电子探针分析仪检定规程 (JJG 901-1995)
强制检定的工作计量器具检定周期明细表
强制检定的⼯作计量器具检定周期明细表强制检定的⼯作计量器具和检定周期明细表序项⽬种别检定周备种别名称检定规程名称号名称序号期注烟尘、粉尘51—102粉尘测量仪飘尘采样器检定规程2年测量仪—103⽔质监没仪氨⾃动监测仪检定规程1年⽔质—104⽔质监没仪硝酸根⾃动监测仪检定规程1年污染—105⽔质综合分析仪⽔质综合分析仪检定规程1年52监测—106测氰仪直接电流法测氰仪检定规程1年仪复膜电极溶解氧测定仪试⾏—107溶氧测定仪见规程检定规程呼出⽓体酒精呼出⽓体酒精含量呼出⽓体酒精含量探测器检53—1086个⽉含量探测器定规程探测器⾎球54计数—109电⼦⾎球计数器⾎细胞分析仪检定规程1年器屈光焦度计(屈光度计)检定规55—110屈光度计1年度计程电⼦—111电⼦计时计费器电⼦收费计时器检定规程1年计量—112IC卡计时计费器IC卡计时计费器检定规程1年56计费集中式计时计费装集中式计时计费装置检定规—1131年装置置程棉花⽔份57—114棉花⽔份测量仪原棉花⽔份测定仪检定规程1年测量仪验光—115验光仪验光机检定规程1年58仪—116验光镜⽚组验光镜⽚箱检定规程1年微波辐射微波辐射与泄漏测微波辐射与泄漏测量仪检定59与泄—1171年量仪规程漏测量仪60—118燃⽓加⽓机燃⽓加⽓机检定规程1年61—119热能表热能表检定规程1年说明:“强制检定⼯作计量器具检定规程⽬录及检定周期明细表”,是按照《中华⼈民共和国强制检定的⼯作计量器具明细⽬录》所列计量器具的项种,依据国家技术监督局颁布的相关《国家计量检定规程》⽽编制的。
表中所列“检定周期”均为现⾏“检定规程”所规定。
将来“规程”修订或新制定,则规程名称、编号及相关检定周期均应以相应的新“规程”的规定为准。
电子探针显微分析仪安全操作及保养规程
电子探针显微分析仪安全操作及保养规程前言电子探针显微分析仪是一种高精度、高分辨率的分析仪器,常被用于材料科学、地质学、化学、电子学等领域的样品结构表征。
在进行实验或操作时,必须注意安全操作规程和保养规程,以确保自身安全和仪器正常工作。
安全操作规程1. 禁止携带金属物品进入仪器房由于电子探针显微分析仪是一种高精度的电子仪器,携带金属物品会影响仪器信号采集和测量精度。
因此,在进入仪器房时必须放下手中的金属物品,如腕表、钥匙、手机等。
2. 保持仪器室内清洁卫生在进行电子探针显微分析实验时,必须保持仪器室内的清洁卫生,避免尘埃和杂质影响测量结果。
使用实验前,需要对仪器和室内进行清洁。
3. 禁止随意开启或关闭仪器仪表盘和各种开关在使用电子探针显微分析仪时,必须对仪器的仪表盘和各种开关进行正确的操作。
禁止随意开启或关闭仪器的仪表盘和各种开关,以避免对仪器造成不必要的损害。
4. 禁止在实验中抽烟、饮食、喝水或嚼口香糖在实验室中的任何地方,都禁止抽烟、饮食、喝水或嚼口香糖。
这样做不仅可能损坏仪器、影响实验结果,还会对自身安全构成危险。
保养规程1. 仪器的开机和关机电子探针显微分析仪的开机和关机需要一定的时间,严格按照以下步骤进行操作。
开机前,需要等待1-2分钟预热,从而确保仪器的正常工作。
关机前,需要将仪器回到主界面,以防止对仪器的不必要损坏。
2. 仪器的清洁和维护为保证电子探针显微分析仪的正常和稳定运行,需要定期进行清洁和维护。
每个使用周期结束时,必须对仪器进行内部和外部的清洁,包括仪器表面的清洁、内部检查、离子泵维护等。
这样可以延长仪器的使用寿命,保证仪器的精度和稳定性。
3. 样品准备工作在进行电子探针显微分析实验前,需要对样品进行预处理。
样品的形状和尺寸必须适合仪器的要求。
样品表面必须干净和平滑,以避免在样品操作过程中对仪器造成损坏。
总结电子探针显微分析仪是一种高档的分析仪器,需要根据安全操作规程和保养规程使用。
中华人民共和国国家计量检定规程
中华人民共和国国家计量检定规程JJG35工作用廉金属热电偶1996年8月23日批准1997年3 月1日实施国家技术监督局目录和检定方法处理和检定周期1 热电偶用补偿导线的检定方法2 带补偿导线热电偶的检定方法3 管式炉炉温温场测试方法4 标准铂铑10—铂热电偶在0∽1300℃附范围内,整百度的热电动势和温度对照表编制方法表5 K、N、E、型热电偶热电动势允差表6 S、K、N、E、J、型热电偶整百度点,微分热点动势表S、K、N、E、J、型热电偶分度表廉金属热电偶检定记录格式9 检定证书(背面)格式工作用廉金属JJ G351-96检定规程代替JJ G351-84规程经国家技术监督局于 1996 年 8 月 23 日批准,并自 1997 年 3 月 1 日起施行。
省技术监督局合金股份有限公司上海合金厂术条文由起草单位负责解释。
人:邵树成(沈阳合金股份有限公司)王振华(上海合金厂)参加起草人:张家怡(沈阳市计量测试技术研究所)任春岩(沈阳合金股份有限公司)雷宗杰(天津德塔控制系统有限公司)工作用廉金属热电偶检定规程适用于长度不小于750mm的新制造和使用中的分度号为K的镍铬-镍硅热电偶、分度号为N 的镍铬-镍硅热电偶、分镍热电偶、分度号为J的铁-铜镍热电偶(以下分别简称K、N、E、J、X型热电偶)在-40~1300℃范为内的检定一技术要求成分如表1规定。
镍铬极不可互换;号两铜镍极不可互换;硅采用镍铬—镍铝分度表。
偶在规定温度范围内,其允差应符合表2表定。
值;②t为测量端温度。
足下列要求:的电极应平直、无列痕、直径应均匀;使用中的电偶的电极不应有严重的腐蚀和明显缩径等缺陷。
端的焊接要牢固、呈球状,表面应光滑、无气孔、无夹渣。
二检定条件等标准铂铑10—铂热电偶各1支。
为:―30~300℃的二等标准水银温度计一组,也可选用二等标准铂电阻温度计。
设备电位差计一套,准确度不低于0.02级﹑最小步进值不大于1μV,或具有同等准确度的其他设备。
电子探针分析技术EPMA在地学中的应用综述
就测年技术在地学的应用作简要概述。 与传统的测年方法只能提供整个矿物的混合年龄,或者 因为分辨率太低而无法提供更加详细的地质事件信息相比, 电子探针测得的数据来确定地质年龄却能够很好的解释多 阶段的地质演化。Michael L.w.等人对取自Saska—tchewan 北部Nell海湾的古老岩石样品中的独居石进行了研究,结果 显示独居石具有明显的T}l、U、Pb环带,计算的年龄显示独 居行有两个年龄域,其核部年龄是2.05Ga,边部年龄是1.88 Ga。两种年龄区域的存在,说明独居石在这地质历史时期经 历了不同的地质历史事件,同时也为多阶段岩以及构造运动 的叠加研究捉供了可靠的证据,这是传统的测年方法无法或 很难做到的。另外。由于电子探针的原位分析和高空间分辨 率特点,为区域大地构造和显微构造的形成提供了一种全新 的地质年代数据,从而为变质、变形作用过程巾P(压 力)一T(温度)一t(时间)-D(变形)之间的关系提供了绝对时间 的制约,为解决显微构造和结构分析中长期存在的三个问 题:(1)变质组合年代的制约;(2)变质组构时问的制约: (3)复杂地质年代数据解释,提供了新的解决方法。同时, 电子探针化学测年技术也常应用于岩石、矿物和矿床学中, 可对矿石的来源、不同矿物的不同环带、不同世代的成分演 化乃至时间演化进行分析。据此可以得到许多岩石结构、矿 床成因、变质作用及地质找矿等方面的信息。在这些方面电 子探针都有其独特的优势。 2矿物鉴定中的应用 通常我们在鉴定矿物时,屉常用的方法就是用偏反光显 微镜飘察和测定矿物的光学性质和其他物理性质来认识矿 物,因为矿物的光学及物理性质足矿物内在特征的外部表 现.但根据这些性质和参敛却只能人敛地定性认识矿物.并
电子探针(EP姒),全名为电子探针X射线显微分析仪, 又名微区X射线谱分析仪。可对试样进行微小区域成分分 析。除H、He、Li、Be等几个较轻元素外,都可进行定性和 定量分析。电子探针的大批量是利用经过加速和聚焦的极 窄的电子束为探针,激发试样中某一微小区域,使其发出 特征X射线,测定该X射线的波长和强度,即可对该微区的元 素作定性或定量分析。从Castaing奠定电子探针分析技术的 仪器、原理、实验和定量计算的基础以来,电子探针分析 (EPMA)作为一种微柬、微区分析技术在50’60年代蓬勃发展, 至70年代中期已比较成熟;近年来,由于计算机、网络技术 的迅猛发展,相关应用软件的开发与使用的加快。使得装备 有高精度的波谱仪的新一代电子探针仪具有数字化特征、人 工智能和自动化的分析程序、网络功能以及高分辨率图象的 采集、分析及处理能力.EPMA技术具有高空间分辨率(约
2电子探针分析仪校准规范(编制说明)
《电子探针显微分析仪校准规范》(征求意见稿)编制说明一、任务来源根据国家市场监督管理总局计量技术规范制修订计划文件(国家市场监督管理总局司(局)函-计量函【2019】42号)及国家计量技术规范管理信息化系统审批通过,受中国计量科学研究院全国新材料与纳米计量技术委员会的委托,由上海市计量测试技术研究院、中国计量科学研究院和山东省计量科学研究院负责制定《电子探针分析仪校准规范》技术规范的工作。
二、编制背景电子探针显微分析仪(electron probe micro analyzer,EPMA)用于研究材料表面形貌特征和元素定性、定量、元素分布分析(元素组成及样品表面元素浓度分布)。
