真空检漏
真空泄漏检测方法
真空泄漏检测方法真空泄漏检测方法引言真空技术在许多应用领域扮演着重要角色，如航天、电子设备制造和化学工程等。
确保真空系统的安全和可靠运行对于这些领域至关重要。
而真空泄漏则是真空系统中常见的问题，因此采用适当的检测方法非常关键。
方法一：气泡检漏法气泡检漏法是一种常用的真空泄漏检测方法，主要用于大型真空系统或外部表面不易检测的装置。
具体步骤如下：1.将试件浸入具有良好润湿性的水槽中。
2.在试件表面均匀涂抹一层薄薄的肥皂水或其他可形成气泡的液体。
3.通过真空泵抽取系统中的气体，观察涂层表面是否冒泡。
4.如果在某些部位冒泡，说明该部位存在泄漏。
气泡检漏法的优点是操作简单，不需要专门的设备，但其缺点是不适用于高真空系统。
方法二：氦质谱检漏法氦质谱检漏法是一种高灵敏度的真空泄漏检测方法，适用于高真空和超高真空系统。
具体步骤如下：1.将氦气注入待检测系统。
2.使用气质谱仪检测系统中是否存在氦气泄漏。
3.如果氦气在某些部位检测到，则该部位存在泄漏。
氦质谱检漏法的优点是能够检测极小的泄漏量，缺点是设备价格较高，操作技术要求较高。
方法三：静态漏率检漏法静态漏率检漏法是一种常用的真空泄漏检测方法，适用于大型真空系统。
具体步骤如下：1.关闭真空系统的所有阀门，记录系统的初始压力。
2.在一定时间内观察系统的压力变化，计算泄漏速率。
3.如果泄漏速率超过设定的阈值，则说明系统存在泄漏。
静态漏率检漏法的优点是能够定量评估泄漏问题，缺点是需要较长的检测时间。
方法四：红外检漏法红外检漏法是一种适用于可见光透明材料的真空泄漏检测方法，如玻璃或有机材料。
具体步骤如下：1.使用红外摄像机或红外热像仪对待检测系统进行拍摄。
2.通过红外辐射检测系统中是否存在泄漏点。
3.如果出现辐射异常的区域，则可能存在泄漏。
红外检漏法的优点是无需接触待检测系统，可实时监测泄漏情况，缺点是需要专门的设备。
结论根据需求和实际情况，可以选择适合的真空泄漏检测方法。
真空检漏员岗位职责及任职要求
真空检漏员岗位职责及任职要求
一、岗位职责
真空检漏员是负责进行真空设备及系统的检漏工作的专业人员。
其
主要职责包括以下几个方面：
1. 负责检测真空设备及系统中可能存在的泄露点，并进行定位和修复；
2. 使用各类真空检漏仪器进行检测操作，例如质谱仪、氦质谱检漏仪、毛细管检漏仪等；
3. 熟悉真空系统的工作原理和操作流程，能够判断出系统是否存在
异常并提出改进建议；
4. 开展泵组、真空管路等设备的维护保养工作，保证设备的正常运行；
5. 完成上级领导安排的其他工作任务。
二、任职要求
为了胜任真空检漏员的工作，需要具备以下几个方面的能力和素质：
1. 具备一定的电子、机电、仪器仪表等相关专业知识，能够熟练操
作和使用真空检漏仪器；
2. 熟悉真空系统的结构和工作原理，熟悉真空泵的安装和维护；
3. 具备一定的安全意识和操作规范，熟悉相关的安全操作规程，并能够切实落实到实际工作中；
4. 具备较强的学习能力和问题分析能力，能够迅速准确地找出系统中的问题并提出解决方案；
5. 具备较强的沟通能力和团队合作精神，能够与他人良好协作，共同完成工作任务；
6. 具备一定的抗压能力和应急处理能力，能够在紧急情况下冷静应对和解决问题；
7. 有相关工作经验者优先考虑。
总结：
真空检漏员是负责真空设备及系统检漏工作的专业人员，其岗位职责包括检测设备泄露点、使用检漏仪器、维护设备等。
为了胜任该岗位，需要具备一定的专业知识、安全意识、学习能力和团队合作精神等。
真空检漏方法
真空检漏方法真空检漏方法是指在低压环境下，通过检查气体泄漏的方式来确定系统的完整性和可靠性。
在各种工业和实验室应用中，真空检漏是非常常见的，以确保制造过程、实验设备或机械系统的性能和稳定性。
本文将详细介绍10种真空检漏方法及其优缺点，以帮助读者更好地了解这方面的知识。
1. 毛细管测量法毛细管测量法是一种基于液体的检漏方法，其原理是通过液体的自吸作用，在低压条件下观察气体泄漏。
此方法根据毛细管长度和内径的关系，可以确定检测范围和检测灵敏度。
该方法需要人工监控，并且无法检测气体泄漏。
2. 红外检测法红外检测法是一种利用红外辐射来检测气体泄漏的方法。
此方法适用于检测有机化学物质的泄漏，如氨、甲烷、丙烷等。
不适用于空气、氮气等无机气体的检测。
3. 热模反应法热模反应法是一种利用气体反应产生的热量来检测气体泄漏的方法。
该方法可以检测气体泄漏，但不适用于检测液体泄漏或固体泄漏。
4. 电离检测法电离检测法是一种通过检测气体电离程度来检测有机和无机气体泄漏的方法。
该方法可以检测非常小的气体泄漏，但不适用于在低压环境中进行检测。
5. 质谱检测法质谱检测法是一种利用离子化技术来检测气体稳定同位素的方法。
此方法非常适用于检测裂解气体。
6. 超声波检测法超声波检测法是一种利用超声波传递来检测密封件泄漏的方法。
此方法适用于密封不良的工业及实验室装置。
7. 气泡法气泡法是一种利用液体变色或产生气泡来检测气体泄漏的方法。
该方法适用于低压系统泄漏的检测，但需要密封很好的试验装置。
8. 空气泄漏检测法空气泄漏检测法是一种利用带氦气的空气进行检测的方法。
