半导体制造管理-自动化工程.ppt
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3、遙控端連線控制模式
●自動倉儲●
自動倉儲系統之主要角色，乃為物流自動化過程中， 物品之暫存系統，配合其週邊設備，除提供物品之 自動收集、分類、傳輸之功能外，由於其庫位密集 且高架化，故可以在較小的面積提供高容量之儲存 功能，而其最大效益在於結合電腦諮詢及可程式控 制器之追蹤管制能力，建立一個物流結合資訊流之 即時動態體系。在管理應用上，發揮其迅速而精確 之效益。
無塵室使用的全 自動無人搬運車 (有軌式)
電子業使用的全自 動無人搬運車
●非接觸式電軌(Non-Contact
Power Track)●
系統基本結構 (Fundamental components) 非接觸式電軌之電力傳輸系統包含三大基 本裝置，主機、軌道裝置、及取電裝置， 如圖所示
●系統基本結構 (Fundamental components)●
半導體製造管理自動化工程
●緒論●
半導體產業是知識、技術和資本密集的產業，從研發、 試產、製造最終將產品交到使用者手上，其技術和流程 控管問題不但複雜且繁瑣，若無資訊系統的協助，一個 疏忽可能是幾手萬甚至幾億的損失，有鑑於此，半導體 產業對於資訊管理系統的投資，可以說不惜成本，金額 和規模上都大於其它傳統產業。一套完整的半導體資訊 管理系統，其相關技術如下：
非接觸式電軌傳輸系統之主機主要是提供
軌道一個穩定的電流和磁場，利用共振的 原理，取電裝置可接受到感應電源並調節 出一個穩定的電壓和電流，提供給所需的 負載。其中主機包含電力箱和濾波箱，軌 道裝置包含軌道電纜線、軌道電纜線支撐 機構及輸電箱，取電裝置包含取電器和取 電控制器。
Βιβλιοθήκη Baidu
● 遙 控 模 式●
說明：
1、應用系統管理
2、網路系統管理
3、資料庫系統管理
4、電腦軟體管理
5、電腦硬體管理
●全自動無人搬運車●
說明： 不需人員操作，能主動接受資訊系統的要 求，搬運生產貨物到指定的機台或者自動 倉儲，稱之為『自動無人搬運車(AGV)』。 在半導體應用上，主要使用於機台與機台 間或者機台與自動倉儲系統間之晶片搬運 工作。
在自動倉庫分類方面，自動倉庫由以下 四個方面分類。
1.儲存物品特性 2.建築形式 3.鋼架形式 4.倉庫設備形式
以儲存物品之特性分類
1.常溫自動倉儲系統 2.低溫倉儲系統：
(1)恆溫空調藏除系統 (2)冷凍、冷藏倉儲系統 3.防爆型倉儲系統 4.無塵市之自動倉儲系統
依建築形式區分
1.自立式鋼架倉儲系統 2.一體式鋼架倉儲系統
依鋼架形式區分
1.開放式鋼架 2.封閉式鋼架 3.推回式鋼架 4.重力式鋼架
依倉庫設備形式分類
1.單位負載式自動倉儲 2.小物品自動倉儲 3.重型物品之自動倉儲系統 4.航空貨櫃資動倉儲系統
輕型物品的自動倉儲 無塵室自動倉儲
結論
在現今的半導體產業中，自動化成為了趨 勢，由於現在的產品越來越精密以及重量 越來越重的情況下，已經不是以人力就可 以勝任，所以必須借重機械來作為輔助， 以幫助每項產品的順利生產。
單一機台自動化，對於複雜的半導體生產控制 是不夠的，機台生產中的狀況，可能需要透過 有系統的資料收集，作嚴密的監控，用以確保 生產狀況符合標準。作業員操作機台時，可能 會選錯生產參數，造成晶圓報廢。因此機台廠 商會依溝通和控制的深度，定義出不同的模式 如下：
