制绒设备基本原理培训
10.18制绒培训
5.影响制绒的因素
5.1 单晶制绒影响因素分析
硅的腐蚀速率与表面原子密度、晶格方向、掺杂浓度、 溶液成分、浓度、温度、搅拌等参数有关 5.1.1 影响因素
• NaOH及异丙醇浓度 • 制绒槽内硅酸钠的累计量 • 制绒反应的温度 • 制绒反应时间的长短 • 槽体密封程度、异丙醇的挥发程度
南安市三晶阳光电力有限公司
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9.1.3 表面污染
现象：同一批片子相同位置有 一些类似于油污一样的污渍
原因：来料问题，可能于切片 后干燥处理有关系或者是包装 时引入 解决方法： 1、与硅片厂家协商； 2、加大预清洗浓度； 3、重新制绒。
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9.1.4 表面污渍
现象：制绒后表面有污渍
南安市三晶阳光电力有限公司
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目
录
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1.制绒基础知识
1.1 什么是制绒
制绒是将硅表面进行预清洗并用强碱或强酸腐蚀成 类似金字塔状或蜂窝状结构的过程
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1.2 制绒的作用
1.2.1 去除损伤层 1.2.2 形成减反射绒面（陷光结构）
5.1.2 各个因素作用
NaOH浓度
制绒的根本 反应温度 NaSiO3浓度 IPA浓度
反应控制过程
提高溶液浓稠度， 控制反应速度 提高反应物疏运 速度，提高氢气 泡脱附作用
氢气泡密度及大小 以及在硅片表面停 留的时间
过程控制
搅拌或 鼓泡
决定金字塔形貌
硅片表面原始状态，如：表面平整度、有 无油污、划伤及硅片厚度等
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5.2.1 湿法各相同性腐蚀
腐 蚀 速 率
制绒工艺培训
Rinse2
Acidic Rinse
Rinse3
Dryer2
主操作界面
详细说明
程序内 的日期 和时间 模式、与PLC的 连接情况及登陆 的用户名 灯塔状 态 机器名称 厂家名称
报警的详细信息
登陆按扭
详细说明
机器的三种报警:严重的问题、机器本 身的问题和一般的警报
初始配槽时HF和水的体积
RENISE3功能 功能
RENISE3功能 功能
MODE MAN&MODE AUTO----自动运行时单个槽的 自动手动切换 FILLING DI----给槽内加纯水（RENISE2的水是 RENISE3槽的水溢流过来的） DRAINING----整个槽排液 START PROCESS----在手动模式下单个槽运行工艺 STOP----结束操作
RENA InOxSide设备构造
RENA InOxSide工艺步骤：边缘刻蚀 碱洗 →酸洗 吹干 工艺步骤： 酸洗→吹干 工艺步骤 边缘刻蚀→碱洗 酸洗 RENA InOxSide后清洗设备的主体分为以下七个槽，此外还有滚轮、 后清洗设备的主体分为以下七个槽，此外还有滚轮、 后清洗设备的主体分为以下七个槽 排风系统、自动及手动补液系统、循环系统和温度控制系统等。 排风系统、自动及手动补液系统、循环系统和温度控制系统等。
5 关于刻蚀槽flow（流量）报警 出现此类报警时，工艺人员需检查是否有碎片堵住药液入口。如 有碎片需取出后，将药液打入tank混匀溶液后重新将药液打入bath 中。如果流量不稳定报警，需要求设备人员检查相应传感器 6 关于overfilled（溶液过满）报警 出现此类报警时，工艺人员需要求设备检查液位传感器是否正常 工作。如果确实过满，则需要手动排掉部分药液，直到达到生产液 位要求。 7 关于 tank empty（储药罐空）报警 出现此类报警时，说明外围相应储药罐中的药品已空，需及时通 知外围人员添加药液。 8 关于 valve blocked（阀门被堵）报警 出现此类报警时，则有阀门被堵，必须立即通知设备人员处理。
制绒工艺培训
仓库来料接收
上片
下片
制绒设备
速度1.0速度1.0-1.5 m/min 1.0
制
绒
水1
KOH bath
水 2
HF/HCl
水 3
吹干
bath
3.1 RENA制绒原理 制绒原理
