪的基本操作步骤及相关注意事项。
二、仪器组成1. 主机：包括离子源、质量分析器、检测器等部分；2. 采样系统：用于将待分析样品引入气体质谱仪中，包括进样口、进样管路等部分；3. 控制系统：用于控制仪器的运行和参数设置，包括控制面板、软件等部分。
三、操作步骤1. 准备工作a. 确保仪器通电并稳定运行；b. 检查气源和气体质谱仪的连接是否正常；c. 打开控制面板或软件，准备运行仪器。
2. 样品进样a. 将待分析样品通过进样管路引入气体质谱仪中；b. 保持采样系统的密封性，避免外界气体干扰。
3. 扫描参数设置a. 根据实验需要，设置质谱仪的扫描范围和速度；b. 调整碰撞能量和离子源的工作温度；c. 设定质谱仪的采样时间和扫描模式。
4. 数据采集与分析a. 执行扫描命令，开始采集样品的质谱数据；b. 通过质谱软件对采集的数据进行分析；c. 利用质谱图谱判定样品中各种气体组分的存在及浓度。
5. 仪器维护a. 分析结束后，关闭气体质谱仪及相关设备；b. 清洁进样管路，避免污染下一个样品；c. 定期检查仪器部件的磨损和破损情况。
四、注意事项1. 使用前请阅读仪器操作说明书，了解仪器的使用方法和安全注意事项；2. 操作过程中需佩戴防护眼镜和手套，避免直接接触样品和有害物质；3. 严禁在未经授权的情况下拆卸和调整仪器部件；4. 根据实验需要选择合适的气体质谱仪扫描参数，避免数据不准确；5. 注意保持仪器的清洁和整洁，避免污染样品和影响实验结果。
五、故障排除1. 仪器无法通电或无法开机a. 检查电源线是否连接正常；b. 检查电源插座是否有电；c. 检查主机的开关位置和控制面板的设置是否正确。
2. 仪器无法采集数据或信号弱a. 检查采样系统的连接是否松动；b. 检查进样管路是否被堵塞；c. 检查质谱仪的碰撞能量和离子源的工作温度是否合适。
P气体检测仪说明书
宇宙式检测器系列■ XP-3110(可燃性气体检测器)便携式气体检测器■ XP-3140(高浓度气体检测器)使用说明书■ XP-3160■ XP-3120(高灵敏度气体本使用说明书记载有左面所示4种机型的使用方法。
●请妥善保管本使用说明书，以便随时取阅。
检测器)●请认真阅读本使用说明书再加以使用。
新宇宙电机株式会社NEW COSMOS ELECTRIC CO.,LTD.规格文件编号 XP-3000T目录包装内容物的说明 (1)1.前言……………………………………………………… (2)防爆相关事项 (2)符号图标的说明……………………………………………………… (2)安全使用说明……………………………………………………… (3)2.各部的名称与功能 (4)3.使用方法…………………………………………………………7使用程序……………………………………………………… (7)气体报警……………………………………………………… (10)各种功能与设定方法………………………………………………………......11峰值保持的设定 (12)报警蜂鸣器静音设定.....................................................................13对象气体的切换 (14)记录执行 (15)数据记录通信画面………………………………………………………………16时间设定……………………………………………………… (17)4.报错信息(故障报警) (18)5.消耗品的更换方法 (19)过滤片的更换……………………………………………………… (19)更换电池……………………………………………………… (20)充电电池(选购)……………………………………………………… (21)A C电源(选购)的使用方法………………………………………………………22 6.维护检查……………………………………………………………23日常检 (23)定期检查……………………………………………………… (23)主要更换部件………………………………………………………………23 7.故障、原因与对策 (24)8.保证书与登记卡 (25)9.规………26 10.检测原理……………………………………………………………27 11.术语的说明……………………………………………………… (28)—包装内容物的说明—包装箱内装有下述物品。
气体质谱仪操作指南
气体质谱仪操作指南气体质谱仪是一种常用的科学仪器，广泛应用于化学分析、环境监测、食品安全等领域。
本文将为您提供一份详细的气体质谱仪操作指南，以帮助您正确地操作和使用该仪器。
前言在使用气体质谱仪前，首先需要了解该仪器的基本原理和构成。
气体质谱仪主要由样品引入系统、质谱仪主体、检测系统和数据处理系统等部分组成。
在操作前，请确保您已经熟悉气体质谱仪的结构和功能。
1. 准备工作在操作气体质谱仪前，需要进行一些准备工作。
首先，将仪器与电源连接并打开电源开关，等待仪器自检完成。
检查仪器是否正常运行，如有异常情况请及时解决。
然后，准备好所需的样品和溶剂，并确保它们的纯度和质量符合要求。
