扫描电镜操作规程

扫描电镜操作规程

一、开机（电源开关和准备开关均为打开状态）

1、开水(系统不报警方可)；

2、开总电源；

3、电气柜后面开关打开，将自动/手动（AUTO/MAN）开关拔到自动（AUTO）的位置，此时电炉进行加热；

4、抽真空30分钟后，断开准备开关；

5、开系统软件；

6。、打开主机前面面板上的电气柜开关（CONSOLE POWER），抽真空10分钟。

二、准备观测图像

1、打开V1阀，此时镜筒真空已准备好，用左手延径水平方向拉开V1阀，阀杆下面的弹片将V1阀固定在打开位置；

2、加高压（30KV）导电性不好的产品（20-25KV），加高压时最好按着每步的速度逐步增加，如果长按按钮，高压会连续快速增加，不容易控制到要求的数值；

3、调节对比度和亮度：①调节对比度，使图像上出现一些噪声为最佳，一般情况下在60左右；②调节图像亮度，使屏幕显示的灰度合适，一般情况下，相应的数字参数值为0-20左右；

4、加灯丝：顺时针慢慢旋转灯丝加热旋钮，直至发射束流饱和，灯丝加热旋钮指示正常在6-7之间，调节偏压束流为100uA左右；

5、机械对中：每次换灯丝后需旋转镜筒头上的三个螺钉，使图像显示到最清楚的点；

6、物镜光阑对中（合轴）：①选区，并挑选图像上的一个特征点；②选择放大倍数1000-2000范围；③反复调节粗调，使图像聚焦至不聚焦往反进行，观察图像的移动；④调节物镜光阑的两个螺钮，使图像不发生位移或图像移动最小为止；

7、像散消除：选择“选区”位置，从放大倍数1000倍开始消像散，增加到欲观察的放大倍数下再次消像散直至图像没有拉长现象；

8、拍照、保存。

三、系统停机

1、关闭加热灯丝：逆时针旋转灯丝加热旋钮到底，旋钮标记指示在“ON”的位置，束流显示的束流为0UA；

2、将对比度降至最低，使其数字参数值为0，关闭高压，使其数字参数值为0；

3、关闭V1阀：用左手将V1阀阀杆下面的弹片沿上按在阀杆上，用手掌径向水平推V1阀，当V1阀完全推到底后，再用力推一下V1阀的阀杆，确保V1阀完全关闭；

4、关闭主机面板上的电气柜开关，打开准备开关，将主机后的开关自动/手动(AUTO)/(MAN)打到手动(MAN)的位置，冷却电炉30分钟。

5、关闭系统软件—关电气柜开关(后)—关总电源—关水。

扫描电镜注意事项

1．进入工作室严禁大声喧哗

2．在真空度没有达到要求之前，镜筒隔离阀V1决不能打开

3．在扩散泵开始加热二十分钟期间，主阀V5决不能打开

4．真空控制方式从手动转自动时，要特别注意每个手动阀门是否为关闭状态

5．在没有进入高真空之前，决不能接通探测器高压，电子枪及灯丝加热电源

6．不要在关控制台电源（CONSOLE POWER）的同时。立刻放气到样品室和电子枪，以免引起电子枪探测器上残余高压放电，损坏灯丝及闪烁体

7．不要在通电情况下，进行印刷板及导线插头的插接

8．如果镜筒部分没有放气，不要拔掉物镜光阑杆

9．在样品室放气的情况下，不要手动打开主阀和V1阀

10．长时间不使用电镜时，每周至少保持抽真空两次，保持机器内真空度良好

11．观察机械泵的油不少于2/3

12．停水的时候，机器会出现报警，此时将主机后面板打开，接一盆凉水，用湿布给电炉手动降温，直至电炉不再热为止（30分钟左右）最后再关闭电气柜开关和总电源