RENA是通过化学反应来进行硅腐蚀的，其反应体系很复杂。 以下是其中的几个反应方程式： Si+2HNO3+6HF=H2SiF6+2HNO2+2H2O 3Si+4HNO3+18HF=3H2SiF6+4NO+8H2O 3Si+2HNO3+18HF=3H2SiF6+2NO+4H2O+3H2 5Si+6HNO3+30HF=5H2SiF6+2NO2+4NO+10H2O+3H2
主管工程师： 主管工程师： 关注当天的效率、碎片率、良品率等参数，对于出现的外观不良或是效率低下等异常，及时 安排排查。 根据工作需要，负责与其他职能部门进行沟通，共同解决问题。 对于汇报的异常，视情况到场解决或是电话给出解决方案。 根据实验结果，安排实施新的工艺方案，若新方案中涉及到更改化学品厂家、型号或是改变 工艺流程的，需向上级请示后决定是否实施。 定期总结制绒工序的工作情况，并向工艺经理汇报。 负责制绒工序人员的管理，分配领导安排的任务，定期组织会议，对本工段工作进行总结。 对工艺文件、作业指导书等进行审核。 完成领导安排的其他任务
工程师： 工程师： 关注当天的效率、碎片率、良品率等参数，对于出现的外观不良或是效率低下等异常，及时 联系其余工序的工程师进行排查。 对于日常工作中，根据需要，与其他职能部门（如设备、生产等部门）进行沟通，共同寻找 解决问题的方案。 对于助理工程师汇报的异常情况，视情况到场解决或是电话给出解决方案，若不能解决的， 及时通知工艺主管。 负责制绒化学品选用以及使用情况（控制的合理的单耗），选择工艺方案（最低的反射率， 换液周期）及工艺控制参数（减薄量、腐蚀深度），设备的维护周期，上报工程师。 定期进行优化实验或是腐蚀量异常时安排排查实验，根据实验结果提出改进措施。 负责编写制绒工段的工艺文件、作业指导书，并组织相关人员进行学习。 完成安排的其他工作。
制绒培训资料 (2)
2:吸嘴有损伤
3:电动执行器下降位过低
4:硅片薄厚不均机械应力不良
制绒常见故障及相关处理办法
一：机械手提篮异常
1：定位传感器定位不良 2：横移/纵向电机异常 3：电机编码器异常 4：变频/驱动异常 5：上料蓝产生形变
二：槽盖翻转不到位
1：旋转气缸不良
2：盖板翻转轴/轴承断裂 3：盖板连轴器/缓冲垫片损坏 4：气缸旋转定位传感器位置变动 5：盖板与旋转轴固定/焊接不良 6：旋转气缸供气压力不良
六:槽内不鼓泡
1:电磁阀控制异常
2:气管堵塞/泄露
七:制绒药液不循环
1:循环泵泵体不良
2:循环管道堵塞 3:气动气压异常 4:控制电磁阀异常
甩干机常见设备异常
一:甩干机转速不足
1:电机异常 2:变频器异常 3:皮带断裂/损伤打滑
二:硅片甩不干
1:温度加热不足
2:氮气流量异常
3:旋转速度异常
4:喷水控制异常 5:旋转体本体异常/损伤
三:加热温度异常
1:热电偶测量异常
2:温控器异常
3:加热电阻异常
4:加热桶盘管损伤
插片机设备常见异常
一:插片机硅片传送不到位
1:传送皮带异常 2:电动执行器放片不准
3:传感器位置偏移
二:上料位置不准确
1:传动丝杠异常
2:上料电机异常
3:定位传感器异常
4:上料蓝产生形变 5:气体控制电磁阀异常
二:硅片易被吸碎
三：多晶制绒糟温控异常
1：冷凝盘管温控异常
2: 比例阀控制异常 3: 温控器异常 4: 热电偶损坏 5: 冷却循环水异常
ห้องสมุดไป่ตู้
四：单晶制绒温度控制异常
多晶制绒培训
四、绒面质量的检测
绒面对后道的影响 制绒作为常规太阳能电池制作工艺的第一步，绒面质量的好坏直接影响到后道工 艺，下面简单介绍绒面到后道的影响： 1.对扩散的影响：扩散工艺的主要目的是为了形成PN结，绒面质量的好坏直接影 响PN的质量，绒面均匀性越好，PN结的平整性越好，电池开压越高。 2.对刻蚀的影响：湿法刻蚀的目的之一是形成背面抛光面，平整性好的绒面将宜 于背抛面的形成。 3.对PECVD的影响：绒面质量的好坏直接影响到镀膜时间，绒面致密、均应性好 的绒面需要更长的镀膜时间； 4.对丝网印刷的影响：绒面质量的好坏直接影响浆料的填充程度，浆料填充性差 的绒面对电性能有不利影响，同时绒面的均匀性及深度将对串联产生影响。