EPMA 采用波长色散型X 射线分光器(WDS),与能量色散型X 射线分光器(EDS)相比,具有高分辨率的特点,可以进行更高精度和更高灵敏度的分析,是当今材料领域技术研究的最重要表征工具之一,被广泛应用于地质学、金属和非金属材料、冶金学、生物等科学领域。
电子探针不仅用于基础研究分析,也被广泛用于生产在线的检验,品质管理的分析,以及能源、环境等检测,特别是应用于金属固熔体相、相变、晶界、偏析物、夹杂物等非破坏性的元素分析和观察。
目前,国内电子探针被两大国外厂商:日本电子公司和日本岛津公司所垄断。
电子探针技术发展迅速,其功能和技术参数指标都有了较大改进,不仅有钨灯丝、六硼化镧电子探针,场发射电子探针也被广泛使用,可产生更高空间分辨的元素分布图,并可以获得更大的电子束流;可以根据使用需求,选配2~5道分光器数;高速下稳定驱动的样品台,可以高精度设定分析位置和分析区域。
国际标准化组织于2014年发布了ISO 14594:2014 Microbeam analysis -- Electron probe microanalysis -- Guidelines for the determination of experimental parameters for wavelength dispersive spectroscopy,规定了电子探针检测的参数要求。
(完整word版)电子探针和扫描电镜X射线能谱定量分析通则-国家大型科学仪器
MV_RR_CNG_0396电子探针和扫描电镜X射线能谱定量分析通则1.电子探针和扫描电镜X射线能谱定量分析通则说明2. 电子探针和扫描电镜X射线能谱定量分析通则摘要1 范围本标准规定了与电子探针和扫描电镜联用的X射线能谱仪的定量分析方法的技术要求和规范。
本标准适用于电子探针和扫描电镜X射线能谱仪对块状试样的定量分析。
2 引用标准下列标准所包含的条文,通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。
本标准出版时,所示版本均为有效。
所有标准都会被修订,使用本标准的各方应探计使用下列标准最新版本的可能性。
GB/T 4930—93 电子探针分析标准样品通用技术条件GB/T 15074—94 电子探针定量分析方法通则3 分析方法原理在电子探针和扫描电镜等分析仪器中,应用一定能量并被聚焦的电子束轰击样品时,被轰击区发射出样品中所含元素的特征X射线,利用半导体探测器的能量色散特性,对接收的信号进行转换、放大。
再经过线性放大器、脉冲处理器、多道分析器的进一步放大、处理和分析,可获得各元素的特征X射线的能谱及其强度值,再通过与相应元素的标准样品的X射线能谱的对比测定,以及修正计算处理,最终可以获得被测样品的化学组成的定量分析结果。
4 射线能谱仪4.1 X射线能谱仪的基本组成方框图如下:X射线探测器→前置放大器→线性放大与脉冲处理器→多道分析器→计算机系统4.2 X射线能谱仪的主要组成部分4.2.1 X射线探测器:通常是Si(Li)半导体探测器,用于探测试样发射的X射线,使能量不同的X射线转换为电压不同的电脉冲信号。
4.2.2 前置放大器:将来自探测器的信号作初级放大。
4.2.3 线性放大器和脉冲处理器:将经过前置放大器初级放大的信号作进一步放大、并进行模拟或数字化处理。
4.2.4 多道分析器:将来自脉冲处理器的信号作进一步处理,完成对X射线谱的能量和强度的初步分析。
4.2.5 电子计算机系统:配备有能满足能谱分析所必须的功能完整的硬件和相应的各种分析程序软件,用于对从试样收集到的X射线能谱进行定性和定量分析,并输出分析结果。
电子探针和扫描电镜常用的标准方法-25电子探针和扫描电
电子探针和扫描电镜常用的标准方法电子探针和扫描电镜涉及的标准方法及技术规范共有25个,有电子探针仪检定规程(JJG901-95)、扫描电子显微镜试行检定规程(JJG 550-88)、不同类型样品的定量分析方法、样品及标样的制备方法、微米长度的扫描电镜测量方法及X射线能谱成分定量分析方法等。
各单位计量认证分析检测的项目,必须有相应的标准检测方法。
要根据标准方法进行成分分析,要采用有效的国家标准。
没有国家标准的检测项目,可以采用行业标准或地方标准。
行业标准在相应的国家标准出台后自动作废,地方标准在相应的国家标准或行业标准出台后也自动作废。
企业标准及检测机构按用户要求制定的检测条件和试验方法,只能作参考数据。
当国家标准方法不能满足某些检测要求时,例如“方法通则”,可根据方法通则制定检测实施细则,经检验机构技术负责人批准后,可以实施。
检测报告中必须有检测依据,即检测的标准方法。
所以标准方法在认证过程中和检测过程中都是必须的。
现在电子探针和扫描电镜的标准方法,还不能满足所有样品测试的要求,特别是能谱分析方法,但基本都有通则,可根据通则制定实施细则,以满足一般检测工作的需要。
(1)GB/T 4930-93 电子探针分析标准样品通用技术条件(代替GB4930-85)(2)GB/T 15074-94 电子探针定量分析方法通则(3)GB/T 15075-94 电子探针分析仪的检测方法(4)GB/T 15244-94 玻璃的电子探针分析方法(5)GB/T 15245-94 稀土氧化物的电子探针定量分析方法(6)GB/T 15246-94 硫化物矿物的电子探针定量分析方法(7)GB/T 15247-94 碳钢和低合金钢中碳的电子探针定量分析方法(8)GB/T 14593-93 山羊绒、绵羊毛及其混合纤维定量分析方法(9)GB/T 15617-95 硅酸盐矿物的电子探针定量分析方法(10)GB/T 15616-95 金属及合金电子探针定量分析方法1(11)GB/T 16594-94 微米级长度的扫描电镜测量方法(12)GB/T 17359-98 电子探针和扫描电镜X射线能谱定量分析通则 (13)GB/T 17360-98 钢中低含量Si、Mn的电子探针定量分析方法(14)GB/T 17361-98 沉积岩中自生粘土矿物扫描电子显微镜及X射线能谱鉴定方法(15)GB/T17632-98 黄金饰品的扫描电镜X射线能谱分析方法(16)GB/T17363-98 黄金制品的电子探针定量测定方法(17)GB/T17364-98 黄金制品中金含量的无损定量分析方法(18)GB/T17365-98 金属与合金电子探针定量分析样品的制备方法(19)GB/T17366-98 矿物岩石的电子探针分析试样的制备方法(20)GB/T17506-98 船舶黑色金属腐蚀层的电子探针分析方法(21)GB/T17507-98 电子显微镜-X射线能谱分析生物薄标样通用技术条件 (22)GB/T17722-99 金覆盖层厚度的扫描电镜测量方法(23)GB/T17723-99 黄金制品镀层成分的X射线能谱测量方法 此外,还有以下一些其他标准可作参考,如:(24) 分析型扫描电子显微镜检定规程(JJG 011-1996)(25) 纳米级长度的扫描电镜测量方法(国家标准讨论稿)(26) 微束分析-扫描电镜-图像放大倍率校准导则(陈振宇编译)2。
国防军工计量技术规范
棱镜测角仪检定规程
QJ 2970—1997
光学瞄准仪检定规程
QJ 3003—1998
英制千分表检定规程
JJG(航空) 060—1992
测槽千分尺检定规程
JJG(航天) 12—1985
孔槽比较规检定规程
JJG(航天) 21—1985
丝锥中径比较表检定规程
JJG(航天) 32—1987
测内槽百分表检定规程
功率指示器检定规程
ME642A 电平和衰减校准装 置检定规程 调制度测量仪检定规程 789 型超低频精密移相器检定 规程 频率响应分析仪检定规程 光线示波器检定规程
被代替规程号
JJG(航空) 80—1998
JJG(航空) 46—1989 JJG(航天) 35—1999 JJG(航天) 38—1987 JJG(航天) 51—1999 JJG(航天) 2—1999 JJG(航天) 34—1999 JJG(航天) 60—1999 JJG(航天) 48—1987 JJG(航空) 49—1989
JJG(军工) 105—2015
JJG(军工) 106—2015
JJG(军工) 107—2015 JJG(军工) 108—2015 JJG(军工) 109—2015
JJG(军G(军工) 112—2015 JJG(军工) 113—2015 JJG(军工) 114—2015
JJG(航天) 42—1999
JJG(航天) 6—1999 QJ 1017A—2004 JJG(军工) 79—2015 JJG(军工) 80—2015
JJG(航天) 23—1987
JJG(航天) 27—1999
JJG(航天) 47—1987
JJG(航天) 62—1991 JJG(航天) 64—1999
(整理)电子探针定量分析方法通则
85.
JJG 2060—1990
(中文)pH(酸度)计量器具检定系统
86.
JJG 2061—1990
(中文)基准试剂纯度检定系统
87.
JJG 2063—1990
(中文)水计量器具检定系统
88.
JJG 2064—1990
(中文)气体流量计量器具检定系统
89.
JJG 2083—1990
(中文)光谱辐射亮度、光谱辐射照度计量器具检定系统
44.
(中文)计量标准考核规范
45.
精品文档
JJF1071—2000
(中文)国家计量校准规范编写规则
46.
