制绒设备基本原理培训
rena清洗制绒设备培训
Button bar / 按钮栏
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Operation modes of the machine / 机器的操作模式 1.Mode Off / Off 模式 The background color of the status display is blue. The module is switched off and no outputs are switched on./该模式下状态的背景颜色是蓝 色，所有模块是关闭的，没有任何输出。 2. Mode Manual / 手动模式 The background color of the status display is yellow. The module is in the manual mode. /该模式下状态的背景颜色是黄色，模块处 于手动模式。 3.Mode Service / 维护模式 The background color of the status display is red. The module is in the service mode. /该模式下状态的背景颜色是红色，模块处 于维护模式。 4.Mode Auto / 自动模式 The background color of the status display is green . The module is in the automatic operation mode. /该模式下状态的背景颜色是绿色，模块处于自 动模式。
10.18制绒培训
NaOH浓度
制绒的根本 反应温度 NaSiO3浓度 IPA浓度
反应控制过程
提高溶液浓稠度， 控制反应速度 提高反应物疏运 速度，提高氢气 泡脱附作用
氢气泡密度及大小 以及在硅片表面停 留的时间
过程控制
搅拌或 鼓泡
决定金字塔形貌
硅片表面原始状态，如：表面平整度、有 无油污、划伤及硅片厚度等
5.1.7 温度对金字塔的影响
78℃
加快。
83℃
88℃
• 在同样的NaOH浓度下，当温度升高时，反应速度明显
南安市三晶阳光电力有限公司
5.2 多晶制绒影响因素分析
• 多晶制绒反应的发生点为表面的缺陷点，如果过分完整
的表面反而无法制绒——水至清则无鱼。但是反过来， 制绒的情况也受表面状态影响很大，不容易控制。 • 酸性溶剂有除油效果，因此多晶硅表面的制绒对于前期 硅片表面沾污不是很敏感。 • 酸性溶剂在表面如遇空气，很容易干躁形成氧化层的着 色现象，一旦着色很难再行清除。多晶硅在酸洗之后还 未经清水漂洗之前出水不应长于12秒。因此，最好使用 在线式连续清洗。 • 酸性溶剂的浓度和温度对于腐蚀速度的控制具有决定意 义，应严格控制。
8.4 关机注意事项
8.4.1 由自动变为手动的时候，一定要注意机械臂运行情 况，是否在操作，必须要自动运行状态改为待机后再由 待机改为手动状态，并且机械臂上没有花篮才可以关机； 8.4.2 关机前要求所有的槽体都用水枪清洗一遍； 8.4.3 关机后也要注意将加药的天平、称片天平和显微镜 的电源关闭。
制绒工艺培训
第二步: 第二步
二氧化硅生成以后，很快与氢氟酸反应 二氧化硅生成以后， SiO2+4HF=SiF4+2H2O;(四氟化硅是气体) SiO2+4HF=SiF4+2H2O;(四氟化硅是气体) SiF4+2HF=H2SiF6。 SiF4+2HF=H2SiF6。 总反应: 总反应: SiO2+6HF=H2SiF6+2H2O 最终腐蚀掉的硅以氟硅酸的形式进入溶液。 最终腐蚀掉的硅以氟硅酸的形式进入溶液。
工程师： 工程师： 关注当天的效率、碎片率、良品率等参数，对于出现的外观不良或是效率低下等异常，及时 联系其余工序的工程师进行排查。 对于日常工作中，根据需要，与其他职能部门（如设备、生产等部门）进行沟通，共同寻找 解决问题的方案。 对于助理工程师汇报的异常情况，视情况到场解决或是电话给出解决方案，若不能解决的， 及时通知工艺主管。 负责制绒化学品选用以及使用情况（控制的合理的单耗），选择工艺方案（最低的反射率， 换液周期）及工艺控制参数（减薄量、腐蚀深度），设备的维护周期，上报工程师。 定期进行优化实验或是腐蚀量异常时安排排查实验，根据实验结果提出改进措施。 负责编写制绒工段的工艺文件、作业指导书，并组织相关人员进行学习。 完成安排的其他工作。
四、工艺常见问题以及解决方法
4.1、腐蚀深度：工艺控制在4.2±0.2μm
检测仪器：电子称 通过测量制绒前后片子减薄量，可以计算出腐蚀深度 ，根据具体测量情况可以改变工艺参数:
设备培训计划及方案
设备培训计划及方案
设备培训计划及方案
