多功能型光电子能谱仪详细配置及技术指标

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光电子能谱仪

光电子能谱仪(XPS,UPS)FUNSOM 谢跃民20134214099 一、绪论[1-3]电子能谱分析是一种研究物质表层元素组成与离子状态的表面分析技术。

光电子能谱是表面电子能谱中很重要的一部分，光电子能谱的历史可以一直追溯到1887年赫兹发现光电效应。

其后,相当长的一段时间内,光电发射现象一直是被研究的对象,直到爱因斯坦在1905年用量子理论成功解释了光电效应。

随后20世纪60年代，超高真空技术和微弱信号检测技术的发展为光电子能谱的诞生创造了条件,光电子能谱技术真正作为一种实验手段引起人们的重视。

1954 年瑞典科学家Kai Siegbahn 教授和他的研究小组在进行β电子能谱的研究过程中研制成世界上第一台双聚焦磁场式光电子能谱仪。

此后经过不断改进性能，精确测量了元素周期表中各元素的内层电子结合能，并清楚的看到有关谱峰。

瑞典的科学家于1965 年把这种方法叫做化学分析用电子能谱(Electron spectroscopy for chemical analysis)，简称ESCA。

由于ESCA 主要采用了铝和镁的特征软X 射线作为光源，后来人们就把这种方法称之为X 射线光电子能谱(X-ray photoelectronspectroscopy)，简称XPS。

1962 年，伦敦帝国学院的D. W. Turner 等人又创造使用了真空紫外光源的光子能谱仪。

这种能谱仪更适合于研究价带电子状态，正好与X 射线光电子能谱互相补充。

此方法被称为紫外光子能谱(Ultraviolet photoelectron spectroscopy), 简称为UPS。

多年来，XPS谱仪技术方面也取得了巨大的进展。

目前光子能谱已经被广泛应用各个领域，如物理学、化学、材料科学、表面科学等，尤其是XPS，已经成为一种常规的材料表面分析手段。

光子能谱技术的特点包括： 1.是一种非破坏性测量手段 2.一种表面灵敏的分析手段3.适合分析塑料和高分子聚合物 4. XPS有明确的化学位移，能用来研究元素的化学状态5.可测定元素的相对含量等等。

能谱仪技术指标

能谱仪技术指标1、技术指标：1)*可靠性：可以配合各主流品牌的场发射扫描电镜使用，且在北京的地质行业有配合先例，提供用户名单和联系方式；2)探测器：硅漂移晶体，超薄窗口，完全独立真空；晶体有效面积不小于60 mm2，探头整体有效采集面积不小于50mm2；适合低电压或小束流分析；3)*探测器制冷和定位：采用三级帕尔贴制冷，最低工作温度可达零下80摄氏度；探头采用马达控制的自动伸缩设计，可以在软件里实现控制，确保针对不同尺寸样品的定位精度；4)元素分析范围Be4—U92；5)免维护性：探头不包含冗余的前置放大电路板，随时可以断电，无需重新校正；6)分辨率MnKa优于127eV，CKa优于56eV，F Ka优于64eV（20000CPS）；在不同计数率下谱峰稳定，分辨率衰减小于1eV；7)输出最大计数率：大于500,000CPS谱峰无畸变，可处理最大计数率优于750,000CP S；8)软件：64位能谱应用软件，操作简便界面清楚，直接读出电镜参数和仪器状态，结果输出方便，适合于不同层次的用户尽快掌握；9)谱定性分析：具备点、线、面扫描分析功能，高帽法扣除背景避免人为误差；10)*谱定量分析:可对抛光表面或粗糙表面进行点、线和面的分析；具有虚拟标样法（间接标样法）以及有标样法（直接标样法）；可以方便的得到归一化和非归一化定量结果；11)*谱峰稳定性：具备零峰设计，相对峰位稳定，无需铝铜双峰校准，保证数据重现性；12)图像输出：支持BMP,TIFF, JPEG等流行的图像格式，对视场上任选区域进行能谱分析和线、面扫描，可得到元素的线分布、常规面分布、快速面分布和定量面分布等，所支持电镜数字图像最大清晰度优于8192*8192，全息X射线成分图最大清晰度（live Spectrum Mapping）优于4096*4096.13)*高级应用软件：针对地质领域，可以提供多视场自动叠加的数据拼接功能，实现大范围面扫描和特征元素富集区域的自动分析；14)图形处理器配置不低于：知名品牌，Intel Core i7-2600 处理器，8G以上内存，1TB硬盘，DVD/RW 刻录光驱，24”平板液晶显示器，专用实验台等；2、培训要求卖方在用户现场进行技术培训，一年以后免费提供深入的技术培训课程，终生提供免费的应用咨询以及技术帮助3、售后服务3.1 安装：要求卖方到用户现场进行免费安装、调试、试运行。

量子点LED多功能光谱探测系统技术参数

量子点LED多功能光谱探测系统技术参数
项号
货物名称
数量
技术参数及性能（配置）要求
单价（万元）
总价（万元）
1
量子点LED多功能光谱探测系统
1套
介绍:
紫外可见-近红外时间分辨光致发光光谱TRPLS和电致发光光谱TRELS；包括激发光谱、发射光谱和快速三维光谱；满足皮秒到秒级的时间分辨（PL EL）荧光测试；提供真空低温变温环境用于材料及器件的PL和EL相关测试；光致发光绝对量子效率及色坐标测量；用于发光器件及工艺设计综合表征。可实现向生物传感器、生物医药研究和环境保护等领域扩展。为了研究量子点发光材料及光电器件的瞬态光谱的电荷注入和复合过程等，此设备的特色是指定配备了时间分辨的EL测量系统和时间分辨近红外PL-PL测量装置。
技术指标：
1.基本功能：
1.1光致发光发光光谱、电致发光光谱及EEM三维光谱采集；
1.2100ps-10s荧光寿命采集；包括光致发光及电致发光衰减曲线；
1.3EL/PL动态荧光寿命，时间分辨发射谱，
1.4200-1000nm全波段动态光谱采集；
1.5EL/PL近红外发光光谱及寿命；
2.整机主要技术指标：
5.配置要求：
5.1450W氙灯及闪烁氙灯灯室，软件自动切换1件
5.2激发单色仪1件
5.3反射式样品仓及参比检测器1件
5.4双轴三塔轮成像光谱仪1件
5.5FIOP冷冻CCD光谱检测器1件
5.6精选级R928P PMT1件
5.7H10330-75 NIR PMT 1件
5.8时间分辨电致发光控制及驱动器（含控制软件）1套
1.7整机信噪比：优于30,000:1（水拉曼信噪比，350nm激发，5nm带宽）