该方法适用于检测低压和高压系统的泄漏，但需要设备完好，要求技术人员熟练。
9. 低压检测法低压检测法是一种利用负压来检测气体泄漏的方法。
该方法适用于检测低压系统的泄漏。
该方法需要大量的设备和人力。
10. 总量检测法总量检测法是一种利用气体浓度变化来检测气体泄漏的方法。
此方法适用于气体排放监测。
真空检漏仪安全操作规定
真空检漏仪安全操作规定随着人们对材料的要求日益增高，进行材料制备和加工时需要使用更高品质的材料。
而在材料加工过程中，必然涉及到气体的处理。
真空检漏仪在这个过程中扮演着非常重要的角色。
本文将为大家介绍真空检漏仪的安全操作规定。
一、基本信息真空检漏仪是一种用于检测气体泄漏情况的检测设备，主要应用于制药、化学工业、食品加工、航空航天等行业。
真空检漏仪采用真空技术，对压力范围内进行检测，在检测过程中需要注意以下几个方面。
二、安装过程1.安装地点：真空检漏仪应该安装在无尘、无震动、温度适宜的地方。
避免阳光直射、潮湿、易使仪器构件老化的环境。
2.接地：真空检漏仪必须接地，接地导线应直接接地线或接地管道（设备安装地点有地线时）。
3.热源：如仪器内部有加热装置，安装时应旋紧。
根据所选材料热膨胀系数确定长度。
接线时，如有绝缘管应保持完整。
三、操作过程1.操作人员应事先阅读说明书或经过专业人员培训，了解每个按键及开关的功能。
2.检查除气系统：开机前检查真空泵、阀门等设备是否工作正常。
检查排气口是否畅通，以确保排除了氧气及其他气体。
3.检测环境：检测环境应保持清洁，避免产生腐蚀性气体和颗粒物质，这些物质会使得真空检漏仪的敏感性下降，影响准确度。
4.真空检测：开机后，按照使用说明操作，当设备表现不正常时，应紧急停止操作并检查。
四、日常维护1.使用过程中，应该保证室内环境整洁，每次结束操作后清理测力仪表表面和连接口，以及检查接线是否正常，仪器所有开关处于关闭状态。
2.定期检查：定期检查控制系统和电路、泵、阀门等的工作状态比如真空度是否符合标准要求，修理检漏仪的故障，更换易损件等，保持设备的正常运作。
五、危险与对策如果在使用真空检漏仪时，操作不规范，易引起危险。
但只要做好以下预防措施并且正确使用，则会大大减少危险的发生。
1.爆炸危险：当检漏仪中含有易燃易爆物质时，操作人员应该做好防爆措施，例如：使用安全电器等防爆设备。
2.感电危险：保持检漏仪的接地，备好绝缘手套和鞋子。
真空检漏
1013.25×103
1013.25
1
1.0333
29.921
14.696
1 am
98066.3
735.56
735.56×103
980663
980663×10-3
0.967839
1
28.959
14.223
1 inHg
3386
25.4
25.4×103
3.386×104
33.86
3.342×10-2
3.453×10-2
PhoeniXL300检漏仪
SP = 60 m³/=Ssum . p QL=SLD. p
Ssum = SLD + SP p = QHe/Ssum
QL=QHe . SLD/Sp+SLD 分流泵 流向 LD 流向分流泵 QL= 3 ·10-5 · QP= 3 ·10-5 · 2,5 2,5 + 16,66 16,66 2,5 + 16,66 = 3,9 ·10-6 mbar ·l / s = 2,6 ·10-5 mbar ·l / s Total = 3 ·10-5 mbar ·l / s
要方法。氦质谱检漏方法包括加压真空检漏法、加压吸枪检漏法和常规真空检漏法； 4.检漏前要加工检漏工装，组织调试检漏系统，用标准漏孔测试仪器灵敏度，确认符合被检工件设计 要求的漏率检测精度要求，方可开始进行检漏；（工艺需提前准备）
5.用氦气（内充压或外喷吹）检测工件被检处，检测时间要大于仪器的实际反应时间；
7
检漏仪器
用于检漏的仪器有氦质谱检漏仪、卤素检漏仪、高频火花检漏器、气敏半导体检漏仪 及用于质谱分析的各种质谱计。这里主要介绍氦质谱检漏仪、卤素检漏仪、高频火花检漏 器的工作原理、结构及国产检漏仪器的技术性能。
真空室检漏的原理和方法
真空室检漏的原理和方法
真空室检漏的原理是通过检测真空室内的气体流量或压力变化，来确定是否存在漏气现象。
如果真空室存在漏气，那么气体将从漏气处流入真空室，导致真空室内压力升高或降低，或者导致气体流量异常。
真空室检漏的方法有以下几种：
1. 压差法：将真空室密封后，测量其初始压力和经过一段时间后的压力，如果压力差超过了一定范围，则说明存在漏气。
2. 气泡法：在真空室内充入一定量的水或其他液体，然后密封真空室并抽真空，观察液体中是否出现气泡，如果有气泡出现则说明存在漏气。
3. 灵敏度法：利用高灵敏度的气体检测器检测真空室内的气体浓度，如果气体浓度超过了一定范围，则说明存在漏气。
4. 声波法：利用声波检测器检测真空室周围是否存在异常的声波信号，如果存在异常信号则说明存在漏气。
以上是真空室检漏的原理和几种常见方法，不同的方法适用于不同的应用场景和检测对象，需要根据实际情况选择适合的检漏方法。
真空检漏方案
真空检漏方案下载温馨提示:该文档是我店铺精心编制而成，希望大家下载以后，能够帮助大家解决实际的问题。