时光在流逝，从不停歇，我们的工作又将迎来新的进步，现在就让我们好好地规划一下吧。计划怎么写才不会流于形式呢？以下是我整理的设备培训计划及方案，欢迎大家借鉴与参考，希望对大家有所帮助。
设备培训计划及方案1
1、培训目的
为了使本项目所涉及现场维护人员能全面地了解设备，增强维护和使用设备的技能，我们除了向用户提供整个设备的技术说明、操作说明和相关的文档之外，还将负责组织对现场设备管理维护人员进行全面高质量的培训。
培训的目的主要是使管理和使用设备的人员不仅对设备有足够的认识，而且能完全胜任所承担的工作，确保设备安全可靠地运行。培训内容主要包括转鼓式格栅除污机设备结构、工作原理、控制工艺等理论培训及设备操作规程、现场操作、设备的`维护保养工作、设备安装调试、设备运行参数调整、设备故障排除、事故应急措施等内容。
2、培训对象
现场设备管理维护人员
设备管理维护人员是指对项目中的设备进行管理和维护的人员。这部分人员经过培训，主要能达到以下目标：
了解设备结构、运行工作原理、设备控制工艺等内容；
掌握设备操作规程、设备维护保养方法设备运行参数调整等；
掌握设备一般性故障的诊断、定位和排除方法；
指导一般操作人员的现场工作等。
3、培训形式
为了使培训达到最佳效果，使用户获得尽可能多的知识和经验，我们将采用多种途径对用户进行培训：
现场授课：由专业的售后服务人员，在现场对用户进行培训。通常由设备的操作说明书作为资料支持，现场设备操作为辅助。
现场指导：在项目执行过程中，我们的工程时在实际操作中，会详细讲解操作步骤，指导客户操作，并解答客户的问题。
制绒原理及相应问题的解决资料
根据制绒方法和原理的不同，制绒可 分为机械制绒、化学制绒和电化学制 绒等。
制绒技术发展历程
初级阶段
成熟阶段
早期的制绒技术主要采用简单的机械 方法，如研磨、抛光等，以改善物体 表面的粗糙度。
近年来，随着纳米技术和智能制造技 术的快速发展，制绒技术不断向着更 高精度、更高效率的方向发展。
发展阶段
纤维束过松
纤维束过松可能是由于原料质量差、处理工艺不当或设备调试不准确等原因引起 的。过松的纤维束会使制品结构松散，强度降低，耐磨性差，严重影响产品质量 。
润湿剂选择不当导致效果不佳
润湿剂种类选择不当
不同原料和工艺需要选择不同类型的润湿剂。选择不当可能导致润湿效果不佳，使得纤维束难以充分润湿，进而 影响制绒效果和产品质量。
随着科技的进步，化学制绒和电化学 制绒等新技术逐渐出现并得到广泛应 用，制绒效率和质量得到显著提高。
制绒技术应用领域
纺织领域
在纺织品加工过程中，利用制绒技术 可以改善织物表面的手感和外观，提 高织物的附加值。
01
02
皮革领域
制绒技术可用于皮革表面的处理，提 高皮革的柔软度、透气性和耐磨性。
03
造纸领域
化学反应
机械力作用下，纤维表面可能发生化学反应，如氧化、还原 等，从而改变纤维表面的化学组成和性质，进一步影响制绒 效果。
单晶制绒工艺培训
单晶制绒工艺培训
一、单晶制绒工艺概述
单晶制绒是一种特殊的面料处理工艺，它通过将细密的绒毛布料置于高温条件下，使得布料表面的绒毛呈现出一种晶莹剔透的效果。单晶制绒面料具有柔软、透亮、富有弹性的特点，因此在服装、家居用品和汽车内饰中得到广泛应用。单晶制绒工艺的关键在于控制温度和时间，以及对化学品的使用和织造技术的熟练掌握。
二、单晶制绒工艺培训内容
1. 基础知识学习
单晶制绒工艺培训的第一步是学习基础知识。这包括单晶制绒的原理、工艺流程、设备使用、危险品处理等方面的内容。学员需要掌握单晶制绒工艺的基本原理和步骤，了解设备的使用和维护方法，同时还需要了解危险品的处理和安全防护知识。
2. 设备操作培训
单晶制绒工艺的设备操作对于学员来说是至关重要的。培训学员需要熟悉单晶制绒设备的操作方法，掌握设备的运转原理和操作流程，熟练掌握设备的日常使用和维护。此外，还需要学习如何解决设备故障和应对突发情况。
3. 工艺技术培训
单晶制绒工艺技术对于学员来说是培训的重点。学员需要学习如何控制温度和时间，以及使用化学品的方法和注意事项。同
时，还需要掌握单晶制绒的织造技术，包括面料的选材、织造工艺和后处理工艺等方面的知识。
4. 实操实训
除了理论学习和设备操作外，学员还需要进行实操实训。这需要在专业的工厂或实验室中进行，学员需要按照实际工艺流程进行练习，并在老师的指导下逐步提高自己的实际操作水平。
5. 安全知识培训
单晶制绒工艺是一种高温高压的工艺，因此安全问题也是培训的重点。学员需要学习化学品的危害性及其使用方法，熟悉急救知识和安全防护措施，以确保自己和他人的安全。
光伏制绒知识总结
目录
第一章清洗各步骤原理 (1)
1.1超声波清洗 (1)
1.1.1 超声波清洗的原理 (1)
1.1.3 影响超声清洗效果的因素 (2)
1.2制绒工艺 (2)
1.2.1 硅片表面机械损伤层的腐蚀 (3)
1.2.2 制绒腐蚀的原理 (3)
1.2.3 角锥体形成的原理 (4)
1.2.4 陷光原理 (8)