X射线光电子能谱仪介绍

X射线光电子能谱仪介绍X射线光电子能谱仪（X-ray Photoelectron Spectroscopy，简称XPS），也称为电子能谱仪（Electron Spectroscopy for Chemical Analysis，简称ESCA），是一种分析物质表面化学成分和电子结构的有效工具。

本文将从原理、仪器结构、操作流程和应用等方面进行详细介绍。

首先，我们来了解XPS的基本原理。

XPS是利用X射线照射样品表面，当X射线与样品表面原子发生相互作用时，会发生光电效应。

光电子（或称为光电子子）从样品表面解离出来并被收集。

通过测量其动能和相对强度，可以获得样品表面的化学成分和原子的电子态信息。

XPS仪器的主要结构包括X射线源、样品台、光电子分析仪和能谱仪。

X射线源通常采用单晶衍射器或连续谱型，能够提供较高的光子能量和对数计数率。

样品台有多种形式，如固定晶格、转动晶格、升降台等，能够调整样品的位置和角度。

光电子分析仪是收集和加速光电子的装置，包括透镜系统、走时单元和检测器等。

能谱仪则通过光电子的动能和相对强度来测量和分析样品的化学成分。

XPS的操作流程一般包括样品准备、实验参数设置、数据采集和数据处理等步骤。

首先，样品需进行表面处理，如去除氧化层、清洗污染物等，以确保表面的纯净度和可再现性。

其次，根据实验需求设置合适的参数，如X射线源能量、极角、测量区域等。

然后，通过探测光电子的动能和相对强度，采集一系列能谱。

最后，根据所得数据进行分析和处理，如峰拟合、能量校准、峰面积计算等，从而获得样品的化学成分和表面电子结构信息。

XPS在多个领域具有广泛的应用。

首先，它可用于表面化学成分分析，可以确定样品表面元素的种类和含量。

其次，XPS可以研究样品的化学状态和电子结构变化，如氧化态、配位数、轨道混成等。

另外，XPS也可用于界面分析，研究不同材料之间的相互作用和界面电子结构。

此外，XPS还可用于薄膜、催化剂、电极、半导体等领域的研究和表征。

光电子能谱仪使用方法说明书

光电子能谱仪使用方法说明书一、引言光电子能谱仪是一种用于研究材料表面电子结构的实验仪器，其基本原理是利用光电效应将光子能量转化为电子能量。

本说明书旨在详细介绍光电子能谱仪的使用方法，帮助用户更好地操作和理解该仪器。

二、仪器概述光电子能谱仪主要包括以下部分：1. 光源：提供具有特定能量的光束，常用的光源有气体放电灯、激光器等。

2. 样品台：用于固定待测试材料，保持材料表面与光束的垂直。

3. 分析系统：包括能量分析器和探测器，用于分析和检测光电子的能量和强度。

4. 数据采集与处理系统：用于记录和处理从探测器中获取的光电子能谱数据。

三、仪器操作步骤1. 准备工作：在使用光电子能谱仪之前，确保以下准备工作已完成：- 仪器的电源和其他连接线已正确连接。

- 光源和分析系统的参数已设定好，满足实验需求。

- 样品台已清洁干净，确保无杂质。

- 数据采集与处理系统已准备好，以便记录和处理数据。

2. 样品装载：先将待测试的样品均匀地固定在样品台上，确保其表面平整且垂直于光束的方向。

如果样品较小，可以采用夹具或胶水固定。

3. 光源调整：根据实验需求，选择合适的光源，并调整对应的参数。

通常需要确定光源的波长、能量和强度等。

确保所选的光源和参数能够满足实验要求。

4. 能量分析器设置：根据待测样品的特性和研究目的，设置能量分析器的参数。

包括调整分析器的入射角度、加速电压和滤光片等。

确保这些参数能够使光电子能谱仪得到准确的测试结果。

5. 数据记录与处理：启动数据采集与处理系统，通过探测器采集到的光电子能谱数据进行记录和处理。

可以使用相应的软件对数据进行分析和拟合，以得到更详细的结果。

6. 结束操作：实验结束后，及时关闭光源、能量分析器等电源，并将样品台清洁干净。

四、注意事项1. 使用光电子能谱仪时需佩戴相应的个人防护设备，如护目镜、手套等。

2. 在操作过程中，避免直接接触光源和能量分析器等高温部件，以免造成烫伤。

3. 确保仪器的储存和操作环境干燥、无尘，并保持适宜的温度和湿度。

多功能仪器技术指标

多功能仪器技术指标：
1、功耗：典型值20W，最大30W；供电：12 VDC
2、具有相位测量、频率测量、频谱分析、信号发生器（包括函数发生器）、锁相放大、数字
滤波器（包括IIR和FIR滤波器）、示波器、PID控制、激光器锁频/稳频、波特分析（又称传函分析或者幅相分析）、以及数据采集功能
3、相位测量精度达优于1μcycle；测量频率达到200MHz
4、对DC-200MHz 的输入信号进行频谱分析，并根据测量范围的不同，自动调整分辨率带
宽（RBW）
5、解调信号频率范围最大可达200MHz；动态储备≥80dB；移相精度≥1毫度；频率分辨率
＜5μHz能对信号进行低通、高通、带通、带阻滤波，最高输出采样率＞15MHz；支持自定义滤波器功能。

6、支持远程无线操作或者电脑控制
7、两个输入端口、两个输出端口
8、内置10 MHz本地晶振
9、输出信号采样率：1 GSa/S，输入信号采样率：500 MSa/S
10、支持SD卡存储功能。

能谱仪技术参数

能谱仪技术参数（带*部分是必须满足的条件）1主要参数：1.1*该能谱仪与JEM-2100F场发射透射电镜配套使用；1.2*探测器：电制冷探测器，窗口有效面积≧30mm2；1.3*能量分辨率：在100,000CPS条件下Mn Ka保证优于129eV；1.4 *元素分析范围优于Be4～Am95；1.5 谱峰稳定性：1,000cps到100,000cps，Mn Ka峰谱峰漂移小于1eV，48小时内峰位漂移小于1.5eV；1.6 具备零峰修正功能，快速稳定谱峰，开机后无需重新修正峰位,10min内可达到稳定状态；1.7 *能谱仪处理单元与计算机采用分立式设计，单探测器输出最大计数率600,000CPS，可处理最大计数率优于1,500,000CPS；1.8*可进行谱定性和定量分析。