JJG 050--1996
(中文)石油产品用玻璃液体温度计检定规程
47.
JJG 11-1987
(中文)比色管检定规程
48.
JJG 114-1999
(中文)贝克曼温度计检定规程
49.
JJG 115-1999
精品文档
(中文)亮度计检定规程 (中文)色温表检定规程 (中文)滚动落球粘度计检定规程 (中文)热能表检定规程 (中文)热能表检定规程 (中文)双金属温度计检定规程 (中文)工业铂、铜热电阻检定规程 (中文)一等标准活塞式压力真空计检定规程 (中文)光照度计检定规程 (中文)卧式金属罐容积检定规程 (中文)标准煤气表检定规程 (中文)血压计和血压表检定规程 (中文)数显式百分表检定仪检定规程 (中文)双管水银压力表检定规程 (中文)示波器校准仪检定规程 (中文)海水分析用玻璃量器检定规程 (中文)压力式温度计检定规程 (中文)压力式温度计检定规程 (中文)指示表(百分表和千分表)检定规程 (中文)凝胶色谱仪检定规程 (中文)镍铬-金铁热电偶检定规程 (中文)半导体点温计检定规程 (中文)接地电阻表试行检定规程 (中文)热敏电阻量温计检定规程 (中文)工作用铜-铜镍热电偶检定 (中文)单光束紫外-可见分光光度计检定规程 (中文)电导仪试行检定规程 (中文)总光通量标准荧光灯试行检定规程 (中文)总光通量标准荧光高压汞灯试行检定规程 (中文)船用 pH 计检定规程 (中文)定碳定硫分析仪检定规程 (中文)精密交流电压校准检定规程 (中文)水流型气体热量计试行检定规程 (中文)工作用辐射温度计检定规程 (中文)工作玻璃浮计检定规程 (中文)WD-1 型微电位计检定规程 (中文)交流电桥检定规程 (中文)光学计检定规程 (中文)反射标准色板检定规程 (中文)标准色板检定规程 (中文)单管水银压力表检定规程 (中文)热台法熔点测定仪检定规程 (中文)生化分析仪检定规程 (中文)直流测温电桥检定规程 (中文)万能比例臂电桥检定规程 (中文)高压静电电压表检定规程 (中文)精密露点仪试行检定规程 (中文)完全吸收式电解法微量水分分析仪试行检定规程 (中文)频谱分析仪检定规程 (中文)直流比较仪式电位差计检定规程
校准领域测量审核能力范围
9
量块
10 标准环规
11
量针
长度 长度 长度
1301 1301 1301
量块检定规程 JJG146-2003 标准环规检定规程 JJG 894-1995
量针检定规程 JJF1207-2008
(0.05~100) U =0.02µm+0.2×10-6L
mm
k=3
Ф(3~50) mm
≥Ф50mm
U =(0.35+3L)µm k=2
验光镜片箱检定规 程 JJG579-1998
(-25.0~+25.0) U =(0.02~0.03)m-1 m-1 k=2
1610
总光通量白炽标准 灯检定规程 JJG247-2008
(50~2×104)lm
Urel=2.5% k=2
1612
光照度计检定规程 JJG245-2005
(1×10-4~ 1×104)lx
0402
直流电阻箱检定规 程 JJG982-2003
10-4Ω~107Ω
0411
标准电容器检定规 程 JJG183-1992
1pF~1μF f: 1 kHz (1 ~99999)μF f: 100 Hz
0410
直流电阻检定规程 JJG166-1993
(10-3~105)Ω
U =0.5×10-5
k=2 (10kΩ) U =2×10-5
10nV~1100V f:10Hz~1MHz
Urel =5.0×10-5 (k=3) (1V)
0409
直流标准电流源检
定规程
0.1mA~20A
JJG(航天)38-1987
Urel =(3~30)×10-5 (k=3)(1mA)
检定规程一览表
JJG 1004-1986 流量计量名词术语及定义
JJG 1005-1986 标准物质常用术语
JJG 1006-1994 一级标准物质
JJG 1007-1987 温度计量名词术语(试行)
JJG 1017-1990 使用硫酸铈-亚铈剂量计测量γ射线水吸收剂量标准方法
JJG 278-2002 示波器校准仪
JJG 28-2000 平晶
JJG 283-1997 正多面棱体
JJG 291-1999 覆膜电极溶解氧测定仪
JJG 292-1996 铷原子频率标准
JJG 297-1997 标准硬质合金洛氏(A标尺)硬度块
JJG 298-1995 中频标准振动台(比较法)
JJG 219-2003 铁路轨距尺
JJG 225-2001 热能表
JJG 226-2001 双金属温度计检定规程
JJG 229-1998 工业铂、铜热电阻检定规程
JJG 233-1996 压电加速度计检定规程
JJG 237-1995 指针式时间间隔测量仪(试行)
JJG 238-1995 数字式时间间隔测量仪(试行)
JJG 2024-1989 容量计量器具检定系统框图
JJG 2034-1989 发光强度计量器具
JJG 2051-1990 直流电阻计量器具检定系统
JJG 2063-1990 水流量计量器具检定系统
JJG 2064-1990 气体流量计量器具检定系统
JJG 2082-1990 工频电流比例计量器具检定系统
JJG 485-1987 万能比例臂电桥检定规程
JJG 488-1998 校表仪
中国国家计量标准目录
JJG 中国国家计量标准目录现行规程号规程名称JJG 1~1999 钢直尺检定规程JJG 2~1999 木直(折)尺检定规程JJG 4~1999 钢卷尺检定规程JJG 5~2001 纤维卷尺、测绳检定规程JJG 7~1986 刻度直角钢尺检定规程JJG 8~1991 水标准尺检定规程JJG 10~1987 奥氏吸管检定规程JJG 11~1987 比色管检定规程JJG 12~1987 刻度离心管、刻度试管、血糖管、消化管检定规程JJG 13~1997 模拟指示称检定规程JJG 14~1997 非自行指示称检定规程JJG 16~1987 邮用称试行检定规程JJG 17~2002 杆秤检定规程JJG 18~1990 医用注射器检定规程JJG 19~1985 量提检定规程JJG 20~2001 标准玻璃量器检定规程JJG 21~1995 千分尺检定规程JJG 22~1991 内径千分尺检定规程JJG 24~1986 深度千分尺检定规程JJG 25~1987 螺纹千分尺检定规程JJG 26~2001 杠杆千分尺、杠杆卡规检定规程JJG 28~2000 平晶检定规程JJG 30~2002 通用卡尺检定规程JJG 31~1999 高度卡尺检定规程JJG 33~2002 万能角度尺检定规程JJG 34~1996 指示表(百分表和千分表)检定规程JJG 35~1992 杠杆表检定规程JJG 36~1989 内径表检定规程JJG 37~1992 正弦规检定规程JJG 39~1990 机械式比较仪检定规程JJG 40~2001 X射线探伤机检定规程JJG 41~1990 三针检定规程JJG 42~2002 工作玻璃浮计检定规程JJG 44~1986 测微仪检定器试行检定规程JJG 45~1999 光学计检定规程JJG 46~1976 扭力天平试行检定规程JJG 47~1990 抖晃仪检定规程JJG 48~1990 硅单晶电阻率标准样片检定规程JJG 49~1999 弹簧管式精密压力表和真空表检定规程JJG 50~1996 石油产品用玻璃液体温度计检定规程JJG 51~1983 二、三等标准液柱平衡活塞式压力计、压力真空计试行检定规程JJG 52~1999 弹簧管式一般压力表、压力真空表和真空表检定规程JJG 55~1984 测长仪检定规程JJG 56~2000 工具显微镜检定规程JJG 57~1999 光学数显分度头检定规程JJG 58~1996 半径样板检定规程JJG 59~1990 二、三等标准活塞式压力计检定规程JJG 60~1996 罗纹样板检定规程JJG 61~1980 直角尺检定规程JJG 62~1995 塞尺检定规程JJG 63~1994 刀口形直尺检定规程JJG 64~1990 超低频信号发生器检定规程JJG 65~1986 滚刀检查仪检定规程JJG 66~1990 高频电容损耗标准试行检定规程JJG 67~1985 工作用辐射感温器检定规程JJG 68~1991 工作用隐丝式光学高温计检定规程JJG 69~1990 高频Q标准线圈试行检定规程JJG 70~1993 角度块检定规程JJG 71~1991 三等标准金属线纹尺检定规程JJG 72~1980 线纹比较仪检定规程JJG 73~1994 长度至200mm一、二等标准玻璃线纹尺检定规程JJG 74~1992 自动平衡式显示仪表检定规程JJG 75~1995 标准铂铑10-铂热电偶检定规程JJG 77~1983 干涉显微镜检定规程JJG 78~1982 基节仪检定规程JJG 79~1982 周节仪检定规程JJG 80~1981 正切齿厚规检定规程JJG 81~1981 公法线检查仪检定规程JJG 82~1998 公法线千类分尺检定规程JJG 85~1984 光学测尺卡检定规程JJG 86~2002 标准玻璃浮计检定规程JJG 87~1987 铣刀磨后检查仪检定规程JJG 88~1983 齿轮径向跳动检查仪检定规程JJG 90~1983 齿轮齿向及径向跳动仪检定规程JJG 91~1989 基圆盘式渐开线螺旋线检查仪检定规程JJG 92~1991 万能测齿仪检定规程JJG 93~1981 万能渐开线检查仪检定规程JJG 94~1981 齿轮双面啮合检查仪检定规程JJG 95~1986 齿轮单面啮合检查仪检定规程JJG 96~1986 小模数齿轮双面啮合检查仪检定规程JJG 97~2001 测角仪检定规程JJG 98~1990 非自动天平试行检定规程JJG 99~1990 砝码试行检定规程JJG 100~1994 全站型电子速测仪检定规程JJG 101~1981 接触式干涉仪检定规程JJG 102~1989 表面粗糙度比较样块检定规程JJG 103~1988 合象水平仪检定规程JJG 