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②抽真空：连接真空泵，对系统进行抽真空处理，直至达到预定真空度，通常远低于工作真空范围，以暴露微小漏点。
③保压监测：停止抽真空，保持系统真空状态，观察真空表或使用真空计持续监测真空度变化，记录时间-真空度曲线。
④氦质谱检测（如有条件）：注入少量氦气或使用氦气喷枪扫描可疑区域，利用氦质谱检漏仪检测氦气浓度，精准定位漏点。
⑤压力变化分析：根据真空保持时间内的压力下降速率，判断是否存在漏点及其大致泄漏率，快速泄漏需立即查找，缓慢泄漏可延长监测时间。
⑥漏点标识与记录：发现漏点后，使用标记笔或标签进行标注，记录漏点位置、漏率大小，为后续维修提供依据。
⑦重复检测：对已修复的部位重新进行抽真空及检漏，直至确认无漏点存在。
⑧恢复系统：完成全部检漏并确认合格后，缓慢向系统充入工作介质，恢复至正常工作状态，检查有无异常。
⑨总结报告：整理检漏过程数据，编写检漏报告，总结漏点原因及修复措施，提出预防建议。
真空检漏箱的工作原理
真空检漏箱的工作原理
真空检漏箱是一种用于检测密封件（如管道、容器、仪器等）是否存在泄漏的仪器。
其工作原理如下：
1. 真空系统：真空检漏箱内部通过泵将空气逐渐抽出，将箱内建立起一定的真空度，通常可达到10^-2至10^-3 Pa。
2. 漏气检测：在箱体内设置了一个漏气检测系统，通常是通过气体质谱仪、电离检漏仪等设备来检测箱内的气体成分。
3. 密封测试：待测密封件放置在检漏箱内，箱体内部的真空度会将泄漏点的气体逐渐吸出，如果密封件有泄漏，泄漏的气体会通过漏气检测系统被检测出来。
4. 检测结果：漏气检测系统将检测到的气体成分转换成电信号传递给控制系统，控制系统会对信号进行分析，判断密封件是否存在泄漏，并将结果以可视化形式显示出来。
通过不断抽真空以及漏气检测系统的配合，真空检漏箱能够高效地检测出密封件的泄漏情况，确保产品的质量和安全性。
真空检漏概述
8放射性同位素检漏法——将少量的放射性材料放入被检件中并密封好，如有漏孔便会有射线泄露出来，从而在外面用特殊的射线探测仪指示出来。放射性同位素检漏法在背压检漏法中应用的相当成功。
9慢性气体的加速检漏法——将管子置于高压的氩气中，管内的压力上升率会比在空气中快得多，这便是慢性气体的加速检漏法的理论依据。
②真空检漏法——将被检漏真空容器和敏感元件，抽成真空状态，然后将示漏物质依次施加在可疑部位，若有漏孔，示漏物质将进入容器内，被敏感元件所发现。③背压检漏法——有三个步骤：充压，净化，检漏。
二：各种检漏方法
1静态升压法——把容器抽到一定的压力后，关闭阀门，隔离真空室和真空泵，测量容器内的压力变化。
一般常用的静态升压法有以下两种：①辅助真空罩法——可以排除放气的干扰；②压力平衡法——可以测量那些不能安装真空规管的被检件的漏率。
电气系统的核心是质谱室的供电和测量。辅助真空系统，它具有预抽被检件，保证检漏仪真空度，进行气体分流等功能。对于体积小，漏气小的系统可以不选用辅助真空系统，对于体积大，漏气大的系统需要选用辅助真空系统。
③氦质谱检漏仪的灵敏度：对于氦质谱检漏仪有三种灵敏度——漏率灵敏度，记作 ；分压比灵敏度，记作 ；检漏灵敏度，氦质谱检漏仪在实际检漏条件下所能达到的灵敏度，记作 。当氦质谱检漏仪安装在真空系统的不同位置时，所能达到的检漏灵敏度是不同的。
2气泡检漏法——在被检件中充入一定压力的示漏气体后放入水中，气体将通过漏孔进入水中，形成气泡，从而判断漏孔的有无及其位置和大小。属于压力检漏法。一般有以下两种：①水槽法——适用于小型器件；②皂膜法——适用于尺寸较大的器件。
3氨气检漏法——把被检件抽真空，在其外壁可疑位置上贴上显影带，然后在其内部充入高于大气压的氨气，当有漏孔时，氨气会漏出并进入显影带，使其变色。具体步骤为：清洁处理——贴显影带——充氨——排氨。
真空检漏仪原理
真空检漏仪原理
真空检漏仪原理
真空检漏仪（测漏仪）是指用于检测真空系统中的微小漏气流量的仪器。
它可以测量空气、氧气、氢气、氦气、二氧化碳和其他气体的漏损流量，以及水蒸汽、有机液体和液氨的漏损流量。
真空检漏仪动作原理：
1.将真空泵连接到检漏仪，打开检漏仪的电源开关，打开检漏仪的真空开关，将真空泵的输出头接上检漏仪的输入口；
2.打开检漏仪的保护气源开关，检漏仪内部的真空流路形成气路，聚焦板的放大器启动，促使检漏仪内部的真空流路发生流动；
3.当要测试物体接上检漏仪的接口时，真空流路中的漏气会进入检漏仪，由于聚焦板放大器的作用，漏气会被放大，出现在观察窗上；
4.如果漏气量比较大，在观察窗上会出现明显的漏气气泡，当漏气量小时，就有可能出现漏气气泡的抖动，抖动的程度可以作为检测漏气量的依据；
5.漏气检测完毕后，及时关闭检漏仪的真空开关，并断开真空泵，以免造成对真空设备的损害。
- 1 -。
真空检漏仪设备工艺原理
真空检漏仪设备工艺原理一、设备介绍真空检漏仪是一种用于测试真空容器无泄漏的设备。
它依靠真空泵将被测容器抽空至一定的真空度，然后通过检测波动或持续的真空度变化，来判断被测容器是否存在泄漏。
真空检漏仪广泛应用于空调、冰箱、真空存储等领域。