吸入 ������ 救援前先确定自身的安全，宜采双人小组救援。 ������ 移除污染源或将患者移到新鲜空气处。 ������ 若呼吸困难，在医师指示下由受训过人员给予氧气。 ������ 非必要的话，勿让患者移动。 ������ 肺损伤的症状可能暴露48 小时后才呈现。 ������ 立即就医。 皮肤接触 ������ 避免直接触及此化学品，必要时戴防渗手套。 ������ 立即用流动的温水缓和冲洗20～30 分钟以上，勿中断。 ������ 在冲水中脱除污染的衣、鞋及皮制品。 ������ 立即就医。 眼睛接触 ������ 立即撑开眼皮，以温水缓和冲洗受污染的眼睛0～30 分钟以上。 ������ 立即就医。 食入 ������ 若患者即将丧失意识或已丧失意识或痉挛，勿经口喂食任何东西。 ������ 让患者用水彻底漱口，勿催吐。 ������ 让患者喝240～300 毫升的水，若有牛奶，喝水后再给喝牛奶。 中电投西安太阳能电力有限公司 CPI XI’AN SOLAR POWER CO., LTD
单晶制绒工艺培训
单晶制绒工艺培训一、单晶制绒工艺概述单晶制绒是一种特殊的面料处理工艺，它通过将细密的绒毛布料置于高温条件下，使得布料表面的绒毛呈现出一种晶莹剔透的效果。
单晶制绒面料具有柔软、透亮、富有弹性的特点，因此在服装、家居用品和汽车内饰中得到广泛应用。
单晶制绒工艺的关键在于控制温度和时间，以及对化学品的使用和织造技术的熟练掌握。
二、单晶制绒工艺培训内容1. 基础知识学习单晶制绒工艺培训的第一步是学习基础知识。
这包括单晶制绒的原理、工艺流程、设备使用、危险品处理等方面的内容。
学员需要掌握单晶制绒工艺的基本原理和步骤，了解设备的使用和维护方法，同时还需要了解危险品的处理和安全防护知识。
2. 设备操作培训单晶制绒工艺的设备操作对于学员来说是至关重要的。
培训学员需要熟悉单晶制绒设备的操作方法，掌握设备的运转原理和操作流程，熟练掌握设备的日常使用和维护。
此外，还需要学习如何解决设备故障和应对突发情况。
3. 工艺技术培训单晶制绒工艺技术对于学员来说是培训的重点。
学员需要学习如何控制温度和时间，以及使用化学品的方法和注意事项。
同时，还需要掌握单晶制绒的织造技术，包括面料的选材、织造工艺和后处理工艺等方面的知识。
4. 实操实训除了理论学习和设备操作外，学员还需要进行实操实训。
这需要在专业的工厂或实验室中进行，学员需要按照实际工艺流程进行练习，并在老师的指导下逐步提高自己的实际操作水平。
5. 安全知识培训单晶制绒工艺是一种高温高压的工艺，因此安全问题也是培训的重点。
学员需要学习化学品的危害性及其使用方法，熟悉急救知识和安全防护措施，以确保自己和他人的安全。
三、培训机构选择想要进行单晶制绒工艺培训，首先就需要选择一所专业的培训机构。
在选择培训机构时，应该综合考虑以下因素：1. 机构资质：培训机构的资质是参加培训的首要条件，一般来说，国家认可的职业培训机构和专业的织造学校是比较好的选择。
2. 师资力量：培训机构的师资力量决定着培训的质量，应该选择有丰富实践经验和教学经验的老师来进行培训。
制绒培训资料
北京中联科伟达技术股份有限公司汇报提纲
北京中联科伟达技术股份有限公司汇报提纲
北京中联科伟达技术股份有限公司汇报提纲
图4 氢气泡作用
对反应速度的影响
图5 不同IPA浓度下温度和NaOH溶液浓度对反应速度的影响
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图6 一定温度下NaOH溶液浓度和IPA含量对反应速率的影响
-------
----加至高液位
室温 室温 室温
180s—300s 120s---180s 180s
9号槽 号槽
---
---
---
加至高液位
室温
---
北京中联科伟达技术股份有限公司汇报提纲
白斑
北京中联科伟达技术股份有限公司汇报提纲
北京中联科伟达技术股份有限公司汇报提纲
{100}
图3 悬挂健对反应的影响
腐蚀速度的差别造成金字塔的形状
较快的腐蚀速度 较慢的腐蚀速度
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影响因素分析
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•第二部分 第二部分 常见异常的处理
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NaOH
IPA
NaSiO3·5H2O
H2O
温度
时间
补液
1号槽（方案1） 号槽（方案 ） 号槽
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{111}
各向异性的原因