105~2000 转速表检定规程JJG 106~1981 指针式精密时钟检定规程JJG 107~2002 单机型和集体中管理分散计费型电话计时计费器检定规程JJG 109~1986 百分表式卡规检定规程JJG 110~1979 标准温度灯检定规程JJG 111~1989 体温计检定规程JJG 112~1991 金属洛氏硬度计检定规程JJG 113~1991 标准金属洛氏硬度块检定规程JJG 114~1999 贝克曼温度计检定规程JJG 115~1999 标准铜-铜镍热电偶检定规程JJG 116~1983 平尺检定规程JJG 117~1991 平板检定规程JJG 118~1996 扭簧式比较仪检定规程JJG 119~1984 实验室pH(酸度)计检定规程JJG 120~1990 波形监视器检定规程JJG 121~1990 视频杂波测试仪检定规程JJG 122~1986 DO6型精密有效值电压表检定规程JJG 123~1988 直流电位差计检定规程JJG 124~1993 电流表、电压表、功率表及电阻表检定规程JJG 125~1986 直流电桥检定规程JJG 126~1995 交流电量变换为直流电量电工测量变送器检定规程JJG 127~1986 HP4191A型高频阻抗分析仪试行检定规程JJG 128~1989 二等标准水银温度计检定规程JJG 129~1990 一等标准活塞式压力计检定规程JJG 130~1984 工作用玻璃液体温度计检定规程JJG 131~1991 电接点玻璃水银温度计检定规程JJG 132~1994 组合式角度规检定规程JJG 133~1987 汽车油罐车容量试行检定规程JJG 134~1987 磁电式速度传感器试行检定规程JJG 137~1986 CC-6型小电容测量仪检定规程JJG 138~1986 CCJ-IC型精密电容测量仪检定规程JJG 139~1999 拉力、压力和万能试验机检定规程JJG 140~1998 铁路罐车容积检定规程JJG 141~2000 工作用贵金属热电偶检定规程JJG 142~2002 非自行指示轨道衡检定规程JJG 143~1984 标准镍铬-镍硅热电偶检定规程JJG 144~1992 标准测力仪检定规程JJG 145~1982 摆锤式冲击试验机检定规程JJG 146~1994 量块检定规程JJG 147~1991 标准布氏硬度块检定规程JJG 148~1991 标准维氏硬度块检定规程JJG 149~1991 标准表面洛氏硬度块检定规程JJG 150~1990 金属布氏硬度计检定规程JJG 151~1991 金属维氏硬度计检定规程JJG 152~1991 金属表面洛氏硬度计检定规程JJG 153~1996 标准电池检定规程JJG 154~1979 标准毛细管粘度计检定规程JJG 155~1991 工作毛细管粘度计检定规程JJG 156~1983 架盘天平检定规程JJG 157~1995 非金属压力、压力和万能试验机检定规程JJG 158~1994 标准补偿式微压计检定规程JJG 159~1994 二、三等标准双活塞式压力真空计检定规程JJG 160~1992 标准铂电阻温度计检定规程JJG 161~1994 一等标准水银温度计检定规程JJG 163~1991 电容工作基准检定规程JJG 164~2000 液体流量标准装置检定规程JJG 165~1989 钟罩式气体流量标准装置检定规程JJG 166~1993 直流电阻器检定规程JJG 167~1995 标准铂铑30-铂铑6热电偶检定规程JJG 168~1987 立式金属罐容量试行检定规程JJG 169~1993 互感器效验仪检定规程JJG 170~1994 长度至1000mm一、二等标准金属线纹尺检定规程JJG 171~1985 液体比重天平检定规程JJG 172~1994 倾斜式微压计检定规程JJG 173~1986 XFC-6A型标准信号发生器检定规程JJG 174~1985 XFG-7型高频信号发生器试行检定规程JJG 175~1998 测试电容传声器检定规程JJG 176~1995 声校准器检定规程JJG 177~1993 圆锥量规检定规程JJG 178~1996 可见分光光度计检定规程JJG 179~1990 滤光光电比色计检定规程JJG 180~2002 电子测量仪器内石英晶体震荡器检定规程JJG 181~1989 高稳定石英晶体震荡器检定规程JJG 182~1993 V型砧式千分尺检定规程JJG 183~1992 标准电容器检定规程JJG 184~1993 液化气体铁路罐车容积检定规程JJG 185~1997 500Hz~1MHz测量水听器检定规程JJG 186~1997 动圈式温度(指示/指示位式调节)仪表检定规程JJG 188~2002 声级计检定规程JJG 189~1997 机械式震动试验台检定规程JJG 190~1997 电动式振动试验台检定规程JJG 191~2002 水平仪检定器检定规程JJG 194~1992 方箱检定规程JJG 195~2002 连续累计自动衡器检定规程JJG 196~1990 常用玻璃量器检定规程JJG 197~1979 LCCG-1型高频电感电容测量仪试行检定规程JJG 198~1994 速度式流量计检定规程JJG 199~1996 猝发音信号源检定规程JJG 200~1999 外差式频率计检定规程JJG 201~1999 指示类量具检定仪检定规程JJG 202~1990 自准直仪检定规程JJG 204~1980 气象用通风干湿表检定规程JJG 205~1980 气象用毛发湿度表、毛发湿度计检定规程JJG 207~1992 气象用玻璃液体温度表检定规程JJG 208~1980 气象仪器用机械自记钟检定规程JJG 209~1994 体积管检定规程JJG 210~1980 气象用水银气压表检定规程JJG 211~1989 亮度计检定规程JJG 212~1990 色温表检定规程JJG 213~1990 分布(颜色)温度标准灯检定规程JJG 214~1980 滚动落球粘度计试行检定规程JJG 215~1981 旋转粘度计试行检定规程JJG 218~1991 电感工作基准检定规程JJG 219~1986 铁路规矩尺检定规程JJG 220~1986 铁路轮对内距尺检定规程JJG 221~1991 铁路机车和车辆车轮检查器检定规程JJG 222~1991 铁路机车和车辆车轮踏面样板检定规程JJG 223~1996 海洋电测温度计检定规程JJG 225~2001 热能表检定规程JJG 226~2001 双金属温度计检定规程JJG 227~1980 标准光学高温度计检定规程JJG 228~1993 静态激光小角光散射光度计检定规程JJG 229~1998 工业铂、铜热电阻检定规程JJG 230~1980 XFD-7A型低频信号发生器试行检定规程JJG 233~1996 压电加速度计检定规程JJG 234~1990 动态称量轨道衡检定规程JJG 236~1994 一等标准活塞式压力真空计JJG 237~1995 指针式时间间隔测量仪试行检定规程JJG 238~1995 数字式时间间隔测量仪试行检定规程JJG 239~1994 二、三等标准活塞式压力真空计检定规程JJG 240~1981 一等标准液体压力计试行检定规程JJG 241~2002 精密杯型和U型液体压力计检定规程JJG 242~1995 特斯拉计检定规程JJG 243~1993 直角尺检定仪检定规程JJG 245~1981 感应分压器试行检定规程JJG 245~1991 光照度计检定规程JJG 246~1991 发光强度标准灯检定规程JJG 247~1991 总光通量标准白炽灯检定规程JJG 248~1981 工作标准激光小功率计试行检定规程JJG 249~1981 激光小功率计试行检定规程JJG 198~1994 速度式流量计检定规程JJG 199~1996 猝发音信号源检定规程JJG 200~1999 外差式频率计检定规程JJG 201~1999 指示类量具检定仪检定规程JJG 202~1990 自准直仪检定规程JJG 204~1980 气象用通风干湿表检定规程JJG 205~1980 气象用毛发湿度表、毛发湿度计检定规程JJG 207~1992 气象用玻璃液体温度表检定规程JJG 208~1980 气象仪器用机械自记钟检定规程JJG 209~1994 体积管检定规程JJG 210~1980 气象用水银气压表检定规程JJG 211~1989 亮度计检定规程JJG 212~1990 色温表检定规程JJG 213~1990 分布(颜色)温度标准灯检定规程JJG 214~1980 滚动落球粘度计试行检定规程JJG 215~1981 旋转粘度计试行检定规程JJG 218~1991 电感工作基准检定规程JJG 219~1986 铁路规矩尺检定规程JJG 220~1986 铁路轮对内距尺检定规程JJG 221~1991 铁路机车和车辆车轮检查器检定规程JJG 222~1991 铁路机车和车辆车轮踏面样板检定规程JJG 223~1996 海洋电测温度计检定规程JJG 225~2001 热能表检定规程JJG 226~2001 双金属温度计检定规程JJG 227~1980 标准光学高温度计检定规程JJG 228~1993 静态激光小角光散射光度计检定规程JJG 229~1998 工业铂、铜热电阻检定规程JJG 230~1980 XFD-7A型低频信号发生器试行检定规程JJG 233~1996 压电加速度计检定规程JJG 234~1990 动态称量轨道衡检定规程JJG 236~1994 一等标准活塞式压力真空计JJG 237~1995 指针式时间间隔测量仪试行检定规程JJG 238~1995 数字式时间间隔测量仪试行检定规程JJG 239~1994 二、三等标准活塞式压力真空计检定规程JJG 240~1981 一等标准液体压力计试行检定规程JJG 241~2002 精密杯型和U型液体压力计检定规程JJG 242~1995 特斯拉计检定规程JJG 243~1993 直角尺检定仪检定规程JJG 245~1981 