半导体厂务系统介绍

Cleanroom System [ 洁净室系统]

a,内装修工程:(高架地板工程、洁净室隔墙板系统、铝合金龙骨吊顶/ceiling grid、无

尘涂装、环氧地坪等)、压差控制系统、ESD防静电等;

b,循环空调系统:(包括部分供热与通风系统,比如MAU/OAC、AHU、FFU、DDC、FCU、粗、中、高、超高过滤器、化学过滤器etc.、送气风机、排气风机etc.);

c,FOUNDATION:防震机座、粉尘监测智能系统/DMS系统、风淋室、传递窗、层流罩、洁

净工作台、洁净洗手器、洁净衣架、洁净电梯、正压洁净楼梯间系统、化学品储存冷库和

压缩机etc.

Mechanical System [ 机械系统]

中央动力,Central utility:Mechenical(热水、冷冻水、软水、工艺设备冷却水PCW、

生产上水、自来水﹑饮用水、一般蒸汽和洁净蒸汽等管路供应系统;锅炉、冷冻机、冷却塔、空压机等厂务设施)

Specialty Gas and Bulk Gas [ 特殊气体和大宗气体]

a,Bulk Gas:GAS YARD气站,CQC(N2/H2/O2/Ar/He/天然气)【包括普通和超纯/精制

气体】,压缩空气(CDA)--有些FAB还将机台用CDA和厂务设备用CDA 供应系统分开,呼

吸空气供应系统等;

b,Specialty Gas System ( 部分特性有重迭):

(1)易燃性气体(Flammable Gas)

(2)毒性气体(Toxic Gas)

(3)腐蚀性气体(Corrosive Gas)

(4)惰性气体(Inert Gas)

(5)氧化性气体(Oxide Gas)

(6)低压/保温气体(Heat G as)

Water Treatment System [ 水处理系统]

a,超纯水供应系统、热/温纯水供应系统、一次纯水(RO水)供应系统etc.

b,工艺废水处理(酸、碱、含氟排水、slurry/cmp、研磨排液、温排水、纯水回收、一

般排水、TMAH显影液、H2O2、硫酸排液、磷酸排液、NH3排液etc. )

c,办公用给排水系统:饮用水供应、自来水供应、生活污水处理、雨水排放系统etc

Exhaust System[工艺排气系统]

a,工厂SCRUBBER:酸、碱、有机VOC、粉尘、一般排气etc.[有些FAB还包括了紧

急排烟/事故排风系统]

b,LOCAL SCRUBBER(一般附属于工艺设备):依其原理大概可分成下列几类(1)电热水

洗式; (2)燃烧水洗式(3) 填充水洗式;(4)干式吸附式。

Chemical Dispensing System[化学品供应系统]

包括化学品供应系统和化学品回收系统,具体使用的化学品种类根据每个FAB 产品的

不同而不同:

a,Chemical Dispensing System化学品供应系统

酸性

碱性

有机溶剂

氧化腐蚀性

b,化学品回收系统:光刻胶resist、STRIPPER剥离液(EKC、SST-A2、ORP、N311、T106、PGMEA、PGME etc.)、异丙醇、硫酸废液、硫酸铜废液回收等

Vacuum System [ 真空系统]

真空系统包括工艺真空(Process Vacuum )、真空吸尘(Hose Vacuum)或者清扫用真空、设备真空Pumping-line/vent系统/Pumping-Exhaust系统。

Power Supply & Automation System [ 电力供应及自动化]

a,强电:高低压供电(包括中央变电站和各终端变电站)、ups电源供应系统(蓄电池组)、紧急柴油发电机系统、SSTS高速切换开关、VSS电容补偿系统等、各类配电盘、照明(包

括tear drop泪滴型照明灯具、黄光灯)、插座;

b,弱电:各类动力、EHS方面的自控部分(包括各类弱电盘面)、FMCS厂务监控系统(包括各sub-scada系统),【监控方面还有气体监控系统(GMS)、气体侦测系统(GDS)、有

的厂是GMS+GDS=FMCS、有的厂GMS和GDS会分开来的】、各类电气接地、静电防

护系统etc.

Construction [ 建筑结构]

建筑结构相关(包含厂房维修),主要分为建筑和结构两大块(有些FAB将EHS 相关的

防火门、逃生门、紧急疏散口、挡烟垂臂、升降平台etc.也归入此类)

EHS System Control [ 环境健康安全]

EHS涉及环境保护(污染物控制【三废处理等】、有害物质控制【PFC、CFC、PFOS、ROHS指令等、WEEE等】)、健康(职业卫生)、工业安全、能源、治安保卫、ERC(ERT应急响应等)、风险管理【ISO14001、OHSAS18001、QC080000等】,EHS其

它等。

硬件涉及:消火栓设备、喷淋系统、漏液检测系统、门禁系统、电话广播系统、PHS

系统、紧急对讲机系统,感温电缆报警系统、vesda、烟感热感探头、闭路电视系统/CCTV

监视摄像头、消防与观光电梯、地震监控系统、SCBA呼吸面具、紧急冲淋、各类灭火器、PPE个人防护用具etc.

Energy Saving[厂务节能]

涵盖所有厂务系统的节能降耗、cost saving/cost down、VE提案、能源管理等