1.2.5 制绒的因素分析 (9)
1.2.6 化学清洗原理 (12)
第二章清洗设备及操作 (13)
2.1超声清洗槽分布列表 (13)
2.2制绒槽的分布列表及添加液 (13)
2.3NAOH添加量与硅片厚度的关系 (17)
第三章清洗出现的问题 (17)
第一章清洗各步骤原理
1.1 超声波清洗
1.1.1超声波清洗的原理
超声波清洗机理是：换能器将功率超声频源的声能转换成机械振动并通过清洗槽壁向槽子中的清洗液辐射超声波，槽内液体中的微气泡在声波的作用下振动，当声压或声强达到一定值时，气泡迅速增长，然后突然闭合，在气泡闭合的瞬间产生冲击波使气泡周围产生1012-1013pa的压力及局部调温，这种超声波空化所产生的巨大压力能破坏不溶性污物而使他们分化于溶液中，蒸汽型空化对污垢的直接反复冲击，一方面破坏污物与清洗件表面的吸附，另一方面能引起污物层的疲劳破坏而被驳离，气体型气泡的振动对固体表面进行擦洗，污层一旦有缝可钻，气泡立即“钻入”振动使污层脱落，由于空化作用，两种液体在界面迅速分散而乳化，当固体粒子被油污裹着而粘附在清洗件表面时，油被乳化、固体粒子自行脱落，超声在清洗液中传播时会产生正负交变的声压，形成射流，冲击清洗件，同时由于非线性效应会产生声流和微声流，而超声空化在固体和液体界面会产生高速的微射流，所有这些作用，能够破坏污物，除去或削弱边界污层，增加搅拌、扩散作用，加速可溶性污物的溶解，强化化学清洗剂的清洗作用。由此可见，凡是液体能浸到且声场存在的地方都有清洗作用，尤其是采用这一技术后，可减少化学溶剂的用量，从而大大降低环境污染。
SCHMID制绒培训讲义
每一个独立的设备都要遵守安全标准和规则。 这个设备按照描述和示意的文件它是安全的。从 各个单元零件和设备仍然会导致危险，因此我们 特别提示在危险区域使用者，应当被告之使用的 文件，尤其使用者必须被授权（有资格）。使用 者对设备操作系统、安全系统和事故预防系统的 规则清楚，并且在此设备上培训。必须阅读掌握 安全警示说明进行确认签字。要很明确指定相关 人员的责任进行操作，例如操作、安装、服务必 须有专人负责。 • 除了相关操作使用说明以外还有以些补充说 明，例如工作组织机构、工作程序、工作人员 （包括必要的管理人员）！要定期仔细检查这台 设备操作人员。采取必要措施保证设备完全安全 的情况下使用！ •
2
由此可见有绒面的受光面积比光 面提高了倍即1.732 1.732倍 面提高了倍即1.732倍。
7
硅片表面绒面反射率： 硅片表面绒面反射率：
当一束强度为E0的光投射到图中的A 当一束强度为E0的光投射到图中的A点，产生反射光Φ1和进入 E0的光投射到图中的 产生反射光Φ 硅中的折射光Φ2。反射光Φ1可以继续投射到另一方锥的B点，产生 硅中的折射光Φ 反射光Φ 可以继续投射到另一方锥的B 二次反射光Φ 和进入半导体的折射光Φ 二次反射光Φ3和进入半导体的折射光Φ4；而对光面电池就不产生 这第二次的入射。经计算可知还有11% 11%的二次反射光可能进行第三 这第二次的入射。经计算可知还有11%的二次反射光可能进行第三 次反射和折射，由此可算得绒面的反射率为9.04% 9.04%。 次反射和折射，由此可算得绒面的反射率为9.04%。
设备操作培训计划实施
设备操作培训计划实施
XXX：设备培训计划及方案
培训计划及方案
1、培训目的
为了使本项目所涉及现场维护人员能全面地了解设备，增强维护和使用设备的技能，我们除了向用户提供整个设备的技术说明、操作说明和相关的文档之外，还将负责组织对现场设备管理维护人员进行全面高质量的培训。
培训的目的主要是使管理和使用设备的人员不仅对设备有足够的认识，而且能完全胜任所承担的工作，确保设备安全可靠地运行。培训内容主要包括转鼓式格栅除污机设备结构、工作原理、控制工艺等理论培训及设备操作规程、现场操作、设备的维护保养工作、设备安装调试、设备运行参数调整、设备故障排除、事故应急措施等内容。
2、培训对象
现场设备管理维护人员
设备管理维护人员是指对项目中的设备进行管理和维护的人员。这部分人员经过培训，主要能达到以下目标：了解设备结构、运行工作原理、设备控制工艺等内容；
掌握设备操作规程、设备维护保养方法设备运行参数调整等；
掌握设备一般性故障的诊断、定位和排除方法；
指导一般操作人员的现场工作等。
3、培训形式
为了使培训达到最佳效果，利用户获得尽可能多的常识和经历，我们将采用多种路子对用户进行培训：现场讲课：由专业的售后服务人员，在现场对用户进行培训。通常由设备的操作仿单作为资料支持，现场设备操作为辅助。
现场指导：在工程执行过程当中，我们的工程时在实际操作中，会详细讲解操作步骤，指导客户操作，并解答客户的问题。
4、培训计划及方案
具体培训计划及方案详见下表：
XXX：设备培训计划
设备利用与维护（维修）培训计划