要求配备完善而精准的原子数据库，包含所有的分析线系(K, L, M 和N线系)，具备较为准确的定量方法；1.9可将电镜图像传输到能谱仪的显示器上，支持最大像素4096*4096，并以该图为中心做微区分析；1.10*所有校准数据均保存于信号处理器中，重装或者升级电脑可由用户自己完成，无需工程师上门重新校准系统；数据需能够复查，便于进行重新提取和分析；1.11通过处理器自动扣除和峰（非软件扣除），自动选择最佳处理时间1.12 *具有STEM模式点、线、面分析功能，且配备高分辨电镜专用的漂移矫正功能。

1.13计算机配置：22寸显示器，处理器intel 4核/内存8GB/硬盘1TB/1G独立显卡/win7 pro系统。

1.14 *实验报告:多种输出格式, 单键可生成Word文档, 及HTML格式。

2保修、培训及交货2.1. 免费保修期：至少1年。

保修期内，任何由制造商选材和制造不当引起的质量问题，厂家负责免费维修。

保修期自验收签字之日起计算。

保修期满前1个月内卖方应负责一次免费全面检查，并写出正式报告，如发现潜在问题，应负责排除。

2.2. 维修响应时间：卖方应在24小时内对用户的服务要求做出响应，一般问题在48小时内解决，重大问题或其它无法立刻解决的问题应在一周内解决或提出明确的解决方案，否则卖方应赔偿相应的损失。

现代X光电子能谱仪简介

ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ和位敏
。采用多通
道板探测器和位敏探测器时，还可以以快照方式（ｓｎａｐｓｈｏｔ）收集ＸＰＳ谱，也可以实现快速平行ＸＰＳ成像（ｉＸＰＳ）。新型电子探测器的采用不仅大大有助于提高仪器的灵敏度，而且大大提高了采集数据的速度。５．电子中和器在ＸＰＳ实验中常常遇到样品荷电问题，影响测量。为了解决这一问题，传统电子能谱仪通常采用“漫灌式”（ｆｌｏｏｄ）的低能（～５００ｅＶ）电子中和或减弱样品上的剩余正电荷。这种方法虽然很简单，但是在中和样品时易出现荷电不均匀。为了克服这一问题，现代电子能谱仪采用更低能量的单色电子中和，同时为了在单色化小束斑ＸＰＳ（ＳＡＸＰＳ）中能有效地中和，需采用同轴低能电子中和
Ｅ－ｍａｉｌ：ｃｍｅｅ＠２６３．ｎｅｔ
９
２００７年第１０期（总第５６期）
配件，有利于扩展仪器功能。现代能谱仪中有多组透镜组合而成，根据测量分析要求可选择不同的工作模式。４．电子检测器电子监测器也是电子能谱仪的一个主要部件。传统电子能谱仪采用通道式电子倍增器（Ｃｈａｎｎｅｌｔｒｏｎ）。为了提高检测灵敏度，现代电子能谱仪一般采用多通道电子探测器（Ｍｕｌｔｉ－Ｃｈａｎｎｅｌｔｒｏｎ），甚至采用多通道板探测器（ｍｕｌｔｉ－ｃｈａｎｎｅｌｐｌａｔｅｄｅｔｅｃｔｏｒ）探测器（ｐｏｓｉｔｉｏｎｓｅｎｓｏｒｄｅｔｅｃｔｏｒ）
。对于一些电子能谱仪的基本结构单元、性
能等在普通的电子能谱书籍中可以查阅到［５，６］，此处不再赘述，本文将着重介绍现代Ｘ光电子能谱仪结构和特点。
一、现代Ｘ光电子能谱仪结构
一般电子能谱仪包括有：激发源，电子能量分析器，电子倍增器，微电子线路控制，计算机软件数据系统，真空系统，分析室，样品制备室以及样品制备装置等等，现代电子能谱仪在此基础上作了很大的改进［７］。１．单色化Ｘ射线源目前主要使用的是ＡｌＫ α射线单色源，它由Ａｌ靶Ｘ射线源和石英晶体组成。Ａｌ靶激发的Ｘ射线（１４８６．６ｅＶ）经过石英晶体发生布拉格衍射使Ａｌ的Ｘ射线单色化。为了增加照射样品的Ｘ光强度，提高灵敏度和实现小束斑ＸＰＳ分析，不同的仪器厂家采用不同的方法。第一种方法是微聚焦单色化，聚焦电子束轰击在阳极靶某位置处，产生的Ｘ光经过凹面石英晶体布拉格反射后聚焦照射到样品上，凹面石英晶体的反射使得Ｘ射线聚焦成一个束斑，提高了Ｘ光照射到样品上的功率密度。在此方收稿日期：２００７－０８－０７作者简介：吴正龙，男，硕士，副教授。

光谱分析仪参数

光谱分析仪参数一、仪器基本要求此设备要求是一款非真空条件下，采用高精度、高分辨率的探测器，根据测试材料自动选择滤光片，采用适合激发全元素的Mo靶材，综合应用经验系数法、基本参数法V8.0分析软件，利用X射线荧光原理，测试样品无损，快速检测合金材料中元素成分的光谱仪。

可以满足测试常规金属材料（铁材、铜材、锡合金、锌合金）元素材料分析，判定材料性质特性。

二、性能1、X射线荧光原理，无损、快速、准确的检测和鉴定材料成分；2、铜材、钢材、锌合金、锡合金等各种合金元素成分分析；3、高分辨率探测器，能够检测到几十ppm的元素含量；4、固体、粉末、液体等样品可直接测试5、几十秒可得出稳定准确的测试数据；6、测试过程简单、输出报告多种格式、查询筛选统计功能齐全。

7、谱图对比分析方法，供应商物料发生变化及时预警功能。

三、仪器技术指标1、测试元素范围：K-U2、检测范围：1ppm-99.99%3、测试样品类型：固体、粉末和液体4、测量时间：30-200s(系统自动调整)5、最佳分辨率6、准直器：Φ1mm、Φ2mm、Φ5mm7、滤光片：8种复合滤光片自动切换8、CCD观察：130万像素高清CCD9、样品微动范围：XY8mm10、输入电源：AC220V～240V，50/60Hz11、额定功率：350W12、工作环境温度：温度15—30℃13、工作环境相对湿度：≤85%（不结露）14、稳定性:多次测量重复性误差小于0.1%四、仪器硬件主体配置1、探测系统类型：Si-PIN探测器Be窗厚度：1mil(0.0254mm)最佳分辨率：145±5eV系统峰背比：≥6200/1能量响应范围：1keV~40keV推荐计数率：5000cps2、X光管电压:0~50kV最大电流:1.0mA最大功率:50W灯丝电压:2.0V灯丝电流:1.7A射线取出角：12°靶材：MoBe窗厚度：400um3、高压电源输入电压:DC+24V±10%输入电流：4.25A（最大）输出电压:0-50KV&1mA最大功率：50W电压调整率：0.01%（从空载到满载）电流调整率：0.01%（从空载到满载）纹波电压：输出额定电压前提条件下，纹波电压的峰值为最高输出电压的0.25%。

