特气系统培训

Fire Sensor(火焰侦测) • 定义:此设备是针对一些易燃气体,易爆气体 或因为其他原因而设 • 工作原理:当气柜里面有火焰时气柜内部会 有个超声波检测模块(UV-TRON)探测到一 个特殊的频段,产生报警信号
High Temp Sensor(高温传感器) • 定义:此设备的目的是为了防止气柜内部温 度过高而导致危险 • 工作原理:这是一个双金属开关,它由两个受 热膨胀绿不同的金属片组成,从而控制电信 号开关. • 规格:工作温度是72℃,超过72度便产生报警 信号.
•调整调压阀压力 •更换过滤器 •进行保压确认2`st是 否存在问题
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常见的故障及处理方法(2)
NO
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状况
在通电运行的状态 输送压力没有变化
原因
•没有气供给气动阀驱动 •供给气动阀驱动的压力过低 •由于电磁阀损坏导致没有气体
措施
•检查供给气动阀的 气源是否充足 •调整供给气动阀驱 动的压力值 •检查电磁阀,并更换 •打开氮气吹扫的阀 •调整氮气吹扫压力
此两种是发生在换钢瓶以后的吹扫,目的是将管道 中可能存在的颗粒进行吹扫以达到去除这些颗粒 的目的
正压保压最低底线值.检查钢瓶与猪尾巴有没有完 全被密封.若保压失败一般都是钢瓶接头没有旋紧. 但也有特殊情况,比如SIH4可能会受温度的影响
系统参数含义及作用(2)
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Vacuum low limit (-15~9999Psi)
Auto Guard(钢瓶接口处的安全装置) • 定义:这个装置的目的是为了保证换钢瓶的 安全.为了防止在没有进行换瓶前吹扫便把 钢瓶卸下从而导致毒气泄漏. • 工作原理:这是一个气动装置.装置内部有一 个控制开关的电磁阀.这个装置保证了钢瓶 接口处的安全,操作者无法轻易卸下钢瓶接 口,除非是在安全流程下才会打开此装置,允 许操作者卸下接口
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• Gas Cabinet的用途 1.实现安全的连续的供应某种特殊气体,供机 台制程使用,满足生产用气要求. 2.为保证供气的联系性,一般左右盘面均为独 立的操作执行体. 3.能够在保证一边供气的前提下,另外一边实 现Purge, 更换钢瓶,并直至到Standby. 等待 被自动切换当另外一边气体被用完后. 4.可以实现跟VMB, Scrubber 等设备的联动 根据客户的要求.
气柜运作流程图
供电 ↓ 参数设定 ↓ 传感器校零 ↓ 泄压吹扫 ↓ 负压保压 ↓ 前吹扫 ↓ 换瓶 →
ห้องสมุดไป่ตู้
END ↑ PT1<设定值 ↑ 供气 ↑ 后吹扫 ↑ 正压保压
系统参数含义及作用(1)
NO 1 ITEM Pre-purge 1`st time (允许参数:10~9999) DESCRIPTION 这三次吹扫的目的都是在换钢瓶前将管道内残留 的有毒气体排出管道以外. 根据气体的属性来决定, 将这三个吹扫的总和设在不低于150次较合理
PLC battery low error
常见的故障及处理方法(1)
NO 1 状况 2`st压力高于设定值 原因
•由于颗粒导致调压阀内漏 •PT不稳定或损坏 •气柜内部温度突然变化
•由于颗粒导致气动阀门内漏 •PT不稳定或损坏 •气柜内部温度突然变化 •钢瓶内压力过低 •PT不稳定或损坏 •报警设定的值有问题 •主排风的负压力过低 •排风阀被关闭 •负压表损坏 •调压阀没调整到正常压力 •过滤器被堵塞 •在2`st减压时有泄漏
NH3&SiH4
Psi---pounds per square inch 磅/平方英寸（1Mpa=145psi=10.2kg）
· 无水氨气是一种刺激性、无 色储存于钢瓶的液化压缩气 体。其存储压力为其蒸汽压 114 psi
· 可自燃气体! 硅烷是一种无色、与 空气反应并会引起窒息的气体。该 气体通常与空气接触会引起燃烧并 放出很浓的白色的无定型二氧化硅 烟雾。 其存储压力为其蒸汽压
零点值显示不正确
•主电源出现问题 •线路出线问题 •电源错误 •磅秤损坏 •信号连接出错 •零度值出错 •电源错误 •磅秤损坏 •信号连接出错 •输出范围错误 •N2输送问题 •电磁阀出现问题
•检查电源和线路的 状态 •检查是否输入24V 输出4-20MA •重新调整零点值 •检查信号线连接处 •检查是否输入24V 输出4-20MA •重新调整零点值 •检查信号线连接处 •检查N2驱动的压力 时5-7公斤 •检查是否24V输入
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系统参数含义及作用(3)