其中，大型真空容器测试需要使用高灵敏度的检漏仪器，来确保容器内真空度达到要求。
二、工艺原理真空检漏仪测试的原理是利用真空泵将被测容器抽空，然后检测容器内真空度是否下降。
检测过程中，如果检测器发现真空度下降，就会判断为发生泄漏。
具体的工艺流程如下：2.1 压力测试前准备在进行正式的测试前，需要进行一些准备工作。
包括：•清洁被测容器：使用清洁液或气体将容器内外清洗干净，以确保测试的准确性。
•放置被测容器：将被测容器放置在真空检漏仪中的试验室内。
•安装管路：将真空泵与容器连接，并打开气源阀门，让大气气压进入容器。
2.2 压力测试过程中在进行压力测试过程中，如下几个步骤：•抽真空：打开真空泵，将容器内的气体，包括大气气压全部抽空。
此时检测器会自动检测定时，记录当前真空度。
•持续定时：在真空泵关闭的情况下，检测器会持续记录真空度变化情况。
•判断泄漏：如果真空度持续变化，就说明被测容器存在泄漏问题。
此时需要进行检修。
2.3 压力测试后处理在测试完成后，需要进行相应的处理工作，包括：•恢复常压：关闭真空泵，让容器内气体回到常压状态。
•记录数据：将测试数据记录下来，包括容器的尺寸、测试结果等。
•将容器取出：将被测的容器从试验室内取出，并进行后续处理。
三、结论现代工业生产中，真空检漏仪已经成为不可缺少的设备。
准确的检测技术和完善的工艺流程，可以确保产品的质量和生产效率。
但需要注意的是，真空检漏工艺还需要结合各类设备的使用情况，因地制宜，根据情况进行取舍。
真空检漏机的工作原理
真空检漏机的工作原理
真空检漏机是一种用于检测封闭系统中是否存在气体泄漏的仪器。
其工作原理主要包括以下几个步骤：
1. 创建真空环境：真空检漏机通过泵将检测系统中的气体排空，创造出一个低于大气压的真空环境。
这样可以使得任何气体泄漏更加显著，便于检测。
2. 气体注入：在真空环境下，向被检测系统中注入一种易检测的气体，通常是氦气或氢气。
这种气体在常温下具有较小的分子尺寸和高扩散能力，能够更容易地渗透到泄漏点。
3. 测量：真空检漏机通过传感器或探测器监测检测系统内的气体浓度变化。
当气体泄漏时，泄漏气体将逐渐增加系统内的浓度，通过检测气体浓度的变化，可以判断是否存在气体泄漏。
4. 分析和报警：真空检漏机将探测到的气体浓度信号传输给控制系统，并进行相应的数据分析。
一旦检测到气体泄漏，检漏机会通过声光报警等方式进行提示，以便操作人员及时采取相应的修复措施。
总的来说，真空检漏机通过创建真空环境和注入易检测气体，并结合传感器和分析系统，实现对封闭系统中气体泄漏的检测和报警。
真空技术真空设备的检漏方法选择
真空技术真空设备的检漏方法选择真空技术是指在一个封闭的空间内，将压力降至低于大气压的状态下进行实验或加工制造的一种工艺。
在真空技术中，保持设备封闭和稳定的真空状态非常重要。
因此，选择合适的检漏方法是确保真空设备正常运行的关键。
常用的真空设备的检漏方法主要有以下几种：1.比较法：比较法是指将待检设备与已知正常的参考设备进行对比。
常用的比较法包括浸泡法和测漏仪法。
-浸泡法：将设备放置在相同密封条件下的液体中，观察是否有气泡产生。
当设备有漏气时，气泡会从设备表面冒出，可以通过观察气泡数量和冒出位置来检测漏点。
-测漏仪法：使用专业的测漏仪器进行检测。
常用的测漏仪包括氦气质谱仪和气泵测漏仪。
氦气质谱仪是目前最常用的检漏仪器，它使氦气充入设备中，然后使用质谱仪检测设备外部是否有泄漏的氦气。
2.物理法：物理法是指通过物理性质的变化来检测漏点。
常用的物理法包括泡沫法和红外法。
-泡沫法：在待检设备上覆盖一层泡沫液体，并观察是否有气泡生成。
当设备有漏气时，气泡会从设备表面冒出，可以通过观察气泡数量和冒出位置来检测漏点。
-红外法：使用红外检测仪来检测设备外部的热点。
当设备有漏气时，漏出的气体会导致周围温度变化，红外检测仪可以通过检测温度变化来确定漏点位置。
3.质谱法：质谱法是指使用质谱仪来检测漏点。
常用的质谱法包括速度导向调谐仪和质谱单元法。
-速度导向调谐仪：该方法使用氦气注入设备，并利用调谐器检测氦气流速，当气体泄漏时，氦气流速会发生变化，通过检测这种变化来确定漏点的位置。
-质谱单元法：该方法使用质谱仪来检测漏点。
质谱单元会检测气体中的杂质，当设备有漏气时，漏出的气体会导致杂质浓度变化，质谱单元可以通过检测杂质浓度的变化来确定漏点位置。
选择合适的检漏方法需要考虑以下几个因素：1.设备的要求：不同的真空设备对检漏方法的要求不同，需要根据设备的特点选择合适的方法。
例如，一些设备对泄漏的最小值有严格的要求，可以选择敏感度高的测漏仪器。
semi真空检漏标准
SEMI真空检漏标准
一、真空系统完整性
1.1 确保真空系统的所有部件和连接都完整无损，无明显磨损、老化或腐蚀现象。
1.2 真空系统的所有密封件应完好无损，无明显磨损、老化或腐蚀现象。
二、系统漏率测试
2.1 在进行系统漏率测试前，必须对真空系统进行充分的清洗和干燥。
2.2 使用合适的检测仪器对真空系统进行漏率测试，确保漏率符合SEMI标准。
三、设备运行稳定性
3.1 确保真空设备的电源、水源、气源等都正常稳定，无波动或中断现象。
3.2 真空设备的运行温度、压力、流量等参数应稳定，无异常波动。
