生产菲林制作检查控制管理指示

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1.0 Purpose 目的 4

2.0 Scope 范围 4

3.0 Refere nee 参考文件 4

4.0 Definition 定义

4 5.0 Responsibility and authority 职责权限 4 6.0 Flow chart 流程图

5 7.0 Procedure 程序

5-9 7.1 内层、CFM 菲林制作检杳 5 7.2外层菲林制作检查

6 7.3阻焊曝光、印油菲林制作检查

7 7.4字符、选择性印油菲林制作检查

8 7.5 菲林控制

9 7.6菲林中心与CAM 相关的运作 9 8.0 Record 记录

10

9.0 Appendix 附件

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SOP No.

Versio n

Effective Date

文件编号PE-CAM-05

版本号A

生效期

1.0目的

旨在建立菲林中心生产菲林检查与发放控制的规范，以确保生产菲林的品质符合生产及客户的要求

2.0范围

适用于PE 菲林中心菲林检查工作，以及菲林工具的查核、收发控制。

Title SOP No. Versi on Effective Date

题目生产菲林制作检查

控制管理指示

文件编号PE-CAM-05 版本号A 生效期

3.0参考文件

3.1HDI板制作指引ME-P-08

3.2工具孔及工具盘制作指示PE-CAM-03

3.3工具发放回收管理指示PE-CAM-07

4.0定义

菲林工具包含各类生产菲林（内层、CFM、外层、阻焊曝光、字符、选择性印油等）以及检查用的钻孔菲林、外形菲林及CFM检板菲林等。

5.0职责权限

5.1PE负责该指示的制定、修订及具体实施；

5.2PROD负责菲林有关项目的验证及监控。

6.0流程图

7.0程序

7.1 内层、CFM 菲林制作检查

7.1.1菲林光绘后进行透光密度检查，菲林光绘后用光透射密度仪进行检查，

方法是抽测菲林四

角和中央黑色位置，密度必须大于4.1个单位，若有异常，必须通知值班或主管进行处理；

7.1.2将菲林放置在菲林AOI 机上进行表观检查，若菲林上缺陷如砂眼、小黑点等数量超出

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处，需查看CAM 设计，若设计问题，待菲林检查完后通知 CAM 更改，若设计无问题， 则重绘一张；若问题仍存在，则须进行冲机常规清洁保养，之后重新光绘；再次光绘后若 问题依旧，务必通知EM 人员处理，OK 后重绘；

7.1.3拷贝留底；

7.1.4依照PT 检查菲林上工具号、图形药膜面；

7.1.5内层线路菲林单元/SET 检查，以原稿菲林负片对生产菲林正片及原稿菲林正片对生产菲 林负片比

较，检查菲林上修改及异于原稿菲林处是否合乎

PT 要求；CFM 菲林检查开窗

SOP No.

Versio n Effective Date

Title SOP No. Versio n

题目

生产菲林制作检查 控制管理指示

文件编号PE-CAM-05

版本号A

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Effective Date

生效期

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7410菲林PE 检查合格后交给QE 审核，QE 认定有缺陷经PE 确认后需修改的，通知CAM 进 行修改，OK 后输

出重绘。重绘后由PE 进行AOI 表观检查和缺陷问题处检查，OK 后QE 复核；

7.4.11 QE 发放合格菲林至生产部；

7412生产部在接收菲林6小时内须对菲林表观问题（如砂眼、 黑点等）复检，如有问题则将菲 林退回

QE ;超过6小时而未退还的菲林，则视为合格菲林。退回的菲林经

PE 和QE 菲

林审核员确认为缺陷的，则视为不合格菲林， 必须在《生产退修记录表》上登记具体的缺 陷内容，同时菲林设计者或菲林审核员将生产反馈的缺陷全部修正， 直到被生产确认为合 格再重新发放生产。

7.5

菲林控制

7.5.1菲林发放与回收

菲林发放与回收管理参见《工具发放回收管理指示》。

7.5.2菲林保存

7.5.2.1阻焊菲林保存黄菲林由工序完成，黑菲林由菲林中心保存； 7.5.2.2内层、CFM 、外层、字符工序的菲林根据生产的需要，保存在

PE 菲林中心。

7.6

菲林中心与CAM 相关的运作

7.6.1

生产菲林与CAM DATA 一致性

7.6.1.1菲林中心人员进行菲林审核，如发现问题，通知

CAM 修改，并重绘菲林至正确；

7.6.1.2如不需重绘，则进行手工修改，手工修改菲林中心需同时将留底一起修改；

7.6.1.3如CAM 在自检时发现错误，需第一时间通知菲林中心人员停止光绘，并删除错误文 件，如

菲林已绘且错误处可手工修改，菲林中心员工按手工修改。无法修改，菲林直 接判定报废。

7.6.2

光绘文件与 CAM DATA 一致性

7.6.2.1非正式生产工具传送文件时，文件名ZZZ 需与正式生产工具文件名 XXX 有明显区别。 在工

具完成后，光绘人员负责将文件立即删除；

7.6.2.2改周期菲林，文件名丫丫丫需与正式生产工具文件名 XXX 有明显区别，以免菲林中心 用错

文件；

7.6.2.3如CAM 传错文件或CAM 内容有过修改，CAM 人员须立即删除原光绘文件或请光绘 人员删除并

根据需要，决定是否重传文件。

Title

SOP No. Versio n Effective Date

题目

生产菲林制作检查 控制管理指示

文件编号PE-CAM-05

版本号A 生效期