14 PT1 1`st Low limit (-15~9999) PT1 2`nd Low limit (-15~9999) PT1 1`st High limit (-15~9999) PT3 1`st Low limit (-15~9999) 当PT1的显示值低于这个参数时,屏幕会出 现字幕提醒用户做好换钢瓶的准备 当PT1的显示值低于这个参数时并且满足 切换条件时.系统会进行钢瓶的切换,报警 消失 此参数是为了防止一些受加热的气体由于 温度太高导致压力过高(如NH3)设定的报警 点 供气调压之后PT3端的压力1段报警,这时请 调节调压阀增大压力
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在钢瓶接口处发生 泄漏
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在更换零件的时候 发生泄漏
•当更换零件时没有经过置换管路 直接拆卸装置时会发生泄漏
常见电信号故障及处理方法
NO
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状况
电源出现错误
•主电源被打断 •电路保护跳
原因
措施
•确认主电源工作状态 （AC100-240 50/60Hz） •重新打开空气开关电 源
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触摸屏电源被停止
全自动气柜安全配置
• • • • • • Fire Sensor(火焰侦测) High Temp Sensor(高温传感器) Auto Guard(钢瓶接口处的安全装置) Sprinkler(喷淋装置) Seismic Detector(防震探测器) Gas Leak Detector(毒气侦测器)
Sprinkler(喷淋装置) • 定义:当气柜内部由于火焰或其他原因导致 内部温度超过72℃时喷淋启动 • 工作原理:当气柜内部温度上升到一定极限 (72℃)时消防水便会被开启
Gas Leak Detector(毒气侦测器) • 定义:此设备是侦测大气中毒气含量的装置, 根据所设定值来产生报警 • 工作原理:公司常用的是电化学式的侦测器, 通过采样管从气柜风管里抽取少量气体从 如侦测器分析毒气含量,之后排出大气.(采样 管必须接在排气管的下面) • 安装:可以采集气柜内部的气体进行分析,也 可以采集环境中的气体进行分析
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PT3 2`st Low limit (-15~9999)
供气调压之后PT3端的压力2段报警,这时请 调节调压阀增大压力
系统参数含义及作用(4)
19 PT3 1`st High limit (-15~999) PT3 2`st High limit (-15~999) PT3低压端压力过高产生的一段报警.此 时屏幕会指示操作者调节调压阀来解决 此问题 PT3低压端压力过高产生的二段报警.此 时供气将被临时停止,系统会进行短暂的 泄压步骤.待压力正常后才恢复工作 此参数多用于以重量来切换的气体如 NH3,当达到此设定值时系统报警提示即 将切换钢瓶 此参数为重量切换的临界值参数.当重量 低于此值时,并且满足切换条件,系统正 常切换左右钢瓶
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在吹扫的时候低压 报警发生
•氮气吹扫的阀没打开 •特气室内氮气吹扫端压力过低
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管道内有发生泄露
•当你没有为管道做保压测试时可 能会由于某些原因导致泄漏此时高 温,烟雾,火焰侦测会启动
•火焰,高温报警探测到高温后产生 报警. •钢瓶接口处没有安装垫片或没有 密封
•当更换零件,钢瓶后 未做压力测试
•如果是毒性气体必 须装备侦测器 •将钢瓶接口处加入 新垫片 •在操作时装备PPE等 安全装备 •在操作时必须两人 同时在场,并装备PPE
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保压稳压时间.经过稳压可以让PT SENSOR保持稳定, 待数分钟稳定后方开始保压,高压时建议稳压30分 钟以上
保压时允许降低/升高的压力值.超过此设定值保压 失败,须重新走保压流程 力矩扳手提示压力,只供操作者参考
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Leak change pressure (0~9999)
Torque wrench pressure
