TFT-LCD生产线简介 PPT
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TFTLCD基础知识培训ppt课件
C
Back etch of n+ a-Si from
channel area
a-Si TFT array process – step 4
C'
Deposition and patterning of passivation SiN by PECVD
Function: Passivate TFT
tftlcd单像素结构tfttftsourcedraingatesemiconductorglassgateinsulatorchannelsourcedraingatesemiconductorglassgateinsulatorchannelvevevegndsourcedrainconductivechannelcurrentflowvevevegndsourcedrainconductivechannelcurrentflowtft在lcd中起着传输和控制电信号的作用即通过它确定施加在液晶层上的电压的大小彩色滤色膜由红绿蓝三种颜色的光阻黑矩阵保护膜和ito公共电极几部分组成colorfiltercflcd液晶显示直视型投影型透射型有背光源反射型无背光源前投影型背投影型array制程与半导体制程相似但不同的是将薄膜晶体管制作在玻璃基底上而非晶圆上
4.3
39.6
-16%
-7%
-4%
-8%
Source: Quarterly Desktop Monitor Shipment and Forecast Report
TV Market Forecast
玻璃尺寸及消费线Gen的概念
Gen 10
玻璃尺寸： 2950*3400mm 2850*3050mm
▪ 一是在特定的温度、特定的方位角下，对比度随驱动电压 的变化而变化，即对比度曲线；
TFTLCD阵列工艺介绍解析ppt
如氧化物、氮化物等，用于隔离不 同层级的电子元件。
光学材料
如液晶、彩色滤光片等，用于实现 图像显示。
制程中的工艺技术
光刻技术
刻蚀技术
薄膜淀积技术
离子注入技术
其他技术
利用光学曝光将设计好 的电路图案转移到半导 体或导体材料上。
通过化学或物理方法将 不需要的材料去除，形 成电路和元件结构。
在半导体或导体表面形 成一层或多层薄膜，以 实现电子元件的功能。
tftlcd阵列工艺介绍解析ppt
xx年xx月xx日
目 录
• tftlcd阵列工艺简介 • tftlcd阵列工艺制程 • tftlcd阵列工艺技术特点 • tftlcd阵列工艺应用 • tftlcd阵列工艺的未来展望
01
tftlcd阵列工艺简介
tftlcd定义
显示屏幕的构成
TFT-LCD（Thin-Film Transistor Liquid Crystal Display）是薄膜晶体管液晶显示 器的英文缩写，它是一种被动式矩阵液晶 显示器，由彩色滤光片、偏光片、TFT（ 薄膜晶体管）等部件构成。
医疗器械应用
随着医疗器械的不断发展，TFT-LCD技术将越来越被广泛应用于 医疗设备和器械中，例如医用监护仪、彩超等。
AR/VR领域
随着AR/VR技术的不断发展和普及，TFT-LCD技术将在这个领域发 挥越来越重要的作用，例如头戴式显示器等设备。
THANKS
感谢观看
加省电并具有更长的续航时间。
响应速度快
03
TFT-LCD的响应时间相对较快，能够在短时间内完成图像切换
，从而提高用户的交互体验。
工艺技术的不足
成本高
由于TFT-LCD阵列工艺的生产过程复杂，需要精密的设备和原 材料，因此其成本相对较高。
光学材料
如液晶、彩色滤光片等，用于实现 图像显示。
制程中的工艺技术
光刻技术
刻蚀技术
薄膜淀积技术
离子注入技术
其他技术
利用光学曝光将设计好 的电路图案转移到半导 体或导体材料上。
通过化学或物理方法将 不需要的材料去除，形 成电路和元件结构。
在半导体或导体表面形 成一层或多层薄膜，以 实现电子元件的功能。
tftlcd阵列工艺介绍解析ppt
xx年xx月xx日
目 录
• tftlcd阵列工艺简介 • tftlcd阵列工艺制程 • tftlcd阵列工艺技术特点 • tftlcd阵列工艺应用 • tftlcd阵列工艺的未来展望
01
tftlcd阵列工艺简介
tftlcd定义
显示屏幕的构成
TFT-LCD（Thin-Film Transistor Liquid Crystal Display）是薄膜晶体管液晶显示 器的英文缩写，它是一种被动式矩阵液晶 显示器，由彩色滤光片、偏光片、TFT（ 薄膜晶体管）等部件构成。
医疗器械应用
随着医疗器械的不断发展，TFT-LCD技术将越来越被广泛应用于 医疗设备和器械中，例如医用监护仪、彩超等。
AR/VR领域
随着AR/VR技术的不断发展和普及，TFT-LCD技术将在这个领域发 挥越来越重要的作用，例如头戴式显示器等设备。
THANKS
感谢观看
加省电并具有更长的续航时间。
响应速度快
03
TFT-LCD的响应时间相对较快，能够在短时间内完成图像切换
，从而提高用户的交互体验。
工艺技术的不足
成本高
由于TFT-LCD阵列工艺的生产过程复杂，需要精密的设备和原 材料，因此其成本相对较高。
TFTLCD基本原理33页PPT
TFT-LCD基本原理与设计
课程大纲
TFT-LCD 簡介 液晶的光电特性 TFT LCDs A/C 架构 TFT LCDs 模組架构
TFT-LCD 驱动原理 Driving method Driving waveform 电容效应
TFT-LCD 设计
主动矩阵式液晶显示器 AM-LCDs Monitor System
VA Off(Black) On(White)
Strongly dependent on viewing angle
低驱动电压 視角窄小
Slightly dependent on viewing angle
广视角 液晶反应速度慢 画面对比低 画面品质差
Slightly dependent on viewing angle
X-PCD TFT-LCD
invertor
BL
TFT Characteristic
Id
10E-6
10E-11
10E-12
Vg
-10 -5
10
20
TFT LCDs 等效电路
Column Driver
1H
Row Drivers
Clc
Cs Clc
Cs Clc
Cs
Clc
Cs Clc
Cs Clc
Cs
Clc
GMA1~GMA18 Data Driver
LCD Timing Controller
Scan Control Signals
LCD Panel
Scan Driver
Power Supply Circuit
Backlight Power Supply
Data & Scan Driver Power Supply
课程大纲
TFT-LCD 簡介 液晶的光电特性 TFT LCDs A/C 架构 TFT LCDs 模組架构
TFT-LCD 驱动原理 Driving method Driving waveform 电容效应
TFT-LCD 设计
主动矩阵式液晶显示器 AM-LCDs Monitor System
VA Off(Black) On(White)
Strongly dependent on viewing angle
低驱动电压 視角窄小
Slightly dependent on viewing angle
广视角 液晶反应速度慢 画面对比低 画面品质差
Slightly dependent on viewing angle
X-PCD TFT-LCD
invertor
BL
TFT Characteristic
Id
10E-6
10E-11
10E-12
Vg
-10 -5
10
20
TFT LCDs 等效电路
Column Driver
1H
Row Drivers
Clc
Cs Clc
Cs Clc
Cs
Clc
Cs Clc
Cs Clc
Cs
Clc
GMA1~GMA18 Data Driver
LCD Timing Controller
Scan Control Signals
LCD Panel
Scan Driver
Power Supply Circuit
Backlight Power Supply