根据公司《关于设备利用与维护（维修）培训计划》安排，现将培训计划安排如下：1、设备方面教材编写
制绒小知识1
太阳能电池制绒设备研究的几点心得
张晓红，王锐廷
(北京七星华创电子股份有限公司微电子设备分公司北京100016)
1 引言
清洗设备在整个太阳能电池生产线上起到至关重要的作用。主要可以分为：扩散前的制绒、酸洗，磷硅玻璃(PSG)的湿法腐蚀、漂洗等几类。
我公司所提供的产品囊括了上述环节的所有类型的清洗设备，完全可以满足各个环节的工艺要求。本文将着重就制绒设备研究过程中的几个重要问题进行阐述。
2 工艺研究
在太阳能电池生产中，刻蚀具有两个作用，即去除切割过程中产生的表面缺陷，同时进行硅片表面构化。构化的目的就是延长光在电池表面的传播路径，从而提高太阳能电池对光的吸收效率。构化的主要方法可以分为干法和湿法两种。后者是目前应用最广泛的刻蚀方法，即用碱(NaOH、KOH)或酸液(HNO3、HF)对硅片表面进行腐蚀。
由于硅片的内部结构不同，各向异性的碱液刻蚀主要用于晶向分布均匀的单晶硅，而晶向杂乱的多晶硅采用各向同性的酸液刻蚀会有更好的构化效果。
本研究以单晶硅制绒为例进行工艺实验，对于多晶硅材料而言，我们正与厂家进行实际工艺摸索，本文仅对单晶硅制绒工艺进行阐述。工业生产中通常采用碱和醇的混合溶液对<100>晶向的单晶硅片进行各向异性腐蚀，在表面形成类似"金字塔"状的绒面，有效地增强硅片对入射太阳光的吸收，从而提高光生电流密度。对于既可获得低的表面反射率，又有利于太阳能电池的后续制作工艺的绒面，应该是金字塔大小均匀，单体尺寸在2～10μm之间，相邻金字塔之间没有空隙，即覆盖率达到100%。理想质量绒面的形成，受到了诸多因素的影响，例如硅片被腐蚀前的表面状态、制绒液的组成、各组分的含量、温度、反应时间等。而在工业生产中，对这一工艺过程的影响因素更加复杂，例如加工硅片的数量、醇类的挥发、反应产物在溶液中的积聚、制绒液中各组分的变化等。为了维持生产良好的可重复性，并获得高的生产效率。就要比较透彻地了解金字塔绒面的形成机理，控制对制绒过程中影响较大的因素，在较短的时间内形成质量较好的金字塔绒面。
制绒培训 adpv
个人防护措施 工 程 控 制：生产过程中应密闭，全面通风。 呼吸系统防护：接触其蒸气或烟雾时，必须佩戴防毒面具 。紧急事态抢救或逃生时，佩戴自给式呼吸器。 眼 睛 防 护：戴防毒面具。 防 护 服：穿防酸服。 手 防 护：防酸手套。 其 它：工作后，淋浴更衣。单独存放被污染的衣服 ，洗后再用。保持良好的卫生习惯。
实施7S的好处 实施 的好处
对于个人前言： 对于个人前言： 1. 使您的工和环境更舒适； 2. 使您的工作更方便； 3. 使您的工作更安全； 4. 降低企业用工成本，激发员工 的积极性与创造性。
流程简介
制绒 控 制 点
减薄量
扩散 控 制 点
方块电阻
刻蚀 控 制 点
刻蚀宽度
PECVD 控 制 点
膜厚/折射率 膜厚 折射率
灭火方法：
用水、砂土扑救，但须防止物品遇水产 生飞溅，造成灼伤。
氢氟酸 HF
特性： 特性 无色透明至淡黄色冒烟液体、 无色透明至淡黄色冒烟液体、有刺激 性、挥发性气味。弱酸。 挥发性气味。弱酸。
危害：
对皮肤和呼吸道有强烈的刺激性和腐 蚀性。溅入眼内会迅速形成白色假膜样混 浊，处理不及时可引起角膜穿孔。皮肤接 触会造成表皮、真皮、皮下组织乃至坏死 。吸入1.5g可导致立即死亡。吸入高浓度 HF酸雾，引起支气管和出血性肺水肿。
发展于美国 清理（Sort） 清理（Sort） 整理（Straighten） 整理（Straighten） 清洁（Sweep） 清洁（Sweep） 保持（Standardize） 保持（Standardize） 不断改进（Sustain） 不断改进（Sustain） 安全（SAFETY） 安全（SAFETY） 节约（SAVE） 节约（SAVE） 希望完善于中国 整理（SEIRI） 整理（SEIRI） 整顿（SEITON） 整顿（SEITON） 清扫（ 清扫（SEISO） ） 清洁（ 清洁（SEIKETSU） ） 素养（SHITSUKE） （SHITSUKE） 安全（SAFETY） 安全（SAFETY） 节约（SAVE） 节约（SAVE）
RENA设备工艺介绍
2
碎片率居高不下
配合设备人员检 查调整风刀角度 配合设备人员检 查调整水刀角度 查看安装图纸 配合设备人员解 决 提高带速，或减 小蚀刻量
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RENA设备：常见问题及解决方案
序号 所遇问题 检查项目 解释说明 解决方案
3
设备工作过程中碱洗槽高 温报警
查看冷却系统是 否正常
碱洗槽在超过设 定温度的情况下 会停止运行
出口 处硅 片统 计
12
RENA主界面详细说明5:
登陆筐,可输入登陆名密 码后登陆(不同的登陆 名有不同的权限)
