真空测量与检漏分析
真空泄漏检测方法
真空泄漏检测方法真空泄漏检测方法引言真空技术在许多应用领域扮演着重要角色，如航天、电子设备制造和化学工程等。
确保真空系统的安全和可靠运行对于这些领域至关重要。
而真空泄漏则是真空系统中常见的问题，因此采用适当的检测方法非常关键。
方法一：气泡检漏法气泡检漏法是一种常用的真空泄漏检测方法，主要用于大型真空系统或外部表面不易检测的装置。
具体步骤如下：1.将试件浸入具有良好润湿性的水槽中。
2.在试件表面均匀涂抹一层薄薄的肥皂水或其他可形成气泡的液体。
3.通过真空泵抽取系统中的气体，观察涂层表面是否冒泡。
4.如果在某些部位冒泡，说明该部位存在泄漏。
气泡检漏法的优点是操作简单，不需要专门的设备，但其缺点是不适用于高真空系统。
方法二：氦质谱检漏法氦质谱检漏法是一种高灵敏度的真空泄漏检测方法，适用于高真空和超高真空系统。
具体步骤如下：1.将氦气注入待检测系统。
2.使用气质谱仪检测系统中是否存在氦气泄漏。
3.如果氦气在某些部位检测到，则该部位存在泄漏。
氦质谱检漏法的优点是能够检测极小的泄漏量，缺点是设备价格较高，操作技术要求较高。
方法三：静态漏率检漏法静态漏率检漏法是一种常用的真空泄漏检测方法，适用于大型真空系统。
具体步骤如下：1.关闭真空系统的所有阀门，记录系统的初始压力。
2.在一定时间内观察系统的压力变化，计算泄漏速率。
3.如果泄漏速率超过设定的阈值，则说明系统存在泄漏。
静态漏率检漏法的优点是能够定量评估泄漏问题，缺点是需要较长的检测时间。
方法四：红外检漏法红外检漏法是一种适用于可见光透明材料的真空泄漏检测方法，如玻璃或有机材料。
具体步骤如下：1.使用红外摄像机或红外热像仪对待检测系统进行拍摄。
2.通过红外辐射检测系统中是否存在泄漏点。
3.如果出现辐射异常的区域，则可能存在泄漏。
红外检漏法的优点是无需接触待检测系统，可实时监测泄漏情况，缺点是需要专门的设备。
结论根据需求和实际情况，可以选择适合的真空泄漏检测方法。
高效过滤器检漏方法及标准
高效过滤器检漏方法及标准高效过滤器在工业领域的应用非常广泛，其主要功能是用于对空气或液体进行过滤，从而保证生产系统的正常运行。
然而，在过滤器长时间使用后，会存在一定的检漏问题，这就需要采取一些高效的检漏方法来进行检测和修复。
本文将详细介绍高效过滤器检漏的方法及标准。
一、高效过滤器的检漏方法1.声波检测法声波检测法是一种通过听声音来识别漏洞的方法。
使用专门的设备将声音传输到过滤器上，如果存在漏洞，就会导致声音发生变化。
通过对声音的变化进行分析，可以找出漏洞的位置并进行修复。
2.压差测试法压差测试法是一种通过测量过滤器两侧的压差来检测漏洞的方法。
首先将过滤器两侧的压差测量值记录下来，然后将过滤器连接到专门的测试设备上，逐步增加压力，如果漏洞存在，就会导致压差值的变化。
通过比较压差测试前后的数值差异，可以找出漏洞的位置。
3.微粒子计数法微粒子计数法是一种通过测量过滤器中微粒子的数量来检测漏洞的方法。
先将过滤器连接到专门的微粒子计数器上，然后通过计数器的显示结果来判断过滤器是否存在漏洞。
如果微粒子计数值超出正常范围，就可以确定漏洞的位置。
4.涂料探伤法涂料探伤法是一种通过在过滤器表面涂覆一层特殊的涂料，然后通过观察涂料表面的变化来检测漏洞的方法。
如果涂料出现了裂纹或褪色等情况，就可以判断过滤器存在漏洞，并进行修复。
5.真空泄漏测试法真空泄漏测试法是一种通过在过滤器内部建立真空环境，然后观察真空泄漏情况来检测漏洞的方法。
如果真空泄漏速度超过了正常范围，就可以判断过滤器存在漏洞。
二、高效过滤器检漏标准为了保证高效过滤器检漏的准确性和有效性，国际上已经建立了一系列的标准，对于各种检漏方法和设备进行了规定和要求。
1.声波检测标准对于声波检测方法，国际上一般采用ISO 16858:2008标准进行规范。
该标准规定了声波检测设备的技术要求、测量方法和数据处理等方面的内容，保证了声波检测方法的准确性和可靠性。
2.压差测试标准对于压差测试方法，国际上一般采用ISO 3966:2016标准进行规范。
真空检漏方法
真空检漏方法真空检漏方法是指在低压环境下，通过检查气体泄漏的方式来确定系统的完整性和可靠性。
在各种工业和实验室应用中，真空检漏是非常常见的，以确保制造过程、实验设备或机械系统的性能和稳定性。
本文将详细介绍10种真空检漏方法及其优缺点，以帮助读者更好地了解这方面的知识。
1. 毛细管测量法毛细管测量法是一种基于液体的检漏方法，其原理是通过液体的自吸作用，在低压条件下观察气体泄漏。
此方法根据毛细管长度和内径的关系，可以确定检测范围和检测灵敏度。
该方法需要人工监控，并且无法检测气体泄漏。
2. 红外检测法红外检测法是一种利用红外辐射来检测气体泄漏的方法。
此方法适用于检测有机化学物质的泄漏，如氨、甲烷、丙烷等。
不适用于空气、氮气等无机气体的检测。
3. 热模反应法热模反应法是一种利用气体反应产生的热量来检测气体泄漏的方法。
该方法可以检测气体泄漏，但不适用于检测液体泄漏或固体泄漏。
4. 电离检测法电离检测法是一种通过检测气体电离程度来检测有机和无机气体泄漏的方法。
该方法可以检测非常小的气体泄漏，但不适用于在低压环境中进行检测。