Data & Scan Driver Power Supply
TFT制造原理和流程 ppt课件
洗浄
ＵＶ
药液
刷子
高圧
ＭＳ
Ａ／Ｋ
Ｐ ＵＶ
Ｄ排 Ａ水
药液
Ｐ 刷洗
纯
Ｐ
水
高 压 喷射
排
Ｄ
水
Ａ
ＭＳ
洗净 功能 洗净对象
作用
氧化分解 有机物 (浸润性改善)
ＵＶ/Ｏ３
溶解 有机物
溶解
机械剥离 微粒子 (大径)
接触压
机械剥离 微粒子 (中径)
水压
机械剥离 微粒子 (小径) 加速度 cavitation
2.2 ARRAY工艺流程及设备
G８ Size
← 2400mm →
2.2 ARRAY工艺流程及设备
O/S test design
Panel structure for O/S Test
Every data line extands out of the active area
connect with O/S pad
On the other side all data line connected together by Shorting bar
▪ LASER MATERIAL
: Nd:YAG
▪ WAVELENGTH
: 1064nm / 532nm /355nm
▪ PULSE REPETITION RATE : 1pps TO 100 PPS
▪ OUTPUT STABILITY : LESS THAN ± 3%
TEST--CDC
TEST--CDC
上部电极 气体吹出
下部电极
控制台
等离子体
工艺腔体
APC阀
APC 控制
压力控制
TFT-LCD原理及制程简介--五道光罩
Channel(通道)
(i)a-Si：H
通道與電極之接觸介面 (n+)a-Si：H
Source/Drain 電極 Cr
Contact hole
SiNx
畫素電極
ITO
19
Mask 1：GE (Gate電極形成)
A
A
A’
1. 受入洗淨
A’
芝蒲
2. 濺鍍Cr (4000A)
ULVAC
3. 成膜前洗淨
島田理化/芝蒲
DNS 島田理化 ORBOTEC 田葉井
TFT元件製程結束 , 後流至ARRAY TESTER
24
靜電保護：避免因Gate與Source電極的電壓差，而對TFT產生
不良的影響，達到靜電保護的目的。
Source Driver
Gate Driver
Source 線 或 Gate 線
尖 端 放 電
Short Ring
41325.. CGSPDEH製製程程
玻璃基板
ITO層:1000Å
半導體層(a-Si):1500Å
歐姆接觸層(n+ a-Si):300Å
閘極(Gate):4000Å
閘極絕緣層 (SiNx):3000Å+1000Å
保護層(SiNx):3000Å
汲極金屬層(Drain):4000Å
源極金屬層(Source):4000Å
3.一般RON與ROFF電阻比至少約為105以上。
7
認識 TFT
D
S
D
SD
S
G
G
G
1. TFT為一三端子元件。 2.在LCD的應用上可將其視為一開關。 3.為何要採 Inverted Staggered 之結構？
TFT-LCD生产线简介
• 数据显示，液晶显示屏占液晶电视制造成本的70%以上。中国作为液 晶显示屏消费大户，一直以来始终处于整机制造末端。内地液晶显 示屏高度依赖进口，而32英寸以上液晶电视屏则全部依赖进口。
• 2010年9月3日，“中国内地首条第6代TFT-LCD生产线产品点亮仪式” 在合肥京东方光电科技有限公司正式举行。标志着京东方合肥6代线 正式进入试生产，也标志着中国液晶显示产业有了新的突破，迎来 了一个重要的历史时刻。从此，彻底结束了32英寸以上液晶电视无 国产屏的历史，将中国电子信息产业的 “中国创造”水平提升到一 个新台阶。
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Grandeur
• 到2011年三季度，京东方北京8.5代线开始投产，中国将彻底实现从 1.8英寸到55英寸的全系列液晶显示屏的国产化，企业国际竞争力也 将得到进一步提升。 这条线将彻底结束我国40英寸以上液晶面板市 场需求完全依赖进口的局面。这一项目在2010年7月主体厂房已经封 顶，它标志着京东方基本完成了危机中的战略布局。
京东方TFT-LCD生产线的发展
京东方第五代TFT-LCD生产线
三 全世界范围LCD的生产
日本液晶显示产业发展研究
发展高世代液晶面板生产线
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Grandeur 1. TFT-LCD生产线的演进
• 近年来新型显示器件，特别是以液晶显示器(LCD)为旨的各种新型平 板显示器件(FPD)得到了迅速发展，21世纪将是新型平板显示技术大 发展的新时代。随着技术进步和工艺的简化，薄膜晶体管液晶显示 器（TFT-LCD）产业已进入快速增长期，全球液晶电视市场呈现了爆 发式的增长。
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Grandeur 2.国内LCD主流生产线
• 2010年9月3日，“中国内地首条第6代TFT-LCD生产线产品点亮仪式” 在合肥京东方光电科技有限公司正式举行。标志着京东方合肥6代线 正式进入试生产，也标志着中国液晶显示产业有了新的突破，迎来 了一个重要的历史时刻。从此，彻底结束了32英寸以上液晶电视无 国产屏的历史，将中国电子信息产业的 “中国创造”水平提升到一 个新台阶。
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Grandeur
• 到2011年三季度，京东方北京8.5代线开始投产，中国将彻底实现从 1.8英寸到55英寸的全系列液晶显示屏的国产化，企业国际竞争力也 将得到进一步提升。 这条线将彻底结束我国40英寸以上液晶面板市 场需求完全依赖进口的局面。这一项目在2010年7月主体厂房已经封 顶，它标志着京东方基本完成了危机中的战略布局。
京东方TFT-LCD生产线的发展
京东方第五代TFT-LCD生产线
三 全世界范围LCD的生产
日本液晶显示产业发展研究
发展高世代液晶面板生产线
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Grandeur 1. TFT-LCD生产线的演进
• 近年来新型显示器件，特别是以液晶显示器(LCD)为旨的各种新型平 板显示器件(FPD)得到了迅速发展，21世纪将是新型平板显示技术大 发展的新时代。随着技术进步和工艺的简化，薄膜晶体管液晶显示 器（TFT-LCD）产业已进入快速增长期，全球液晶电视市场呈现了爆 发式的增长。
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Grandeur 2.国内LCD主流生产线
TFT_LCD_简介完整版 ppt课件
Si(硅)衬底上真正的集成电路
光刻流程示意
光刻胶(抗蚀剂，光阻)
正胶： 光刻胶在原始状态下不会被显影剂溶 解，只有被曝光后才会被溶解。
负胶：被曝光的区域不溶解于显影剂中，而未 曝光的区域会被显影剂溶解。
光学图形曝光的图 案转移步骤示意
(a)涂胶 (b)曝光 (c)显影 (d)刻蚀 (e)去胶
显示器用玻璃基板的特性比较
LCD显示器用玻璃基板的特性要求
高透光性 玻璃基板的表面、内部无缺陷 玻璃基板厚度均匀、表面平坦 具有优良的化学稳定性 热膨胀系数要小 洁净度高，严格控制微小附着物
如果玻璃的厚度不均、表面有波纹、内部有缺陷， 会使透过的图像变形。
TFT-LCD用玻璃基板的特殊要求
遮蔽式曝光技术示意
1.7 TFT LCD 制程
TFT Array 制程 CF 基板制程 LCD制程 LCM制程
TFT Array 制程
CF BM 制造流程
CF-RGB 制造流程
CF-ITO 制造流程
TFT LCD 结构图
LCD 段制造流程
LCM 制造流程
涂胶
掩模板(Mask)
利用一块带有图形的玻璃板，透过这块玻璃板投射 一束光到基板表面，就在基板的表面形成了图形的 阴影，玻璃板上的这些图形对应了要在工艺加工中 保护的区域。
上述的这块玻璃板就是掩模板(Mask)。 掩模板上的图形通常用铬制作，这些铬层将阻挡光
线通过。 画版图时，画的每一层图形都对应了一块掩模板。
