XPS的原理及其应用

1.1腐蚀科学中钢板上锈蚀半点检测
1.2微电子技术中半导体集成芯片分析
1.3有机物种绝缘体PEFT的分析
2.成像XPS（iXPS）
• 成像iXPS主要有三种：
--平行成像法 不需逐点扫描，速度快，信噪比高。最 佳空间分辨率能达1微米。
--X射线束扫描法
--光电子扫描法
2.1硅寄存器IXPS分析
单色化光源，SAXPS简单采用光阑限定实现小面积 分析。 • 现代采用先进的铝靶微聚焦单色器，可同时实现 单色化XPS和SAXPS功能。 • 新型Mono SAXPS典型技术参数：最佳空间分辨率 15微米，最大分析区域400微米，最佳分辨率 0.47eV,常规的XPS极限分辨率只有0.8eV。整体灵 敏度大大提高，样品定位准确。
缺点： 只能对十几mm^2的大面积分析，提供大面积内 平均信息。 激发光源均为非单色化X光，分辨率不高。
现代XPS分析技术
• 单色化XPS（Mono XPS） • 小面积XPS(SAXPS) • 成像XPS （iXPS）
1.单色化XPS和SAXPS
• 以前的单色化XPS单纯采用晶体（如石英晶体）
现代ＸＰＳ 分析技术
１００７３０１班 饶倩蓝
基本原理 现代应用
方法总结
基本原理
• ＸＰＳ（Ｘ射线光电子能谱）是利用软Ｘ射线激发样品的 电子能谱，主要应用于样品表面元素和其价态分析。其工 作原理如图１。
XPS分析技术特点
优点： XPS不破坏样品。 灵敏度高。 化学位移明确。 可同时提供元素定量定性及化学态信息。
2.2聚酯（PET）膜表面的碳纤维iXPS分析
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结束语
本文只简单介绍现代能谱仪三个主要功能和应用，其 实与传统的能谱仪想比，现代Ｘ光电子能谱仪在功能、 性能、使用维护、数据系统等方面有了很大的发展，相 信随着科技发展，将来ＸＰＳ能更齐全、性能更优越。
Thank You