命名规则培训资料
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One Team One Vision One Standard
Operation Planning Dept.(DaLian) Chip BU
S-Code 命名规则
1 EPI EPI Tool+Sub A-Z A-Z T Thomas swan+PSS(3*1) P U Thomas swan+Bare Sapphire M V W A B C D E F G H I J K L M N O P Q Veeco+PSS(3*1) Veeco+Bare Sapphire 0.3 Aixtron+PSS(3*1) 0.3 Aixtron+Bare sapphire 0.3 Thomas swan+PSS(2*1) 0.3 Veeco+PSS(2*1) 0.3 Aixtron+PSS(2*1) 0.3 厂外Thomas swan+PSS( 2*1) 0.3 厂外Veeco+PSS(2*1) 0.3 厂外Aixtron+PSS(2*1) 0.3 Thomas swan+PSS(3*1) 0.2 Thomas swan+Bare Sapphire 0.2 Veeco+PSS(3*1) 0.2 Veeco+Bare Sapphire 0.2 Thomas swan+PSS(2*1) 0.2 Veeco+PSS(2*1) 0.2 厂外Thomas swan+PSS( 2*1) 0.2 厂外Veeco+PSS(2*1) 0.2 厂外Aixtron+PSS(2*1) 0.2 未给出 0.2 厂内 Aixtron编码 取消 U/W/B/F/G/H 2X1与3X1不可合 收 0.2与0.3可以合 收 化镀机台编号为 ADMEP009 N T A G F EPI Recipe PH P4 P6 T1 A1 G1 FC Mesa【0090-MESA刻 ITO【0240-ITO沉积】 蚀】 A-Z A-Z A LAM A ITO 700A B Samco B ITO 1800A C Y ULVAC 芜湖半成品 C D E F G H I RPD 700A RPD 1800A ITO 700A mesh ITO 1800A mesh RPD 700A mesh RPD 1800A mesh 2 3 4 5 6 FE Process Metal【0430-NI.AI.CR沉积】 Photo【0060-MESA对板】 Plasma【0140-SIO2 CBL 沉积】 A-Z A-Z A Metal 1.6um(ULVAC) A B Metal 1.6um(FSE) B Y C D E 芜湖半成品 Metal 1.6um(化镀) Metal 1.6um(ULVAC+O2) Metal 1.6um(FSE+O2) Y C D Canon/Ushio Nikon 芜湖半成品 Canon/Ushio-取消 EBR Nikon-取消EBR A-Z A B C Y N D E CD上线后统一切换,AB F 停用 G H I J K 第3/4/5/7可统一合收,第8码可分委外/厂内Showa/厂内Optorun三類 分收 第6码目前Nikon center key与canon&Ushio的center key不同(可实 现相同),在手动选取(0,0)点时可以合收,在自动选取(0,0)点 时不可合收 外延投片時決定 生管投片時決定 經過站點check out 才顯示 ESD--經由alloy ESD test才 帶出 黑白墊--BST後增加黑白 墊判定 *未使用S code請以【Z】 顯示 P-5000 Oxford NLVS 芜湖半成品 No CBL P-5000 CBL ring Oxford CBL ring NLVS CBL ring P-5000 CBL ring 10um Oxford CBL ring 10um NLVS CBL ring 10um 芜湖半成品CBL ring 10um HV CBL ring 10um+CBL 不包边 Special process 7 8 A-Z X 大连前段制程+委外LER A 大连全流程 大连前段制程+Optorun B LER 大连前段制程+SHOWA C LER 芜湖前段制程+Optorun D LER 芜湖前段制程+SHOWA E LER F 芜湖前段制程+委外LER G H I J K L 大连前段制程+无LER 芜湖前段制程+无LER 芜湖前段制程+蚌埠 SHOWA LER 芜湖前段制程+蚌埠无 LER 蚌埠前段制程+蚌埠 SHOWA LER 蚌埠前段制程+蚌埠无 LER
Mask 版本 机台类型 版本类型 厂名 光罩版本 Size 制程码 C:非LER\D:LER\ H:HV\Z:代工
例:
解释: 1.制程码Follow产品Model制程码定义 2.Size码根据实际Size定义 3.A为光罩第一版,下一版本定为B,依次类推 4.厂名为固定名称 5.版本类型根据实际需求定义为量产或研发 6.机台类型根据实际需求定义 7.版本类型根据实际版本定义,下一版本定为V2.0,依次类推
One Team One Vision One Standard
Operation Planning Dept.(DaLian) Chip BU
光罩版本命名规则
新命名规则 例: Z3318A 3E-DL MP(U)V1.0 C/D/H/Z 3318 A 3E-DL MP/RD
(U/C/N)
V1.0
8码对应表 电流码 15mA 20mA 30mA 40mA 60mA 90mA 120mA 150mA 350mA 700mA 10mA 25mA 35mA 45mA 50mA 55mA 65mA 70mA 80mA 85mA 90mA 95mA 100mA 105mA 110mA 130mA 140mA 160mA 180mA 200mA 250mA 300mA 400mA 500mA 600mA
命名规则培训资料
2014.11.27 PIE Team
One Team One Vision One Standard
Operation Planning Dept.(DaLian) Chip BU
Model命名规则
例:
目前产品编码 公司名 制程产品别 长边 B0805HE Eti Sapphire 8 B0805HED Eti Sapphire 8 B0805HED Eti Sapphire 8 B1006HED Eti Sapphire 10 B1107HE Eti Sapphire 11 B1107THL Eti Diamond 11 B1307THL Eti Diamond 13 B1307THL Eti Diamond 13 B1507THE Eti Crystal 15 B1507THL Eti Diamond 15 B1507THL Eti Diamond 15 B1811THL Eti Diamond 18 B2020THL Eti Platinum 20 B2112THL Eti Diamond 21 B2609THL Eti Diamond 26 B2812PHLF Eti Flip 28 B2812THL Eti Diamond 28 B2813THL Eti Diamond 28 B3014THL Eti Diamond 30 B3318THL Eti Diamond 33 B3434THM Eti Platinum 34 B3522THL Eti Diamond 35 B3535PHLF Eti Flip 35 B3609THL Eti Diamond 36 B3612THE Eti Crystal 36 B3820THE Eti Crystal 38 B3820THL Eti Diamond 38 B4022THE Eti Diamond 40 B4022THL Eti Diamond 40 B4040XHMV Eti High Voltage 40 B4211THL Eti Diamond 42 B4222THL Eti Diamond 42 B4223THL Eti Diamond 42 B4330THL Eti Diamond 43 B4522XHMV Eti High Voltage 45 G0805HED Eti Sapphire 8 G0805HED Eti Sapphire 8 G1006HED Eti Sapphire 10 G1107HED Eti Sapphire 11 电流码 版本别 颜色 0 A Blue A A Blue A A Blue 1 A Blue 1 A Blue 1 A Blue 1 A Blue 1 A Blue 1 A Blue 1 A Blue 1 A Blue 4 A Blue 6 A Blue 4 A Blue 1 A Blue 7 A Blue 4 A Blue 5 A Blue 6 A Blue 6 A Blue 8 A Blue 6 A Blue 8 A Blue 1 A Blue 1 A Blue H A Blue H A Blue J B Blue J A Blue 1 A Blue 1 A Blue 6 A Blue J A Blue 8 A Blue 4 A Blue 0 A Green 0 A Green 1 A Green 1 A Green 新名称 ETi-S080A-BZ ETi-S08AA-BZ ETi-S08AA-BL ETi-S101A-BZ ETi-S111A-BZ ETi-D111A-BL ETi-D131A-BZ ETi-D131A-BL ETi-C151A-BL ETi-D151A-BL ETi-D151A-BZ ETi-D184A-BL ETi-P206A-BL ETi-D214A-BL ETi-D261A-BL ETi-F287A-BL ETi-D284A-BL ETi-D285A-BL ETi-D306A-BL ETi-D336A-BL ETi-P348A-BL ETi-D356A-BL ETi-F358A-BL ETi-D361A-BL ETi-C361A-BL ETi-C38HA-BL ETi-D38HA-BL ETi-D40JB-BL ETi-D40JA-BL ETi-H401A-BL ETi-D421A-BL ETi-D426A-BL ETi-D42JA-BL ETi-D438A-BL ETi-H454A-BL ETi-S080A-GZ ETi-S080A-GL ETi-S101A-GZ ETi-S111A-GZ
新命名规则 例: Z3318AA01A C/D/H/Z 3318 A A 01
Run Card细 微变更
A
Run Card细 微变更
流程版本
Size 光罩版本
制程码 C:非LER\D:LER\ H:HV\Z:代工
解释:
1.制程码Follow产品Model制程码定义 2.Size码根据实际Size定义 3.A为光罩第一版,下一版本定为B,依次类推。 4.A为流程第一版,下一版本定为B,依次类推。 5.01(Run Card重大变更),包含:流程变更,Recipe变更,主要Follow 芜湖。 6.A(Run Card细微ห้องสมุดไป่ตู้更),包含:Recipe工艺描述变更,大连厂内部细微变更。改版后编码A变为B,依次类推。
例:ETi-D336A-BL
1-3码 4码 5码 6-7码 8码 9码 10码 11码 12码
字母 S C D P
公司名称 连接符 制程码 芯片尺寸 电流码 版本码 连接符 颜色码 电极制程以及出货形式
5码对应表 名称 Sapphire Crystal Diamond Platinum 对应制程 3道光罩无背镀 (以后取消该命名, 由C代替) 无LER 有LER 背镀背金
解释:
1.AA为光罩第一版,下一版本定为AB,依次类推。 2.01(Run Card重大变更),包含:流程变更,Recipe变更,主要Follow 芜湖。 3.A(Run Card细微变更),包含:Recipe工艺描述变更,大连厂内部细微变更。改版后编码A变为B,依次类推。 4.出货时只打印“产品编码”的前九位,例如:产品B0907AA01A,出货时只打印B0907AA01。
One Team One Vision One Standard
Operation Planning Dept.(DaLian) Chip BU
Product ID命名规则
旧命名规则 例: B3318A01A
B/G
3318
AA
01
A
Run Card细 微变更
Run Card重 大变更
光罩版本 B:Blue; G:Green Size
H
F Z
High Voltage
Flip Demo 12码对应表
高压
山猫 代工
电极制程以及出货形式 Au 电极+方片 Au 电极+圆片 Al 电极+方片 Al 电极+圆片
对应码 L M Z Y
电流 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 A B C D E F H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z