光谱仪的主要性能指标

光谱仪的主要性能指标目录大纲光谱仪的主要性能指标 (1)➢光谱仪的五大性能指标1-波长范围 (2)➢光谱仪的五大性能指标2-波长分辨率 (3)➢光谱仪的五大性能指标3-噪声等效功率和动态范围 (3)➢光谱仪的五大性能指标4-灵敏度与信噪比 (4)➢光谱仪的五大性能指标5-干扰与稳定性 (5)光谱学是光学的一个分支学科，研究各种物质的光谱的产生及其同物质之间相互作用。

光谱学是测量紫外、可见、近红外和红外波段光强度的技术，广泛应用于科研、教学、工业等多领域。

光纤光谱仪可用于测量激光、LED、普通光源的波长、线宽等，能够准确地获得待测光源的光谱特性。

一般来说，光谱学测量的直接结果是由很多个离散的点构成曲线，每个点的横坐标（X轴）是波长，纵坐标（Y轴）是在这个波长处的强度。

➢光谱仪的主要性能指标1-波长范围波长范围是光谱仪所能测量的波长区间。

新产业的光纤光谱仪的波长范围是200-1100nm，也就是可以探测从紫外光到红外光。

选择不同的光栅以及探测器会影响光谱仪的测量波长范围。

一般来说，两个参数指标会相互制衡，波长范围越窄，光谱仪的波长分辨率越高。

所以用户需要在两个参数之间做权衡，如果同时需要宽的波长范围和高的波长分辨率，则建议选择多通道光谱仪。

➢光谱仪的主要性能指标2-波长分辨率波长分辨率表征的是光谱仪能够分辨波长的能力，新产业Aurora 光谱仪的波长分辨率最高可实现0.07nm，也就是可以区分间隔0.07nm的两条谱线。

➢光谱仪的主要性能指标3-噪声等效功率和动态范围当信号的值与噪声的值相当时，从噪声中分辨信号就会非常困难。

一般用与噪声相当的信号的值（光谱辐照度或光谱辐亮度）来表征能一个光谱仪所能够测量的弱的光强(Y轴的MIN值)。

噪声等效功率越小，光谱仪就可以测量更弱的信号。

狭缝的宽度、光栅的类型、探测器的类型等等参数都会影响噪声等效功率。

➢光谱仪的主要性能指标4-灵敏度与信噪比灵敏度描述了光谱仪把光信号变成电子学信号的能力，高的灵敏度有助于减小电路本身的噪声对结果影响。

能谱仪技术参数

配置：能谱仪分析系统完整一套（含电脑2台）
电脑配置参数（不低于以下指标）：
intel i5四核处理器/内存4G/硬盘1T/显示器20"/
1技术服务
1.1安装、调试
1.2培训
厂家安装完成后，提供为期3-5天的培训；待用户使用一年后，提供一次免费的上门培训服务（3天）。
1.3保修期
安装验收合格后，厂家提供一年的免费保修。
1.4要求电镜厂家在中国设有两个以上固定维修站，并配有专业维修工程师，保证提供及时优质的售后服务。
2购置总量壹套
3到达港用户指定地点
4交货日期合同生效后6个月内Leabharlann 货1能谱仪技术参数
序号
货物名称
技术参数
数量
1
能谱仪（允许进口产品参与报价）
功能：该设备作为分析电子显微镜的主要附件之一，通过测量在电子束的照射下产生的X射线的能量来确定材料的成份，特别适于测量重元素的成份，对轻元素也可进行定性分析。
探测器：电制冷
探测器面积：≥30mm2活区面积
分辨率：优于127eV
分辨元素范围：Be4-U92

X射线光电子能谱仪介绍

X射线光电子能谱仪介绍首先是X射线源。

X射线源通常采用非常稳定的射线源，例如单晶石墨或铜靶。

这些射线源能够产生具有较高能量和较小发散角的X射线束。

其中，单晶石墨X射线源适用于能量范围在50eV到2000eV之间的研究，而铜靶X射线源则适用于大约150eV以上的能量范围。

接下来是光电子分析系统。

该系统由一个能量分析器和一个光电子探测器组成。

能量分析器通常是一台球面能量分析器，它通过电场和磁场组合使不同能量的光电子沿着不同的轨迹进入光电子探测器。

光电子探测器一般采用补偿探测器，用于收集经能量分析器分离的光电子，并将它们转化为电信号。

最后是数据处理系统。

数据处理系统主要用于采集、处理和分析光电子能谱的数据。

光电子能谱数据包含光电子的强度和能量信息，通过对这些数据进行处理和分析，可以获得材料的表面化学成分、价带结构和电子能级等信息。

数据处理系统通常由一台计算机和相应的数据处理软件组成，可以实现数据的自动采集和分析，并生成相应的能谱图和特征参数。

X射线光电子能谱仪具有高能量分辨率、高灵敏度、广能量范围和一定的表面化学成分分析能力等特点。

它可以研究固体材料、表面薄膜、纳米材料和生物材料等的表面电子结构。

例如，在材料科学领域，X射线光电子能谱仪可用于表征材料的晶格结构、形貌、化学组成和电子能带结构等性质；在表面科学领域，它可用于研究表面反应、表面吸附和氧化等过程；在纳米科学领域，它可用于探测纳米材料的表面态密度和表面磁性等性质。

