大宗气体特气系统介绍
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Ethernet Transceiver Gas Cabinet VMB
Ethern WIRE WIRE WIRE et LINK LINK LINK Link P R R O PO WE U G P N R A O T T G E E B S S FUS R U EM K N M O R A O P T T LM E G
•PLC 控制 & 触摸瓶
•操作 和 维护方便 •全自动循环工艺 •自动工艺钢瓶切换 •安全选项 & 联动装置 •显示器 : EL Mono or TFT Color
气瓶柜 流程图
• Gas Cabinet Flow Diagram
A : PROCESS B : PURGE N2 C : GENERAL N2 D : LEAK CHECK He E : EXHAUST
(3),高压气体
(4),低压气体
ห้องสมุดไป่ตู้
气体供应方式
1: On-site gas generator supply: CDA,GN2,O2 现场制造气体
2: Bundle supply: H2,He 集装格供应气体
3: Lorry tank supply: Ar,O2 液体槽车供应气体
4: Gas cylinder supply: Special Gas 钢瓶供应气体
气体输送系统
• 特殊气体系统
气体输送系统
• 特殊气体系统-流程图
气体输送系统
• 特殊气体集中输送系统(BSGS)
气瓶柜
•安全设计 (外壳) •不锈钢 316L VIM/VAR
•选用材料符合特殊气体需要
•100% 内表面电子抛光 •无颗粒 •泄漏率: 1 x 10 – 10 Atm-cc/sec (He)
Monitoring System
• GMS
大众气体
• 定义:在空气中可以提取的气体,如氮 气,氧气,氩气,氦气等. • 储藏方式:低温储罐,高压钢瓶
低温气体
• 低温液体
–在常压下一般沸点低于-180℃
• 例如
–液氧 –液氩 –液氮 –液氦 (-182.9℃) (-185.7℃) (-195.8℃) (-268.9℃)
低温储罐
储罐和槽车
大众气体输送系统
钢瓶内气体
（1）压缩气体 临界温度低于-10℃的气体，经 加高压压缩，仍处于气态者称压缩气体，如氧、氮、 氢、空气、氩、氮等。这类气体钢瓶若设计压力大于 或等于12MPa（125kg/cm2）称高压气瓶。 （2）液化气体 临界温度≥10℃的气体，经加 高压压缩，转为液态并与其蒸气处于平衡状态者称为 液化气体。 （3）溶解气体 单纯加高压压缩，可产生分解、 爆炸等危险性的气体，必须在加高压的同时，将其溶 解于适当溶剂，并由多孔性固体物充盛。在15℃以下 压力达0.2MPa以上，称为溶解气体（或称气体溶液），
Hub
Hub
Server Full Point I/O Panel PC
N700α N700α N700α
Ethern WIRE WIRE WIRE et LINK LINK LINK Link P R R O PO WE U G P N R A O T T G E E B S S FUS R U EM K N M O R A O P T T LM E G
ⓕ : Process Out ⓖ : Process Out ⓗ : Process Out
ⓘ : Process Out
ⓙ : Purge N2 In ⓚ : Gas In
气体输送系统
尾气处理
Safety Design & System Designed with Anti-corrosion Material Easy Operation Maintenance Low Running Cost High Efficiency and
空气压缩机及辅助设备
冷冻式干燥机
储罐 空气压缩机 过滤器
空压机站内流程图
Free Volt Main Power PLC Process Touch Panel Operation Display : EL Mono or TFT Color COM : RS-232C 422, 485, Data Highway Box Size W796 x D330 x H315
TRAINING FOR GAS
2011.5.18
Content
Section 1
Section 2 Section 3 Section 4 气体的类型 气体供应方式 气体设备 尾气处理 控制系统 大众气体输送系统
Section 5
Section 6 Section 7
压缩空气(CDA)
气体类型
Signal Tower
Manometer
EMG
12” TFT Color Display