5. 质谱检测法质谱检测法是一种利用离子化技术来检测气体稳定同位素的方法。
此方法非常适用于检测裂解气体。
6. 超声波检测法超声波检测法是一种利用超声波传递来检测密封件泄漏的方法。
此方法适用于密封不良的工业及实验室装置。
7. 气泡法气泡法是一种利用液体变色或产生气泡来检测气体泄漏的方法。
该方法适用于低压系统泄漏的检测，但需要密封很好的试验装置。
8. 空气泄漏检测法空气泄漏检测法是一种利用带氦气的空气进行检测的方法。
该方法适用于检测低压和高压系统的泄漏，但需要设备完好，要求技术人员熟练。
9. 低压检测法低压检测法是一种利用负压来检测气体泄漏的方法。
该方法适用于检测低压系统的泄漏。
该方法需要大量的设备和人力。
10. 总量检测法总量检测法是一种利用气体浓度变化来检测气体泄漏的方法。
此方法适用于气体排放监测。
真空系统气密性测试方法与原理
真空系统气密性测试方法与原理1.气密性测试方法：(1)泄漏检测法：采用氦气等稀有气体作为检测介质，在真空系统中进行充填，然后利用特殊仪器检测气体泄漏的情况，从而判断真空系统的气密性。
常用的泄漏检测仪器有氦质谱检测仪和气体检漏仪。
(2)用真空度计测量气密性：利用真空度计测量真空系统的真空度变化，从而判断真空系统的气密性。
该方法适用于检测密封性好且真空度较高的系统。
(3)气密性压力差法：通过测量真空系统内外的气体压力差，从而判断真空系统的气密性。
一般使用压力表或压差变送器进行测量，可以得到真空系统的气密性。
2.气密性测试原理：(1)泄漏检测法原理：氦气等稀有气体在真空系统内充填后，会因为泄漏点处气体的扩散而逸出系统，通过检测漏出气体的情况，可以确定真空系统的气密性。
氦质谱检测仪通过检测氦气的质谱峰值信号，从而确定氦气的泄漏情况。
气体检漏仪则通过检测氦气浓度的变化，来判断真空系统的气密性。
(2)真空度计测量气密性原理：当真空系统的气密性较好时，系统内外的气压差较小，可以通过真空度计测量真空系统的真空度变化来判断气密性。
常用的真空度计有热阴极离子化真空度计、冷阴极离子化真空度计、方向导能真空度计等。
(3)气密性压力差法原理：当真空系统内外气压差较大时，气压差与真空系统的气密性存在一定的相关性。
通过测量真空系统内外的气体压力差，可以判断真空系统的气密性。
压力表或压差变送器可以测量气体压力差，从而得到真空系统的气密性。
综上所述，气密性测试方法主要包括泄漏检测法、真空度计测量气密性和气密性压力差法。
这些方法通过测量真空系统内外的气体流动和压力差，从而判断真空系统的气密性好坏，为真空系统的工程应用提供了重要的参考。
真空室检漏的原理和方法
真空室检漏的原理和方法
真空室检漏的原理是通过检测真空室内的气体流量或压力变化，来确定是否存在漏气现象。
如果真空室存在漏气，那么气体将从漏气处流入真空室，导致真空室内压力升高或降低，或者导致气体流量异常。
真空室检漏的方法有以下几种：
1. 压差法：将真空室密封后，测量其初始压力和经过一段时间后的压力，如果压力差超过了一定范围，则说明存在漏气。
2. 气泡法：在真空室内充入一定量的水或其他液体，然后密封真空室并抽真空，观察液体中是否出现气泡，如果有气泡出现则说明存在漏气。
3. 灵敏度法：利用高灵敏度的气体检测器检测真空室内的气体浓度，如果气体浓度超过了一定范围，则说明存在漏气。
4. 声波法：利用声波检测器检测真空室周围是否存在异常的声波信号，如果存在异常信号则说明存在漏气。
以上是真空室检漏的原理和几种常见方法，不同的方法适用于不同的应用场景和检测对象，需要根据实际情况选择适合的检漏方法。
真空检测原理
真空检测原理
真空检测原理指的是通过对一个系统或容器中的真空程度进行测量和监测，从而判断系统中是否存在真空状态或者真空程度的变化。
一种常见的真空检测原理是利用压力传感器测量系统中气体的压力。
在真空状态下，系统中的气体压力非常低，接近于零。
因此，通过测量系统中气体的压力，可以判断系统中是否存在真空状态。
另一种常用的真空检测原理是利用质谱仪进行检测。
质谱仪是一种能够分析气体成分的仪器，可以通过检测气体中的分子类型和数量来判断系统中是否存在真空。
此外，还有一些其他的真空检测原理，如通过检测系统中的气体流量、气体温度、离子产生与探测等方式进行真空检测。
这些原理基于不同的物理现象和测量技术，在不同的真空条件下都能够有效地检测真空状态。
总结起来，真空检测原理主要是通过测量系统中气体的压力、成分、流量、温度等参数来判断系统中是否存在真空状态或者真空程度的变化。
不同的原理和技术可以根据实际需要选择和应用，以实现精确和可靠的真空检测。
真空检漏概述
8放射性同位素检漏法——将少量的放射性材料放入被检件中并密封好，如有漏孔便会有射线泄露出来，从而在外面用特殊的射线探测仪指示出来。放射性同位素检漏法在背压检漏法中应用的相当成功。
9慢性气体的加速检漏法——将管子置于高压的氩气中，管内的压力上升率会比在空气中快得多，这便是慢性气体的加速检漏法的理论依据。
②真空检漏法——将被检漏真空容器和敏感元件，抽成真空状态，然后将示漏物质依次施加在可疑部位，若有漏孔，示漏物质将进入容器内，被敏感元件所发现。③背压检漏法——有三个步骤：充压，净化，检漏。
二：各种检漏方法