四、检漏程序验证
4.1 应定期对检漏程序进行验证，确保其有效性。
4.2 在进行检漏程序验证时，应考虑到各种可能影响检漏结果的因素，如温度、湿度、压力等。
五、真空设备维护
5.1 应定期对真空设备进行维护保养，包括更换密封件、清洗设备内部等。
5.2 在进行维护保养时，应严格遵守设备制造商提供的操作手册和维修指南。
六、检漏员技能要求
6.1 检漏员必须经过专业培训，掌握真空检漏的基本理论和实践
技能。
6.2 检漏员应具备良好的分析判断能力和应变能力，能够根据实际情况做出正确的判断和处理。
七、安全操作规程
7.1 检漏员必须严格遵守安全操作规程，确保自身和设备的安全。
7.2 在进行检漏操作时，应佩戴必要的防护用具，如防护手套、防护眼镜等。
八、异常处理及记录
8.1 当发现异常情况时，检漏员应立即停止检漏操作，并报告上级管理人员。
8.2 对异常情况应进行详细记录，包括异常情况的现象、发生时间、处理方法等，以便进行后续分析和改进。
真空检漏仪执行标准
真空检漏仪执行标准一、引言真空检漏仪是一种用于检测封闭系统中是否存在泄漏的仪器。
它广泛应用于各个领域，例如航空航天、汽车制造、石油化工等。
为确保真空检漏仪的准确性和可靠性，制定执行标准是必不可少的。
二、真空检漏仪的分类真空检漏仪根据检测原理和使用场景的不同，可以分为以下几类： 1. 热膨胀真空检漏仪：利用热膨胀效应检测泄漏。
2. 气体质谱真空检漏仪：利用气体质谱原理检测泄漏。
3. 氦质谱真空检漏仪：利用氦气的小分子和高扩散能力检测泄漏。
4. 紫外光真空检漏仪：利用紫外光原理检测泄漏。
三、真空检漏仪的工作原理真空检漏仪的工作原理主要包括以下几个方面： 1. 抽气系统：通过真空泵将被测系统抽成一定真空度。
2. 检测系统：根据不同的检测原理选择相应的检测方法，如热膨胀、气体质谱或氦质谱。
3. 数据处理系统：将检测到的信号转换为数字信号，并进行数据处理和分析。
4. 泄漏判据：根据设定的泄漏判据，判断被测系统是否存在泄漏。
四、真空检漏仪的执行标准为确保真空检漏仪的准确性和可靠性，制定执行标准是必要的。
以下是真空检漏仪的执行标准的要求： 1. 设备要求：真空检漏仪应具备一定的抽气速度、检测灵敏度和稳定性。
2. 校准要求：真空检漏仪应定期进行校准，确保其测量结果的准确性。
3. 操作要求：操作人员应经过专业培训，熟悉真空检漏仪的使用方法和注意事项。
4. 泄漏判据：根据不同的应用场景，制定相应的泄漏判据，以确保检测结果的可靠性。
5. 数据记录要求：对每次检测的结果进行记录，包括被测系统的信息、检测时间、检测结果等。
五、真空检漏仪的应用领域真空检漏仪在各个领域都有广泛的应用，以下是几个典型的应用领域： 1. 航空航天：用于检测航空航天器的燃料系统、液压系统等是否存在泄漏。
2. 汽车制造：用于检测汽车制造过程中的零部件是否存在泄漏，如制动系统、空调系统等。
3. 石油化工：用于检测石油化工设备中的管道、阀门等是否存在泄漏。
真空检漏操作规程
真空检漏操作规程真空检漏是一项关键的质量检测工作，用于检测真空系统中是否存在漏气现象。
下面是一份真空检漏操作规程，供您参考。
一、操作准备1. 预先准备好所需的检漏仪器和设备，包括真空泵、检漏仪、检漏剂等。
2. 确保检漏仪器和设备处于良好的工作状态，检查其电源是否正常，仪表是否准确。
3. 准备好操作手册、相关图纸和技术参数作为参考。
二、检漏前的准备工作1. 建立一个相关的安全检测区域，确保操作环境安全，预防意外事故的发生。
2. 根据实际需要，确定检漏的时间、地点和安全措施。
3. 进行相关的工艺流程、系统介绍和操作要求的培训。
三、检漏操作步骤1. 关闭真空系统中的所有阀门，确保系统完全隔离。
2. 连接真空泵和漏气检测仪器，确保连接密封可靠。
3. 启动真空泵，排空真空系统，确保真空系统处于良好的排气状态。
4. 将检漏剂喷洒或注入到系统中，并按照仪器操作手册的要求，选择适当的检测方式。
5. 缓慢打开系统中的阀门，使之逐步进入真空状态。
6. 检查仪器显示的压力变化情况，并观察是否有泄漏现象。
7. 对检漏仪器进行校准，并进行零点调整，确保检测结果的准确性。
8. 对系统中的所有接头、阀门、管路等进行逐一检查，寻找潜在的漏气源。
9. 对发现的漏气点进行标记，并根据需要，进行必要的修补和更换。
10. 测试完毕后，关闭真空泵和检漏仪，切断电源。
四、检漏操作注意事项1. 检漏操作需要有经验的技术人员进行，并进行必要的培训和指导。
2. 操作人员需要佩戴个人防护装备，如手套、工作服等，确保人身安全。
3. 检漏操作需要严格按照标准程序进行，不得随意更改操作步骤。
4. 在操作过程中，要注意避免对系统造成不必要的损坏，严禁敲打和碰撞真空设备。
5. 在检漏过程中，要保持操作环境的整洁，确保工作台面干净，避免杂物进入系统。
6. 检漏操作结束后，要及时清理和维护检漏仪器和设备，确保其正常和可靠的工作状态。
五、检漏操作结果处理1. 对于发现的漏气点，要及时记录并报告相关部门，并采取相应的措施进行修复。
真空检漏原理
真空检漏原理
真空检漏是指在一定的真空度下，通过检测被测物体的气密性能，以确定其是