最后，准备好实验所需的其他辅助设备，如针头、移液器等。
2. 样品准备与进样将样品置于一个干净无尘的容器中，避免污染和杂质的干扰。
可以根据需求选择合适的进样方式，如静态进样、动态进样、气相进样等。
注意，在进样前需要调整好进样量，确保它在仪器的量程范围内。
3. 仪器设置根据实验要求，在仪器上进行相应的设置。
首先，将质谱仪主体进入工作状态，并进行初始化操作。
然后，设置所需的离子源电压、碰撞气体流量以及扫描范围等参数。
根据需要选择合适的检测模式和离子化方式，并设置相应的离子化能量。
4. 开始实验将样品进样到气体质谱仪中后，通过操作界面启动实验。
监控各个参数的稳定性，并及时调整，以保证实验的准确性和重复性。
在实验过程中，可以记录下相应的峰面积、峰高等数据，以便后续分析和处理。
5. 数据处理与分析实验结束后，需要对采集到的数据进行处理和分析。
首先，导出所得数据并保存到适当的格式中。
然后，根据需要进行数据校正、质量分析等相应的处理过程。
最后，利用相关软件进行数据解析、拟合以及结果展示，并将结果进行合理的解释和说明。
注意事项：- 在操作气体质谱仪前，务必熟悉仪器的使用手册，并遵守相关的安全操作规程。
- 在操作过程中，应保持操作环境的清洁和干燥，避免杂质的干扰。
MP-7型一氧化碳检测用平面半导体气敏元件使用说明书
毒性气体传感器（型号：MP-7）使用说明书版本号：1.2实施日期：2018-04-27郑州炜盛电子科技有限公司Zhengzhou Winsen Electronic Technology Co.,Ltd声明本说明书版权属郑州炜盛电子科技有限公司（以下称本公司）所有，未经书面许可，本说明书任何部分不得复制、翻译、存储于数据库或检索系统内，也不可以电子、翻拍、录音等任何手段进行传播。
感谢您使用本公司的系列产品。
为使您更好地使用本公司产品，减少因使用不当造成的产品故障，使用前请务必仔细阅读本说明书并按照所建议的使用方法进行使用。
如果您没有依照本说明书使用或擅自去除、拆解、更换传感器内部组件，本公司不承担由此造成的任何损失。
您所购买产品的颜色、款式及尺寸以实物为准。
本公司秉承科技进步的理念，不断致力于产品改进和技术创新。
因此，本公司保留任何产品改进而不预先通知的权力。
使用本说明书时，请确认其属于有效版本。
同时，本公司鼓励使用者根据其使用情况，探讨本产品更优化的使用方法。
请妥善保管本说明书，以便在您日后需要时能及时查阅并获得帮助。
郑州炜盛电子科技有限公司MP-7一氧化碳检测用平面半导体传感器产品描述MP-7型一氧化碳检测用平面半导体气敏元件采用先进的平面厚膜生产工艺，由加热器以及微型Al 2O 3陶瓷基片上形成的金属氧化物半导体材料构成，用电极引线引出，封装在金属管座、管帽内。
采用高低温循环检测方式检测一氧化碳（1.5V），高温（5.0V）时清洗低温时吸附的杂质气体。
传感器的电导率随空气中一氧化碳气体浓度增加而增大，使用简单的电路即可将电导率的变化转换为与该气体浓度相对应的输出信号。
传感器特点本品在较宽的浓度范围内对一氧化碳有良好的灵敏度，具有小尺寸、长寿命、低成本、驱动电路简单等特点。
主要应用广泛适用于家庭用一氧化碳气体泄漏报警器、工业用一氧化碳气体报警器以及便携式一氧化碳气体检测器技术指标表1产品型号MP-7产品类型平面半导体气体传感器标准封装金属封装检测气体一氧化碳检测浓度50～1000ppm CO标准电路条件回路电压V c ≤10V DC加热电压V H 5.0V±0.1V AC or DC（高温）1.5V±0.1V AC or DC（低温）加热时间T L 60S±1S（高温），90S±1S（低温）负载电阻R L 可调标准测试条件下气敏元件特性加热电阻R H 105±10Ω（室温）加热功耗P H ≤240mW灵敏度S Rs(in air)/Rs(in 100ppm CO)≥3输出电压Vs 2.5V ～4.3V (in 100ppm CO)浓度斜率α≤0.6(R 300ppm /R 50ppm CO)环境条件使用温度Tao -10℃~50℃储存温度Tas -20℃~70℃相对湿度RH 小于95%RH氧气浓度O 221%±1％（不能低于18%）氧气浓度的变化影响传感器敏感特性预热时间不少于48小时氧气浓度21%(不低于18%，(氧气浓度会影响传感器的初始值、灵敏度及重复性，在低氧气浓度下使用时请咨询使用）寿命10年元件外形结构图1：MP-7元件外形结构传感器特性描述：图2：MP-7测试电路图4传感器典型的温度、湿度特性曲线图中纵坐标是传感器的电阻比（Rs/R S0）。
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̏
按键开关
ᶃᶄ ᶅ ᶇ
ᶆ
ᶉ
ᶈ
编号
ᶃ
ᶄ
ᶅ ᶆ ᶇ ᶈ
ᶉ
名称
108&3(电源)开关
报警设定值确认开关
蜂鸣器停止开关 零位调整开关 $/ 插口 特殊开关 UP、DOWN(升降)开 关
功能
较长时间按下,接通后断开电源。 是确认报警设定值的开关。每按一次即从第一段报警设定值ˠ第二 段报警设定值ˠ气体浓度,进行切换变化。