1静态升压法——把容器抽到一定的压力后，关闭阀门，隔离真空室和真空泵，测量容器内的压力变化。
一般常用的静态升压法有以下两种：①辅助真空罩法——可以排除放气的干扰；②压力平衡法——可以测量那些不能安装真空规管的被检件的漏率。
电气系统的核心是质谱室的供电和测量。辅助真空系统，它具有预抽被检件，保证检漏仪真空度，进行气体分流等功能。对于体积小，漏气小的系统可以不选用辅助真空系统，对于体积大，漏气大的系统需要选用辅助真空系统。
③氦质谱检漏仪的灵敏度：对于氦质谱检漏仪有三种灵敏度——漏率灵敏度，记作 ；分压比灵敏度，记作 ；检漏灵敏度，氦质谱检漏仪在实际检漏条件下所能达到的灵敏度，记作 。当氦质谱检漏仪安装在真空系统的不同位置时，所能达到的检漏灵敏度是不同的。
2气泡检漏法——在被检件中充入一定压力的示漏气体后放入水中，气体将通过漏孔进入水中，形成气泡，从而判断漏孔的有无及其位置和大小。属于压力检漏法。一般有以下两种：①水槽法——适用于小型器件；②皂膜法——适用于尺寸较大的器件。
3氨气检漏法——把被检件抽真空，在其外壁可疑位置上贴上显影带，然后在其内部充入高于大气压的氨气，当有漏孔时，氨气会漏出并进入显影带，使其变色。具体步骤为：清洁处理——贴显影带——充氨——排氨。
氦质谱检漏仪检测泄漏的6种方法
氦质谱检漏仪检测泄漏的6种⽅法原⽂出⾃：/index.aspx?lanmuid=101&sublanmuid=711&id=1866氦质谱检漏仪（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）是真空检漏领域⾥不可缺少的⼀种技术，设备具有检漏效率⾼、简便易操作、仪器反应灵敏、精度⾼、不易受其他⽓体的⼲扰等特点，该仪器在电阻炉检漏中得到了⼴泛应⽤。
氦质谱检漏仪检漏中最常⽤的两种⽅法是喷枪测试法及吸枪测试法，其实除了这两种⽅法之外，氦质谱检漏仪的检漏⽅法多达6种，且每种测试也各有⾃⼰的优点，今天⼩编就跟⼤家普及⼀下。
氦质谱检漏仪检测泄漏⽅法⼀：喷枪测试法喷枪测试法主要⽤在真空环境下定位泄漏点。
⾸先，检漏仪将检测部件内部的⽓体抽到⼀定的真空度。
然后，探测⽓体通过喷枪喷扫在部件的外表⾯。
通过泄露点进⼊的探测⽓体流量定位泄漏点。
喷枪测试法具有定位泄漏、⾼灵敏度、操作简便、局部或整体测试等特点。
氦质谱检漏仪检测泄漏⽅法⼆：吸枪测试法吸枪测试法是通过正压的⽅法定位泄漏点。
⾸先，向测试部件内充⼊⼀定压⼒的探测⽓体。
然后，吸枪探头对被测部件四周进⾏检测。
如果存在泄漏，检漏仪会探测出外泄的探测⽓体从⽽定位泄漏点。
吸枪测试法具有定位泄漏、⽆需在真空环境下进⾏测试、操作简便等特点。
氦质谱检漏仪检测泄漏⽅法三：真空箱测试法真空箱测试法主要应⽤于⽣产线环境。
测试部件被放置在充满探测⽓体的真空腔体内。
如果发现有泄漏，探测⽓体会从测试部件内逃到真空腔体内，从⽽检测出泄漏点。
真空箱测试法具有⾼灵敏度、⾼产量、便于集成到产线上、易于校准、⾼重复性等特点。
氦质谱检漏仪检测泄漏⽅法四：背压法背压法要求测试部件是已经密封好的，没有⽓体外泄也不能加压。
将测试部件置于真空腔体内，灌⼊探测⽓体并加压。
如果发现有泄漏，由于⽓压关系探测⽓体会进⼊到测试部件内部。
随后将被测部件脱离真空环境。
由于压差关系，原先进⼊到测试部件内的探测⽓体会脱附出来，同时被检漏仪检测出。
真空计的检漏及区分 真空计是如何工作的
真空计的检漏及区分真空计是如何工作的真空计（Vacuum Gauge），又称规，是测量真空度或气压的仪器。
一般是利用不同气压下气体的某种物理效应的变化进行气压的测量。
1、用电离计检漏时，示漏物质应选用电离效果与残余气体有可能大差异者，电离效果包括电离率及电离电位两者的综合结果，一般用氢，氦，二氧化碳等。
2、用热真空计检漏时，示漏物质可用氢，二氧化碳，丙酮。
乙醚。
酒精等。
一般说来，用气体喷吹用液体覆盖为好，由于液体往往会堵塞漏孔，还会污染真空系统或器件，热真空计由于惯性大，反应慢，检漏时巡喷速度不宜过快，并认真察看，认真判别是系统的压强波动，仪器的漂移或是真正存在漏孔。
只有示漏物质离开后，仪器指示恢复原状的，才是真正的漏孔。
热真空计检漏，要在它的测量范围的真空度下，才能有效，即只适用于10—1——10—3托的真空度范围。
它哪呢过检出最小漏孔为1*10—5托升/秒。
电离计的反应热真空计快，但因示漏气体在真空系统中建立充分分压需要较长时间，故巡喷速度亦不能太快。
电离计能检漏的压力范围，大致同于其测量范围，故各种类型电离计各有其检漏的压力范围。
电离计能检的最小可检漏孔约为1*10—6——1*10—7托升/秒。
在真空计检漏中，即使示漏气体对着漏孔喷吹。
或者示漏液体涂于漏孔，实际上都不可避开要夹带有空气进去，即示漏物质并没有彻底取代空气。
带进去的空气一方面冲淡了示漏物质的作用，另一方面还会引起不必要的读数波动，由于混进的空气重量时大时小。
真空计是一种常用的测量仪器，一般是利用不同气压下气体的某种物理效应的变化进行气压的测量，产品被广泛用于多个领域中。
真空计的产品种类浩繁，用户应当如何分类呢？下面我就来实在介绍一下真空计的分类方法，希望可以帮忙到大家。
按真空度刻度方法分类（1）真空计：直接读取气体压力，其压力响应（刻度）可通过自身几何尺寸计算出来或由测力确定。