否存在漏气现象的一种检测方法。
在工程领域中，真空检漏被广泛应用于航空航天、汽车制造、船舶制造、电子设备、医疗器械等行业。
下面将介绍真空检漏的原理和常见的检测方法。
首先，我们来了解一下真空检漏的原理。
真空检漏的原理是利用被测物体内部
的气体与外部的真空系统之间的气体流动来检测被测物体的漏气情况。
在真空系统中，被测物体内部的气体会通过漏洞或裂缝逸出到外部环境中，这种气体流动会导致真空系统内部的气压发生变化。
通过检测气压的变化，就可以确定被测物体是否存在漏气现象。
其次，我们来介绍一些常见的真空检漏方法。
真空检漏方法主要包括质谱检漏法、氦质谱检漏法、氦充入法和泡沫检漏法等。
其中，质谱检漏法是利用质谱仪对被测物体进行检测，通过检测气体分子的质量来确定漏气点的位置。
氦质谱检漏法是在被测物体内充入氦气，然后利用质谱仪检测氦气的流动情况，以确定漏气点的位置。
氦充入法是将被测物体充入氦气，然后利用氦气检测仪对漏气进行检测。
泡沫检漏法是将被测物体表面涂覆一层泡沫，通过观察泡沫的气泡情况来确定漏气点的位置。
总的来说，真空检漏是一种非常重要的检测方法，它可以帮助我们及时发现被
测物体的漏气问题，从而保障产品的质量和安全性。
在实际应用中，我们需要根据被测物体的特点和检测要求选择合适的检漏方法，并严格按照操作规程进行检测操作，以确保检测结果的准确性和可靠性。
希望本文可以帮助大家更好地了解真空检漏的原理和方法，为工程实践提供一定的参考价值。
真空检漏原理
真空检漏原理
真空检漏是一种用于检测封闭空间中是否存在漏气的技术。
其原理是利用真空度检测仪器，通过抽取测试空间内的气体，将其压力降低到一个较低的真空度。
然后观察一段时间内真空度是否变化，如果真空度出现明显下降，则可以判断存在漏气。
真空检漏的原理基于两个主要因素：一是漏气通道的存在，二是压力差的作用。
当测试空间存在漏气通道时，高压区域的气体会通过漏洞进入低压区域，从而导致真空度下降。
因此，通过观察真空度的变化，可以确定是否存在漏气通道。
为了实现真空检漏，通常需要使用专门的真空检漏设备。
这些设备通常包括真空度检测仪、抽气设备和检漏剂。
在检测过程中，首先将真空度检测仪连接到测试空间，并通过抽气设备将测试空间内的气体抽取至较低的真空度。
然后，使用检漏剂喷洒在可能的漏气点上。
如果存在漏气，漏气点附近的气体将被抽入检漏剂中，并在真空度检测仪上显示出真空度的下降。
通过真空检漏技术，可以有效地检测出封闭空间中的漏气问题。
这对于一些需要高度密封的设备和系统来说非常重要，如真空系统、气密性要求高的容器、航空航天设备等。
真空检漏技术有助于提高设备的可靠性和操作安全性，避免因漏气导致的性能下降或故障发生。
培训系列之质谱原理与真空检漏
真空系统
保持质谱仪内部的 高真空状态，减少 背景干扰。
质谱分析的基本原理
01
02
03
04
电离过程
通过离子源对待测样品进行电 离，产生带电离子。
质量分离
通过分析器将不同质荷比的离 子分离。
检测与记录
检测器检测并记录离子的数量 和质荷比。
结果分析
对记录的数据进行分析，得出 待测样品的质谱图。
质谱的应用领域
重视人才培养，加强学术交流与 合作，为质谱原理与真空检漏技
术的未来发展提供人才保障。
THANKS
感谢观看
在航空航天领域，真 空检漏技术用于检测 飞机和卫星的燃料箱 、气瓶等关键部件的 密封性能。
在电子领域，真空检 漏技术用于检测电子 显微镜、电子束蒸发 器等高真空设备的密 封性能。
在冶金领域，真空检 漏技术用于检测各种 金属材料的真空热处 理和表面处理设备的 密封性能。
在化工领域，真空检 漏技术用于检测各种 化学反应釜、管道和 容器的密封性能，确 保生产过程中的安全 性和环保要求。
真空检漏设备的操作与维护
操作步骤 将待检漏设备放置在检漏台上，连接电源和气源。
打开检漏设备，设置适当的检漏参数。
真空检漏设备的操作与维护
• 进行检漏操作，观察设备反应，记录检漏结果。
真空检漏设备的操作与维护
维护要点
定期检查真空泵油位，保持正常运转。
清洁检漏设备的表面和气路系统，防止堵塞。
定期校准设备，确保检测精度。
04
实际操作与案例分析
质谱仪的操作与维护
操作步骤 开启质谱仪，检查电源连接是否正常。
打开气瓶，调节气体流量至适当值。
质谱仪的操作与维护
• 启动仪器自检程序，确保仪器正常工作。
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2．漏孔、漏率及其单位 真空技术中所指的漏孔，由于尺寸微小、形状复杂、形式多样(如图1所示) ，无法用几何尺寸表示其大小。所以一般用等效流导或漏气速率(简称为漏率) 表示漏孔的大小。 用漏率表示漏孔大小时，如果不加特殊说明，则是指在漏孔入口压力为 1.01×105Pa，出口压力低于1.33×103Pa，温度为296士3K的标准条件下，单 位时间内流过漏孔的露点温度低于248K的空气的气体量。 漏率的单位是帕斯卡×立方米／秒，记为Pam3／s。为了方便，有时用帕斯 卡×升／秒，记为PaL／s。