在此又可区分为：
a. 亚像素 空间上划分为R ,G,B三像素。
b.色序法 时间上依次划分为R ,G,B三像素。
色序法
显示规格
1.2了解液晶及液晶显示器
TFT-LCD制程简介4PPT演示课件
OUTLINE
TFTLCD簡介 TFTLCD的操作原理 TFTLCD的優點 TFTLCD的設計考量 TFTLCD的設計流程
TFTLCD簡介
TFTLCD的特性 TFTLCD的操作原理 TFTLCD的優點
LCD : 一種光電裝置
光 : Dn
電 : De
光可分為不同的極化方向
不同極化方向的光經過液晶, 會有不同的光程
一般DVsCsp 比 DVgCgs小很多，可忽略
DVp
Von Voff
Cgs Ctotal
Cst
Clc
Csp Cgs
Feedthrough效應 (續)
DVpCD gV sgC Cgsts C DlVcsCC spsp DVp,a DVp,b
W | DVp,a - DVp,b | (愈小愈好)
5
4,11
7
12
設計目標
解析度 : 驅動頻率, 驅動負載, 畫素大小 面板尺寸 : 驅動負載, 信號延遲, 畫素大小 操作電壓 : TFT充電能力, Feedthrough效應 極性反轉模式 : Cst on gate, common調變 開口率 : 信號線寬, 儲存電容大小 其他光學目標 : 視角, 反應速度, ...
Cst
Clc
Csp Cgs
Clc,a Clc,b
Feedthrough效應的計算
Clc隨電壓而 改變
Cgs隨電壓而 改變
不同電壓下, feedthroughk 大小不同
TFT特性
開電流足以在時 1e-5 1e-6
間內完成充電 1e-7
關電流不致在時 1e-8
Id (A )
間內漏電太多
1e-9
1e-10
Reverse tilt, rubbing等與液晶相關的問題 ESD防護 雷射修補 驅動IC推動能力
TFTLCD簡介 TFTLCD的操作原理 TFTLCD的優點 TFTLCD的設計考量 TFTLCD的設計流程
TFTLCD簡介
TFTLCD的特性 TFTLCD的操作原理 TFTLCD的優點
LCD : 一種光電裝置
光 : Dn
電 : De
光可分為不同的極化方向
不同極化方向的光經過液晶, 會有不同的光程
一般DVsCsp 比 DVgCgs小很多，可忽略
DVp
Von Voff
Cgs Ctotal
Cst
Clc
Csp Cgs
Feedthrough效應 (續)
DVpCD gV sgC Cgsts C DlVcsCC spsp DVp,a DVp,b
W | DVp,a - DVp,b | (愈小愈好)
5
4,11
7
12
設計目標
解析度 : 驅動頻率, 驅動負載, 畫素大小 面板尺寸 : 驅動負載, 信號延遲, 畫素大小 操作電壓 : TFT充電能力, Feedthrough效應 極性反轉模式 : Cst on gate, common調變 開口率 : 信號線寬, 儲存電容大小 其他光學目標 : 視角, 反應速度, ...
Cst
Clc
Csp Cgs
Clc,a Clc,b
Feedthrough效應的計算
Clc隨電壓而 改變
Cgs隨電壓而 改變
不同電壓下, feedthroughk 大小不同
TFT特性
開電流足以在時 1e-5 1e-6
間內完成充電 1e-7
關電流不致在時 1e-8
Id (A )
間內漏電太多
1e-9
1e-10
Reverse tilt, rubbing等與液晶相關的問題 ESD防護 雷射修補 驅動IC推動能力
TFTLCD简介与生产工艺流程优质PPT课件
2019/10/11 7
TFT LCD简介与生产工艺流程
将偏光板、槽状表面、液晶组合后产生的光学效果（1）
当上下偏光片相互垂直时，若未施加电压，光线可通过。
sunyes
ห้องสมุดไป่ตู้
2019/10/11 8
TFT LCD简介与生产工艺流程
将偏光板、槽状表面、液晶组合后产生的光学效果（2）
sunyes
当施加电压时，光线被完全阻挡。
TFT LCD简介 与生产工艺流
程
TFT LCD简介与生产工艺流程
TFT-LCD Structure & Principium
TFT—Thin Film Transistor 薄膜电晶体 LCD—Liquid Crystal Display 液晶显示器 由于TFT-LCD具有体积小，重量轻，低辐射，低耗电量， 全彩化等优点，因此在各类显示器材上得到了广泛的应用。
TFT元件
液晶 加入電壓
保持電容
sunyes
2019/10/11 16
TFT-Array Process
TFT LCD简介与生产工艺流程
Data Bus Line and S/D Metal Sputtering
Passivation SiNx Deposition Using
PECVD sunyes
TFT LCD简介与生产工艺流程
Cell Process(1)
sunyes
2019/10/11 18
Cleaning
TFT LCD简介与生产工艺流程
sunyes
2019/10/11 19
sunyes
PI Coating
TFT LCD简介与生产工艺流程
TFT-LCD阵列工艺介绍(PPT38张)
33
3.7 O/S测定
Gate Etching 剥离完了
O/S check
Ｏ／Ｓ check
Short&Open缺陷检出
自动外观检查
Laser Repair （Short）
G-Open
Laser CVD （Open）
G-Com short
实例：用于G极断路和短路的检查
34
AC 200V
完全非接触的测量方法 可以避免玻璃表面的划伤
刻蚀Mura、剥离残留
Mura有无 刻蚀Mura、剥离残留 PR涂敷Mura等 刻蚀Mura、剥离残留 PR涂敷Mura等 刻蚀Mura、剥离残留
22
・装置原理
Micro検査 光学系统Ｘ，Ｙ轴可以移动进行目视观察。 明／暗视野、透过照明、干渉光观察等。
ＣＣＤ Camera Or 接眼目視镜筒 落斜照明
表4 线幅check项目
工程 G-PR G剥离 DIPR DI剥离 测量项目 PR后光刻胶图形——G线线宽 G剥离后金属图型——G线线宽 PR后光刻胶图形——D线线宽、DI/G重合精度 DI剥离后图形——D线线宽、沟道长度L
25
3.3 PR形状测定
检查装置：原子力显微镜（AFM）
工程 DIPR 测量项目 PR后光刻胶图形——沟道处残膜厚度
PI-PR剥离
D-WE
CH-DE D-PR剥离 图15 4mask和5mask工艺流程图
20
三、阵列检查介绍
工程检查的目的 对上一工序的工艺结果进行监测，防止生产线上不符合工艺管理规格的不 良品大量产生。
表2 Array工程检查项目概况
检查项目名称
显影Check 剥离外观Check
TFT—LCD制程简介 共32页
11
TFT-LCD的三段主要制程
• 一、 前段Array （阵列制程） -前段的 Array 制程是将薄电晶体制作于玻璃上。
• 中段Cell （组立制程） -中段的Cell 製程，是以前段Array的玻璃為基板，
與彩色濾光片的玻璃基板結合，並在兩片玻璃
基板間灌入液晶(LC)
• 後段Module Assembly （模组制程） - 后段模组组装製程是將Cell製程後的玻璃與其
組合電晶體玻璃與彩色濾光片
• 在組合兩片玻璃之前，要先平均佈滿類似球狀的 間隙子固定間隔，以免液晶面板組合後，兩片玻 璃向內凹曲，通常液晶面板在組合時，會留下一 個或二個缺口，以利後續灌入液晶， 接著就以框 膠及導電膠封在兩片玻璃邊緣，如此就完成玻璃 的組合。
將液晶灌入液晶面板
• 封完邊框之後，就將液晶面板放到真空室， 透過剛才預留的缺口把液晶面板的空氣抽 掉，然後藉助大氣壓力灌入液晶，再將缺 口封閉。而液晶是一種介於固體與液體的化合物 質，具有規則性分子排列的特性。
TFT-LCD制程简介
1
目录
• 一、什么是TFT—LCD • 二、结构介绍 • 三、 TFT-LCD点亮原理 • 四、供应商和基板尺寸 • 五、制造流程 • 六、应用范围
2
何谓TFT—LCD？
• 一、TFT-LCD 是薄膜电晶体液晶显示器。
TFT是薄膜电晶体 LCD是液晶显示器
英文全称：thin-film transistor 英文全称liquid-crystal display.
