三维光学轮廓仪原理【详解】

三维光学轮廓仪原理

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一、三维光学轮廓仪特征：

1.业界最高的垂直分辨率，最强大的测量性能；

2.0.5~200倍的放大倍率；

3.任何倍率下亚埃级至毫米级垂直测量量程；

4.三维光学轮廓仪测量硬件的独特设计，增强生产环境中的可靠性和重复性；较高的震动

的容忍度和GR&R测量的能力专利的自动校准能力；

5.多核处理器下运行的Vision64软件，大大提高三维表面测量和分析速度数据处理速度

提高几十倍；分析速度提高十倍；

6.无以伦比的大量数据无缝拼接能力

7.三维光学轮廓仪高度直观的用户界面，拥有业界最强的实用性，操作简便和分析功能强

大优化的用户界面大大简化测量和数据分析过程；独特的可视化操作工具；可自行设置数据输出的界面；

二、原理：

三维光学轮廓仪是利用白光干涉扫描技术为基础研制而成的用于样品表面微观形貌检

测的精密仪器。它的显著特点是可以达到纳米级的检测精度，并可以快速获取被测工件表面三维形貌和数据进行检测，其主要用途是用于成品的质量管理，确保良品合格率。可广泛应用于各类精密工件表面质量要求极高的如：半导体、微机电、纳米材料、生物医疗、精密涂层、科研院所、航空航天等领域。可以说只要是微型范围内重点部位的纳米级粗糙度、轮廓等参数的测量，除了三维光学轮廓仪，没有其它的仪器设备可以达到其精度要求。

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