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5．检漏方法的分类 检漏方法很多，根据被检件所处的状态可分为充压检漏法、真空检 漏法及其它检漏法。 充压检漏法：在被检件内部充入一定压力的示漏物质，如果被检件 上有漏孔，示漏物质便从漏孔漏出，用一定的方法或仪器在被检件外 部检测出从漏孔漏出的示漏物质，从而判定漏孔的存在、位置及漏率 的大小，此即充压检漏法。 真空检漏法：被检件和检漏器的敏感元件处于真空状态，在被检件 的外部施加示漏物质，如果有漏孔，示漏物质就会通过漏孔进入被检 件和敏感元件的空间，由敏感元件检测出示漏物质，从而可以判定漏 孔的存在、位置利漏率的大小，这就是真空检漏法。 其它检漏法：被检件既不充压也不抽真空，或其外部受压等方法归 入其它检漏法。背压法就是其中主要方法之一。 所谓“背压检漏法”是利用背压室先将示漏气体由漏孔充入被检件， 然后在真空状态下使示漏气体再从被检件中漏出．以某种方法(或检 漏仪)检测漏出的示漏气体，判定被检件的总漏率的方法。
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3．高频火花检漏器 高频火花检漏器是个高频高压对地放电器件，可以用于真空检漏。 (1)工作原理与结构 图9示出一种电容，电感串联谐振式高频火花检漏器的原理图。接通K，当 接触器CD闭合时，电流流经L1、CD，电流很大，L1产生足够大的电磁力吸 引CD断开，于是形成L1、C、L2的回路。由于阻抗增加，电流减小导致电磁 力下降。从而使CD重新闭合。如此反复，在L2上施加高频脉冲电压，因此高 压线圈L3便感应出高频高压脉冲电压。而L3的一端对地放电产生高频火花击 穿现象。这就是高频火花检漏器的工作原理。 (2)玻璃真空系统的检漏 将高频火花检漏器的放电簧F沿着已抽空的玻璃系统外表面慢慢移动，没 有漏孔时放电火花束呈杂乱分散状态，当遇到漏孔时火花束集中成一条细束 ，且指向系统上亮点(漏孔内空气电离率远远大于玻璃的结果)，该亮点就是漏 孔的位置。 (3)金属真空系统的检漏 各种气体和蒸汽的辉光放电颜色如表3。选用表中示漏物质施加在金属真空 系统的可疑处，用高频火花检漏器激发系统上玻璃质规管或盲管内的气体， 使之放电，观察放电颜色的变化便可实现检漏。这种方法的工作压力为 5×10-1～102Pa，检漏灵敏度为10-3Pam3／s。
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3．最大容许漏率 真空系统漏气是绝对的，不漏气是相对的在真空检漏技术中所指的“ 漏”是和最大容许漏率的概念联系在一起的。 对于动态真空系统，只要其平衡压力能够达到所要求的真空度，这时 即使存在着漏孔，也可以认为该系统的漏率是容许的，该情况下系统的漏 率称为最大容许漏率。动态真空系统的最大容许漏率qLmax应满足 qLmax≤1/10PwS (1) 式中Pw----系统工作压力 S----系统的有效抽速 对于静态真空系统，要求在一定时间内，其压力维持在容许的压力以 下，这时即使存在着漏孔，同样叮以认为该系统的漏率是容许的，该情况 下系统的漏率称为最大容许漏率。如果要求在时间t内,容积为V的系统的压 力由p升至pt，则其最大容许漏率qLmax应满足 qLmax≤(pt-p)V/t (2) 各种真空设备的最大容许漏率可参考表1确定。
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③工作真空、极限真空及入口处抽速 质谱室极限真空，尤其是工作真空及入口处抽速是表征仪器性能 的重要参数。利用检漏仪的真空规可以测定仪器的极限真空和工作真 空。利用流量计可测定仪器入口处抽速。
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2．卤素检漏仪 用含有卤素(氟、氯、溴、碘)的气体为示漏气体的检漏仪器称为卤素检漏 仪。该类仪器分两类：其一为传感器(即探头)与被检件相连接的称为固定式( 也称内探头式)卤素检漏仪；其二为传感器(即吸枪)在被检件外部搜索的称为 便携式(也称外探头式)卤素检漏仪。示漏气体有氟里昂、氯仿、碘仿、四氯化 碳等，其中氯里昂12最好。卤素检漏仪灵敏度可达3.2×lO-9Pam3／s。 (1)工作原理与结构 金属铂在800～900oC温度下会发生正离子发射，当遇到卤素气体时，这种 发射会急剧增加。这就是所谓的“卤素效应”，利用此效应制成的卤素检漏仪的 结构示意图如图8所示。 传感器是个二极管，加热丝、阴极(外筒)、阳极(内筒)均用铂材制成。阳极 被加热丝加热后发射正离子，被阴极接收的离子流由检流计(或放大器)指示出 来，且有音响指示。 电气部分由加热电源、直流电源、离子流放大器、输出显示及便携式的吸 气装置电源等组成。
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(2)性能测试方法 灵敏度、反应时间及恢复时间是卤素检漏仪的主要性能参数。其测试方法 与氦质谱检漏仪的相同，这里不再赘述。但是，卤素检漏仪的指示与卤素气 体的浓度有关：一般，低浓度的指示是线性的，中等浓度的是非线性的，而 当浓度很高时仪器出现饱和或中毒现象。所以在进行性能测试或检漏时，进 入传感器的卤素气体的浓度不宜高于百万分之一。 固定式卤素检漏仪传感器应和lO-1～10oPa压力范围内工作，压力过高或过 低都会导致仪器灵敏度的下降。 便携式卤素检漏仪的传感器基本上是在大气压下工作的，靠吸气装置吸入 气体，使卤素气体流经传感器。