Si+2NaOH+H2O==Na2SiO3+2H2
1、水分子的屏蔽效应（screening effect）阻挡了硅原子与OH根离子的 作用，而水分子的屏蔽效应又以原子 排列密度越高越明显。 2、在{111}晶面族上，每个硅原子具 有三个共价健与晶面内部的原子健结 及一个裸露于晶格外面的悬挂健， {100}晶面族每一个硅原子具有两个共 价健及两个悬挂健，当刻蚀反应进行 时，刻蚀液中的OH－会跟悬挂健健 结而形成刻蚀，所以晶格上的单位面 积悬挂健越多，会造成表面的化学反 应自然增快。
制绒原理、工艺培训
结束语
绒面是由很多半球形状的“ 凹陷”组成，这些凹陷具 有 很好的陷光作用，因此极大地提高了mc-Si太阳电池的性 能。 在应用这种技术时，需要控制化学反应的剧烈程度， 以便更容易操作。蚀刻的时间也要进行优化，使得太阳 电池的电学参数达到最优。
11
（ 阳）
注意事项
KOH、HCl、HF、HNO3都是强腐蚀性、强刺激性的化学药 品，其溶液、蒸汽会伤害到人的皮肤、眼睛、呼吸道，所以 操作时要按照规定穿戴防护服、防护面具、防护眼镜、长袖 胶皮手套。一旦有化学试剂伤害了员工的身体，马上用纯水 冲洗30分钟，然后送医院就医。
3
（ 阳）
化学清洗原理
HF去除硅片表面氧化层： 去除硅片表面氧化层： 去除硅片表面氧化层
SiO2 + 6HF → H 2 [SiF去除硅片表面金属杂质： 去除硅片表面金属杂质： 去除硅片表面金属杂质
盐酸具有酸和络合剂的双重作用，氯离子能与 Pt 2+、Au 3+、 Ag +、Cu +、Cd 2+、Hg 2+等金属离子形成可溶 于水的络合物。
（ 阳）
硅片制绒和清洗
（ 阳）
目录
1. 硅片表面损伤层的形成及处理方法 2. 绒面腐蚀的原理 3. 化学清洗原理 4. 工艺控制方法 5. 影响绒面质量的关键因素及分析 6. 安全注意事项
2
（ 阳）
概 述
硅片表面处理的目的： 硅片表面处理的目的：
去除硅片表面的机械损伤层 清除表面油污和金属杂质 形成起伏不平的绒面， 形成起伏不平的绒面，增加硅片对 太阳光的吸收
Si (酸、多孔硅 酸 多孔硅porous Si) (晶体硅或非晶硅在氢氟酸中进行阳极氧化来获得多孔硅） 晶体硅或非晶硅在氢氟酸中进行阳极氧化来获得多孔硅） 晶体硅或非晶硅在氢氟酸中进行阳极氧化来获得多孔硅 8槽 槽 KOH（中和酸，去掉多孔硅） （中和酸，去掉多孔硅）
单晶制绒培训
技术部 2011-03
中电投西安太阳能电力有限公司 CPI XI’AN SOLAR POWER CO., LTD
目录
一 硅的基本性质 二 制绒的作用与原理
三 制绒的过程及工艺控制
四 绒面质量的检测
五 安全注意事项
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肉 眼 表面呈深灰色，颜色均匀，无白斑和亮斑，表 面没有手指印和划痕 。
电 子 称 显 微 镜 积分反 射仪 抽检的硅片刻蚀减重量为0.6~0.7g。
金字塔大小均匀，布满硅片表面，尺寸在35μm。
反射率为10%-20%。
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五 安全注意事项
化学品介绍 氢氧化钠：
1、健康危害 在工业上，氢氧化钠通常称为烧碱，或叫火碱、苛性钠。这是因为较浓的氢氧化钠溶液 溅到皮肤上，会腐蚀表皮，造成烧伤。它对蛋白质有溶解作用，有强烈刺激性和腐蚀 性（由于其对蛋白质有溶解作用，与酸烧伤相比，碱烧伤更不容易愈合）。粉尘刺激 眼和呼吸道，腐蚀鼻中隔；溅到皮肤上，尤其是溅到粘膜，可产生软痂，并能渗入深 层组制，灼伤后留有瘢痕；溅入眼内，不仅损伤角膜，而且可使眼睛深部组制损伤， 严重者可致失明；误服可造成消化道灼伤，绞痛、粘膜糜烂、呕吐血性胃内容物、血 性腹泻，有时发生声哑、吞咽困难、休克、消化道穿孔，后期可发生胃肠道狭窄。由 于强碱性，对水体可造成污染，对植物和水生生物应予以注意。 2、急救措施 碱液触及皮肤，可用5～10%硫酸镁溶液清洗；如溅入眼睛里，应立即用大量硼酸水溶 液清洗；少量误食时立即用食醋、3～5%醋酸或5%稀盐酸、大量橘汁或柠檬汁等中和 ，给饮蛋清、牛奶或植物油并迅速就医，禁忌催吐和洗胃。
制绒培训
原理
对于晶体硅,由于各个晶面的原子密度不同, 与碱进行反应的速度差别很大,也就是我们 通常说的(100)面(111)面的腐蚀速率，从 而在表面形成类似“金字塔”形状的绒面。 • 化学反应方程式： Si+2NaOH+H2O=Na2SiO3+2H2↑。