包裝、出貨
液晶显示器的应用范围
• 在很多的通讯器材或资讯设备都能看到， 例如:笔记本电脑、数位个人助理(PDA)、电 视、新型移动电话等。
Thank you！
TFT-LCD的三段主要制程
• 一、 前段Array （阵列制程） -前段的 Array 制程是将薄电晶体制作于玻璃上。
• 中段Cell （组立制程） -中段的Cell 製程，是以前段Array的玻璃為基板，
與彩色濾光片的玻璃基板結合，並在兩片玻璃
基板間灌入液晶(LC)
• 後段Module Assembly （模组制程） - 后段模组组装製程是將Cell製程後的玻璃與其
組合電晶體玻璃與彩色濾光片
• 在組合兩片玻璃之前，要先平均佈滿類似球狀的 間隙子固定間隔，以免液晶面板組合後，兩片玻 璃向內凹曲，通常液晶面板在組合時，會留下一 個或二個缺口，以利後續灌入液晶， 接著就以框 膠及導電膠封在兩片玻璃邊緣，如此就完成玻璃 的組合。
將液晶灌入液晶面板
• 封完邊框之後，就將液晶面板放到真空室， 透過剛才預留的缺口把液晶面板的空氣抽 掉，然後藉助大氣壓力灌入液晶，再將缺 口封閉。而液晶是一種介於固體與液體的化合物 質，具有規則性分子排列的特性。
TFT-LCD制程简介
1
目录
• 一、什么是TFT—LCD • 二、结构介绍 • 三、 TFT-LCD点亮原理 • 四、供应商和基板尺寸 • 五、制造流程 • 六、应用范围
2
何谓TFT—LCD？
• 一、TFT-LCD 是薄膜电晶体液晶显示器。
TFT是薄膜电晶体 LCD是液晶显示器
英文全称：thin-film transistor 英文全称liquid-crystal display.
包裝、出貨
液晶显示器的应用范围
• 在很多的通讯器材或资讯设备都能看到， 例如:笔记本电脑、数位个人助理(PDA)、电 视、新型移动电话等。
Thank you！
FTLCD制程简介PPT演示文稿
22
貼偏光片完成組立製程
• 最後再貼上二片垂直方向的偏光片， 整片 液晶面板即算完成。
•
23
Drive IC搭載
• 偏光片貼附完成後，即開始在液晶面板的 兩側搭載Drive IC ， Drive IC 可是很重要的 驅動零件。
24
電路板焊接
• 再來就將Drive IC 的入力端與電路板藉著銲 錫焊接導通。這樣訊號就可以順利發出， 然後控制面板上的影像了。
11
TFT-LCD的三段主要制程
• 一、 前段Array （阵列制程） -前段的 Array 制程是将薄电晶体制作于玻璃上。
• 中段Cell （组立制程） -中段的Cell 製程，是以前段Array的玻璃為基板，
與彩色濾光片的玻璃基板結合，並在兩片玻璃
基板間灌入液晶(LC)
• 後段Module Assembly （模组制程） - 后段模组组装製程是將Cell製程後的玻璃與其 他如背光板、電路、外框等多種零組件組裝的
8
点亮原理图
9
供应商和基板尺寸
• 一、台湾五大TCF-LCD厂商：友达光电、奇 美电子、瀚宇彩晶、中华映管、广辉电子。
• 二、台湾彩色滤光片三大供应厂商：展茂 光电、剑度公司、和鑫光电。
• 三、台湾五大玻璃基板供应厂商：康宁玻 璃、台湾板保、台湾凸板、旭硝子、中晶 光电。
10
TFT-LCD玻璃基板之尺寸 各世代技術最適面板切割尺寸及片數
➢ Backlight ----由於液晶顯示器為非發光型，為了強化顯示的能見度，將 液晶面板背面的光加以投射之裝置。光源以螢光燈管為主流，分為冷 陰極管與熱陰極管。構造上可分為直下型與側光型。
7
TFT-LCD如何點亮?