较长时间按下,能自动调整零位。 在收集自动记录数据时,连接通信转接器「$"」(选择件)的插头。 使用自动记录功能时使用。
使用自动记录功能时用于设定开始时刻等。
显示部ʢӷথը໘ʣ
˔流量低下 流量低下时点亮
˔气体浓度报警 检测气体浓度超过气体浓度报警设定值时点亮
˔自动记录表示 自动记录功能发挥作用时点亮
̏ɽ传感器组件
型号
̨̭̙ʵ̣̝̓ ̨̭̙ʵ̨̝̓ ̨̭̙ʵ̙̘̓ ̨̭̙ʵ̖̝̓ ̨̭̙ʵ̥̝̓ ̨̭̙ʵ̗̝̓ ̨̭̙ʵ̨̓̚ ̨̭̙ʵ̜̝̓ ̨̭̙ʵ̡̘̓ ̨̭̙ʵ̛̘̓ ̨̭̙ʵ̝̘̓ ̨̭̙ʵ̛̝̓ ̨̭̙ʵ̝̗̓ ̨̭̙ʵ̣̤̓ ̨̭̙ʵ̨̝̓ ̨̭̙ʵ̘̤̓ ̨̭̙ʵ̨̙̓ ̨̭̙ʵ̛̓̎ ̨̭̙ʵ̤̯̓
˘过虑器........................................................̎ ˘5 号碱性干电池.........................................̐ ˘检查成绩书................................................̍ ˘登记卡以及售后保证书............................̍
˔传感器故障 传感器异常时点亮
˔采样流量 通常时∶运行／ 异常时∶停止
˔气体浓度条形图 以全刻度(满量程)的 5%为 1 分度。当条形延至 右端为止就变为全刻度(满量程)
˔气体浓度 带单位显示气体浓度。
˔显示电池剩余量 显示电池量 满量 ɾ ɾ ɾ 无剩余亮(闪烁)
̐
导入管̨̖ɽ
˔过虑器壳体 内有过虑片(FE－12)
是气体吸引口,可在此处连接导入管。外径П6。 是气体排气口,外径П6。 连接 "$7%$7 专用转接器 选择件
。 要放入电池时,提起弹簧锁即打开盖。 要装入传感器组件时,提起弹簧锁即打开。 可从该窗口检查确认装载的传感器组件情况。 电源 OFF 时,若打开操作部外罩则 LED(发光二极管)发出红光。放 入电池后该 LED 点亮,而当电池剩余量变少时该 LED 显示变亮。
̎ɽ包装内物品的说明
• 当打开包装箱时,下列物品已放在包装箱内。
˘气体检测器本体...........................................̍ ˘肩背带...........................................................̍ ˘气体导入管...................................................̍ ˘使用说明书...................................................̍
用方法。
˔特殊标记的说明
为了安全的使用本仪器,本使用说明书中采用了下列特殊标记。
ʂ ݥة ʂ ࠂܯ ʂ ҙ
该标记表示如果不回避的话,就会立即发生导致死亡或身受重伤等紧迫的危 险情况。
该标记表示如果不回避的话,就可能会发生导致死亡或身受重伤等危险情 况。
该标记表示如果不回避的话,就可能会发生身受轻伤或物质遭受损坏等危险 情况。
行正常的检测 而且会损害仪器的性能。
ʂ ҙ ɿ本传感器组件的有效期为 个月 请在使用前确认传感器组件的有效期。使用了有效期
已过的传感器组件时 往往不能进行正常的气体检测工作。
̍
˔对于保管时的环境及处理方法 务必遵守下列事项。 ʂ ࠂܯɿ 不得放置在高温、潮湿的场所，否则可能使仪器性能受损。 ʂ ҙ ɿ避免温度和湿度发生急剧变化 否则可能使仪器受损。 ʂ ҙ ɿ 长期不使用本仪器时 请在将电池取出的状态下保管。
备注 表示在使用处理时的劝告。
˔为了安全使用本仪器 请遵守下列事项。
ʂ ࠂܯɿ本仪器不是防爆结构 所以请安装在没有危险的场所。 ʂ ҙ ɿ本仪器不是防滴构造 所以请不要让其碰到水滴之类。 ʂ ҙ ɿ请避免跌、碰、撞等对仪器有较大的冲击。 ʂ ҙ ɿ本仪器电源的接通务必在洁净的空气中进行，如果在检测气体氛围中进行通电就不能进
˔请将本使用说明书尽量贴身慎重保管，以便在需要时能立即取出阅读 ˔请认真仔细阅读本使用说明书,理解后正确使用。
目录
̍前言.............................................................................................................................̍ ̎ɽ包装内物品的说明....................................................................................................̎ ̏ɽ传感器组件...............................................................................................................̎ ̐ɽ各部的名称及说明....................................................................................................̏ ̑ɽ使用方法...................................................................................................................̒