记事本
锁定 窗户
正在使用的工 艺文件
机器自动 运行时的 开始和停 止
灯塔测试 (点击后 灯塔全部 亮)
13
RENA主界面详细说明6:
关闭模式 手动模式 服务模式(权限最高) 自动模式
切换到初始界面按扭
STOP----结束操作
初始配槽时HF和水的体积
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RENISE3界面介绍
27
RENISE3功能
MODE MAN&MODE AUTO----自动运行时单个槽的 自动手动切换 FILLING DI----给槽内加纯水（RENISE2的水是 RENISE3槽的水溢流过来的） DRAINING----整个槽排液 START PROCESS----在手动模式下单个槽运行工艺
制绒
制绒
制绒的目的：去除硅片表面机械损伤层，形成起伏不平的绒面，增加太阳光吸收。
流程
多晶制绒《上料——制绒（HF+HNO3）——H2O(清洗)——碱槽（NaOH/KOH）——H2O （清洗）——（HCL+HF）酸槽——H2O3清洗——吹干》
单晶制绒《装片——制绒——清洗》
作用
HF(氢氟酸):去除制绒后残留在硅片表面的氧化物和硅酸钠。
HCL（盐酸）:去除硅片表面的油污和金属离子。
HNO3（硝酸）:起到氧化的作用，氧化剂和催化剂，将硅片氧化。
KOH（氢氧化钾）/NaOH（氢氧化钠）: 去除表面损伤成。
C3H8O（异丙醇）:增加氢气的挥发，起到消泡作用，同时增加硅片表面的可润湿性。NaSiO3（硅酸钠）:降低反应速率的作用。
化学式
Si+2NaOH+H2O——Na2SiO3+2H2 (异丙醇)
单晶的绒面呈金字塔装（温度控制在80正负2度。
单晶：原子在晶体内按固期性规则排列。
陷光原理：当光入射到一定角度的斜面，光会反射到另一角度的斜面，形成二次或者多次吸收，从而增加吸收率。
3
HF+HNO3+Si=H2SiF6+4NO2+H2O
多晶绒面呈凹坑装。
多晶：由许多取向不同的单晶颗粒杂乱排列。
多晶主要化学品：H2O、HF、HCL、HNO3、NaOH/KOH
制绒后硅片表面
注意事项
1、单晶制绒时请关闭所有玻璃窗户。（注：因为在制绒时会产生氢气，在空气中达到一定
的浓度与高温、明火会爆炸。
2、在生产中氢氧化钠与硅片反应时会有碱蒸汽。
3、盐酸是挥发性的强酸，没经过设备和工艺的允许严禁打开槽盖。
4、氢氟酸是强酸是无色透明有刺激性的液体。
《单晶制绒设备培训》PPT课件
单晶制绒设备运行及操作
第五步：进入“主菜单”，点击“系统启动画面”
系统启动画面
在手动状态下按“回原点”，当 出现OK后，将触摸屏下方的自动 \手动开关切换到自动状态，按 “自动启动”按钮，设备开始运 行
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单晶制绒设备运行及操作
第六步：将装好硅片的料篮放于上料台后，按开始按钮，即进 行生产。
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That’s all .Thank you. / 谢谢 ，再见。
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感谢下 载
43
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单晶制绒设备运行及操作
第四步：确认无报警后，再点击“监控画面”检查设备槽体的 温度、液位是否达到标准，监控显示的花篮要与槽体里的一致。
监控1
监控2
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单晶制绒设备运行及操作
若画面显示的花篮与槽体实际花篮不一致，可进入主菜单，点 击“篮料强制”按钮，进入篮料设置画面。
点击画面中的 “有”按钮，则 会显示有篮，点 击“无”显示无 篮。
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中联酸洗机
热风烘干系统
加热 鼓风 设备
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中联酸洗机的运行操作
打开电源后，按触摸屏下方的“电源启动”按钮，启动后按“运转准备” 按钮，等待触摸屏进入操作主画面。
电源 启动
运转 准备
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中联酸洗机的运行操作
主画面
进入“主画面”后，按屏幕右 下角的“菜单栏”，即进入菜 单，对设备各项功能、工艺参 数进行设置。
制绒技术