总结起来，X射线光电子能谱仪是一种重要的表面分析仪器，它能够通过光电效应原理分析材料表面的光电子能谱，并获得与材料性质和表面电子结构相关的信息。

它在材料科学、表面科学和纳米科学等领域具有广泛的应用前景。

电子能谱仪使用方法说明书

电子能谱仪使用方法说明书一、引言电子能谱仪是一种高精度、高灵敏度的分析仪器，广泛应用于化学、材料科学、生物科学等领域。

本说明书旨在向用户详细介绍电子能谱仪的使用方法，以帮助用户充分利用其功能。

二、仪器概述1. 仪器名称：电子能谱仪2. 仪器型号：XXX型3. 仪器主要组成：进样系统、连续能谱分析系统、能量分辨系统、数据处理系统等。

三、使用步骤1. 准备工作在使用电子能谱仪之前，用户需要进行以下准备工作：a) 确保仪器处于正常工作状态，检查仪器各部分是否完好。

b) 准备样品，并保证样品的纯度和质量符合要求。

2. 探测系统调整a) 将样品放入进样系统，并通过操作面板设置样品参数。

b) 启动连续能谱分析系统，根据样品的不同性质进行一系列参数调整。

c) 调整能量分辨系统，以保证分辨率的要求。

3. 数据采集和处理a) 通过操作面板启动数据采集系统，进行数据采集。

b) 打开数据处理软件，导入采集到的数据。

c) 进行数据处理和分析，生成相应的能谱图和结果报告。

四、注意事项1. 样品准备时，应根据具体实验要求选择合适的样品制备方法和条件。

2. 在进行仪器调整时，需严格按照操作步骤进行，避免操作失误。

3. 当仪器出现异常情况时，立即停止使用，并及时联系售后服务。

五、维护保养1. 定期进行仪器的清洁和内部零部件的检查。

2. 尽量避免仪器长时间处于高温、湿度较大的环境中。

3. 保持仪器通风良好，避免堵塞进风口和出风口。

六、故障排除在使用过程中，可能会遇到以下一些常见问题，用户可以尝试一些简单的故障排除方法：1. 仪器无法启动：检查电源是否连接正常，确认电源开关是否打开。

2. 数据采集不准确：检查样品是否正确放置，是否有干扰源等。

3. 仪器噪音较大：检查音源是否受到外界干扰，是否需要更换部分零部件。

七、常见应用领域电子能谱仪广泛应用于以下领域：1. 化学分析：用于物质成分分析、化学键能级研究等。

2. 材料科学：用于材料表征、溶剂选择、表面状态研究等。

设备1X射线光电子能谱仪

设备1 X射线光电子能谱仪设备2 紫外光化学反应器一、技术规格及要求1设备的总体要求1.1安全—全系列风扇冷却设计，无冷却水危险性,无高压危险。

1.2经济—长时效灯管，平均寿命约3000 小时(2537A 灯管)，光强度约 1.65x10 Photons/sec/cm (2537 灯管)。

*1.3多功能—可随时更换不同波长灯管(1849/2537A, 2537A, 3000A, 3500A, 4150A, 5750A)。

2．主要技术参数*2.1样品室尺寸:直径16寸,深12寸*2.2灯管数1849/2537Aº：16根2537 Aº： 16根3000 Aº： 16根3500 Aº： 16根4190 Aº： 16根5750 Aº： 16根*2.3反应器放置方式：垂直与水平放置2.4冷却方式：风冷2.5样品支撑杆：1根2.6电源：220V,50Hz3．设备组成：反应器主机 1台灯管 96支冷却风扇 1个样品支架 1个旋转木马 1个供电电源 1个4．附件和易损件清单：灯管5.仪器使用环境和安装条件：电压：220V±10%频率：50Hz使用环境：无特殊要求电压波动范围：±10%二、人员培训；.1人员培训：①技术培训内容：由卖方免费对买方、操作者、维修人员进行设备操作、维修保养的培训，保证买方能熟练正确地使用设备。

如在买方现场验收过程中发生故障，重新开始计算质保期时间。

②上述验收与培训所发生的费用由卖方负责。

三、售后服务要求：1、设备质量保证期为12个月（自用户最终验收签字生效之日算起）；质保期内由于卖方设计、制造、运输、安装及调试原因造成的零部件损坏，卖方无偿予以更换；由于用户原因造成的零部件损坏，卖方有偿提供备件，并免费更换。