感应分压器试行检定规程JJG 245~1991 光照度计检定规程JJG 246~1991 发光强度标准灯检定规程JJG 247~1991 总光通量标准白炽灯检定规程JJG 248~1981 工作标准激光小功率计试行检定规程JJG 249~1981 激光小功率计试行检定规程JJG 300~2002 小角度检查仪检定规程JJG 301~1982 触针式电动轮廓仪检定规程JJG 302~1983 水泥罐容积检定规程JJG 303~1982 频偏测量仪检定规程JJG 304~1989 邵氏硬度计检定规程JJG 305~1992 光学分度台检定规程JJG 306~1982 24米因瓦基线尺检定规程JJG 307~1988 交流电能表(电度表)检定规程JJG 308~1983 超高频毫伏表检定规程JJG 309~2001 500K~1000K黑体辐射源检定规程JJG 310~2002 压力式温度计检定规程JJG 311~1996 焦距仪检定规程JJG 312~1983 激光能量计检定规程JJG 313~1994 测量用电流互感器检定规程JJG 314~1994 测量用电压互感器检定规程JJG 315~1983 直流数字电压表试行检定规程JJG 316~1983 磁通量具试行检定规程JJG 317~1983 磁通表试行检定规程JJG 318~1983 DO-2型高平电压校准装备质检规定JJG 319~1983 超高频微伏表检定规程JJG 320~1983 波导噪声发生器检定规程JJG 321~1983 串联高频替代法鉴定衰减器检定规程JJG 322~1983 回转衰减器检定规程JJG 323~1983 波导型标准移相器检定规程JJG 324~1983 XG26型超高频功率信号发生器检定规程JJG 325~1983 XFC-1型超高频标准信号发生器检定规程JJG 326~1983 标准转速装置试行检定规程JJG 330~1983 机械式深度温度计检定规程JJG 331~1994 激光干涉比长仪检定规程JJG 332~1983 渐开线样板检定规程JJG 333~1996 预应力钢丝张垃机检定规程JJG 334~1993 金刚石压头检定规程JJG 335~1991 标准显微维氏硬度块检定规程JJG 336~1983 平米等厚干涉仪试行检定规程JJG 338~1997 电荷放大器检定规程JJG 339~1983 XB33型微波信号发生器检定规程JJG 340~1999 1HZ!~1000HZ测量水听器检定规程JJG 341~1994 光栅线位移测量装置检定规程JJG 342~1993 凝胶色谱仪检定规程JJG 343~1996 光滑极限量规定规程JJG 344~1984 镍铬-金铁热点偶检定规程JJG 346~1991 肖氏硬度计检定规程JJG 347~1991 标准肖氏硬度检定规程JJG 348~1984 谐振波长计试行检规程JJG 349~2001 通用计数器检定规程JJG 350~1994 标准套管铂电阻温度计检定规程JJG 351~1996 工作用廉金属热电偶检定规程JJG 352~1984 永磁材料标准样品磁特性试行检定规程JJG 353~1994 兰姆凹陷稳频He-Ne激光器检定规程JJG 354~1984 软磁材料标准样品试行检定规程JJG 355~1984 隆浦型交流补偿器试行检定规程JJG 356~1984 气动浮标式测量仪试行检定规程JJG 357~1984 6460型热电薄膜功率计试行检定规程JJG 358~1984 RR-2A型干扰场强测量仪试行检定规程JJG 359~1984 300MHz频率特性测试仪试行检定规程JJG 360~1984 同轴测量线检定规程JJG 361~1984 DO15型标准脉冲电压表检定规程JJG 362~1984 DO16型超高频微伏电压校准装置试行检定规程JJG 363~1984 半导体点温计检定规程JJG 364~1994 表面温度计检定规程JJG 365~1998 电化学电极气体氧分析器检定规程JJG 366~1986 接地电阻表试行检定规程JJG 367~1984 热敏电阻粮温计检定规程JJG 368~2000 工作用铜-铜镍热电偶检定规程JJG 369~1993 塑料球压痕硬度计检定规程JJG 370~1984 工作振动管液体密度计试行检定规程JJG 371~1992 激光量块干涉仪检定规程JJG 372~1985 称量法储罐液体计量系统试行检定规程JJG 373~1997 四球摩擦试验机检定规程JJG 374~1997 电平振荡器检定规程JJG 375~1996 单光束紫外-可见分光光度计检定规程JJG 376~1985 导电仪试行检定规程JJG 377~1998 放射性活度计检定规程JJG 379~1995 大量程百分表检定规程JJG 380~1995 轴承圆锥滚子直径、角度、直线度测量仪检定规程JJG 381~1986 BX-21型低频数字相位计检定规程JJG 383~2002 光谱辐射亮度标准灯检定规程JJG 384~2002 光谱辐射照度标准灯检定规程JJG 385~1985 总光通亮标准荧光灯试行检定规程JJG 386~1985 总光通亮标准荧光高压汞灯试行检定规程JJG 387~1985 10MHz~18GHz频段衰减器试行检定规程JJG 388~2001 纯音听力计检定规程JJG 389~1985 仿真耳试行检定规程JJG 390~1985 船用pH计检定规程JJG 391~1985 负荷传感器试行检定规程JJG 392~1996 感应式盐度计检定规程JJG 393~1985 r辐射防护仪器试行检定规程JJG 394~1997 超声多普勒胎儿监护仪超声源检定规程JJG 782~1992 低频电子电压表检定规程JJG 783~1992 轴承套圈角度标准件测量仪检定规程JJG 784~1992 深沟球轴承跳动测量仪检定规程JJG 785~1992 深沟球轴承套圈滚道直径、位置测量仪检定规程JJG 786~1992 组合式形状测量仪检定规程JJG 787~1992 量仪测力仪检定规程JJG 788~1992 a、β标准平面源检定规程JJG 789~1992 标准仿真乳突检定规程JJG 790~1992 标准电容传声器检定规程JJG 791~1992 冲击力法冲击加速度校准装置检定规程JJG 792~1992 悬臂梁式横向灵敏度比标准装置检定规程JJG 793~1992 标准漏孔检定规程JJG 794~1992 风量标准装置检定规程JJG 795~1992 耐电压测试仪试行检定规程JJG 796~1992 高频驻波比电桥检定规程JJG 797~1992 扭矩扳子检定仪检定规程JJG 798~1992 标准仿真乳突检定规程JJG 800~1993 电位溶出分析仪检定规程JJG 801~1993 化学发光法氮氧化物分析仪检定规程JJG 802~1993 失真度仪检定装置检定规程JJG 803~1993 时间合成器检定规程JJG 805~1993 滑轮式预加张力检具检定规程JJG 806~1993 医用超声治疗机超声源检定规程JJG 807~1993 利用放射源的测量仪表检定规程JJG 808~1993 标准测力杠杆检定规程JJG 809~1993 数字式石英晶体测温仪检定规程JJG 810~1993 波长色散X射线荧光光谱仪检定规程JJG 811~1993 核子皮带秤检定规程JJG 812~1993 干涉滤光片检定规程JJG 813~1993 光纤光功率计检定规程JJG 814~1993 自动电位滴定仪检定规程JJG 815~1993 电子采血秤检定规程JJG 816~1993 二氧化硫气体报警器检定规程JJG 817~1993 混凝土回弹仪检定规程JJG 818~1993 电涡流式测厚仪试行检定规程JJG 819~1993 轴承套圈厚度变动量检查仪检定规程JJG 820~1993 手持糖量(含量)计及手持折射仪检定规程JJG 821~1993 总有机碳分析仪检定规程JJG 822~1993 钠离子计检定规程JJG 823~1993 离子色谱仪检定规程JJG 824~1993 生物化学需氧量(BOD5)测定仪检定规程JJG 825~1993 测氡仪检定规程JJG 826~1993 二级标准分流式湿度发生器检定规程JJG 827~1993 分辨力板检定规程JJG 828~1993 激光千分尺平行度检查仪检定规程JJG 829~1993 电动温度变送器检定规程JJG 830~1993 深度百分表试行检定规程JJG 831~1993 铸造用湿型表面硬度计施行检定规程JJG 832~1993 标准玻璃网格板检定规程JJG 833~1993 工作基准铂铑10-铂/铂铑13-铂电热偶检定规程JJG 834~1993 动态信号分析仪检定规程JJG 835~1993 速度-面积法流量装置检定规程JJG 836~1993 感应同步器检定规程JJG 837~1993 直流低电阻表检定规程JJG 838~1993 晶体管特性图示仪校准仪检定规程JJG 839~1993 噪声系数测试仪(指针式)检定规程JJG 840~1993 函数信号发生器检定规程JJG 841~1993 微波频率计数器检定规程JJG 842~1993 直流电能表检定规程JJG 843~1993 泄漏电流测量仪(表)检定规程JJG 844~1993 回潮率测定仪检定规程JJG 845~1993 原棉水分测定仪检定规程JJG 846~1993 光散射式数字粉尘测试仪检定规程JJG 847~1993 滤纸式烟度计检定规程JJG 849~1993 硬质合金量块检定规程JJG 850~1993 光学角规检定规程JJG 851~1993 电子束辐射加工工作剂量计检定规程JJG 852~1993 中子周围剂量当量测量仪检定规程JJG 853~1993 低本底a、β测量仪检定规程JJG 854~1993 低加速度长持续时间激光-多普勒冲击校准装置检定规程JJG 855~1994 数字式量热温度计检定规程JJG 856~1994 500℃以下工作用辐射温度计检定规程JJG 857~1994 