简单的说，TFT-LCD面板可視為兩片玻璃基板中間夾 著一層液晶，上層的玻璃基板是與彩色濾光片 (Color Filter)、而下層的玻璃則有電晶體鑲嵌於上。 當電流通過電晶體產生電場變化，造成液晶分子 偏轉，藉以改變光線的偏極性，再利用偏光片決 定畫素(Pixel)的明暗狀態。此外，上層玻璃因與彩 色濾光片貼合，形成每個畫素(Pixel)各包含紅藍綠 三顏色，這些發出紅藍綠色彩的畫素便構成了面 板上的影像畫面。
貼偏光片完成組立製程
• 最後再貼上二片垂直方向的偏光片， 整片 液晶面板即算完成。
•
23
Drive IC搭載
• 偏光片貼附完成後，即開始在液晶面板的 兩側搭載Drive IC ， Drive IC 可是很重要的 驅動零件。
24
電路板焊接
• 再來就將Drive IC 的入力端與電路板藉著銲 錫焊接導通。這樣訊號就可以順利發出， 然後控制面板上的影像了。
11
TFT-LCD的三段主要制程
• 一、 前段Array （阵列制程） -前段的 Array 制程是将薄电晶体制作于玻璃上。
• 中段Cell （组立制程） -中段的Cell 製程，是以前段Array的玻璃為基板，
與彩色濾光片的玻璃基板結合，並在兩片玻璃
基板間灌入液晶(LC)
• 後段Module Assembly （模组制程） - 后段模组组装製程是將Cell製程後的玻璃與其 他如背光板、電路、外框等多種零組件組裝的
8
点亮原理图
9
供应商和基板尺寸
• 一、台湾五大TCF-LCD厂商：友达光电、奇 美电子、瀚宇彩晶、中华映管、广辉电子。
• 二、台湾彩色滤光片三大供应厂商：展茂 光电、剑度公司、和鑫光电。
• 三、台湾五大玻璃基板供应厂商：康宁玻 璃、台湾板保、台湾凸板、旭硝子、中晶 光电。
10
TFT-LCD玻璃基板之尺寸 各世代技術最適面板切割尺寸及片數
➢ Backlight ----由於液晶顯示器為非發光型，為了強化顯示的能見度，將 液晶面板背面的光加以投射之裝置。光源以螢光燈管為主流，分為冷 陰極管與熱陰極管。構造上可分為直下型與側光型。
7
TFT-LCD如何點亮?
简单的说，TFT-LCD面板可視為兩片玻璃基板中間夾 著一層液晶，上層的玻璃基板是與彩色濾光片 (Color Filter)、而下層的玻璃則有電晶體鑲嵌於上。 當電流通過電晶體產生電場變化，造成液晶分子 偏轉，藉以改變光線的偏極性，再利用偏光片決 定畫素(Pixel)的明暗狀態。此外，上層玻璃因與彩 色濾光片貼合，形成每個畫素(Pixel)各包含紅藍綠 三顏色，這些發出紅藍綠色彩的畫素便構成了面 板上的影像畫面。
TFTLCD阵列工艺介绍 ppt课件
曝光原理
ＦｌｙＥｙｅ
光源
ＣＣＤ
弧状Ｓｌｉｔ Ｍａｓｋ
横倍率
台形 Ｍｉｒｒｏｒ
Ｘ非线形
凸面 Ｍｉｒｒｏｒ
凹面 Ｍｉｒｒｏｒ
Ｓｃａｎ
16
图11 曝光原理示意图
TFTLCD阵列工艺介绍
湿刻原理
■湿刻是通过对象材料（一般为金属导电膜）与刻蚀液之间的化学反应，对对象材 料进行刻蚀的过程。
■湿刻的过程 刻蚀液在对象物质表面的移送阶段
①初期状态
② 膨润·界面浸透
③ 溶解
光刻胶
膜
图14 剥离原理示意图
19
2.3 阵列基板的制造工艺流程
4mask
G-SP G-PR G-WE G-PR剥离 1st SiN CVD 三层CVD D-SP DI-PR D1-WE I/PR DE D2-WE CH-DE DI-PR剥离
PA-CVD C-PR C-DE
C-PR剥离 PI-SP PI-PR PI-WE
PI-PR剥离
G-SP G-PR G-WE
5mask G-PR剥离
1st SiN-CVD 三层CVD I-PR I-DE I-PR剥离 D-SP D-PR D-WE CH-DE D-PR剥离
图15 4mask和5mask工艺流程图
PA-CVD C-PR C-DE
TFTLCD阵列工艺介绍
1
TFTLCD阵列工艺介绍
一、TFT-LCD的基本构造 二、 ARRAY工艺简介 三、 阵列检查介绍
2
TFTLCD阵列工艺介绍
电路部件
偏光板
图1 TTFFTT--LCLDC液D晶M显o示d屏u的le构造
3
TFTLCD阵列工艺介绍
TFT-LCD 模组结构介绍PPT幻灯片课件
TFT玻璃透过率
面镜 上偏光片 彩色膜 液晶 下偏光片 LED Backlit
TFT背光知识
?=% 100%
90% 90%
5%-10%
6%
30% 7%
95% 23%
40% 60% 100%
24% 60%
背光结构示意图
70° 控制出光角度 增光膜 宽阔的出光角度 扩散膜
TFT背光知识
LCD Brightness Enhancement Films
光会被反射回去而被再利用 70°
TIR*
TFT背光知识
折射－可利用折射光增 加 40％－70％
低比例损失
重新进入下 一个棱镜
BEF
Diffusely recycled
扩散板
Diffuse Illumination
TFT背光知识
导光板： 规定材料： 日本出光LC1500。
提高亮度的技术高点： 最新网点处理技术提高10%亮度。 V-CUT工艺提高20%。
D处结构。 胶铁一体明确工艺卡位置，形状。 视角按规范标注。 客户关注的内容：像素点尺寸、TP开孔透过率、泡棉形
状、偏光片特性、翘曲度、重要尺寸CPK、ID脚状态。
42
Thank You！
43
保护玻璃端子线路
制程用料
连接Panel和客户接口
提供显示面光源
包括铁框
TFT LCD Panel主要供应商
厂商类别 厂商名称
日系
Sharp JDI
Hitachi
韩系
LGD PVI-Hydis
AUO
台系 国内
CMI
CPT
HSD GP BOE TM IVO
技术特点
TFT-LCD制造流程技术讲义(PPT43张)
TFT-LCD的剖面圖
偏光板
Color Filter
液晶層 TFT Array 偏光板 背光模組 螢光灯泡
畫素結構圖
何謂畫素(Pix素(PIXEL)
★構成螢幕上所有顏色的單位
主要以三元色為主( 紅、綠、 藍 )
★其中紅、綠、藍三色則稱為子畫素
720mm
彩色濾光片 Color Filter
製造流程概述 ( 一 )
TFT(Array)
Thin-Film Transistor
Array:電晶體 (矩形陣列 ) TFT基板生成
Cell:面板生成 (Panel) Module:產品模組 組裝
LC(Cell)
Liquid Crystal
LCM
Module
製造流程概述 ( 二 )
TFT Process
一. 何謂 TFT-LCD
1. TFT → Thin Film Transistor ( 薄膜電晶體 ) 2. LCD → Liquid Crystal Display ( 液晶顯示器 ) 3. 液晶特性簡介