操作规程
• 装片
• • • 戴好防护口罩和干净的PE手套。 戴好防护口罩和干净的 手套。 手套 将仓库领来的硅片从箱子中取出， 将仓库领来的硅片从箱子中取出，以400片为一个 片为一个 生产批次把硅片装入“硅片盒” 生产批次把硅片装入“硅片盒”。 在“工艺流程卡”上准确记录硅片批号、生产厂 工艺流程卡”上准确记录硅片批号、 电阻率和投入数。 家、电阻率和投入数。
» 严格检查绒面质量，绒面不合格的片子要按照检验 卡片和工序控制点操作指导卡规定的程序进行处置； » 操作化学药品时，一定要带好防护面具和防护手套；
注意事项
• 酸洗机的窗子在不必要时不要开，有需要 开时要及时关上；及其运动时，不得把头、 手伸进机器内，以防造成伤害事故； 酸洗机卫生保养时，要防止电线浸水短路， 擦洗槽盖时要防止制溶液的污染。
异丙醇在制绒液中的作用
一、协助氢气泡的释放，及时将杂质脱离硅 片表面； 二、可以减弱氢氧化钠对硅片的腐蚀力度。
绒面制备注意事项
1.一定要合理的控制好时间、温度、浓度。 2.真实做好减薄量记录，根据减薄量及时调 节制绒液的浓度配比。 3.同时到显微镜下观察绒面大小，根据显微 镜照片大小，熟练调节制绒液的浓度配比。
工艺卫生要求
• • • • 制绒车间要保持清洁，地面常有碱液或干碱，要 经常打扫。 盛过碱液或乙醇的塑料桶要及时刷洗，不可无标 识长时间用桶盛碱液或乙醇。 物品和工具定点放置，用过的工具要放回原位， 严禁乱放。 每班下班前要对制绒机进行卫生打扫，擦掉机器 上面的碱，擦掉槽盖上的硅胶
制绒工序基础知识培训心得
制绒工序基础知识培训心得
通过这几天的制绒工序基础知识培训让我知道了换能器将功率
超声频源的声能转换成机械振动并通过清洗槽壁向槽子中的清洗液
辐射超声波，槽内液体中的微小气泡在声波的作用下振动，当声压或声强达到一定值时，气泡迅速增长，然后突然闭合，在气泡闭合的瞬间产生冲击波使气泡周围产生1012-1013pa的压力及局部调温，这种超声波空化所产生的巨大压力能破坏不溶性污物而使他们分化于溶
液中，蒸汽型空化对污垢的直接反复冲击，一方面破坏污物与清洗件表面的吸附，另一方面能引起污物层的疲劳破坏而被剥离，气体型气泡的振动对固体表面进行擦洗，污层一旦有缝可钻，气泡立即“钻入”振动使污层脱落，由于空化作用，两种液体在界面迅速分散而乳化，当固体粒子被油污裹着而黏附在清洗件表面时，油被乳化、固体粒子自行脱落，超声在清洗液中传播时会产生正负交变的声压，形成射流，冲击清洗件，同时由于非线性效应会产生声流和微声流，而超声空化在固体和液体界面会产生高速的微射流，所有这些作用，能够破坏污物，除去或削弱边界污层，增加搅拌、扩散作用，加速可溶性污物的溶解，强化化学清洗剂的清洗作用。
由此可见，凡是液体能浸到且声场存在的地方都有清洗作用，尤其是采用这一技术后，可减少化学溶剂的用量，从而大大降低环境污染。
制绒综合培训
制绒综合培训制作人：张强Trina Solar Energy Co,LtdTrina Solar Energy Co,Ltd一制绒基础知识)1.1 什么是制绒？)制绒是利用硅的各向异性腐蚀特性在表面刻出类似与金字塔或者是蜂窝状的结构单晶碱制绒多晶酸制绒)1.3 制绒的分类：)碱制绒：2K(Na)OH+H2O+Si=K2(Na) SiO3+2H2)酸制绒：HNO3+Si=SiO2+NOx+H2O)SiO2+ HF=SiF4+H2O)SiF4+HF=H2[SiF6])强碱弱酸盐制绒：)SiO32-(PO3-)+H2O=OH-+H4 SiO4(HPO3))Si+ 2OH-+2H2O= SiO2(OH)22-+2H2Trina Solar Energy Co,Ltd)1.4 制绒工序)粗抛)漂洗)碱腐蚀)盐酸清洗)HF清洗Trina Solar Energy Co,Ltd目的：去除表面的机械损伤层以及其它杂质硅片)1.4.2 清洗目的：去除在硅片表面上粘附的杂质)Trina Solar Energy Co,Ltd)1.4.3 碱腐蚀原理：利用低浓度碱溶液对晶体硅各个晶面腐蚀速率的不同，在硅片表面腐蚀形成角锥体密布的表面形貌，就称为表面织构化，俗称制绒。
角锥体四面全是由〈111〉面包围形成。