̍ɽ前言
• 承蒙购买 XPS-7 型半导体工厂用气体检测器，在此表示衷心感谢。为了让用户正确使用本仪器, 请用户在安装及使用前务必认真仔细阅读本使用说明书。
• 本仪器是为了对半导体工厂的气体泄漏进行检测的气体检测器。另外,通过更换传感器组件(另外 出售)可检测各种气体。
• 不管是否已使用过气体检测器,敬请仔细阅读本使用说明书,理解其内容。 • 请不要将本仪器用于本仪器的使用范围以外范围。而且也不要采用本使用说明书上没有记载的使
对象气体
̛ɽ̨
报警设定值
第1段
第2段
̣̝̏ ̸̨̝̐ ̸̨̝̘̻̎̎ ̖̝͂̏ ̥̝̏ ̗̝̎̒ ̴̨̝̎ ̴̜̝̐ ̘̻̎ ̛̘̻̏ ̝̘̻
氨
硅烷
二氯硅烷
二氢化砷 三氢化磷 乙硼烷
硒化氢
氢化锗 氯气
三氟化氯
氯化氢
QQN QQN QQN QQC QQN QQC QQC QQN QQN QQN QQN
5306#-&(故障)灯
"-"3.(报警)灯
液晶画面
操作部外罩
蜂鸣器孔
吸引口
排气口
连接器连接口
电池盖
传感器盖
传感器窗口
̡̙̚
(用于确认电池的插入)
功
能
电源接通时进行热机运行过程中,绿灯进行闪烁,之后绿灯点亮。
出现故障时黄色灯进行闪烁。
检测气体浓度超过气体警报设定值时红灯进行闪烁。
显示气体浓度等。
在操作按键开关时,把该外罩轻轻拉到面前(自己身前)打开。
̑ʵ̍ 干电池的组装.................................................................................................̒ ̑ʵ̎ 传感器组件的组装.........................................................................................̓ ̑ʵ̏ 电源的接通.....................................................................................................̔ ̑ʵ̐ 检测................................................................................................................̔ ̑ʵ̑ 检测结束.........................................................................................................̔ ̒ɽ自动记录功能 ...........................................................................................................̕ ̓ɽ过虑器的更换方法................................................................................................. ̍̌ ̔ɽ日常检查和定期检查............................................................................................. ̍̍ ̕ɽ在考虑为仪器故障之前......................................................................................... ̍̍ ̍̌ɽ消耗品和选择品.................................................................................................. ̍̍ ̍̍ɽ售后保证书和登记卡.......................................................................................... ̍̎ ̍̎ɽ规格..................................................................................................................... ̍̎