清洗设备在整个太阳能电池生产线上起到至关重要的作用。主要可以分为：扩散前的制绒、酸洗，磷硅玻璃（PSG）的湿法腐蚀、漂洗等几类。本文将着重就制绒设备研究过程中的几个重要问题进行阐述。
一、工艺研究
在太阳能电池生产中，刻蚀具有两个作用，即去除切割过程中产生的表面缺陷，同时进行硅片表面构化。构化的目的就是延长光在电池表面的传播路径，从而提高太阳能电池对光的吸收效率。构化的主要方法可以分为干法和湿法两种。后者是目前应用最广泛的刻蚀方法，即用碱（NaOH、KOH）或酸液（HNO3、HF）对硅片表面进行腐蚀。由于硅片的内部结构不同，各向异性的碱液刻蚀主要用于晶向分布均匀的单晶硅，而晶向杂乱的多晶硅采用各向同性的酸液刻蚀会有更好的构化效果。
本研究以单晶硅制绒为例进行工艺实验，对于多晶硅材料而言，我们正与厂家进行实际工艺摸索，本文仅对单晶硅制绒工艺进行阐述。工业生产中通常采用碱和醇的混合溶液对< 100> 晶向的单晶硅片进行各向异性腐蚀，在表面形成类似"金字塔"状的绒面，有效地增强硅片对入射太阳光的吸收，从而提高光生电流密度。对于既可获得低的表面反射率，又有利于太阳能电池的后续制作工艺的绒面，应该是金字塔大小均匀，单体尺寸在2～10μm 之间，相邻金字塔之间没有空隙，即覆盖率达到100%。理想质量绒面的形成，受到了诸多因素的影响，例如硅片被腐蚀前的表面状态、制绒液的组成、各组分的含量、温度、反应时间等。而在工业生产中，对这一工艺过程的影响因素更加复杂，例如加工硅片的数量、醇类的挥发、反应产物在溶液中的积聚、制绒液中各组分的变化等。为了维持生产良好的可重复性，并获
多晶制绒原理及异常处理
多晶制绒原理-各槽体的作用介绍
制绒槽：现在使用的rena设备上料后直接进入制绒槽，制绒槽中硝酸 将硅表面氧化为二氧化硅；氢氟酸将二氧化硅腐蚀掉。
碱洗槽：利用碱液洗除多空硅（酸腐蚀易在多晶硅表面形成一层彩色 均匀的多空硅膜，这个多空硅膜具有极低的反射系数，但是它不利于p-n 结的形成和印刷电极，所以，一般使用稀释的碱液来去除这层多空硅 膜）。
溢流水槽超净清洗多晶制绒异常处理多晶制绒异常处理黑斑片黄斑片黄斑片流量计达到最底图图1流量计液位正常图图2风刀小硅片成片带水图图5正常图图6液位正常图图3喷淋管图图4多晶制绒异常处理二减重及反射率异常?平均减重偏低
多晶制绒原理及异常处理
多晶制绒原理
一、制绒的化学反应原理
Si+2HNO3=SiO2+H2O+NOX SiO2 +6HF=H2[SiF6]+2H2O 二、酸腐蚀法制备绒面的基本原理
多晶制绒异常处理
三、设备异常及机台报警的处理
5.酸洗槽循环泵流量异常 酸洗槽循环泵流量异常，为长时间 设备停产或不用，而槽子内部的酸 液没有排出，酸长时间挥发导致液 位变低，泵无法循环到药液，而流 量报警，解决措施为添加药液。
多晶制绒异常处理
三、设备异常及机台报警的处理
6.滚轮坏片与堵片 多晶制绒分为八道跑片，在正 常情况下应多观察碎片情况。 如果坏片应找出坏片的位置， 查看上滚轮与下滚轮那个地方 安装不符或某个滚轮不转动。 如果某道堵片应先通知放片人 员停止放片，在硅片到达下料 台后，清理并查找堵片的原因。
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2019/3/30
晋能清洁能源科技有限公司
培训目录
一．前清洗工序的目的 二．前清洗工艺步骤 三．前清洗设备组成 四．前清洗设备开关机步骤 五．前清洗设备换药液流程 六．设备日常维护
晋能清洁能源科技有限公司
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一 制绒的目的及原理（1）
根据工艺方法不同，制绒可分为碱制绒（仅适用于单晶硅制绒）和酸制绒（可用于单晶和多晶硅表面 的制绒）。捷佳创设备为酸制绒设备，其目的主要有： 去除硅片表面的机械损伤层（来自硅棒切割的物理损伤） 清楚表面油污（利用HF）和金属杂质（利用HCL) 形成起伏不平的绒面，增加对太阳光的吸收，增加PN结面积，提高短路电流（Isc),最终提高电池光电 转换效率。
工艺段位：上料台+酸腐蚀/制绒段+喷淋段+酸洗段+喷淋段+烘干段+下料台
管路系统:包括纯水管路、自动补、配液管路、废液排放管路、压缩空气管路、循环管路等 抽风系统：包括抽风管道、抽风管路、叶阀等
冷却系统：包括品牌冷水机、冷冻水循环管路、热交换器等
干燥系统：包括高压鼓风机、过滤器、吹风管等 电控系统：包括电控箱、电路、工控机、控制程序等
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酸洗段
• • • 处理方式：循环溢流 处理介质：HF+HCL+H2O2 功能描述：硅片通过滚道水平输送，采用循环溢流功能进行清洗，溢流时硅片浸没在液面 下，溢流水回到副槽再循环利用。 • 示意图：