真空计对全部气体都是精准的且与气体种类无关，属于真空计的有U型镑压力计、压缩式真空计和热辐射真空计等。
真空检漏仪原理
真空检漏仪原理
真空检漏仪原理
真空检漏仪（测漏仪）是指用于检测真空系统中的微小漏气流量的仪器。
它可以测量空气、氧气、氢气、氦气、二氧化碳和其他气体的漏损流量，以及水蒸汽、有机液体和液氨的漏损流量。
真空检漏仪动作原理：
1.将真空泵连接到检漏仪，打开检漏仪的电源开关，打开检漏仪的真空开关，将真空泵的输出头接上检漏仪的输入口；
2.打开检漏仪的保护气源开关，检漏仪内部的真空流路形成气路，聚焦板的放大器启动，促使检漏仪内部的真空流路发生流动；
3.当要测试物体接上检漏仪的接口时，真空流路中的漏气会进入检漏仪，由于聚焦板放大器的作用，漏气会被放大，出现在观察窗上；
4.如果漏气量比较大，在观察窗上会出现明显的漏气气泡，当漏气量小时，就有可能出现漏气气泡的抖动，抖动的程度可以作为检测漏气量的依据；
5.漏气检测完毕后，及时关闭检漏仪的真空开关，并断开真空泵，以免造成对真空设备的损害。
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真空的获得与测量
真空的获得与测量一、实验目的1、学习真空的基础知识，了解常用真空泵、真空规；2、学习使用机械泵对定容容器抽真空，并用真空计测量真空，计算有效抽速；3、学习使用静态升压法来检测真空系统漏率并判断漏气来源。
二、实验原理1、真空的基本概念（1）真空：低于一个大气压的气体状态。
自然真空：气压随海拔高度增加而减小，存在于宇宙空间。
人为真空：用真空泵抽掉容器中的气体。
（2）真空量度单位1标准大气压=760mmHg=760Torr =1.013×105Pa ，1Torr=133.3Pa（3）真空区域的划分目前尚无统一规定，常见的划分为：粗真空 105-103 Pa ；低真空 103-10-1 Pa ；高真空 10-1-10-6 Pa ；超高真空 10-6-10-10 Pa；极高真空 <10-10 Pa 。
2、真空的获得——真空泵（1）原理：如图所示，当泵工作后，形成压差，p1 >p2，实现了抽气。
（2）真空泵的分类气体传输泵是一种能将气体不断地吸入并排出泵外以达到抽气目的的真空泵，例如旋片机械泵、油扩散泵、涡轮分子泵。
气体捕集泵是一种使气体分子短期或永久吸附、凝结在泵内表面的真空泵，例如分子筛吸附泵、钛升华泵、溅射离子泵、低温泵和吸气剂泵。
（3）旋片机械泵旋片泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。
在旋片泵的腔内偏心地安装一个转子，转子外圆与泵腔内表面相切（二者有很小的间隙），转子槽内装有带弹簧的二个旋片。
旋转时，靠离心力和弹簧的张力使旋片顶端与泵腔的内壁保持接触，转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动。
工作原理：吸气—压缩—排气，定子浸在油中起润滑，密封和堵塞缝隙的作用。
主要参量：抽速和极限压强。
由于极限压强较高，常用做前级泵(预抽泵)。
3、真空测量——电阻真空计在热偶真空规中，在作为热丝的Pt丝中通过恒定强度的电流。
在达到热平衡以后，电流提供的加热功率与通过空间热辐射、金属丝热传导以及气体分子热传导而损失的功率相等，因而热丝的温度将随着真空度的不同而呈现有规律的变化。
真空度的测量
3. 高真空系统。采用油扩散泵作为抽真空组件，系统内压 力在1.33×10-2~ 1.33×10-4 Pa 。
标准真空系统
玻璃低真空系统
抽真空系统
化工、制药用真空系统
第三章 真空度的测量
3.1 真空系统及其主要参数 3.2 真空度的测量 3.3 真空测量技术 3.4 真空检漏技术和仪器
3.1 真空系统及其主要参数
一、真空系统
是一个体系，由真空室、获得真空的组件、测量真空组件、 控制真空组件及辅助零件所构成。真空系统主要有3种：
1. 低真空系统。这种真空系统通常采用机械真空泵作为获 得真空组件，要求系统内的压力在1.33×103~1.33Pa。
➢ 正确的压力测量必须对真空计进行校准。因为多 数真空计是通过与压力有关的物理量来间接反应 压力，而不能直接通过真空计有关参数计算求得 压力值。这种真空计必须用标准真空计或能产生 已知低压的校准装置进行校准。可以说，真空计 校准是真空测量的基础，是发展真空测量的有力 工具。
➢ 目前一般采用不同类型的真空规测量不同压力 区间的气体压力。
高频电火花真空测定仪
复合真空计
➢ 真空测量包括全压力测量、分压力测量和真空计 校准三个部分。
➢ 真空计种类繁多，工作原理各异，除极少数几种 是直接测量压力外，其它几乎都是间接测量压力 的。
➢ 被测量气体除少数情况外，多为混合气体。传统 压力测量一般指混合气体全压力测量。在近代真 空测量技术中，分压力测量越来越重要。分压力 测量是指全面地测出混合气体各组成成分的分压 力，这样，混合气体的全压力就等于其各组成成 分的分压力之和。
真空技术真空系统漏率测试
真空技术真空系统漏率测试1 范围本标准规定了利用氦质谱法和升压法对真空系统的漏率进行测试的测试原理、仪器与设备、测试条件、测试程序、漏率测试中断处理、测试记录与测试报告。
