5多晶制绒工艺a
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多晶制绒设备
目前常使用多晶制绒都是链式设备
常用的厂家有： 1.Schimid 2.库特勒 3.RENA
我们选用的是 无锡库特勒
库特勒制绒 设备
库特勒制绒设备结构及工艺说明
槽号 1 2
功能 清洗 制绒
药品
无 HF（49%）70L
无 HNO3(69%)150L
3
水漂洗 无
无
4
去除杂质中和 NaOH(20%）30L
1.HNO3和HF不同体积比对减薄量的影响
影响多晶制绒绒面结构因素分析
2.HNO3和HF不同比例对反射率的影响
影响多晶制绒绒面结构因素分析
3.温度对腐蚀速率的影响
影响多晶制绒绒面结构因素分析
4.减薄量对电池性能参量的影响
影响多晶制绒绒面结构因素分析
4.减薄量对电池性能参量的影响
影响多晶制绒绒面结构因素分析
药品2 HNO3 90S 无 HCL 5.6L
库特勒制绒过程
制绒过程图片
制绒控制指标
1.腐蚀槽温度要控制在3 ±0.5 ℃.由于多晶是 用酸进行各向同性腐蚀(多孔硅),而反应是需 放热的,所以需要制冷进行温度控制.选择控 制温度就可以控制其反应速率.
2.腐蚀槽液面应高于硅片的3-5mm.但要保持 高度一致. 3.传动速度一般要在1.2 ±0.3m/min,作返工时 1.5 ±0.2m/min.对于速度的调节,要考虑多晶 腐蚀的时间,浓度以及腐蚀重复性,另要考虑对 生产的影响.
4.腐蚀减重量控制在:0.38-0.45g.减重量返工 控制在:0.03g.
制绒控制指标
5.腐蚀绒面状况:一般都是条纹沟形状,但沟渠 里面的结构形状对反射有很大的关系.
6.本反应是在富HNO3体系进行其反应,反应 速率变化较大,所以控制指标有稍微变化都 应引起足够的重视!
影响多晶制绒绒面结构因素分析
多晶制绒过程影响因素还有来料的晶界表面 和腐蚀液均匀性有关,都会影响到腐蚀坑的形状和 分布.我们知道,腐蚀坑的形状不仅影响到反射率 也影响到电性能,所以我们批量生产中,要对腐蚀 条件的变化加以控制!
谢谢！
完毕
谢谢
19
无
5
水漂洗
无
无
6 去除杂质中和 HF（49%）28L
HCl(38%)56L
7ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ
水漂洗 无
无
8
吹干
无
无
库特勒制绒设备采用集中供液
补液频率
槽号 2#槽 4#槽 6#槽
频率 200PCS/次 500pcs/次 500pcs/次
药品1 HF 60S NaOH 3L HF 2.8L
说明:补液频率根据工艺要求来设置
目前常使用多晶制绒都是链式设备
常用的厂家有： 1.Schimid 2.库特勒 3.RENA
我们选用的是 无锡库特勒
库特勒制绒 设备
库特勒制绒设备结构及工艺说明
槽号 1 2
功能 清洗 制绒
药品
无 HF（49%）70L
无 HNO3(69%)150L
3
水漂洗 无
无
4
去除杂质中和 NaOH(20%）30L
1.HNO3和HF不同体积比对减薄量的影响
影响多晶制绒绒面结构因素分析
2.HNO3和HF不同比例对反射率的影响
影响多晶制绒绒面结构因素分析
3.温度对腐蚀速率的影响
影响多晶制绒绒面结构因素分析
4.减薄量对电池性能参量的影响
影响多晶制绒绒面结构因素分析
4.减薄量对电池性能参量的影响
影响多晶制绒绒面结构因素分析
药品2 HNO3 90S 无 HCL 5.6L
库特勒制绒过程
制绒过程图片
制绒控制指标
1.腐蚀槽温度要控制在3 ±0.5 ℃.由于多晶是 用酸进行各向同性腐蚀(多孔硅),而反应是需 放热的,所以需要制冷进行温度控制.选择控 制温度就可以控制其反应速率.
2.腐蚀槽液面应高于硅片的3-5mm.但要保持 高度一致. 3.传动速度一般要在1.2 ±0.3m/min,作返工时 1.5 ±0.2m/min.对于速度的调节,要考虑多晶 腐蚀的时间,浓度以及腐蚀重复性,另要考虑对 生产的影响.
4.腐蚀减重量控制在:0.38-0.45g.减重量返工 控制在:0.03g.
制绒控制指标
5.腐蚀绒面状况:一般都是条纹沟形状,但沟渠 里面的结构形状对反射有很大的关系.
6.本反应是在富HNO3体系进行其反应,反应 速率变化较大,所以控制指标有稍微变化都 应引起足够的重视!
影响多晶制绒绒面结构因素分析
多晶制绒过程影响因素还有来料的晶界表面 和腐蚀液均匀性有关,都会影响到腐蚀坑的形状和 分布.我们知道,腐蚀坑的形状不仅影响到反射率 也影响到电性能,所以我们批量生产中,要对腐蚀 条件的变化加以控制!
谢谢！
完毕
谢谢
19
无
5
水漂洗
无
无
6 去除杂质中和 HF（49%）28L
HCl(38%)56L
7ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ
水漂洗 无
无
8
吹干
无
无
库特勒制绒设备采用集中供液
补液频率
槽号 2#槽 4#槽 6#槽
频率 200PCS/次 500pcs/次 500pcs/次
药品1 HF 60S NaOH 3L HF 2.8L
说明:补液频率根据工艺要求来设置