1、遙控端離線模式
2、遙控端連線不控制模式
●自動倉儲●
自動倉儲系統之主要角色，乃為物流自動化過程中， 物品之暫存系統，配合其週邊設備，除提供物品之 自動收集、分類、傳輸之功能外，由於其庫位密集 且高架化，故可以在較小的面積提供高容量之儲存 功能，而其最大效益在於結合電腦諮詢及可程式控 制器之追蹤管制能力，建立一個物流結合資訊流之 即時動態體系。在管理應用上，發揮其迅速而精確 之效益。
無塵室使用的全 自動無人搬運車 (有軌式)
電子業使用的全自 動無人搬運車
●非接觸式電軌(Non-Contact
Power Track)●
系統基本結構 (Fundamental components) 非接觸式電軌之電力傳輸系統包含三大基 本裝置，主機、軌道裝置、及取電裝置， 如圖所示
●系統基本結構 (Fundamental components)●
半導體製造管理自動化工程
●緒論●
半導體產業是知識、技術和資本密集的產業，從研發、 試產、製造最終將產品交到使用者手上，其技術和流程 控管問題不但複雜且繁瑣，若無資訊系統的協助，一個 疏忽可能是幾手萬甚至幾億的損失，有鑑於此，半導體 產業對於資訊管理系統的投資，可以說不惜成本，金額 和規模上都大於其它傳統產業。一套完整的半導體資訊 管理系統，其相關技術如下：
非接觸式電軌傳輸系統之主機主要是提供
軌道一個穩定的電流和磁場，利用共振的 原理，取電裝置可接受到感應電源並調節 出一個穩定的電壓和電流，提供給所需的 負載。其中主機包含電力箱和濾波箱，軌 道裝置包含軌道電纜線、軌道電纜線支撐 機構及輸電箱，取電裝置包含取電器和取 電控制器。
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● 遙 控 模 式●
說明：
1、應用系統管理
2、網路系統管理
3、資料庫系統管理
4、電腦軟體管理
5、電腦硬體管理
●全自動無人搬運車●
說明： 不需人員操作，能主動接受資訊系統的要 求，搬運生產貨物到指定的機台或者自動 倉儲，稱之為『自動無人搬運車(AGV)』。 在半導體應用上，主要使用於機台與機台 間或者機台與自動倉儲系統間之晶片搬運 工作。
在自動倉庫分類方面，自動倉庫由以下 四個方面分類。
1.儲存物品特性 2.建築形式 3.鋼架形式 4.倉庫設備形式
以儲存物品之特性分類
1.常溫自動倉儲系統 2.低溫倉儲系統：
(1)恆溫空調藏除系統 (2)冷凍、冷藏倉儲系統 3.防爆型倉儲系統 4.無塵市之自動倉儲系統
依建築形式區分
1.自立式鋼架倉儲系統 2.一體式鋼架倉儲系統
依鋼架形式區分
1.開放式鋼架 2.封閉式鋼架 3.推回式鋼架 4.重力式鋼架
依倉庫設備形式分類
1.單位負載式自動倉儲 2.小物品自動倉儲 3.重型物品之自動倉儲系統 4.航空貨櫃資動倉儲系統
輕型物品的自動倉儲 無塵室自動倉儲
結論
在現今的半導體產業中，自動化成為了趨 勢，由於現在的產品越來越精密以及重量 越來越重的情況下，已經不是以人力就可 以勝任，所以必須借重機械來作為輔助， 以幫助每項產品的順利生產。
單一機台自動化，對於複雜的半導體生產控制 是不夠的，機台生產中的狀況，可能需要透過 有系統的資料收集，作嚴密的監控，用以確保 生產狀況符合標準。作業員操作機台時，可能 會選錯生產參數，造成晶圓報廢。因此機台廠 商會依溝通和控制的深度，定義出不同的模式 如下：
1、遙控端離線模式
2、遙控端連線不控制模式