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槽体材质：PP 辊轴材质：PP 补液系统：恒压补液，补液量1L以上，补液误差在±2%以内
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设备开始运行步骤：
合上总电源开关、PLC电源开关及各个主电源开关
将控制台上“自动/手动”转换开关切换到手动 确认各有液槽体的液位正常 检查所有光电开关等信号开关是否松动，确保所有信号正常，确认无故障及异常现象 把画面切入系统启动界面，按下“回原点”按钮，触摸屏上显示“OK”后将控制台上“自 动/手动”转换开关切换到自动状态，再点击自动启动按钮，此时蜂鸣器鸣响三声，提示自 动运行开始
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纯水喷淋段2
• • • 处理方式：喷淋 处理介质：纯水 功能描述：采用4段喷淋方式，第一段喷淋水直接排走，第四段采用纯水喷淋，第二、三、 四段喷淋水收集到副槽循环使用 • • • • • 示意图： 槽体材质：PP 辊轴材质：PP 温度：RT 辅助止液：经压水辊压水，避
免药水携带至下道工艺
温度：RT
溢流保护：溢流口设有液位开关，检测溢流排水口是否堵塞 辅助止液：经压水辊压水，后采用吸水辊吸水，避免药水携带至下道工艺
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纯水喷淋段3
处理方式：喷淋 处理介质：纯水 功能描述：采用5段喷淋方式，第一段喷淋水直接排走，第五段采用纯水喷淋，第二、三、 四、五段喷淋水收集到副槽使用 示意图：
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一 制绒的目的及原理（2）
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二 前清洗工艺步骤
捷佳创前清洗设备的主体分为九个槽（其中碱槽为1、2两个槽），此外还有滚轮、排风系统、自 动及手动补液系统、循环系统和温度控制系统等。
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三 前清洗设备组成（1）
设备框架：包括机架、封板、门板、观察窗、维护门等
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纯水喷淋段1
处理方式：喷淋 处理介质：纯水
功能描述：采用4段喷淋方式，第一段喷淋水直接排走，第四段采用纯水喷淋，第二、第
三、第四喷淋水收集到副槽循环使用 示意图（右图）： 槽体材质：PP 辊轴材质：PP 温度：RT 辅助止液：经压辊压水，避免药 水携带至下道工艺
电控系统
主供电电源为380V，3相5线 操作控制回路DC 24V 设备由工控机控制
具备安全保护功能
具备危险报警系统 设备报警记录存储 设备各项参数储存
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四、前清洗设备开关机步骤
为防止发生意外，开机前务必遵守以下几点
• • • • 将设备内部所有杂物（如包装材料、安装、工具等）清除干净 开机时不可将手置于设备工作区域内 严格遵守设备安全指示 将设备所有门窗和盖板关好
•
• •
槽体材质：PP
传动方式：齿轮传动 下料控制：采用光电传感器
自动检测出片数
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排风、电控系统
排风
在工艺槽由槽面抽风和槽内抽风组成，抽风经抽风道与设备风口相连
所有的抽风口最后都连接到客户提供的抽风装置上，每一抽风口均有调节阀门，可自由调节风量大 小 抽风法兰内径为Φ200
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设备关机步骤：
把屏幕切入主界面 主界面切入系统启动界面 触摸“自动停止”按钮，各机械臂完成动作后自动运行停止
待设备停止进料，内部无硅片，将设备打到手动状态
手动将各个槽体内的药液排空，并且清洗各个槽体 将配电柜内的各分路开关先关闭，然后再将总电源关闭 关闭动力源，包括纯水，冷却水和压缩空气等（纯水和冷却水先关进水，再关回水） 将配电柜的门板锁上
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五、前清洗设备换药液流程
手动状态下，点击“主界面”，进入主界面，点击排液阀手动
选择“制绒槽”（或者任何一个槽体，此处只与制绒槽为例，其他槽体更换药液流程基本一样 ），进入“制绒槽”模块，点击排液阀ON，将槽体内的液排掉 待槽体排空后，回到“主界面”，进入主界面，点击加水手动 进入“加水手动界面”，选择制绒槽点击加水ON 等到槽体达到高液位，回到“主界面”，进入主界面，点击排液阀手动，将槽体内的液体排掉 重复以上步骤，清洗槽体2~3次