)Si+2OH2-=Si(OH)2+++4e-)4H2O+4e-=4OH-+2H2)Si(OH)2+++ 4OH-=SiO2(OH)22-+2H2O)或者写为)Si+ 2OH-+2H2O= SiO2(OH)22-+2H2Trina Solar Energy Co,Ltd)盐酸的作用)1 中和残留在硅片表面的碱液)2.去除在硅片切割时表面引入的金属杂质)注：盐酸具有酸和络合剂的双重作用，氯离子能与Fe 3+、Pt 2+、Au 3+、Ag +、Cu +、Cd2+、Hg 2+等金属离子形成可溶于水的络合物Trina Solar Energy Co,Ltd)HF的作用)去除在清洗过程中表面形成SiO2层，便于脱水)注：硅的疏水性要好于SiO2Trina Solar Energy Co,Ltd制绒过程中的影响因素¾碱液浓度¾异丙醇浓度¾溶液的温度¾制绒腐蚀时间的长短¾槽体密封程度、异丙醇的挥发程度¾制绒槽内硅酸钾的累计量Trina Solar Energy Co,Ltd)浓度的影响)制绒过程中是利用OH-离子对各个晶面腐蚀速率不同，在形成硅片表面形成金字塔结构，在一定温度下，通常浓度范围选在1—4%之间Trina Solar Energy Co,Ltd)IPA的作用降低硅片表面张力，减少气泡在硅片表面的粘附，使硅片的金字塔更加均匀一致Trina Solar Energy Co,Ltd)温度的影响)制绒温度范围：75-80 ℃)温度过低：反应速度慢)温度过高：IPA将完全挥发加剧，晶面择优性降低Trina Solar Energy Co,Ltd)槽体密封程度)受影响项：碱液溶液浓度、IPA浓度)结果：由于密封程度的不同，水气和IPA的挥发速度不同，导致硅片的腐蚀深度过大以及绒面不均Trina Solar Energy Co,Ltd本页已使用福昕阅读器进行编辑。
制绒基本知识
制绒基础知识
1:什么是制绒?
制绒是利用硅的各向异性腐蚀特性在表面刻出类似与金字塔或者是蜂窝状的结构 2：制绒的目的
一：利用限光原理减少光的反射，提高。
二：增加PN 结的面积单晶碱制绒多晶酸制绒
2：绒面不良分析及改进
现象：表面有指纹残留原因：在包装时人为的接触硅片
解决方法： IPA可以起到一定效果，但是不能杜绝，需要硅片车间配合
现象：硅片表面有大量的药液残留原因： IPA加入过多解决方法：重新清洗
现象：在同一批片子中相同位置有类似于油污的污渍原因：来料问题，可能在硅片包装时引入
解决方法：与硅片车间协商解决
现象：表面有污渍原因：在制绒后反应残留物解决方法：重新清洗
现象:表面发白原因：刻蚀时间不够解决方法：通常延长刻蚀时间可以解决
现象：表面发沙原因:KOH 过量或者是刻蚀时间过长解决方法：适当降低碱液的用量及制绒时间
现象：硅片表面部分区域发白，有慧星现象发生原因： IPA 偏少解决方法 : 适当增加的用量
现象：硅片表面出现规则的绒面不良原因：可能是来料解决方法：适当延长时间可以一定程度上减轻该现象
现象：表面有流星雨现象发生原因：来料解决方法：加大碱液用量
现象: 部分区域绒面良好，部分绒面表现为较难刻蚀原因：来料原因解决方法：加大碱液与IPA 的用量通常可以解决，具体加入量依据实际情况而定
希望对大家有所帮助，Thanks!!!我晕了，这版这么显示成这样，排版都可以的！！！大家就将就看吧！。
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2019/3/30
晋能清洁能源科技有限公司
培训目录
一．前清洗工序的目的 二．前清洗工艺步骤 三．前清洗设备组成 四．前清洗设备开关机步骤 五．前清洗设备换药液流程 六．设备日常维护
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2
一 制绒的目的及原理（1）
根据工艺方法不同，制绒可分为碱制绒（仅适用于单晶硅制绒）和酸制绒（可用于单晶和多晶硅表面 的制绒）。捷佳创设备为酸制绒设备，其目的主要有： 去除硅片表面的机械损伤层（来自硅棒切割的物理损伤） 清楚表面油污（利用HF）和金属杂质（利用HCL) 形成起伏不平的绒面，增加对太阳光的吸收，增加PN结面积，提高短路电流（Isc),最终提高电池光电 转换效率。
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21
设备开始运行步骤：
合上总电源开关、PLC电源开关及各个主电源开关
将控制台上“自动/手动”转换开关切换到手动 确认各有液槽体的液位正常 检查所有光电开关等信号开关是否松动，确保所有信号正常，确认无故障及异常现象 把画面切入系统启动界面，按下“回原点”按钮，触摸屏上显示“OK”后将控制台上“自 动/手动”转换开关切换到自动状态，再点击自动启动按钮，此时蜂鸣器鸣响三声，提示自 动运行开始