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真空检漏
作成：樊斌杰 日期:2010年/10月
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一、概述 1．概漏的基本概念 真空检漏就是检测真空系统的漏气部位及其大小的过程。 漏气也叫实漏，是气体通过系统上的漏孔或间隙从高压侧流到低压侧的现象。 虚漏，是相对实漏而言的一种物理现象。这种现象是由于材料放气、解吸、凝 结气体的再蒸发、气体通过器壁的渗透及系统内死空间中气体的流出等原因引起 真空系统中气体压力升高的现象。 气密性是表征真空系统器壁防止气体渗透的性能，它包括通过漏孔(或间隙)的 漏气和材质的渗气。 最小可检漏率是指某种检漏方法能够检测出的漏率的最小值。 最佳灵敏度是指检漏仪器或检漏方法在最佳条件下所能检测出的最小漏率。对 于检漏仪器来讲，最佳灵敏度又称作仪器灵敏度。 检漏灵敏度是指在具体条件下，某种检漏方法所能检测出的最小漏率。检漏灵 敏度又称作有效灵敏度。 反应时间，即从检漏方法开始实施(如开始喷吹示漏气体)到指示方法(如仪表)做 出反应的时间。 消除时间，即从检漏方法停止(如停止喷吹且开始抽出示漏气体)到指示方法的 指示消失的时间。 漏率，即单位时间内流过漏孔(包括间隙)的气体量。
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二、检漏仪器 用于检漏的仪器有氦质谱检漏仪、卤素检漏仪、高频火花检漏器、气敏半 导体检漏仪及用于质谱分析的各种质谱计。这里主要介绍氦质谱检漏仪、卤 素检漏仪、高频火花检漏器的工作原理、结构及国产检漏仪器的技术性能。 1．氦质谱检漏仪 氮质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳 定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度最高，用得最普遍的检漏仪 器。 氦质谱检漏仪是磁偏转型的质谱分析计。单级磁偏转型仪器灵敏度为lO-9 ～10-12Pam3／s，广泛地用于各种真空系统及零部件的检漏。双级串联磁偏 转型仪器与单级磁偏转型仪器相比较，本底噪声显著减小．其灵敏度可达1014～10-15Pam3／s，适用于超高真空系统、零部件及元器件的检漏。逆流氦 质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局，被检件置于检漏仪主抽泵的前级 部位，因此具有可在高压力下检漏、不用液氮及质谱室污染小等特点．适用 于大漏率、真空卫生较差的真空系统的检漏，其灵敏度可达10-12Pam3／s。
②反应时间、清除时间及其测定 反应时间是指仪器节流阀完全开启，本底讯号为零(或补偿到零)时，由恒 定的氦流量使输仪表讯号上升到最大值的(1-e-1)倍(即O.63)所需要的时间，记 为τ R。 清除时间是指输出仪表讯号稳定到最大值后，停止送氦，其讯号下降到最 大值的e-1倍(即O.37)所需要的时间，记为τ C。 反应时间和清除时间的测定装置如图7所示。
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(2)性能试验方法 灵敏度、反应时间、清除时间、工作真空度、极限真空度及仪器入口处抽速 是评价氦质谱检漏仪的主要性能指标。 ①灵敏度及其校准 氦质谱检漏仪灵敏度，通常指仪器的最小可检漏率。记为qL.min，即在仪器处 于最佳工作条件下，以一个大气压的纯氦气为示漏气体，进行动态检漏时所能检 测出的最小漏孔漏率。所谓“最佳工作条件”是指仪器参数调整到最佳值，被检 件出气少且没有大漏孔等条件。所谓“动态检漏”是指检漏仪器本身的抽气系统 仍在正常抽气。仪器的反应时间不大于3s。所谓“最小可检”是指检漏讯号为仪 器本底噪声的两倍时，才能认定有漏气讯号输出。所谓“漏孔漏率”是指一个大 气压的干燥空气通过漏孔漏向真空侧的漏气速率。仪器本底噪声，一般指在2min 内输出仪表的最大波动量。 漏率灵敏度标准系统如图6所示。图中虚线框内部分为配气系统．即为标准 漏孔5进气端提供压力为pHe的纯氦气。辅助泵6的任务是预抽。用干燥瓶4和针阀2 调节仪器工作压力。如果仪器本底为I0，本底噪声为In，标准漏孔对空气的标称 漏率为qL.o，当其进气压力为pHe时的仪器讯号为I，则仪器灵敏度为式（6）。
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在离化室N内，气体电离成正离子，在电场作用下离子聚焦成束。并在加速电 压作用下以一定的速度经过加速极S1的缝隙进入分析器。在均匀磁场的作用下， 具有一定速度的离子将按圆形轨迹运动，其偏转半径可按式（5）计算。