槽体材质：PP
辊轴材质：PP 温度RT
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烘干段
处理方式：风刀对硅片表面吹风 功能描述：利用热风对硅片进行吹干处理
示意图：
槽体材质;PP 辊轴材质：PP 温度：~60°C
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下料段
• • • • 输送方式：辊轴输送 下片方式：人工下片（可以搭配自动下片设备，需另行购买） 功能描述：接片盒自动接片，程序统计数量，人工取走 示意图：
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三 制绒段
• • • 处理方式：循环冷却+溢流浸泡 处理介质：HNO3+HF 功能描述：硅片通过辊道 水平输送，浸没在酸液中进行制绒处理，酸液溢流到副槽，由 泵将酸液泵到热交换器，酸液经热交换器冷却后由处理槽底部供给到处理槽 • • 进液方式:底部横向多段进液，进液口带缓冲装置，溢流平稳，溢流量可调 示意图：
回到主界面，点击加液手动，往槽体内加入相对应比例的化学品即可
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六、设备日常维护
1、当班检查事项
检测所有的门窗（设备、电柜）有无关好，槽盖开关有无异常 机台周围、内部管道有无漏液情况，尤其是管道接口处 设备三色灯功能是否正常
工艺换药液时，检查每个主槽的液位感应是否正常，如果不正常，检查异常原因
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碱洗段（碱洗1、碱洗2）
• • • 处理方式：循环冷却+溢流浸泡 处理介质：KOH 功能描述：碱液经喷淋形式进行硅片处理，碱液溢流收集到副槽，再由泵由喷淋到硅片表 面
•
示意图：
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槽体材质：PP 辊轴材质：PP 处理温度：80°C 加热方式：在线加热。先由副槽与在线加热器形成小循环把药液加热到工艺温度，然后停 止小循环，由副槽在线加热器二次加热与主槽形成大循环。 温度控制：采用多点测温模式 补液系统：恒压补液，补液量1L以上，补液误差±2%以内 溢流保护：溢流口设有液位开关，检测溢流排水口 辅助止液：经压水辊压水，避免药水携带至下道工艺 是否堵塞
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三 机架、封板
1、机架 机架构成设备的基本框架，由不锈钢方通和扁通焊接而成 方通表面用3~5mm厚PP板包裹，防止腐蚀 2、封板
封板构成设备的结构，用15mm的PP板焊接而成 封板组成了抽风道、设备前部观察维修门、设备后部观察维修门 设备前部为由透明PVC板组成推拉观察窗，通过观察窗操作者很容易观察处理过程，或者进行维修和清 洗槽体。为了安全起见，在处理过程中观察窗是关上的。
设备后部有对开门，由透明PVC而成，能看到设备后部的所有系统。有手动旋转装置控制门的开关
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三 上料段
输送方式：辊轴输送 上片方式：人工上片（可以搭配自动上片设备，需另行购买） 槽体材质：PP 辊轴材质：PP 传动方式：齿轮传动 上料控制：采用光电传感器自动检测进片数，并设有连片报警提示功能 示意图：
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三 前清洗设备组成（5）
槽体材质:PVDF 辊轴材质：PVDF 补液系统：恒压补液，补液量1L以上，补液误差±2%以内
处理温度：8±1°C
温度控制：采用多点温度监控模式，每个通道设有2个温度监控点，可实 时的显示各点温度及横向、纵向温度的均匀性 溢流保护：溢流口设有液位开关，检测溢流排水口是否堵塞 辅助止液：经压水辊压水，避免药水携带至下道工艺
检查槽内片子是否走偏，翘片 检查上下料时片子有无倾斜的状况，同时检查上下料电机运行状况 报警信息的查看，重点影响工艺设备的报警，做好当班定时跟踪状况 检查喷淋管有无破裂、漏水情况，同时检查喷嘴有无脱落
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谢谢观看！
THANKS!
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