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23
五、前清洗设备换药液流程
手动状态下，点击“主界面”，进入主界面，点击排液阀手动
选择“制绒槽”（或者任何一个槽体，此处只与制绒槽为例，其他槽体更换药液流程基本一样 ），进入“制绒槽”模块，点击排液阀ON，将槽体内的液排掉 待槽体排空后，回到“主界面”，进入主界面，点击加水手动 进入“加水手动界面”，选择制绒槽点击加水ON 等到槽体达到高液位，回到“主界面”，进入主界面，点击排液阀手动，将槽体内的液体排掉 重复以上步骤，清洗槽体2~3次
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酸洗段
• • • 处理方式：循环溢流 处理介质：HF+HCL+H2O2 功能描述：硅片通过滚道水平输送，采用循环溢流功能进行清洗，溢流时硅片浸没在液面 下，溢流水回到副槽再循环利用。 • 示意图：
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槽体材质：PP 辊轴材质：PP 补液系统：恒压补液，补液量1L以上，补液误差在±2%以内
槽体材质：PP
辊轴材质：PP 温度RT
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烘干段
处理方式：风刀对硅片表面吹风 功能描述：利用热风对硅片进行吹干处理
示意图：
槽体材质;PP 辊轴材质：PP 温度：~60°C
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下料段
• • • • 输送方式：辊轴输送 下片方式：人工下片（可以搭配自动下片设备，需另行购买） 功能描述：接片盒自动接片，程序统计数量，人工取走 示意图：
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纯水喷淋段2
• • • 处理方式：喷淋 处理介质：纯水 功能描述：采用4段喷淋方式，第一段喷淋水直接排走，第四段采用纯水喷淋，第二、三、 四段喷淋水收集到副槽循环使用 • • • • • 示意图： 槽体材质：PP 辊轴材质：PP 温度：RT 辅助止液：经压水辊压水，避
免药水携带至下道工艺
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一 制绒的目的及原理（2）
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二 前清洗工艺步骤
捷佳创前清洗设备的主体分为九个槽（其中碱槽为1、2两个槽），此外还有滚轮、排风系统、自 动及手动补液系统、循环系统和温度控制系统等。
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三 前清洗设备组成（1）
设备框架：包括机架、封板、门板、观察窗、维护门等
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三 制绒段
• • • 处理方式：循环冷却+溢流浸泡 处理介质：HNO3+HF 功能描述：硅片通过辊道 水平输送，浸没在酸液中进行制绒处理，酸液溢流到副槽，由 泵将酸液泵到热交换器，酸液经热交换器冷却后由处理槽底部供给到处理槽 • • 进液方式:底部横向多段进液，进液口带缓冲装置，溢流平稳，溢流量可调 示意图：
设备后部有对开门，由透明PVC而成，能看到设备后部的所有系统。有手动旋转装置控制门的开关
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三 上料段
输送方式：辊轴输送 上片方式：人工上片（可以搭配自动上片设备，需另行购买） 槽体材质：PP 辊轴材质：PP 传动方式：齿轮传动 上料控制：采用光电传感器自动检测进片数，并设有连片报警提示功能 示意图：
检查槽内片子是否走偏，翘片 检查上下料时片子有无倾斜的状况，同时检查上下料电机运行状况 报警信息的查看，重点影响工艺设备的报警，做好当班定时跟踪状况 检查喷淋管有无破裂、漏水情况，同时检查喷嘴有无脱落
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谢谢观看！
THANKS!