2质保期满后卖方为买方优惠供应备件与易损件(只收成本费、不能高于双方签署技术协议所列清单内价格)。

12个光谱分析仪FSE系列（FSEx、FSEB、FSEM、FSEK）技术参数说明书

Bandwidth error≤3 MHz<10%5 MHz<15%10 MHz+25%, –10%Shape factor 60:3 dB<1 kHz<61 kHz to2 MHz<12>2 MHz<7Video bandwidths 1 Hz to 10 MHz, 1/2/3/5 stepsLevelDisplay range noise floor displayed to 30 dBmMaximum input levelRF attenuation 0 dBDC voltage0 VCW RF power20 dBm (=0.1 W)Pulse spectral density97 dBµV (MHz)RF attenuation ≥10 dBDC voltage0 VCW RF power30 dBm (=1W)Max. pulse voltage150 V50VMax. pulse energy (10 µs)1mWs0.5 mWs1 dB compression of input mixer(0 dB RF attenuation)+10 dBm nominalDisplayed average noise floor in dBm (0 dB RF attenuation, RBW 10 Hz, VBW 1 Hz, 20 averages, trace average, span 0 Hz, termination 50 Ω) Frequency 20Hz<–80<–741 kHz<–110<–10410 kHz<–125<–119100 kHz<–135<–1291 MHz<–145, –150 typ. <–142, typ. –14510 MHz to 3.5/6 GHz<–145, –150 typ. <–142, –147 typ. <–138, –140 typ.6 GHz to7 GHz–<–139<–135, –138 typ.7 GHz to 18 GHz––<–138, –140 typ. <–134, –139 typ.18 GHz to 26.5 GHz––<–135, –138 typ. <–131, –136 typ.26.5 GHz to 30GHz–––<–120, –125 typ.30 GHz to 40GHz–––<–116, –122 typ. Max. dynamic range, bandwidth 1 HzDisplayed noise floor to 1 dB compression165 dB162 dB160 dBMax. harmonics suppression, f >50 MHz>90 dBMax. intermodulation-free range50 MHz to 3.5 GHz (nominal)115 dB––150 MHz to 7/26.5 GHz (nominal)–115 dB112 dBIntermodulationTOI, intermodulation-free dynamic range, level 2 ×−30 dBm, ∆f >5 × RBW or >10 kHz >84 dBc for f >50 MHz(TOI >12 dBm,18 dBm typ. )>90 dBc for f >150 MHz(TOI >15 dBm,20 dBm typ. )>94 dBc for f >100 MHz>80 dBc for f >7 GHz,(TOI >17 dBm, 22 dBm typ.;>10 dBm for f >7 GHz)Intermodulation-free range at –40 dBm mixer level105 dBIntercept point k2 (dBm)>25, >40 typ. forf <50 MHz, >45,>50 typ. for f >50 MHz >25 for f <150 MHz, >35 typ., >40 for f >150 MHz, >45 typ.Immunity to interferenceImage frequency (dB)>80, >90 typ. >80, >90 typ. for f <22 GHz>75, >80 typ. for f >22 GHz Intermediate frequency (dB)>100 dB>75 dBSpurious response (f >1 MHz, without input signal,0 dB attenuation)Span <30 MHz<–110 dBmSpan ≥30 MHz<–100 dBmf in = 25.06 MHz, 25.175 MHz, 5.7172 GHz<–100 dBmf in = 60 MHz<–110 dBm<–100 dBmf in = 14.1894 GHz, 15.6722 GHzSpan >10 MHz−90 dBmOther interfering signals (mixer level <–10 dBm)<–80 dB3)<–75 dB3)Level displayMeasurement display500 × 400 pixels (with one diagram displayed); max. 2 diagrams with independent settings Logarithmic level range10 dB to 200 dB, in steps of 10 dBLinear level range10% of reference level per division (10 divisions) or logarithmic scalingTraces max. 4 per diagram (max. 2 if 2 diagrams are displayed)quasi-analog display of all resultsTrace detector max peak, min peak, auto peak (normal), sample, rms, averageTrace functions clear/write, max hold, min hold, averageSetting range of reference levelLogarithmic level display–130 dBm to 30 dBm, in steps of 0.1 dBLinear level range7.0 nV to 7.07 V in steps of 1%Units of level axis dBm, dBµV, dBmV, dBµA, dBpW (logarithmic and linear level display);mV, µV, mA, µA, pW, nW (linear level display)The values are guaranteed for bandwidths from 10 Hz to 30 kHz and 100 kHz to 10 MHz. Level measurement uncertainty (–40 dBm, RF attenua-tion 20 dB, reference level –15 dB, RBW 5 kHz)Absolute error limit at 120 MHz<0.3 dBFrequency response (10 dB RF attenuation)<1 GHz<0.5 dB1 GHz to 3.5/7 GHz<1 dB7 GHz to 18 GHz–<2 dB4)18 GHz to 26.5 GHz–<2.5 dB4)26.5 GHz to 40GHz––<3 dB4) Attenuator error limit<0.3 dBIF gain error<0.2 dB (0.1 dB typ.)Display nonlinearityLogarithmic level display(RBW≥1kHz,analog)0 dB to –50 dB<0.3 dB–50 dB to –70 dB<0.5 dB–70 dB to –80 dB––70 dB to –95 dB<1 dBLinear level display5% of reference levelBandwidth switching error1 Hz to 30 kHz/100 to 500 kHz<0.2 dB1 MHz to 10 MHz<0.3 dBTotal measurement uncertainty (0 dB to 50 dB belowreference level, span/RBW <100, rss 95% reliability)<1 GHz<1 dB1 GHz to 3.5/7 GHz<1.5 dB7 GHz to 18 GHz–<2.5 dB4)18 GHz to 26.5 GHz–<3 dB4)26.5 GHz to 40GHz––<3.5 dB4)Pulse amplitude error (single pulses)Bandwidth <1 MHz/≥1 MHz<0.5 dB, nominal/<2 dB, nominalTrigger functionsTrigger free run, line, video, RF, externalDelayed sweepTrigger source free run, line, video, RF, externalDelay time100 ns to 10 s, resolution 1 µs min. or 1% of delay timeError of delay time±(1 µs + (0.1% x delay time))Delayed sweep time 2 µs to 1000 sGated sweepTrigger source external, RF levelGate delay 1 µs to 100 sGate length 1 µs to 100 s, resolution min. 1 µs or 1% of gate lengthError of gate length±(1 µs + (0.05% × gate length))Gap sweep (span = 0 Hz)Trigger source free run, line, video, RF, externalPretrigger 1 µs to 100 s, 50 ns resolution, dependent on sweep timeTrigger to gap time 1 µs to 100 s, 50 ns resolution, dependent on sweep timeGap length 1 µs to 100 s, 50 ns resolutionAudio demodulationAF demodulation types AM and FMAudio output loudspeaker and headphones output Marker stop time100 ms to 60 sInputs and outputs (front panel)RF input N female, 50 Ωadapter system, 50 Ω, Nmale and female, 3.5 mmmale and female adapter system, 50 Ω, N male and female, K male and female, 2.4 mm femaleVSWR (RF attenuation ≥10 dB)f <3.5 GHz<1.5f <7 GHz–<2.0f <26.5 GHz–<3<2.5f <37 GHz––<2.5f <40 GHz–– 2.5 typ. Attenuator0 dB to 70 dB, selectable in 10 dB stepsProbe power+15 V DC, –12.6 V DC and ground, max. 150 mAPower supply and coding connector for antennas etc(antenna code)12-contact TuchelSupply voltages±10 V, max. 100 mA, groundAF output Z out = 10 Ω , jack plugOpen-circuit voltage adjustable up to 1.5 VInputs and outputs (rear panel)IF 21.4 MHz Z out = 50 Ω , BNC female, bandwidth >1 kHz or resolution bandwidth Level0 dBm at reference level, mixer level >–60 dBmVideo output Z out = 50 Ω , BNC femaleVoltage (resolution bandwidth ≥1 kHz)0 V to 1 V, full scale (open-circuit voltage); logarithmic scaling Reference frequencyOutput, usable as input BNC femaleOutput frequency10 MHzLevel10 dBm nominalInput 1 MHz to 16 MHz, integer MHzRequired level>0 dBm into 50 ΩSweep output BNC female, 0 V to 10 V in sweep rangePower supply connector for noise source BNC female, 0 V and 28 V, selectableExternal trigger/gate input BNC female, >10 kΩVoltage–5 V to +5V, adjustableIEC/IEEE-bus control interface to IEC625-2 (IEEE 488.2), command set: SCPI 1994.0 Connector24-contact Amphenol femaleInterface functions SH1, AH1, T6, L4, SR1, RL1, PP1, DC1, DT1, C11Serial interface RS-232-C (COM 1 and COM 2), 9-contact female connectors Mouse interface PS/2 mouse compatiblePlotter5)via IEC/IEEE bus or RS-232-C; plotter language: HP-GL Printer interface parallel (Centronics compatible) or serial (RS-232-C) Keyboard connector5-contact DIN female for MF-2 keyboardUser interface25-contact Cannon femaleConnector for external monitor (VGA)15-contact femaleGeneral dataDisplay24 cm LC TFT colour display (9.5")Resolution640 × 480 pixels (VGA resolution)Pixel failure rate<2 x 10–5Mass memory 1.44 Mbyte 3 ½" diskette drive, hard diskOperating temperature rangeNominal temperature range+5°C to +40°CLimit temperature range0°C to +50°CStorage temperature range–40°C to +70°CHumidity+40°C at 95 % relative humidity (IEC68-2-3) Mechanical resistanceVibration, sinusoidal 5 Hz to 150 Hz, max. 2 g at 55 Hz; 55 Hz to 150 Hz, 0.5 g const.to IEC68-2-6, IEC68-2-3, IEC1010-1, MIL-T-28800D, class 5 Vibration, random10 Hz to 300 Hz, acceleration 1.2 g (rms)FFT filter Analog filter100 00010 00010001001010,10,01131010030030Sweep time for 10 kHz SpanS w e e p t i m e i n sRBW in HzSpecificationsFFT filterHigh frequency resolution due to very small shape factor of 2.5Extremely short measurement time, up to 150 times faster than with conventional filtersResolution bandwidths (RBW)3 dB bandwidth in 1/2/3/5 steps 1Hz to 1kHz Bandwidth error 2%, nominal Shape factor 60:3 dB2.5, nominalDisplay range for frequency axis Min. span 25 x RBWMax. span100000 x RBW, max. 2MHzLevel measurement error Additional total level error, referred to RBW 5kHz <1dB Max. display range 100dBImmunity to interference Spurious response≤100dBm1 dB Attenuator FSE-B13Frequency rangemax. 