本标准适用于真空系统（以下简称被检件）的漏率测试。
2 测试原理2.1 氦质谱法真空系统漏率测试原理喷枪或氦罩中的示漏氦气通过漏孔进入被检件内，并被引入检漏仪，引起检漏仪输出指示的变化，将该变化值与安装在被检件上的标准漏孔在检漏仪上引起的输出指示变化值进行比较，确定真空系统被检件的漏率。
2.2 静态升压法真空系统漏率测试原理当被检件容积不变且已知时，在静态条件下，测量在一定时间内被检件容积中压力升高值，然后通过计算得到被检件的漏率。
3 仪器与设备3.1 检漏仪和检漏系统检漏仪的最小可检漏率，应满足被检件漏率测试要求。
检漏系统的有效最小可检漏率应不大于被检件允许漏率的1/10。
3.2 标准漏孔标准漏孔要求如下：a)应选用真空标准漏孔，其标定值应与被检件允许漏率接近；b)在校准或检定有效期内使用；c)根据漏率测试方法不同，选用不同类型的真空标准漏孔。
3.3 真空计真空计要求如下：a)真空计的量程应能满足被检件的压力测量范围；b)真空计应在检定或校准有效期内使用。
3.4 氦罩氦罩应选用对氦渗透系数小的材料制作。
3.5 累积阀累积阀要求如下：a)能快速开启和关闭；b)关闭后的内漏率不应大于1×10-10 Pa·m3/s。
3.6 测试阀对静态升压法中使用的测试阀的要求如下：a)能快速关闭；b)能耐高温烘烤，降低阀门的出气速率；c)关闭后的内漏率不应大于1×10-10 Pa·m3/s。
4 测试条件4.1 测试场地的环境要求测试场地的环境要求如下：a)环境温度：30℃～16℃；b)相对湿度：<80%；c)无强磁场干扰、无剧烈振动、无腐蚀性气体；d)环境通风良好。
4.2 氦气测试使用的氦气应满足GB/T 4844-2011中合格品的要求。
真空检漏基本知识
③ 结构简单、操作维修方便，成本低 由于上述要求有些是相互矛盾的，若想采用一种方法都能满足是不合实际 的。所以只要根据具体情况能够满足其主要要求的检漏方法就是较为适宜的。实 践证明，检漏人员的素质、工作经验也是选择检漏方法的重要依据之一。
2．对检漏人员的要求
① 具有高度的责任心和认真的工作态度； ② 具有丰富的检漏实践经验； ③ 具有一定的机械结构、物理、化学、材料及焊接等方面的知识； ④ 了解被检件结构及其运行工艺，熟悉所用检漏方法或仪器原理及性能； ⑤ 掌握所用示漏物质的检漏特性。 例如，氦气轻，采用喷吹法检漏时，应遵守从上至下和从近至远的原则(即 先从被检件上部顺序至下部和从靠近检漏仪顺序至远离的部位)；采用吸枪法检 漏时，应遵守从下至上和从近至远的原则。但是，卤素气体重，除遵守从近至远 的原则外，在喷吹法和吸枪法中，应分别遵守从下至上和从上至下的原则。 检漏人员满足上述要求，就能解释和解决检漏工作中出现的形形色色的现 象，较好地完成判别漏气、找出漏孔及测定漏率的检漏任务。
2． 漏孔、漏率及其单位
真空技术中所指的漏孔，由于尺寸微小、形状复杂、形式多样，无法用几何 尺寸表示其大小。所以一般用等效流导或漏气速率(简称为漏率)表示漏孔的大 小。
用漏率表示漏孔大小时，如果不加特殊说明，则是指在漏孔入口压力为 1.01× 105Pa，出口压力低于 1.33× 103Pa，温度为 296 士 3K 的标准条件下，单 位时间内流过漏孔的露点温度低于 248K 的空气的气体量。
第二部分 检漏技术
1．检漏方法的选择
比较理想的检漏方法应满足下列要求： ① 合适的检漏灵敏度
在具体的检漏条件下，所选择方法的检漏灵敏度，通常高于最大容许漏 率 1～2 个数量级。 ② 反应时间和清除时间短 ③ 不仅能找出漏孔的位臵，而且还能测定漏率 找出漏孔位臵的方法有喷吹法和吸枪法。 喷吹法适用于可抽空的被检件。高频火花检漏器法、真空计法、固定式 卤素仪法和氦质谱仪法归于喷吹法。 吸枪法适用于不允许抽空、放气量大、复杂管道等被检件。气泡法、荧 光法，氨检漏法及吸枪式检漏仪法可归于吸枪法。 测定漏率的方法是测量示漏物质的漏率变化或浓度变化量。根据条件可采 用适当的方法。 ④ 品质优良的示漏物质 示漏物质具有在空气中含量少，灵敏度高，不腐蚀、不污染被检件、抽 气系统及检漏仪表，无毒、阻燃和防爆。 ⑤ 稳定性好、检漏范围宽
真空知识及漏率及检漏培训(CSG)
真空表对我们检漏的提示
1.镀膜线隔舱上的IG表的提示。 2.管道上PG表的提示。 3.旋转阴极PG表的提示。 （外漏、内漏） 4.中缝PG表的提示。 （外漏、内漏）
检漏实操过程的注意。 2.检漏点隔离原则。 3.检漏次序： 采用喷吹法检漏时, 应遵守从上至下和从近至远 的原则。 4.确定漏点的耐心。（可重复性） 5.注意避免氦气的累积。 6.检漏时镀膜线最好处于工作状态。 旋转开、传动开、加热开。
换靶后镀膜线的检漏部步骤
结束语
谢谢大家！
主讲人：南玻集团 HQ
真空泵的用途分类
•根据真空泵的性能，在各种应用的真空系统中它可承担如下一些工 作 •主泵----在真空系统中，用来获得所要求的真空度的泵。 •粗抽泵----从大气压开始，降低系统的压强达到另一抽气系统开始工 作的真空泵。 •前级泵----用以使另一个泵的前级压强维持在其最高许可的前级压强 以下的真空泵。前级泵也可以做粗抽泵使用 •维持泵----在真空系统中，当抽气量很小时，不能有效的利用主要前 级泵，为此，在真空系统中配置一种容量较小的辅助前级泵维持主泵 正常工作或维持已抽空的容器所需之低压的真空泵。 •增压泵---装于高真空泵和低真空泵之间，用来提高抽气系统在中间 压强范围的抽气量或降低前级泵的容量要求的真空泵。