锗电阻温度计检定规程JJG 858~1994 标准铑铁电阻温度计检定规程JJG 859~1994 标准长杆铂电阻温度计检定规程JJG 860~1994 电力传感器(静态)检定规程JJG 861~1994 酶标分析仪检定规程JJG 862~1994 全差示分光光度计检定规程JJG 863~1994 V棱镜折射仪检定规程JJG 864~1994 旋光标准石英管检定规程JJG 865~1994 汽车底盘测功机检定规程JJG 866~1994 顶焦度标准镜片检定规程JJG 867~1994 光谱测色仪检定规程JJG 868~1994 毫瓦级标准超声源检定规程JJG 869~2002 电话电声测试仪检定规程JJG 870~1994 携带式布氏硬度计检定规程JJG 871~1994 远红外生丝水分检测机检定规程JJG 872~1994 磁通标准测量线圈检定规程JJG 873~1994 直流高阻电桥检定规程JJG 874~1994 温度指示控制仪检定规程JJG 875~1994 数字压力计检定规程JJG 876~1994 船舶气象仪检定规程JJG 877~1994 蒸汽压渗透仪检定规程JJG 878~1994 熔体流动速率仪检定规程JJG 879~2002 紫外辐射照度计检定规程JJG 880~1994 浊度计检定规程JJG 881~1994 标准体温计检定规程JJG 882~2004 压力变送器检定规程JJG 884~1994 塑料洛氏硬度计检定规程JJG 885~1995 滚动轴承宽度测量仪检定规程JJG 886~1995 圆锥滚子轴承套圈滚道直径、角度测量仪检定规程JJG 887~1995 圆锥滚子标准件测量仪检定规程JJG 888~1995 圆柱螺纹量规检定规程JJG 889~1995 磁阻法测厚仪检定规程JJG 890~1995 电容式条干均匀度仪检定规程JJG 891~1995 电容法和电阻法谷物水分测定仪检定规程JJG 892~1995 验光机检定规程JJG 893~1995 超声多普勒胎心仪超声源检定规程JJG 894~1995 标准环规检定规程JJG 895~1995 光纤折射率分布和几何参数测量仪(折射近场法)检定规程JJG 896~1995 光纤损耗和模场直径测量仪检定规程JJG 897~1995 质量流量计检定规程JJG 898~1995 微型橡胶国际硬度计检定规程JJG 899~1995 石油低含水率分析仪检定规程JJG 900~1995 光电轴角编码传感器检定规程JJG 901~1995 电子探针分析仪检定规程JJG 902~1995 光透沉降粒度测定仪检定规程JJG 903~1995 激光标准衰减器检定规程JJG 904~1996 读数显微镜检定规程JJG 905~1996 刮板细度计检定规程JJG 906~1996 滚筒反力式制动检验台检定规程JJG 907~1996 轴(轮)重仪检定规程JJG 908~1996 滑板式汽车恻滑检验台检定规程JJG 909~1996 滚筒式车速表检验台检定规程JJG 910~1996 摩托车轮偏检测仪检定规程JJG 911~1996 钢丝测力仪检定规程JJG 912~1996 治疗水平电离室计量计检定规程JJG 913~1996 浮标式氧气吸入器检定规程JJG 914~1996 六氟化硫捡漏仪检定规程JJG 915~1996 一氧化碳检测报警器检定规程JJG 916~1996 气敏色谱法微量氢测定仪检定规程JJG 917~1996 棉花测色仪检定规程JJG 918~1996 水泥胶砂震动台检定规程JJG 919~1996 pH计检定仪检定规程JJG 920~1996 漫透射视觉密度计检定规程JJG 921~1996 公害噪声震动计检定规程JJG 922~1996 验光仪顶焦度标准器检定规程JJG 923~1996 啤酒色度仪检定规程JJG 924~1996 转矩转速测量装置检定规程JJG 925~1997 净全辐射表检定规程JJG 926~1997 记录式压力表、压力真空表及真空表检定规程JJG 927~1997 轮胎压力表检定规程JJG 928~1998 超声波测距仪检定规程JJG 929~1998 数显测高仪检定规程JJG 930~1998 基桩动态测量仪检定规程JJG 931~1998 冲击试验机摆锤力矩测量仪检定规程JJG 932~1998 压阻真空计检定规程JJG 933~1998 r射线探伤机检定规程JJG 934~1998 r射线科位计检定规程JJG 935~1998 r射线厚度计检定规程JJG 936~1998 示差扫描热量计检定规程JJG 937~1998 色谱检定仪检定规程JJG 938~1998 刀具预调测量仪检定规程JJG 939~1998 非色散原子荧光光度计检定规程JJG 940~1998 催化燃烧型氢气检测仪检定规程JJG 941~1998 荧光亮度检定仪检定规程JJG 942~1998 浮球式压力计检定规程JJG 943~1998 总悬浮颗粒物采样器检定规程JJG 944~1999 金属韦氏硬度计试行检定规程JJG 945~1999 原电池法气体氧分析器检定规程JJG 946~1999 压力验潮仪检定规程JJG 947~1999 声学验潮仪检定规程JJG 948~1999 数字式电动振动试验系统检定规程JJG 949~2000 经纬仪检定装置检定规程JJG 950~2000 水中油份浓度分析仪检定规程JJG 951~2000 模拟式温度指示调节仪检定规程JJG 952~2000 瞳距仪检定规程JJG 953~2000 精密时间间隔测量仪检定规程JJG 954~2000 数字电脑图仪及电脑地形图仪检定规程JJG 955~2000 光谱分析用测微密度计检定规程JJG 956~2000 大气采样器检定规程JJG 957~2000 逻辑分析仪检定规程JJG 958~2000 光传输用稳定光源检定规程JJG 959~2001 光时域反射计OTDR检定规程JJG 960~2001 水准仪检定装置检定规程JJG 961~2001 医用诊断计算机断层摄影装置(CT)X射线辐射源检定规程JJG 962~2001 X、r射线个人报警仪检定规程JJG 963~2001 通信用光波长计检定规程JJG 964~2001 毛细管电泳仪检定规程JJG 965~2001 通信用光功率计检定规程JJG 966~2001 手持式激光测距仪检定规程JJG 967~2001 机动车前照灯检测仪校准器检定规程JJG 968~2002 烟气分析仪检定规程JJG 969~2002 r放射免疫计数器检定规程JJG 970~2002 变压比电桥检定规程JJG 971~2002 液位计检定规程JJG 972~2002 离心式恒加速度试验机检定规程JJG 973~2002 冲击测量仪检定规程JJG 974~2002 水泥软练设备测量仪检定规程JJG 975~2002 化学需氧量(COD)测定仪检定规程JJG 976~2002 透射式烟度计检定规程。
电子探针和扫描电镜常用的标准方法-25电子探针和扫描电
电子探针和扫描电镜常用的标准方法电子探针和扫描电镜涉及的标准方法及技术规范共有25个,有电子探针仪检定规程(JJG901-95)、扫描电子显微镜试行检定规程(JJG 550-88)、不同类型样品的定量分析方法、样品及标样的制备方法、微米长度的扫描电镜测量方法及X射线能谱成分定量分析方法等。
各单位计量认证分析检测的项目,必须有相应的标准检测方法。
要根据标准方法进行成分分析,要采用有效的国家标准。
没有国家标准的检测项目,可以采用行业标准或地方标准。
行业标准在相应的国家标准出台后自动作废,地方标准在相应的国家标准或行业标准出台后也自动作废。
企业标准及检测机构按用户要求制定的检测条件和试验方法,只能作参考数据。
当国家标准方法不能满足某些检测要求时,例如“方法通则”,可根据方法通则制定检测实施细则,经检验机构技术负责人批准后,可以实施。
检测报告中必须有检测依据,即检测的标准方法。
所以标准方法在认证过程中和检测过程中都是必须的。
现在电子探针和扫描电镜的标准方法,还不能满足所有样品测试的要求,特别是能谱分析方法,但基本都有通则,可根据通则制定实施细则,以满足一般检测工作的需要。
(1)GB/T 4930-93 电子探针分析标准样品通用技术条件(代替GB4930-85)(2)GB/T 15074-94 电子探针定量分析方法通则(3)GB/T 15075-94 电子探针分析仪的检测方法(4)GB/T 15244-94 玻璃的电子探针分析方法(5)GB/T 15245-94 稀土氧化物的电子探针定量分析方法(6)GB/T 15246-94 硫化物矿物的电子探针定量分析方法(7)GB/T 15247-94 碳钢和低合金钢中碳的电子探针定量分析方法(8)GB/T 14593-93 山羊绒、绵羊毛及其混合纤维定量分析方法(9)GB/T 15617-95 硅酸盐矿物的电子探针定量分析方法(10)GB/T 15616-95 金属及合金电子探针定量分析方法1(11)GB/T 16594-94 微米级长度的扫描电镜测量方法(12)GB/T 17359-98 电子探针和扫描电镜X射线能谱定量分析通则 (13)GB/T 17360-98 钢中低含量Si、Mn的电子探针定量分析方法(14)GB/T 17361-98 沉积岩中自生粘土矿物扫描电子显微镜及X射线能谱鉴定方法(15)GB/T17632-98 黄金饰品的扫描电镜X射线能谱分析方法(16)GB/T17363-98 黄金制品的电子探针定量测定方法(17)GB/T17364-98 黄金制品中金含量的无损定量分析方法(18)GB/T17365-98 金属与合金电子探针定量分析样品的制备方法(19)GB/T17366-98 矿物岩石的电子探针分析试样的制备方法(20)GB/T17506-98 船舶黑色金属腐蚀层的电子探针分析方法(21)GB/T17507-98 电子显微镜-X射线能谱分析生物薄标样通用技术条件 (22)GB/T17722-99 金覆盖层厚度的扫描电镜测量方法(23)GB/T17723-99 黄金制品镀层成分的X射线能谱测量方法 此外,还有以下一些其他标准可作参考,如:(24) 分析型扫描电子显微镜检定规程(JJG 011-1996)(25) 纳米级长度的扫描电镜测量方法(国家标准讨论稿)(26) 微束分析-扫描电镜-图像放大倍率校准导则(陈振宇编译)2。