7 GHz (stop frequency ≤7 GHz)Setting range of RF attenuation 0 dB to 70 dB Step width1 dB Additional attenuator uncertainty<0.1 dBExternal Mixing FSE-B21LO output/IF input (front panel) SMA female, 50 ΩLO signal 7.5 GHz to 15.2 GHz Amplitude +15.5 dBm ±3 dB IF signal741.4 MHz Full-scale level –20 dBmIF input (front panel) SMA female, 50 ΩIF signal741.4 MHz Full-scale level–20 dBm Level measurement error at IF inputs (IF level –30 dBm,reference level –20 dBm, RBW 30 kHz)<1 dBIncreased Level Accuracy FSE-B22Total level error≤0.5 dB with 10 dB RF attenuation ≤0.6 dB with 20/30/40 dB RF attenua-tionSpecifications are valid for:Temperature range -/+20°C to +30°C Frequency range10 MHz to 2 GHzResolution bandwidths 5 kHz to 30 kHz/300 kHz/1 MHz Signal level 10 dB to 50 dB below reference level Stop frequency ≤2 GHzSweep time≥3 x auto sweep timeBroadband Output 741.4 MHz FSE-B23FSE-B23 reduces the suppression of other interference signals to –50 dBm and must not be combined with FSE-K10/-K11.FSEAFSEB FSEM FSEK Gain from RF input to IF output (dB)66443 dB BW (MHz)601501501)40 to 802)1) f <7 GHz.2)7 GHz to 26.5 GHz.1501)40 to 1203)3)7 GHz to 40 GHz.Shock40 g shock spectrum, to MIL-STD-810 D and MIL-T-28800 D, classes 3 and 5Recommended calibration interval 1 year (2 years for operation with external reference)RFI suppression to EMC directive of EU (89/336/EEC) and German EMC legislationPower supply AC supply200 V to 240 V: 50 Hz to 60 Hz, 100 V to 120 V: 50 Hz to 400 Hz, class of protection I to VDE 411Power consumption 180 VA 195 VA 230 VA 230 VASafety to EN61010-1, UL3111-1, CSA C22.2 No. 1010-1, IEC1010-1Test markVDE, GS, UL, cULDimensions in mm (W x H x D)435 x 236 x 460 (5 HU)435 x 236 x 570 435 x 236 x 570Weight in kg22.723.225.225.81)After 30 days of operation.2)Valid for span >100 kHz.3)For models with option FSE-B23: <–50 dBm.4)For frequencies >7 GHz: error after calling peaking function. For sweep times <10 ms/GHz: additional error 1.5 dB.5)The plot function is not available if option FSE-B15 is installed.Connector BNCImpedance50 ΩFor maximum bandwidth set instrument to 10 MHz RBW. The output level is a function of the mixer level, which equals the input signal level minus the set RF attenuation.The typical loss between mixer level and IF output is 2 dB for FSEM/K, and 0 dB for FSEA/B.44 GHz Frequency Extension for FSEK FSE-B24Frequency range20 Hz to 44 GHzLevelDisplayed average noise level (DANL)(0 dB RF attenuation, RBW = 10 Hz, VBW = 1 Hz, 20 averages, trace average, span 0 Hz, 50 Ω termination)40 GHz to 42 GHz<–112, –128 dBm typ.42 GHz to 43 GHz<–108, –113 dBm typ.43 GHz to 44 GHz<–105, –110 dBm typ. Intermodulation3rd-order intercept point (TOI)∆ f >5 x resolution bandwidth or >10 kHz>40 GHz+15 dBm typ.2nd harmonic intercept point (SHI)>25 dBm for f <150 MHz>40 dBm for f >150 MHzLevel measurement errorFrequency response (10 dB RF attenuation)40 GHz to 44 GHz<4.0 dB1)2)Total measurement error(0 dB to 50 dB below reference level)40 GHz to 44 GHz<4.5 dB1)2)Inputs and outputs (front panel)RF input adapter system, 50 Ω, N male undfemale, K male und female, 2.4 mmfemaleVSWR (RF attenuation >0 dB)f >40 GHz<3.0:1 typ.1)Error after running the preselector peaking function. For sweep <10 ms/GHz: additional error1.5 dB.2)Temperature range 20°C to 35°C.Ordering informationOrder designation Type Order No. Spectrum Analyzer 20 Hz to 3.5 GHz FSEA301065.6000.35 Spectrum Analyzer 20 Hz to 7 GHz FSEB301066.3010.35 Spectrum Analyzer 20 Hz to 26.5 GHz FSEM301079.8500.35 Spectrum Analyzer 20 Hz to 40 GHz FSEK301088.3494.35 Accessories suppliedPower cable, operating manual, spare fuses;FSEM: test-port adapter 3.5 mm female (1021.0512.00) and N female (1021.0535.00)FSEK: test-port adapter K female (1036.4790.00) and N female (1036.4777.00) Options (see also fold-in page)7 GHz Frequency Extension for FSEA FSE-B21073.5044.02 Vector Signal Analyzer FSE-B71)1066.4317.03 Tracking Generator3.5 GHz FSE-B81)1066.4469.023.5 GHz with I/Q modulator FSE-B91)1066.4617.027 GHz FSE-B101)1066.4769.027 GHz with I/Q modulator FSE-B111)1066.4917.02 Switchable Attenuator for Tracking Generator FSE-B122)1066.5065.02 1 dB Attenuator FSE-B132)3)1119.6499.02 Controller for FSE (mouse and keyboardincluded)FSE-B154)1073.5696.06 Ethernet Interface15-contact AUI connector FSE-B165)1073.5973.02 Thin-wire BNC connector FSE-B165)1073.5973.03RJ-45 connector (twisted pair)FSE-B165)1073.5973.04 2nd IEC/IEEE-Bus Interface for FSE FSE-B175)1066.4017.02Removable Hard Disk FSE-B184)1088.6993.02 2nd Hard Disk for FSE-B18(firmware included)FSE-B191088.7248.02 External Mixing FSE-B211084.7243.02 Increased Level Accuracy up to 2 GHz FSE-B224)1106.3480.02 Broadband Output 741.4 MHz FSE-B234)1088.7348.02 44 GHz Frequency Extension for FSEK FSE-B244)1106.3680.02 SoftwareNoise Measurement Software, Windows FS-K31)1057.3028.02 Phase Noise Measurement Software, Windows FS-K41)1108.0088.02 GSM Application Firmware Mobile station FSE-K101)1057.3092.02Base station FSE-K111)1057.3392.02 EDGE Application Firmware Mobile station FSE-K201)1106.4086.02Base station FSE-K211)1106.4186.02 Recommended extrasService Kit FSE-Z11066.3862.02 DC Block 5 MHz to 7000 MHz (type N)FSE-Z34010.3895.00 10kHz to 18GHz (type N)FSE-Z41084.7443.02 Microwave Measurement Cable and AdapterSet for FSEMFSE-Z151046.2002.02 Harmonic Mixer40 GHz to 60 GHz FS-Z601)1089.0799.0250 GHz to 75 GHz FS-Z751)1089.0847.0260 GHZ to 90 GHz FS-Z901)1089.0899.0275 GHZ to 110 GHz FS-Z1101)1089.0976.00 Order designation Type Order No.P r i n t e d i n G e r m a n y0501 (B i k o )P D 0757.1519.28 ⋅ S p e c t r u m A n a l y z e r s F S E x ⋅ T r a d e n a m e s a r e t r a d e m a r k s o f t h e o w n e r s ⋅ S u b j e c t t o c h a n g e ⋅ D a t a w i t h o u t t o l e r a n c e s : t y p i c a l v a l u e s Service Manual –1065.6016.24Headphones –0708.9010.00KeyboardGerman PSA-Z21007.3001.31USPSA-Z21007.3001.02PS/2 Mouse FSE-Z21084.7043.02IEC/IEEE-Bus Cable1 m PCK 0292.2013.102 mPCK 0292.2013.2019" Rack Adapter, with front handles ZZA-950396.4911.00Transit CaseZZK-9541013.9395.00Transit Case (FSEM30 and FSEK30 only)ZZK-9551013.9408.00Matching Pads, 75 ΩL sectionRAM 0358.5414.02Series resistor, 25 ΩRAZ0358.5714.02Accessories for current, voltage and field-strength measurement see accessories for Test Receiver and Spectrum Analyzers, data sheet PD 0756.4320SWR Bridge5 MHz to 3000 MHz ZRB20373.9017.5240 kHz to 4 GHzZRC1039.9492.52Order designation Type Order No.High-Power Attenuators 100W 50WSteps: 3/6/10/20/30 dBRBU 100RBU 501073.8820.xx 1073.8895.xx xx: 03/06/10/20/30ESV-Z30397.7014.52For FSEM only: Test-Port AdapterN male –1021.0541.003.5 mm male–1021.0529.00For FSEK only: Test-Port AdapterN male –1036.4783.00K male –1036.4802.002.4 mm femaleFSE-Z51088.1627.02Probe Power Connectors 3-contact–1065.9480.001)Extra data sheets available.2)FSE-B12 and FSE-B13 cannot be fitted together.3)In combination with FSE-B22 factory-fitted only.4)Cannot be retrofitted, factory-fitted only.5)FSE-B16 and FSE-B17 require option FSE-B15.Order designation Type Order No.。