• 介於液體與固體間的中間物質 – 1888 年奧地利植物學家 F.Reinitzer 發現 • 具有半透明,黏稠性 • 分子具規則排列性
基板投入
薄膜 Thin Film
Color Filter
蝕刻 Etch
OK
黃光 Photo
CELL
測試 Array Test
TFT的製造流程概述 ( 一)
5道光罩
薄膜 素玻璃
蝕刻
黃光
TFT 基板
BOX
TFT的製造流程概述 ( 二 )
鍍 下 一 層 膜 鍍膜(sputter,cvd) 去光阻液 stripper 去光阻 蝕刻(etch) 酸, 氣體
TFT--LCDppt
5. 蚀刻(WET)
DNS
6. 光阻去除
DNS
7. 制程完成检查
KLA/ORBO
Contact Hole形成
A
A
A’
A’
1. 光阻涂布/曝光/显影 TEL/Nikon
2. 显影檢查/光阻寸检
Nikon/Hitachi
3. 蚀刻(DRY)
6. 显影检查
Nikon/ Hitachi
7. 蚀刻(DRY)
TEL/PSC
8. 光阻去除
DNS
9. 制程完成检查
KLA/ORBO
画素电极形成
A
A A’
A’
1. 成膜前洗净
SPC/芝蒲
2. 成膜ITO
ULVAC
3. 光阻涂布/曝光/显影 TEL/Nikon
4. 显影检查/光阻寸检
Nikon/Hitachi
(下偏光板)
(印刷電路板) (驅動IC) (擴散片)
(間隔劑) (導光板)
(反射片)
(背光源)
薄膜电晶体-液晶显示器结构
光源经液晶层 扭转90°
TFTTFTTuTrnurOnFOFFF
~
上上偏偏光光片片 彩色滤光片
液晶液层晶層
TTFFTTTTuurrnn OONN
~
TFT基板
下偏下光偏片光片 背光背源光源
• 平板荧光灯（VFD）是一种热阴级、低压、平板型荧光 灯，如果将阳极和荧光粉制作成像素状，就是平板荧光 显示器件，可用于电子称，DVD等显示用，做为背光源 可以将阳极连成一片，全部涂覆一层荧光粉，其亮度大 于150lm，寿命大于5000小时。
• 冷阴极荧光灯（CCF）是一种依靠冷阴极气体放电，激 发荧光粉的光源。掺有少量水银的衡薄蒸气在高电压下 会产生电离，被电离的气体二次电子发射，轰击水银蒸 气，使水银蒸气被激发，发射出紫外线，紫外线激发荧 光粉发光。亮度大于150lm，其特点是寿命达20000小时， 功耗在1~4W，有U形、M形和直管形
TFTLCD原理-PPT课件
D-1.當上下偏光片互相垂直時，若未施加電壓，光線 可通過 D-2.當施加電壓時，光線被完全阻擋
TN型液晶 : 亮
未施加電壓 : 偏極化光 隨液晶分子扭轉
水平偏極化光出
未偏極化光入
液晶
偏光片2 (水平) 偏光片1 (垂直)
TN型液晶 : 暗
V
無光出
未偏極化光入
液晶
偏光片2 (水平) 偏光片1 (垂直)
C.偏光片之特性
C-1.將非偏極光(一般光線)過濾成線 性偏極光 C-2.當非偏極光通過a方向之偏光片 時，光線被過濾 成與a方向平行 之線性偏極光 C-3.線性偏極光繼續前進，通過a方 向之偏光片時， 光線通過；光 線通過b方向之偏光片時，光線 被 完全阻擋
D.將偏光片、槽狀表面、液晶組合後之光學效果
40W max. (LCD Module : 5W)
12.5 kg
75W
LCD : 一種光電裝置
光 : Dn
電 : De
不同的電壓下, 液晶會 光可分為不同的極化方向 有不同的排列方式 不同極化方向的光經過液 不同的液晶排列方式造 晶, 會有不同的光程 成不同的光程差, 因而 光經過此光程差再組合後, 使得穿透率改變 會改變其極化的形式 配合偏光片擋去某個極化 方向的光, 即可決定光的 如此可將video信號(電)轉換 穿透率 成亮暗顯示(光)
B.光與液晶分子產生之效果
B-1.當線性偏極光射入上層槽狀表面時 ，此光線隨著 液晶分子之旋轉亦產生旋轉 B-2.當線性偏極光射出下層槽狀表面時， 此光線已產 生90°之旋轉
B-3.當在上下兩表面之間加電壓時， 液晶分子會順電 場方向排列，成 為直立排列之現象 B-4.此時入射光線即不受液晶分子影 響，以直線射出下表面
TN型液晶 : 亮
未施加電壓 : 偏極化光 隨液晶分子扭轉
水平偏極化光出
未偏極化光入
液晶
偏光片2 (水平) 偏光片1 (垂直)
TN型液晶 : 暗
V
無光出
未偏極化光入
液晶
偏光片2 (水平) 偏光片1 (垂直)
C.偏光片之特性
C-1.將非偏極光(一般光線)過濾成線 性偏極光 C-2.當非偏極光通過a方向之偏光片 時，光線被過濾 成與a方向平行 之線性偏極光 C-3.線性偏極光繼續前進，通過a方 向之偏光片時， 光線通過；光 線通過b方向之偏光片時，光線 被 完全阻擋
D.將偏光片、槽狀表面、液晶組合後之光學效果
40W max. (LCD Module : 5W)
12.5 kg
75W
LCD : 一種光電裝置
光 : Dn
電 : De
不同的電壓下, 液晶會 光可分為不同的極化方向 有不同的排列方式 不同極化方向的光經過液 不同的液晶排列方式造 晶, 會有不同的光程 成不同的光程差, 因而 光經過此光程差再組合後, 使得穿透率改變 會改變其極化的形式 配合偏光片擋去某個極化 方向的光, 即可決定光的 如此可將video信號(電)轉換 穿透率 成亮暗顯示(光)
B.光與液晶分子產生之效果
B-1.當線性偏極光射入上層槽狀表面時 ，此光線隨著 液晶分子之旋轉亦產生旋轉 B-2.當線性偏極光射出下層槽狀表面時， 此光線已產 生90°之旋轉
B-3.當在上下兩表面之間加電壓時， 液晶分子會順電 場方向排列，成 為直立排列之現象 B-4.此時入射光線即不受液晶分子影 響，以直線射出下表面
TFT-LCD生产线简介 PPT
• 偏光片占TFT-LCD成本的10%左右，主要供应商也是以日东电工、三立、 住友化学等大厂商为主。
• 中游的显示屏生产企业目前的主要分布在韩国和台湾地区，他们的技 术和生产设备主要来自日本。包括清洗设备、显影设备、湿刻蚀设备 和抗蚀膜剥离设备等液晶生产设备，相当一部分也掌握在日本厂商手 中。
6.TFT-LCD知识产权现状
2.国内LCD主流生产线
•其实，大陆2003年本土液晶产业就开始成长，现在已经形成了长三角、 珠三角两大产业集群。这其中，又以长三角更为明显，几乎全球前10大 的液晶面板厂的模组生产、背光模组厂、液晶显示器厂和笔记本电脑厂 商都已经在此建立了生产基地。
•三大国内液晶屏生产线: 京东方(4.5G,5G, 6G, 8G) ，上广电(5G)， 龙腾(5G)