真空泵的抽气范围
关于真空泵的问题
1.有真空泵可以从大气一直抽到超高真空的 吗？ 2.罗茨泵可以单独使用吗？ 3.分子泵可以单独使用吗？ 4.低温泵的“再生”是什么？
真空管道负压测试漏点方法
真空管道负压测试漏点方法
真空管道负压测试漏点方法主要包括以下步骤：
1. 封闭待测管道系统，一端与氦气测漏仪连接。
2. 按照氦气测漏仪的使用方法操作，使待测管道系统抽气至目标测试真空度。
3. 向管道系统由上而下对欲测点喷氦气，观察测漏仪的反应（指针指示或警报）。
若某一处显示泄漏，为了再次确认，可用真空封土糊于其上再重复测试。
此外，需要注意的是，在制造负压时应注意负压的大小，不要过大或过小，以免影响检测结果。
以上信息仅供参考，如需获取更多详细信息，建议咨询专业工程师。
常用的几种检漏方法解析
在电工和电子工业中，根据不同产品对密封的要求多采用喷吹法，吸入法和加压法等检漏方法。
1、喷吹法检漏喷吹法检漏是将被检件接到检漏仪的检测口，用喷枪连续向可疑的漏孔喷射示踪气体，示踪气体通过漏孔进入检漏仪并被检测。
电子器件的外壳、高压开关管、氧化锌、避雷器等都应采用这种方法检漏。
根据产品的不同，需要选择不同尺寸的夹具或辅助工具如管壳的检漏。
检漏仪正常工作后，用标准漏孔进行漏率校准，就可以对管壳作喷吹检漏，先将夹具固定在检漏口，待测管壳放在夹具上面的橡皮板上，辅助抽气系统将其抽至预定真空后自动接至仪器的测量系统。
然后用喷枪连续向管壳喷氦气，时间一般1～3秒，当管壳存在漏孔时，氦气将通过漏孔进入仪器的质谱分析部分，漏量大小在漏率表上直接显示出来，这种方法即能判断漏孔的位置也可测量漏孔的大小。
整个检测周期只需一分钟。
2、吸入法检漏吸入法检漏与喷吹法检漏相反，吸枪接在检漏仪的检测口，而被检件充入规定压力的示踪气体，漏孔泄漏出来氦气被吸枪吸入检漏仪被检测。
大型容器或内部放气管量很大的容器做喷枪检漏很不经济，而且检漏速度慢，一般采取吸枪检漏。
目前，电子表行业中大型容器的检漏尚无成熟的方法和标准。
比如高压电容这样大的容器，质量控制的关键靠焊接技术，气密性的监督手段采用气泡检漏，因此废品率控制在千分之几。
检漏之前，必须校准仪器的吸枪灵敏度，再向容器内充入比一个大气压高的氦气，有些容器是薄板结构，建议在容器外面做夹具防止高压时变形损坏器件。
吸枪沿焊缝移动时速度不要太快，离开表面1mm左右，以保证吸入灵敏度，将探头做成喇叭口形效果更好。
目前，对这种大型电工器件检漏结果表明，它们的漏率一般在10-6～10-7Pa.m3/S范围内。
我们相信，随着氦质谱检漏仪在这个领域广泛和深入地使用，很快将建立起本行业的检漏标准和方法。
3、背压法检漏背压法检漏是将压有一定压力的示踪气体的被检件放入检漏夹具中，然后连至检漏仪将其抽空，示踪气体通过漏孔泄漏出来，经检漏仪检测总泄漏量。
泄漏检测技术【范本模板】
无损检测课程报告——泄漏检测技术一、概述泄漏检测技术（Leak Testing，L T）主要用于真空容器，压力容器或储液容器等探测，例如漏孔、裂纹等穿壁缺陷以及气密缺陷，以防止发生泄漏而酿成事故，避免能源、资源的损失以及污染环境等.泄漏检测俗称“检漏”。
它主要是用于发现漏孔类缺陷，即指封闭壳体壁在压力作用下或者壁的两侧存在浓度差时，气体或液体通过它能够由一侧到达另一侧的孔洞或缝隙—-称为穿壁缺陷。
泄漏检测的基本原理是利用示漏介质（气体或液体）来判断有无穿壁缺陷(漏孔）存在，并根据示漏介质的漏率（压强差和温度一定时，单位时间内通过漏孔的示漏介质的数量），可以测定漏孔的大小。
检漏的任务就是在制造、安装、调试过程中，判断漏与不漏、泄漏率的大小,找出漏孔的位置；在运转使用过程中监视系统可能发生的泄漏及其变化。
泄漏是绝对的,不漏则是相对的。
对于真空系统来说，只要系统内的压力在一定的时间间隔内能维持在所允许的真空度以下，这时即使存在漏孔，也可以认为系统是不漏的；对于压力系统来说，只要系统的压力降能维持在所允许的值以下，不会影响系统的正常操作，同样也可以认为系统是不漏的.对于密封有毒的、易燃易爆的、对环境有污染的、贵重的介质，则要求系统的泄漏率必须小于环保、安全以及经济性决定的最大允许泄漏率指标。
二、检漏方法的选择和分类1、检漏方法的选择泄漏检测方法很多,每种方法的特点不同，检漏前应首先根据检漏要求、检漏环境等选择合适的检漏方法。
选择泄漏检测方法要考虑如下几个方面因素：(1)检漏原理不论采用哪种检漏方法，必须理解它的基本原理。
泄漏检测方法涉及的内容较广，集中反映了各种计量和测试技术。
（2）灵敏度检漏方法的灵敏度可以用该方法可检测到的最小泄漏率来表示。
选择检漏方法时应考虑各种方法的灵敏度，即采用哪种方法可以检测出哪一级的泄漏。
（3）响应时间不论采用什么方法，要检测出泄漏率，总要花费一定的时间.响应时间的长短可能会影响检漏的精度和灵敏度.响应时间包括检测仪器本身的应答时间，气体流动的滞后时间和各种准备所需的时间.选择检漏方法时，必须考虑到这一点。