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各零部件的简图及名称
气柜阀门及零件概述
AV1 PT1 PT3 AV4 AV5 AV6 AV7 AV8 低压吹扫阀 高压供气阀 低压供气阀 低压端抽空阀 高压端抽空阀 高压保压阀 氮气吹扫阀 抽空微漏阀 AV9 REG CV GF MV 氮气吹扫微漏阀 调压阀 单向阀 垫片式过滤器 供气确认手动阀
任何供气状态
气柜安全性能(2)
各类安全装置(提示报警) 供气状态 系统执行的命令
Exhaust Fail（抽风失败） L/D 1`st alarm L/D 2`st alarm
PLC CPU memory error
所有供气状态
气柜顶灯:橙色指示灯亮 /蜂鸣器间歇性报警/屏幕 上出现报警提示(待问题 解决后可消除报警字幕)
900~1100psi 。
· 需避免的情况： 高温(大于 426℃)，钢瓶储存温度不可 高于52℃ · 比重：(空气＝1) 0.59
· 不可燃气体!但当它在空气 中的浓度超过15%时有立即 造成火灾及爆炸的危险
· 如果泄放硅烷时压力过高或速度 过快会引起滞后性的爆炸。泄漏的 硅烷如没有自燃会非常危险，不要 靠近。 · 比重：（空气＝1) 1.2 · 不要用卤化物类灭火器。从最远 的距离用水冷却暴露在火 焰中的 钢瓶。
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W/S 1`st Low limit (0~999.9)
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W/S 2`st Low limit (0~999.9)
气柜的安全性能(1)
各类安全装置(切断气柜) UVIR（光感应器） Emergency Stop Hi-temperature sensor PT3 2`st High Limit 所有气动阀关闭/气柜顶 部红色指示灯闪烁/蜂鸣 器持续报警/屏幕上出现 报警字幕且无法被消除 (重启电源并排除故障后 方能开机) 供气状态 系统执行的命令
磅秤显示值不对
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气动阀错误
报警提示及相应设备的状态(1)
报警提示信息 EMS
Emergency Stop
Safety Module Fail
Exhaust Fail High Temp Sensor Alarm(UV/IR)
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• 硅烷和氨气主要在太阳能生产上用于等离 子化学气相沉积(PEVCD) 之中. • 等离子化学气相沉积(PEVCD)：PEVCD被 使用来在硅片上沉积氮化硅材料，是在 300-900℃的温度下通过化学反应产生 Si3N4的过程。 • 典型的化学反应为：SiH4 + NH3 → Si3N4 + NH3 + N2
Positve L/C Time (0~9999) Negative L/C Time (0~9999) P-N2 Low Limit (-15~9999)
Leak Check stable time (0~9999)
吹扫时真空端的压力底线,低于此设定值便产生报 警.
正压保压时间,检查钢瓶与连接头有没有完全被密 封.若保压失败一般都是钢瓶接头没有旋紧.但也有 特殊情况,比如SIH4保高压可能会受温度的影响 负压保压时间.检查钢瓶阀门是否关紧,若保压失败 一般情况下可以确认是钢瓶阀没有关紧 高纯氮吹扫最低压力值,低于此设定值产生报警
措施
•更换调压阀 •进行PT校准或更换 •调整气柜内部温度
•更换调压阀 •进行PT校准或更换 •调整气柜内部温度 •更换钢瓶 •进行PT校准或更换 •重新调整设定值
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在供气之前(备用状 态)PT1压力下降 在1`st调压时压力达 不到设定值 排风负压表没有读 数 设备运行压力过低
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•调排风的压力值 •打开排风阀 •更换负压表
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Pre-2`st LPT Purge (10~9999)
Pre-purge 2`st time (10~9999) post-purge 1`st time (10~9999)
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post purge 2`st time (10~9999)
PositiveL/C Low limit (15~9999)