能谱仪技术参数

1.13计算机配置：22寸显示器，处理器intel 4核/内存8GB/硬盘1TB/1G独立显卡/win7 pro系统。

1.14 *实验报告:多种输出格式, 单键可生成Word文档, 及HTML格式。

2保修、培训及交货2.1. 免费保修期：至少1年。

保修期内，任何由制造商选材和制造不当引起的质量问题，厂家负责免费维修。

保修期自验收签字之日起计算。

保修期满前1个月内卖方应负责一次免费全面检查，并写出正式报告，如发现潜在问题，应负责排除。

能谱仪_技术参数

牛津仪器Inca X-act能谱仪详细配置及功能1.专利的分析型SDD硅漂移探测器•SuperATW窗口，10mm2有效面积；•在MnKα处的分辨率: 优于127eV•稳定性: 1,000cps—100,000cps 谱峰漂移<1eV，分辨率变化<1eV• 48小时内谱峰漂移<1eV (Mn Ka)•峰背比20,000: 1 (Fe 55, Mn Ka)•分析元素范围：Be4-Pu942.INCA 系统--系统计算机•HP DC8000--系统桌显微分析处理器(分立式设计)--Inca X-strea mⅡ显微分析处理器•探测器高压偏压电源。

•6个程序可选时间常数和4个能量范围(10, 20, 40, 80KeV)的数字信号处理器•计算机控制的数字脉冲处理器，输出最大计数率350,000CPS, 可处理最大计数率850,000CPS,•活时间校正。

三个鉴别器覆盖全范围的反脉冲堆积，直至下限铍。

•数字零点稳定器。

•探测器控制系统。

--Inca Mics显微分析处理器•带有存储器和辅助电路的高速微控制器，用以收集和处理X射线信号。

•IEEE1394 数据接口，用以高速传输数据到系统计算机。

•二个RS232串口或一个RS232串口和一个LASERBUS口。

•线性电源•符合美国和欧洲电磁规定，并执行CE标记。

•SUPERSCAN – 先进的超级数字扫描系统。

•包括Kalman噪声限制程序，在快速扫描和限制图像噪声之间兼顾和控制。

•同步图像收集和数据传输到PC(零等待)。

•电镜图像接口电缆。

INCA软件导航器•真正的32位软件•独一无二的导航器界面, 非常友好，全中文操作界面, 引导用户从启动分析项目到打印实验报告的全部显微分析过程。

•用户可容易地在导航器之间切换，直接面对工作流程和IMS，以便直接看到自动分析过程的进展。

Advisor专家顾问•Advisor是一个专家多媒体显微分析教育系统，并全集成到应用软件的各个层面。