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真空测量与检漏主讲人：刘玉岱 东北大学 真空测量与检漏东北大学首期《真空技术》培训班系列教程之三真空测量与检漏1 真空测量概述2 全压力测量3 分压力测量4 真空计校准I 真空测量II 检漏5 检漏概述6 检漏方法7 检漏仪 真空测量与检漏I 真空测量1 真空测量概述 1.1 什么是真空测量 1.2 真空度的表征及单位1.3 真空计分类 1.4 真空计测量范围 1.5真空测量特点 1.6 选择真空计原则真空测量与检漏1.1 什么是真空测量真空测量就是真空度的测量，而真空度是指低于大气压力的气体稀薄程度。
真空度是用压力来表示的。
真空测量包括全压力测量、分压力测量和真空计校准。
真空计是指探测低压空间稀薄气体压力所用的仪器。
大气压力为101325Pa 。
直接测量压力是比较少的。
测量真空度的办法通常是在气体中造成一定的物理现象，然后测量这个过程中与气体压力有关的某些物理量，再设法间接确定出真实压力来。
被测量气体多为混合气体，上述压力测量是指混合气体全压力测量，等于其各组成成分的分压力之和。
真空测量与检漏现代分压力真空计都属于电离类。
有时只需知晓被测系统残余气体成分和相对含量，并不要求测出分压力值，所用仪器为残余气体分析仪。
正确的压力测量必须用标准真空计或能产生已知低压的校准装置对真空计进行校准。
真空计量器具分三类：计量基准器具、计量标准器具和工作计量器具。
前两类用于复现和传递真空度量值，统一全国真空度量值；后一类是在现场应用。
真空测量与检漏1.2 真空度的表征及单位一般用压力来表示真空度。
根据真空度定义，真空度最好用分子密度n 表示，而以压力表示真空度与此并不矛盾。
气体处于平衡态并满足麦克斯威速度分布定律，即p ＝nkT 成立。
当温度T 一定时，所以气体压力p 正比于分子密度n ，也就是说，压力是分子密度的量度。
还可以用如下参数表示真空度：粒子密度n 、分 子平均自由程λ、碰撞次数z 、覆盖时间τ。
单位：1Pa ＝ 1Nm -2真空度百分数：当压力p >102 Pa 时，δ＝（p 0－p ）/p 0×100％ 式中p —— 标准大气压力，Pa 。
真空测量与检漏1.3 真空计分类按刻度方法分类：绝对真空计：直接读取气体压力，其压力响应（刻 度）可通过自身几何尺寸计算出来或 由测力确定。
与气体种类无关。
相对真空计：由一些与气体压力有函数关系的量来 确定压力，不能通过简单的计算进行 刻度，必须进行校准才能刻度。
一般 由作为传感器的真空计规管（或规头） 和用于控制、指示的测量器组成。
读 数与气体种类有关。
真空测量与检漏按真空计测量原理分类： 静态液位真空计直接测量真空计 弹性元件真空计 压缩式真空计 热传导真空计 热辐射真空计 间接测量真空计 电离真空计 放电管指示器 粘滞真空计 场致显微仪分压力真空计 真空测量与检漏1.4 真空计测量范围近代真空技术所涉及到的压力范围宽达19个数量级（105～10-14 Pa）。
一些真空计的压力测量范围真空测量与检漏1.5 真空测量特点♦测量压力范围宽，105～10－14 Pa 。
♦大部分真空计是间接测量。
♦多采用非电量电测技术。
♦读数与气体种类和成分有关。
♦测量精度不高。
真空测量与检漏1.6 选择真空计原则♦精度。
♦真空计和被测气体相互影响。
♦能测全压力吗？ ♦连续指示、电气指示、反应时间。
♦稳定性、复现性、可靠性和寿命。
♦安装、操作、保修、管理。
真空测量与检漏2 全压力测量 2.1 U 型管真空计 2.2 弹性元件真空计 2.3压缩式真空计 2.4 热传导真空计 2.5 热阴极电离真空计2.6 冷阴极电离真空计2.7 电容式薄膜真空计2.8 放射性电离真空计2.9 磁悬浮转子真空计 真空测量与检漏2.1 U 型管真空计测量范围为105～10Pa ，绝对真空计A.开式U 型管真空计p = p 0－ρgh 式中 p —— 待测压力 p 0 —— 环境大气压力 h —— 两液面高度差 ρ—— 工作液密度 g —— 重力加速度真空测量与检漏B.闭式U 型管真空计p = ρgh式中 p —— 待测压力h —— 两液面高度差 ρ—— 工作液密度 g —— 重力加速度真空测量与检漏2.2 弹性元件真空计利用弹性元件在压差作用下产生弹性变形的原理制成，一般用于粗真空（102～105Pa）的测量。
真空测量与检漏弹性元件真空表的特点♦测量结果是全压力。
♦测量过程中，仪表的吸气和放气很小。
♦测量精度较高。
♦反应速度较快。
♦结构牢固。
♦是绝对真空计，0.5级以上的表可作为标准表。
真空测量与检漏2.3 压缩式真空计U 型管真空计的重大改进，依据理想气体的波义耳定律p ＝πd 2ρgh 1（h 1－h 2）/(4V )式中 d 为测量毛细管的内径。
V 和d 为真空计的已知数据，则： p＝Kh 1（h 1－h 2） K ＝πd 2ρg /(4V ) = 1.05×105 · d 2/V 式中 p —— 待测压力，Pa h 1、h 2 —— 液面差，m K —— 真空计常数，Pam －2 V —— 玻璃泡和测量毛细管总容真空测量与检漏三种刻度方法♦无定标刻度法♦平方刻度法h 2＝0 则 p ＝Kh 2 ♦直线刻度法 h 1＝常数 则 p ＝ K·h 1h ＝ K line h 式中 K line 为直线刻度真 空计常数，Pam －1真空测量与检漏压缩真空计的特点♦刻度与气体种类无关（对永久气体）。