• 京东方合肥6代线于2009年4月开工，总投资175亿元人民币，设计产 能90K玻璃基板/月，主要生产37英寸以下电视和电脑显示器用液晶显 示屏。中国内地是全球潜力最大，增长速度极快的液晶电视市场。据 了解，目前国内彩电保有量约4.5亿台，其中CRT电视约4亿台。这些 CRT电视在未来几年内将逐步被液晶电视替换，每年将带来至少4000 万台的液晶电视销量。
• 首先，为充分提高玻璃基板的利用率，每个世代都有较优的切割尺寸， 各世代之间经济切割范围也可能会重叠。切割同样尺寸的面板，只要 都在经济切割的范围之内，高世代线单块面板分摊的折旧费用更低， 体现了投资的规模经济效应。
• 其次，伴随着技术世代升级，面板厂商投资新的世代线不仅可以开拓 更大尺寸市场，而且在其经济切割范围内，向下与次世代线竞争还可 望获得规模优势，获得明显的“后发优势”。
3.京东方TFT-LCD生产线的发展
据介绍，京东方是中国内地唯一一家拥有TFT-LCD核心技术和自主知识 产权，可以自主建设液晶显示高世代线的高科技本土企业。 • 2003年1月，京东方收购韩国现代电子的TFT-LCD业务。此后，京东方 加强自主创新能力建设，不断缩小中国在该领域与国际巨头的差距。 • 2005年5月，京东方北京5代线量产，结束了中国内地对包括10英寸以 上的液晶显示屏全部依赖进口的历史，翻开了中国自主制造液晶显示 屏的新篇章。 • 2009年10月，京东方成都4.5代线量产，京东方显示家族再增新力， 领跑中小尺寸液晶显示。 • 2010年9月3日，京东方合肥6代线成功实现产品点亮，结束了32英寸 以上液晶电视无国产面板的历史。
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• 京东方合肥6代线产品点亮，标志着京东方作为中国大陆液晶显示产 业领军者已经成功向中大尺寸主流液晶电视显示屏市场进军。
京东方第10.5代TFT-LCD生产线
• 京东方400亿10.5代线拟于2018年第三季投产，据京东方2015年7月 12日（00725.SZ）发布在合肥第10.5代线液晶面板生产线，将在 2015年第四季度前开工，这将是全球第一条10.5代线，此前全球高世 代线的液晶面板生产线为夏普在日本的10代线。
• 2010年9月3日，“中国内地首条第6代TFT-LCD生产线产品点亮仪式” 在合肥京东方光电科技有限公司正式举行。标志着京东方合肥6代线 正式进入试生产，也标志着中国液晶显示产业有了新的突破，迎来 了一个重要的历史时刻。从此，彻底结束了32英寸以上液晶电视无 国产屏的历史，将中国电子信息产业的 “中国创造”水平提升到一 个新台阶。
•TFT-LCD相比传统的彩色显像管（CRT），具有轻、薄、低辐射、环保 等优点，从而广泛应用于电脑显示器、笔记本电脑、液晶电视、移动电 话等领域，是当今平板显示技术的主流发展方向，也是未来20年内电子 信息产业增长的核心动力。
• 全球第l、2代TFT-LCD生产线全部用于小尺寸产品生产，这些生产线 已建了12～15年，设备老化，未来3年左右时间将逐步退出市场，或 关闭、或转做研发和人员培训。
• 5代线不仅是技术实验基地，还是人才培训基地。从2005年开始到现 在，京东方已经在这条线上培养了2000多名核心技术人员和工程人 员，这些人后来都成为了京东方建设4.5代线、6代线和8.5代线的技 术主力。
京东方第六代TFT-LCD生产线
• 数据显示，液晶显示屏占液晶电视制造成本的70%以上。中国作为液 晶显示屏消费大户，一直以来始终处于整机制造末端。内地液晶显 示屏高度依赖进口，而32英寸以上液晶电视屏则全部依赖进口。
TFT-LCD生产线简介
液晶显示器的应用
液晶显示器件的主流生产线
一 TFT-LCD生产线的演进
二 国内LCD主流生产线
京东方TFT-LCD生产线的发展
京东方第五代TFT-LCD生产线
三 全世界范围LCD的生产
日本液晶显示产业发展研究
发展高世代液晶面板生产线
1. TFT-LCD生产线的演进
•近年来新型显示器件，特别是以液晶显示器(LCD)为旨的各种新型平板 显示器件(FPD)得到了迅速发展，21世纪将是新型平板显示技术大发展 的新时代。随着技术进步和工艺的简化，薄膜晶体管液晶显示器（TFTLCD）产业已进入快速增长期，全球液晶电视市场呈现了爆发式的增长。
• 第3代TFT-LCD生产线主要用于生产中小尺寸产品，例如，监视器、笔 记本电脑等，第3代生产线大多已运行了8-10年，设备已逐步老化。
• 第4代、第4．5代TFT-LCD生产线可用于生产大、中、小尺寸产品，其 生产中小尺寸产品效率最高，这些生产线目前主要用于生产液晶监视 器和笔记本电脑用显示屏，部分用于生产中尺寸产品。
2.国内LCD主流生产线
•其实，大陆2003年本土液晶产业就开始成长，现在已经形成了长三角、 珠三角两大产业集群。这其中，又以长三角更为明显，几乎全球前10大 的液晶面板厂的模组生产、背光模组厂、液晶显示器厂和笔记本电脑厂 商都已经在此建立了生产基地。
•三大国内液晶屏生产线: 京东方(4.5G,5G, 6G, 8G) ，上广电(5G)， 龙腾(5G)
• 京东方合肥6代线于2009年4月开工，总投资175亿元人民币，设计产 能90K玻璃基板/月，主要生产37英寸以下电视和电脑显示器用液晶显 示屏。中国内地是全球潜力最大，增长速度极快的液晶电视市场。据 了解，目前国内彩电保有量约4.5亿台，其中CRT电视约4亿台。这些 CRT电视在未来几年内将逐步被液晶电视替换，每年将带来至少4000 万台的液晶电视销量。
京东方第五代TFT-LCD生产线
• 2005年5月25日，京东方科技集团宣布，其在北京建设的第五代TFTLCD生产线成功实现量产，这标志着我造水平向世界先进行列迈进了一大步。
• 5代线集生产线、学习线、实验线于一体。这条线既是十多种客户产 品的生产线，又是工程师的学习线。不仅从韩国收购来的企业技能 和经验在这里消化吸收，中国自主高世代线的创新实践也在这里打 下坚实的基础。
大家应该也有点累了，稍作休息
大家有疑问的，可以询问和交流
• 到2011年三季度，京东方北京8.5代线开始投产，中国将彻底实现从 1.8英寸到55英寸的全系列液晶显示屏的国产化，企业国际竞争力也 将得到进一步提升。 这条线将彻底结束我国40英寸以上液晶面板市 场需求完全依赖进口的局面。这一项目在2010年7月主体厂房已经封 顶，它标志着京东方基本完成了危机中的战略布局。
3.京东方TFT-LCD生产线的发展