湖北省市场监督管理局关于发布《径向换能器校准规范》等18项地方计量技术规范的公告
湖北省市场监督管理局关于发布《径向换能器校准规范》等18项地方计量技术规范的公告文章属性•【制定机关】湖北省市场监督管理局•【公布日期】2021.12.06•【字号】•【施行日期】2022.01.01•【效力等级】地方规范性文件•【时效性】现行有效•【主题分类】机关工作正文湖北省市场监督管理局关于发布《径向换能器校准规范》等18项地方计量技术规范的公告根据《中华人民共和国计量法》有关规定,现批准发布JJF(鄂)73-2021《径向换能器校准规范》、JJF(鄂)74-2021《14C呼气检测仪校准规范》、JJF(鄂)75-2021《固定式Χ、Υ剂量当量(率)仪和监测仪校准规范》、JJF(鄂)76-2021《非声波式驱鸟器校准规范》、JJF(鄂)77-2021《钢筋弯曲试验机校准规范》、JJF(鄂)78-2021《标准中性滤光片校准规范》、JJF(鄂)79-2021《药用真空冷冻干燥机校准规范》、JJF(鄂)80-2021《旋转蒸发仪校准规范》、JJF(鄂)81-2021《环氧乙烷气体报警仪校准规范》、JJF(鄂)82-2021《全自动混凝土抗渗仪校准规范》、JJF(鄂)83-2021《三维H点装置校准规范》、JJF(鄂)84-2021《非织造布超声波热合机校准规范》、JJF(鄂)85-2021《运行智能电能表校准规范》、JJF(鄂)86-2021《放射性气溶胶监测仪动态校准规范》、JJF(鄂)87-2021《GNSS 土地面积测量仪器校准规范》、JJF(鄂)88-2021《三维建筑测量仪校准规范》、JJF(鄂)89-2021《飞机陀螺姿态模拟台校准规范》、JJF(鄂)90-2021《电子辊道秤校准规范》等18个湖北省地方计量技术规范,自2022年1月1日起在全省范围正式实施。
特此公告。
湖北省市场监督管理局2021年12月6日。
JJG 国家计量检定规程
11
7
测厚仪
超声波测厚仪
超声波测厚仪
JJF1126-2004
12
X射线测厚仪
X射线测厚仪
JJG480-1987
13
电涡流式测厚仪
数字式电涡流测厚仪、指示表式电涡流测厚仪
JJG818-1993
14
磁阻法测厚仪
指针型、数字型、智能型磁阻法测厚仪
JJG889-1995
15
γ射线厚度计
JJG国家计量检定规程
序号
计量器具名称
范围
国家计量技术法规中涉及产品名称
技术法规编号
备注及特殊名称
2
1
测距仪
光电测距仪
相位式光电测距仪、脉冲式光电测距仪、光电测距仪
JJG703-2003
3
超声波测距仪
自反射式超声波测距仪、异地反射式超声波测距仪
JJG928-1998
4
手持式激光测距仪
短程半导体激光测距仪
JJG555-1996
JJG13-1997
JJG14-1997
JJG539-1997
22
非自行指示轨道衡
非自行指示轨道衡
JJG142-2002
(铁道部管)
23
数字指示轨道衡
数字指示轨道衡
JJG781-2002
(铁道部管)
24
12
自动衡器
重力式自动装料衡器
定量包装秤、组合装料衡器、定量灌装秤、电子配料秤、重力式自动装料秤、颗粒粉料包装秤、面粉包装秤、电脑多头包装秤、重量检测秤
JJF1060-1999、GB/T9081-2001
33
16
加气机
液化石油气加气机
化学计量检定规程目录
化学计量检定规程目录:JJG 940-1998 催化燃烧型氢气检测仪JJG 945-99 原电池法气体氧分析器JJG 880-94 浊度计JJG 681-90 色散型红外分光光度计JJG 682-90 双光束紫外可见分光光度计JJG 914-96 六氟化硫检漏仪JJG 119—1984 实验室PH(酸度)计检定规程JJG 154—1979 标准毛细管粘度计检定规程JJG 155—1991 工作毛细管粘度计检定规程JJG 178—1996 可见分光光度计检定规程JJG 179—1990 滤光光电比色计检定规程JJG 214—1980 滚动落球粘度计试行检定规程JJG 215—1981 旋转粘度计试行检定规程JJG 228—1993 静态激光小角光散射光度计检定规程JJG 291—1999 覆膜电极溶解氧测定仪检定规程JJG 342—1993 凝胶色谱仪检定规程JJG 365—1998 电化学电极气体氧分析器检定规程JJG 375—1996 单光束紫外-可见分光光度计检定规程JJG 376—1985 电导仪试行检定规程JJG 390—1985 船用pH计检定规程JJG 392—1996 感应式盐度计检定规程JJG 395—1997 定碳定硫分析仪检定规程JJG 412—1986 水流型气体热量计试行检定规程JJG 463—1996 热台法熔点测定仪检定规程JJG 464—1996 生化分析仪检定规程JJG 499—1987 精密露点仪试行检定规程JJG 500—1987 完全吸收式电解法微量水分分析仪试行检定规程JJG 520—1988 粉尘采样器检定规程JJG 535—1988 氧化锆氧分析器试行检定规程JJG 536—1998 旋光仪及旋光糖量计检定规程JJG 537—1988 荧光分光光度计试行检定规程JJG 538—1988 荧光光度计试行检定规程JJG 547—1988 尘埃粒子计数器试行检定规程JJG 548—1988 冷原子荧光测汞仪检定规程JJG 549—1988 方波极谱仪试行检定规程JJG 550—1988 扫描电子显微镜试行检定规程JJG 551—1988 二氧化硫分析仪检定规程JJG 552—1988 血细胞计数板试行检定规程JJG 553—1988 血液气体酸碱分析仪检定规程JJG 629—1989 多晶X射线衍射仪检定规程JJG 630—1989 火焰光度计检定规程JJG 631—1989 氨自动监测仪检定规程JJG 635—1999 一氧化碳、二氧化碳红外线气体分析器检定规程JJG 656—1990 硝酸根自动监测仪检定规程JJG 657—1990 呼出气体酒精含量探测器检定规程JJG 658—1990 烘干法谷物水分测定仪检定规程JJG 659—1990 飘尘采样器检定规程JJG 662—1990 热磁式氧分析器检定规程JJG 663—1990 热导式氢分析器检定规程JJG 672—2001 氧弹热量计检定规程JJG 673—1990 绝热型氧弹热量计检定规程JJG 674—1990 标准海水检定规程JJG 677—1996 光干涉式甲烷测定器检定规程JJG 678—1996 催化燃烧式甲烷测定器检定规程JJG 679—1990 冷原子吸收测汞仪检定规程JJG 680—1990 烟尘测试仪检定规程JJG 688—1990 汽车排放气体测试仪检定规程JJG 689—1990 紫外、可见、近红外分光光度计检定规程JJG 693—1990 可燃气体检测报警器检定规程JJG 694—1990 原子吸收分光光度计检定规程JJG 695—1990 硫化氢气体分析仪检定规程JJG 700—1999 气相色谱仪检定规程JJG 701—1990 毛细管法熔点测定仪检定规程JJG 705—1990 实验室液相色谱仪检定规程JJG 713—1990 直接电流法测氰仪检定规程JJG 714—1990 血细胞分析仪检定规程JJG 715—1991 水质综合分析仪检定规程JJG 742—1991 恩氏粘度计检定规程JJG 743—1991 流出杯式粘度计检定规程JJG 757—1991 离子计检定规程JJG 758—1991 罗维朋比色计检定规程JJG 761—1991 电极式盐度计检定规程JJG 763—1992 温盐深测量仪检定规程JJG 768—1994 发射光谱仪检定规程JJG 800—1993 电位溶出分析仪检定规程JJG 801—1993 化学发光法氮氧化物分析仪检定规程JJG 810—1993 波长色散X射线荧光光谱仪检定规程JJG 814—1993 自动电位滴定仪检定规程JJG 816—1993 二氧化硫气体报警器检定规程JJG 820—1993 手持糖量(含量)计及手持折射仪检定规程JJG 821—1993 总有机碳分析仪检定规程JJG 822—1993 钠离子计检定规程JJG 823—1993 离子色谱仪检定规程JJG 824—1993 生物化学需氧量(BOD5)测定仪检定规程JJG 825—1993 测氡仪检定规程JJG 826—1993 二级标准分流式湿度发生器检定规程JJG 844—1993 回潮率测定仪检定规程JJG 845—1993 原棉水份测定仪检定规程JJG 846—1993 光散射式数字粉尘测试仪检定规程JJG 847—1993 滤纸式烟度计检定规程JJG 861—1994 酶标分析仪检定规程JJG 862—1994 全差示分光光度计检定规程JJG 871—1994 远红外生丝水分检测机检定规程JJG 877—1994 蒸气压渗透仪检定规程JJG 878—1994 熔体流动速率仪检定规程JJG 891—1995 电容法和电阻法谷物水份测定仪检定规程JJG 899—1995 石油低含水率分析仪检定规程JJG 901—1995 电子探针分析仪检定规程JJG 902—1995 光透沉降粒度测定仪检定规程JJG 915—1996 一氧化碳检测报警器检定规程JJG 916—1996 气敏色谱法微量氢测定仪检定规程JJG 917—1996 棉花测色仪检定规程JJG 919—1996 pH计检定仪检定规程JJG 936—1998 示差扫描热量计检定规程JJG 937—1998 色谱检定仪检定规程JJG 950—2000 水中油份浓度分析仪检定规程JJG 385—1985 总光通量标准荧光灯试行检定规程JJG 748—1991 示波极谱仪检定规程JJG 1074-2001 酒精密度—浓度测量用表JJG 964—2001 毛细管电泳仪检定规程。
