SiO2层上沉积的纳米多晶硅薄膜及其特性
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SiO2层上沉积的纳米多晶硅薄膜及其特性
作者：赵晓锋， 温殿忠， 王天琦， 丁玉洁， ZHAO Xiao-feng， WEN Dian-zhong， WANG Tian-qi， DING Yu-jie
作者单位：赵晓锋,温殿忠,王天琦,ZHAO Xiao-feng,WEN Dian-zhong,WANG Tian-qi(黑龙江大学黑龙江省普通高等学校电子工程重点实验室,哈尔滨,150080;黑龙江大学集成电路重点实验室,哈尔
滨150080)， 丁玉洁,DING Yu-jie(黑龙江大学集成电路重点实验室,哈尔滨,150080)
刊名：
纳米技术与精密工程
英文刊名：NANOTECHNOLOGY AND PRECISION ENGINEERING
年，卷(期)：2011,09(3)
本文链接：/Periodical_nmjsyjmgc201103014.aspx