据介绍，京东方是中国内地唯一一家拥有TFT-LCD核心技术和自主知识 产权，可以自主建设液晶显示高世代线的高科技本土企业。 • 2003年1月，京东方收购韩国现代电子的TFT-LCD业务。此后，京东方 加强自主创新能力建设，不断缩小中国在该领域与国际巨头的差距。 • 2005年5月，京东方北京5代线量产，结束了中国内地对包括10英寸以 上的液晶显示屏全部依赖进口的历史，翻开了中国自主制造液晶显示 屏的新篇章。 • 2009年10月，京东方成都4.5代线量产，京东方显示家族再增新力， 领跑中小尺寸液晶显示。 • 2010年9月3日，京东方合肥6代线成功实现产品点亮，结束了32英寸 以上液晶电视无国产面板的历史。
• 京东方重庆第8.5代线TFT-LCD生产线，在2015年4月8日投产。 • 成都京东方2015年5月8日建设的第6代线将在2017年第二季度投产。 • 京东方拟投300亿于福州，建8.5代线。
4.日本液晶显示产业发展研究
• 日本是液晶显示技术发展的主要创造者与推动者之一，液晶显示技 术最早源于美国，但将这个技术产业化的是日本。发展至今，日本 在液晶显示技术方面一直处于领先地位，垄断了液晶显示上游的材 料技术。
京东方第10.5代TFT-LCD生产线
• 京东方400亿10.5代线拟于2018年第三季投产，据京东方2015年7月 12日（00725.SZ）发布在合肥第10.5代线液晶面板生产线，将在 2015年第四季度前开工，这将是全球第一条10.5代线，此前全球高世 代线的液晶面板生产线为夏普在日本的10代线。
• 2010年9月3日，“中国内地首条第6代TFT-LCD生产线产品点亮仪式” 在合肥京东方光电科技有限公司正式举行。标志着京东方合肥6代线 正式进入试生产，也标志着中国液晶显示产业有了新的突破，迎来 了一个重要的历史时刻。从此，彻底结束了32英寸以上液晶电视无 国产屏的历史，将中国电子信息产业的 “中国创造”水平提升到一 个新台阶。
•TFT-LCD相比传统的彩色显像管（CRT），具有轻、薄、低辐射、环保 等优点，从而广泛应用于电脑显示器、笔记本电脑、液晶电视、移动电 话等领域，是当今平板显示技术的主流发展方向，也是未来20年内电子 信息产业增长的核心动力。
• 全球第l、2代TFT-LCD生产线全部用于小尺寸产品生产，这些生产线 已建了12～15年，设备老化，未来3年左右时间将逐步退出市场，或 关闭、或转做研发和人员培训。
• 5代线不仅是技术实验基地，还是人才培训基地。从2005年开始到现 在，京东方已经在这条线上培养了2000多名核心技术人员和工程人 员，这些人后来都成为了京东方建设4.5代线、6代线和8.5代线的技 术主力。
京东方第六代TFT-LCD生产线
• 数据显示，液晶显示屏占液晶电视制造成本的70%以上。中国作为液 晶显示屏消费大户，一直以来始终处于整机制造末端。内地液晶显 示屏高度依赖进口，而32英寸以上液晶电视屏则全部依赖进口。
TFT-LCD生产线简介
液晶显示器的应用
液晶显示器件的主流生产线
一 TFT-LCD生产线的演进
二 国内LCD主流生产线
京东方TFT-LCD生产线的发展
京东方第五代TFT-LCD生产线
三 全世界范围LCD的生产
日本液晶显示产业发展研究
发展高世代液晶面板生产线
1. TFT-LCD生产线的演进
•近年来新型显示器件，特别是以液晶显示器(LCD)为旨的各种新型平板 显示器件(FPD)得到了迅速发展，21世纪将是新型平板显示技术大发展 的新时代。随着技术进步和工艺的简化，薄膜晶体管液晶显示器（TFTLCD）产业已进入快速增长期，全球液晶电视市场呈现了爆发式的增长。
• 第3代TFT-LCD生产线主要用于生产中小尺寸产品，例如，监视器、笔 记本电脑等，第3代生产线大多已运行了8-10年，设备已逐步老化。
• 第4代、第4．5代TFT-LCD生产线可用于生产大、中、小尺寸产品，其 生产中小尺寸产品效率最高，这些生产线目前主要用于生产液晶监视 器和笔记本电脑用显示屏，部分用于生产中尺寸产品。
2.国内LCD主流生产线
•其实，大陆2003年本土液晶产业就开始成长，现在已经形成了长三角、 珠三角两大产业集群。这其中，又以长三角更为明显，几乎全球前10大 的液晶面板厂的模组生产、背光模组厂、液晶显示器厂和笔记本电脑厂 商都已经在此建立了生产基地。
•三大国内液晶屏生产线: 京东方(4.5G,5G, 6G, 8G) ，上广电(5G)， 龙腾(5G)
• 京东方合肥6代线于2009年4月开工，总投资175亿元人民币，设计产 能90K玻璃基板/月，主要生产37英寸以下电视和电脑显示器用液晶显 示屏。中国内地是全球潜力最大，增长速度极快的液晶电视市场。据 了解，目前国内彩电保有量约4.5亿台，其中CRT电视约4亿台。这些 CRT电视在未来几年内将逐步被液晶电视替换，每年将带来至少4000 万台的液晶电视销量。
京东方第五代TFT-LCD生产线
• 2005年5月25日，京东方科技集团宣布，其在北京建设的第五代TFTLCD生产线成功实现量产，这标志着我造水平向世界先进行列迈进了一大步。
• 5代线集生产线、学习线、实验线于一体。这条线既是十多种客户产 品的生产线，又是工程师的学习线。不仅从韩国收购来的企业技能 和经验在这里消化吸收，中国自主高世代线的创新实践也在这里打 下坚实的基础。
大家应该也有点累了，稍作休息
大家有疑问的，可以询问和交流
• 到2011年三季度，京东方北京8.5代线开始投产，中国将彻底实现从 1.8英寸到55英寸的全系列液晶显示屏的国产化，企业国际竞争力也 将得到进一步提升。 这条线将彻底结束我国40英寸以上液晶面板市 场需求完全依赖进口的局面。这一项目在2010年7月主体厂房已经封 顶，它标志着京东方基本完成了危机中的战略布局。
3.京东方TFT-LCD生产线的发展
据介绍，京东方是中国内地唯一一家拥有TFT-LCD核心技术和自主知识 产权，可以自主建设液晶显示高世代线的高科技本土企业。 • 2003年1月，京东方收购韩国现代电子的TFT-LCD业务。此后，京东方 加强自主创新能力建设，不断缩小中国在该领域与国际巨头的差距。 • 2005年5月，京东方北京5代线量产，结束了中国内地对包括10英寸以 上的液晶显示屏全部依赖进口的历史，翻开了中国自主制造液晶显示 屏的新篇章。 • 2009年10月，京东方成都4.5代线量产，京东方显示家族再增新力， 领跑中小尺寸液晶显示。 • 2010年9月3日，京东方合肥6代线成功实现产品点亮，结束了32英寸 以上液晶电视无国产面板的历史。
• 京东方重庆第8.5代线TFT-LCD生产线，在2015年4月8日投产。 • 成都京东方2015年5月8日建设的第6代线将在2017年第二季度投产。 • 京东方拟投300亿于福州，建8.5代线。
4.日本液晶显示产业发展研究
• 日本是液晶显示技术发展的主要创造者与推动者之一，液晶显示技 术最早源于美国，但将这个技术产业化的是日本。发展至今，日本 在液晶显示技术方面一直处于领先地位，垄断了液晶显示上游的材 料技术。