♦测量范围较宽、精度较高：工作计为102～10-3Pa ，一般相对误差在10×10-2。
♦不能连续测量。
♦水银蒸气对人体有害。
真空测量与检漏2.4 热传导真空计 根据低压力下（λ>>d ），气体分子热传导与压力有关的原理制成。
规管中的热丝热量散失 Q=Q L +Q r ＋Q g 令 K 1=Q L +Q r K 2p ＝Q g 有Q ＝ K 1+K 2p 当K 1<<K 2p 时，即Q L +Q r <<Q g 时，Q 只与压力p 有关，热丝温度T 1是压力p 的函数，即T ＝f （p ）。
真空测量与检漏热丝温度的测量方法♦利用热丝随温度变化的线膨胀性质。
♦利用热电偶直接测量热丝的温度变化。
♦利用热丝电阻随温度变化的性质。
不同气体分子的导热系数不同的影响： 实际压力：p real ＝ S r p read式中 p read —— 以干燥空气（或氮气）刻度的压力计读数，Pa p real —— 被测气体的实际压力，Pa S r —— 被测气体对空气的相对灵敏度真空测量与检漏2.5 热阴极电离真空计热阴极电离真空计由测量规管和电气测量电路组成。
规管结构包括：灯丝F (阴极)、阳极A (电子加速极)、离子收集极C 。
离子流I i 与压力p 可用下式表示：I i ＝ KI e p式中 I e —— 发射电子流K —— 规管系数，单位为Pa -1真空测量与检漏按压力范围的不同，热阴极电离真空计分三类 ♦普通型电离真空计（1×10-1～10-5 Pa ） ♦超高真空电离真空计（ 1×10-1～10-8 Pa ，有的下限为10-10 Pa ） ♦高压力电离真空计（ 1×102～10-3 Pa ）真空测量与检漏电离规管系数K与气体种类有关，引入相对灵敏度S r概念，S r＝K/K N2p real＝p read/S r真空测量与检漏用改变规管电极结构及各电极的电参数，用抗氧化材料制做阴极（如铱丝涂氧化钇），可提高线测量上限。
制成高压力电离真空计，压力测量上限pmax 可达100Pa以上，如DL-5规、DL-8规。
真空测量与检漏p= 10-4~102Pa阳极受电子轰击产生X 射线，离子收集极接受后产生光电子发射，形成本底电流I x 。
减少I x 以降低测量下限p min 的措施：♦减少离子收集极被软X 射线照射的面积，如B －A 型电离计。
♦在离子收集极附近，安置负电位的抑制极，如抑制电离规。
♦收集极电流中扣除本底光电流，如调制电离规。
♦I x 对应的p x 与K 成正比，提高K 能够降低p min ，如弹道规和热阴极磁控管电离规。
真空测量与检漏真空测量与检漏p min =10-10 Pa p min =10-11Pa 真空测量与检漏p min =10-10 Pa p min =10-11 Pa p min =10-11Pa 真空测量与检漏2.6 冷阴极电离真空计相对真空计，由规管和测量电路组成。
靠冷发射少量初始自由电子。
I＝Kp n式中I ——放电电流K——常数n——常数，一般在1～2，与规管结构有关真空测量与检漏特点：♦测量范围1～10-5 Pa。
♦没有与压力无关的本底光电流。
♦限制其下限延伸是其场致发射。
♦测量误差较大。
真空测量与检漏p min=10-11 Pa普通型冷阴极电离真空计的改进：磁控管式和倒置磁控管式规。
2.7 电容式薄膜真空计根据弹性薄膜在压差下产生应变而引起电容变化的原理制成，由电容式薄膜规管（又称为电容式压力传感器）和测量仪器组成。
仪器结构有偏位法和零位法。
零位法具有较高的测量精度。
目前在计量部门作为低真空副标准真空计的就是采用零位法结构。
双电容式薄膜真空计测量下限可达10-3 Pa 。
真空测量与检漏单侧双电容薄膜真空计灵敏度高、气体的介电常数不变、读数不受气体成分影响、反应速度快。
规管参考室内加置消气剂并抽至≤10-5 Pa ，就可测量≥10-3 Pa 的绝对压力。
真空测量与检漏真空测量与检漏2.8 放射性电离真空计放射性同位素辐射α粒子或β粒子对气体分子的电离作用制成的真空计。
I i ＝Sp式中 I i —— 离子流 p —— 被测压力S —— 规管灵敏度测量范围0.1～104Pa ，读数与气体种类有关。
真空测量与检漏2.9 磁悬浮转子真空计磁悬浮转子转速的衰减与其周围气体分子的外摩擦有关。
气体分子摩擦的积分作用引起钢球自转速度衰减，其速度衰减与气体压力p 有着严格的对应关系。
该真空计量程宽（10-1～10-5 Pa ），用它作互校传递标准时，积累误差小，可靠性重复性好。
真空测量与检漏3 分压力测量 3.1 分压力测量概述3.2 四极滤质器 3.3 射频质谱计 3.4 识谱技术 真空测量与检漏3.1 分压力测量概述电离真空计是以空气或氮气校准的，所测得的压力值为与混合气体离子流总和相对应的等效空气压力或等效氮压力。
电离真空计对不同气体的相对灵敏度相差很大，因此，电离真空计对混合气体测得的等效氮压力不是混合气体的真实压力。
分压力真空计是专用的小型质谱仪器——真空质谱计。
精度不够高，未能进行定量测定，称为残余气体分析器。