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性,平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益,请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间:9:00-18:30)。
4.7.4 X射线强度重复性b按式(7)计算:
b= s
X
(7)
式中: X —12次计数的算术平均值;
S—12次计数的标准偏差。
4.7.5 超轻元素的X射线重复性可以降低一级要求。
4.8 合金定量分析误差的检定
4.8.1 将电子探针调整到正常工作状态。
4.8.2 对合金标准物质进行定量分析,测定出标准物质中某一主元素的质量百分比。
4.3.1 将检定二次电子像分辨力用的标准物质固定在样品台上。若被检定的分辨力的值为d
(nm),则选取的放大倍数应不小于4×105/d。
4.3.2 将电子探针调整到最佳工作状态拍照,照片的灰度应不小于8个等级。
4.3.3 用比长仪测量出照片上可以分辨的金颗粒边界的最小间距F (μm)。
4.3.4 二次电子像分辨力d按式(3)计算:
一级不超过1μm;二级不超过2μm;三级不超过5μm。 2.7 X射线强度重复性
一级不大于1%;二级不大于2%;三级不大于4%。 2.8 合金定量分析误差
一级不超过±1.5%;二级不超过±3%;三级不超过±6%。 2.9 矿物定量分析误差
38
一级不超过±3%;二级不超过±5%;三级不超过±10%。 2.10 机壳绝缘电阻
电子探针分析用主元素含量标准偏差不大于0.1%的标准物质。 3.3.3 矿物标准物质
电子探针分析用主元素含量标准偏差不大于0.2%的标准物质。 3.3.4 检定二次电子像分辨力用的标准物质。 3.4 主要配套设备 3.4.1 用于测定束电流的法拉第杯。 3.4.2 用于确定束斑位置的铁合金样品。 3.4.3 比长仪
量程不小于60mm,误差不超过±1μm 。 3.4.4 绝缘电阻表:不低于10级。 3.4.5 X射线剂量仪:误差不超过±20%。
是指经国家计量行政部门批准的标准物质。
4 检定项目和检定方法
4.1 外观检查 用目测和手感进行检查。
4.2 放大倍数示值误差的检定 4.2.1 在电子探针标称的放大倍数范围内选取5档,最低档为200倍。最高档为检定二次电 子像分辨力用的放大倍数。 4.2.2 将检定放大倍数的标准物质固定在样品台上,使其工作面垂直于电子光学系统的轴 线,并调整到规定的工作距离的位置上。 4.2.3 将电子探针调整到最佳工作状态,把标准物质上标记线的像调整至荧光屏的中心, 聚焦后拍照。
(3)必须对电子探针进行背散射电子像平均原子序数差的灵敏度的检定,进行图像 畸变(图像失真)的调整。因为背散射电子像在实际使用中比二次电子图像有许多优越性, 在电子探针中更经常使用这一图像比进行必要的检定十分需要。
非常遗憾的是,由于某种原因,在电子探针实验室论证过程中,多数忽略了有关图像 性能的检定,忽略了与测长有关的检定。往往把注意力主要集中在电子探针定量分析的正 确度上,以至完全忽略了图像性能的检定。当然,国内缺乏必要的分辨力标样和长度标准 样品,同样在客观上影响到上述检测方法的贯彻执行。该标准的内容要点如下表所示:
在该检测方法中,标准的制订者对有关扫描电镜功能的几个关键检定的具体内容也作 了如下的规定,这些规定对于获得较佳的图像是非常有益的,如:
(1)放大倍数示值误差: 一级不超过±5%;二级不超过±10%;三级不超过±20%。
(2)二次电子像分辨力: 一级不大于10nm;二级不大于20nm;三级不大于50nm。
“电子探针分析仪的检定规程”是由上海测试中心张训彪起草的,发布于 1995 年。 检测方法简明扼要,检定项目明确合理,是电子探针检测实验室的重要的仪器检定标准, 许多条款也同时适用于扫描电子显微镜。本标准的内容大体与“电子探针分析仪的检测方 法(GB/T15075-94)”标准一致。但在某些方面有一定差异。
置,并再拍一张照片。
4.6.3 测量出两张照片上标记点的间距C。
4.6.4 样品台重复性r按式(6)计算:
r= C
5000
(6)
4.7 X射线强度重复性的检定
4.7.1 将电子探针调整到正常工作状态。
4.7.2 分别用四种分光晶体测定适当元素特征X射线的强度。
4.7.3 每次总记数不低于100 000,连续测定12次。
本规程适用于新制造、使用中和修理后的电子探针分析仪(以下简称电子探 针)的检定,也适用于配有波谱仪具有分析功能的扫描电子显微镜的检定。
1.外观 2.放大倍数示值误差 3.二次电子像分辨力 4.探针束流稳定度 5.束斑位置稳定度 6.样品台重复性
7.X 射线强度重复性 8.合金定量分析误差 9.矿物定量分析误差 10.机壳绝缘电阻 11.X 射线泄漏剂当量
电子探针分析仪检定规程 (JJG 901-1995) 评述
周剑雄 陈振宇
(中国地质科学院矿产资源研究所 北京 100037) E-mail:zjx@
0 前言
本文集之所以将本标准收录,并不仅仅因为是电子探针也具有扫描电镜的图像观察和 测长功能,也需要规范,而更重要的是让分析型扫描电镜的使用者仔细研究本标准后,会 明白自己的分析型扫描电镜为什么不能达到定量分析的原因所在,而且也更会明白要达到 定量分析是一件如此轻而易举的事。
d = F ×103
M
(3)
式中:M—照片的实测放大倍数。
4.4 探针束流稳定度的检定
4.4.1 将电子探针调整到正常工作状态,加速电压取25kV,束流取1×10-8A。
4.4.2 稳定30min以后,用法拉第杯测定束流,连续测量60min。
4.4.3 束流稳定度α按式(4)计算:
α = lmax − lmin
4.9.3 将矿物标准物质作为被测定的样品进行定量分析,测定出矿物标准物质中某一主元
素的质量百分比。
4.9.4 连续测定三次,三次测得值的算术平均值为n。
4.9.5 矿物标准物质定量分析误差f 按式(9)计算:
f=n-n0
(9)
式中:n0—矿物标准物质中某一主元素质量百分比的标准值。
4.10 机壳绝缘电阻的检定
(1)放大倍率的校验,非常简单地提到了放大倍数的校验应使用标样,由于国内几 乎没有这方面的标样,这一规定几乎等于白说。如果有极佳的长度标准尺,不仅使电子探 针的放大倍数得以正确性,并使电子探针测长成为可能。
(2)二次电子图像分辨力的检定,以保证电子探针图像观察达到最佳状态,这是一 个最基本的必须得检定,很难想象一个分辨力状态很差的电子探针能够提供合格的结果。
不小于20 MΩ。 2.11 X射线泄漏剂量当量
不大于2.5μSv
3 检定条件
3.1 环境条件 3.1.1 环境温度:20±5℃。 3.1.2 相对湿度:不超过70%。 3.2 电源
电压~220±22V。 3.3 检定用标准物质 3.3.1 检定放大倍数用标准物质
参见JJG 550-88扫描电子显微镜检定规程9.1款。 3.3.2 金标准物质
一级不超过±5%;二级不超过±10%;三级不超过±20%。 2.3 二次电子像分辨力
一级不大于10nm;二级不大于20nm;三级不大于50nm。 2.4 探针束流稳定度
一级不大于3×10-3;二级不大于5×10-3;三级不大于10×10-3。 2.5 束斑位置稳定度
一级不大于0.5μm;二级不大于1μm;三级不大于2μm。 2.6 样品台重复性
4.8.3 连续测定三次,三次测得值的算术平均值为m。
4.8.4 合金标准物质定量分析误差e按式(8)计算:
e=m-m0
(8)
式中:m0—合金标准物质中某一主元素质量百分比的标准值。
4.9 矿物定量分析误差的检定
4.9.1 将电子探针调整到正常工作状态。
4.9.2 在矿物标准物质的工作面上喷镀一层厚度大约为20nm的碳膜。
37
检定周期(年) 附录数目 出版单位
检定用标准物质 相关技术文件
备注
3 2 中国计量出版社 这是最为重要的事,且我们国内有许多这样的标准。
续表 1
以下是该标准的主要内容摘录:
1 概述
电子探针主要用于测定固体样品中微小区域内原子序数从 5 号(硼)至 92 号(铀) 元素的种类和含量,同时可以用于分析样品表面的形貌。其原理是:用细聚焦一定能量的 电子束轰击样品,样品在电子的作用下产生调射线。二次电子等信息。用波谱仪将调射线 按波长进行分散,并测定特征调射线的强度。根据特征调射线的波长确定元素的种类;根 据特征调射线的强度进行修正计算,确定元素的含量。用二次电子成像分析表面形貌。
编号 名称
归口单位 起草单位 主要起草人 批准日期 实施日期 替代规程号 适用范围
主要技术要求
表 1 内容提要
JJG 901-1995 (中文) 电子探针分析仪检定规程 (英文)Verification Regulation of Electron Probe Microanalyzer 上海市技术监督局 上海市测试技术研究所 张训彪 (上海市测试技术研究所) 1995 年 10 月 19 日 1996 年 3 月 1 日
断开电子探针电源,用绝缘电阻表一端接在电源输入端的火线上,另一端接在电子探
针的金属壳上,测定两端的电阻值。
4.11 X射线泄漏量的检定。
加速电压取30kV,束电流取1×10-6A,用X射线剂量仪测量各部位X射线的最大泄漏
量。
41
5 检定结果的处理和检定周期
5.1 检定结果的处理 5.1.1 技术要求中 4,7,8,9,10,11 条为主要技术指标,主要指标全部不低于某一等级, 非主要指标有 3 项不低于这个等级,则认为这个等级为此电子探针的等级。 5.1.2 经检定定级的电子探针,发给检定证书。 5.1.3 经检定达不到三级技术要求的电子探针,发给检定结果通知书,并注明达不到三级技 术要求的项目。 5.2 检定周期 电子探针的检定周期一般为 3 年。
l0
(4)
式中:lmax—束流最大值; lmin—束流最小值; l0—束流初始值。