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三 机架、封板
1、机架 机架构成设备的基本框架，由不锈钢方通和扁通焊接而成 方通表面用3~5mm厚PP板包裹，防止腐蚀 2、封板
封板构成设备的结构，用15mm的PP板焊接而成 封板组成了抽风道、设备前部观察维修门、设备后部观察维修门 设备前部为由透明PVC板组成推拉观察窗，通过观察窗操作者很容易观察处理过程，或者进行维修和清 洗槽体。为了安全起见，在处理过程中观察窗是关上的。
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碱洗段（碱洗1、碱洗2）
• • • 处理方式：循环冷却+溢流浸泡 处理介质：KOH 功能描述：碱液经喷淋形式进行硅片处理，碱液溢流收集到副槽，再由泵由喷淋到硅片表 面
•
示意图：
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12பைடு நூலகம்
槽体材质：PP 辊轴材质：PP 处理温度：80°C 加热方式：在线加热。先由副槽与在线加热器形成小循环把药液加热到工艺温度，然后停 止小循环，由副槽在线加热器二次加热与主槽形成大循环。 温度控制：采用多点测温模式 补液系统：恒压补液，补液量1L以上，补液误差±2%以内 溢流保护：溢流口设有液位开关，检测溢流排水口 辅助止液：经压水辊压水，避免药水携带至下道工艺 是否堵塞
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三 前清洗设备组成（5）
槽体材质:PVDF 辊轴材质：PVDF 补液系统：恒压补液，补液量1L以上，补液误差±2%以内
处理温度：8±1°C
温度控制：采用多点温度监控模式，每个通道设有2个温度监控点，可实 时的显示各点温度及横向、纵向温度的均匀性 溢流保护：溢流口设有液位开关，检测溢流排水口是否堵塞 辅助止液：经压水辊压水，避免药水携带至下道工艺
•
• •
槽体材质：PP
传动方式：齿轮传动 下料控制：采用光电传感器
自动检测出片数
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排风、电控系统
排风
在工艺槽由槽面抽风和槽内抽风组成，抽风经抽风道与设备风口相连
所有的抽风口最后都连接到客户提供的抽风装置上，每一抽风口均有调节阀门，可自由调节风量大 小 抽风法兰内径为Φ200
电控系统
主供电电源为380V，3相5线 操作控制回路DC 24V 设备由工控机控制
具备安全保护功能
具备危险报警系统 设备报警记录存储 设备各项参数储存
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四、前清洗设备开关机步骤
为防止发生意外，开机前务必遵守以下几点
• • • • 将设备内部所有杂物（如包装材料、安装、工具等）清除干净 开机时不可将手置于设备工作区域内 严格遵守设备安全指示 将设备所有门窗和盖板关好
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设备关机步骤：
把屏幕切入主界面 主界面切入系统启动界面 触摸“自动停止”按钮，各机械臂完成动作后自动运行停止
待设备停止进料，内部无硅片，将设备打到手动状态
手动将各个槽体内的药液排空，并且清洗各个槽体 将配电柜内的各分路开关先关闭，然后再将总电源关闭 关闭动力源，包括纯水，冷却水和压缩空气等（纯水和冷却水先关进水，再关回水） 将配电柜的门板锁上
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纯水喷淋段1
处理方式：喷淋 处理介质：纯水
功能描述：采用4段喷淋方式，第一段喷淋水直接排走，第四段采用纯水喷淋，第二、第
三、第四喷淋水收集到副槽循环使用 示意图（右图）： 槽体材质：PP 辊轴材质：PP 温度：RT 辅助止液：经压辊压水，避免药 水携带至下道工艺
温度：RT
溢流保护：溢流口设有液位开关，检测溢流排水口是否堵塞 辅助止液：经压水辊压水，后采用吸水辊吸水，避免药水携带至下道工艺
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纯水喷淋段3
处理方式：喷淋 处理介质：纯水 功能描述：采用5段喷淋方式，第一段喷淋水直接排走，第五段采用纯水喷淋，第二、三、 四、五段喷淋水收集到副槽使用 示意图：
工艺段位：上料台+酸腐蚀/制绒段+喷淋段+酸洗段+喷淋段+烘干段+下料台
管路系统:包括纯水管路、自动补、配液管路、废液排放管路、压缩空气管路、循环管路等 抽风系统：包括抽风管道、抽风管路、叶阀等
冷却系统：包括品牌冷水机、冷冻水循环管路、热交换器等
干燥系统：包括高压鼓风机、过滤器、吹风管等 电控系统：包括电控箱、电路、工控机、控制程序等
回到主界面，点击加液手动，往槽体内加入相对应比例的化学品即可
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六、设备日常维护
1、当班检查事项
检测所有的门窗（设备、电柜）有无关好，槽盖开关有无异常 机台周围、内部管道有无漏液情况，尤其是管道接口处 设备三色灯功能是否正常