Actual Pressure Gas Flow Diagram
Monitoring System
• GMS Concept Flow
Server Full Point I/O Server Full Point I/O
高压钢瓶
大众气体输送系统-气瓶架
大众气体输送系统-气体汇流排
压缩空气(Compress Dryer Air)
• 压缩空气 (CDA) 是指经空气压缩机压 缩后,经干燥,压力高于大气压的空气. • 压缩空气是一种能源，是一种由电能 转化而来的能源。作为用来开动机具 和阀门的主要能源 , 它易于控制，使 用方便，能灵巧精确地完成动作，有 缓冲作用，而且不发热、没有污染。
气体供应方式
Tank Lorry
过滤器 (0.05m) 液态气体储罐
气化器r
N2 Plant
过滤器 0.02m, 0.01m
无尘室
调压器
Outside Of Building Inside Of Building
流量计
过滤器 (0.1m) 气体纯化器
Purity Gas General Gas
气体分流箱(VMB)
•在不用停止供气的条件下增加使用点 •降通过减少气瓶柜的数量来降低费用
•系统和安全选项类似于气瓶柜
•设计简洁 •1 X 8 输 送
VMB P&ID
ⓐ : Process In ⓑ : Process Out ⓒ : Process Out ⓓ : Process Out
ⓔ : Process Out
Touc h scree n Flow controlle r
(N2, Air water)
Inlet port
(4 ports standard)
Plasma chamber Middle flange Water chamber
Controller of Gas and Chemical Supply System
1,按照气体的使用量分类: (1),大宗气体:
(2),特殊气体:
2,按照气体的性质分类:
(1),惰性性气体
(2),助燃性气体 (3),易燃性气体
(4),腐蚀性气体
(5),氧化性气体
气体类型
3,按照气体的纯度分类:
(1),一般气体:
(2),高纯气体:
4,按照气体常温条件下的状态分类:
(1),气态气体 (2),液态气体
Ethern WIRE WIRE WIRE et LINK LINK LINK Link P R R O PO WE U G P N R A O T T G E E B S S FUS R U EM K N M O R A O P T T LM E G
Gas Cabinet VMB
Gas Cabinet VMB
PLC Controller & Touch Panel
Full Auto Cycle Process Safety Option & Interlocks Applicable Monitoring System
▣ Dry Scrubber ▣ Thermal Wet Scrubber ▣ Plasma Type ▣ POU Scrubber
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•PLC 控制 & 触摸瓶
•操作 和 维护方便 •全自动循环工艺 •自动工艺钢瓶切换 •安全选项 & 联动装置 •显示器 : EL Mono or TFT Color
气瓶柜 流程图
• Gas Cabinet Flow Diagram
A : PROCESS B : PURGE N2 C : GENERAL N2 D : LEAK CHECK He E : EXHAUST
(3),高压气体
(4),低压气体
ห้องสมุดไป่ตู้
气体供应方式
1: On-site gas generator supply: CDA,GN2,O2 现场制造气体
2: Bundle supply: H2,He 集装格供应气体
3: Lorry tank supply: Ar,O2 液体槽车供应气体
4: Gas cylinder supply: Special Gas 钢瓶供应气体
气体输送系统
• 特殊气体系统
气体输送系统
• 特殊气体系统-流程图
气体输送系统
• 特殊气体集中输送系统(BSGS)
气瓶柜
•安全设计 (外壳) •不锈钢 316L VIM/VAR
•选用材料符合特殊气体需要
•100% 内表面电子抛光 •无颗粒 •泄漏率: 1 x 10 – 10 Atm-cc/sec (He)
Monitoring System
• GMS
大众气体
• 定义:在空气中可以提取的气体,如氮 气,氧气,氩气,氦气等. • 储藏方式:低温储罐,高压钢瓶
低温气体
• 低温液体
–在常压下一般沸点低于-180℃
• 例如
–液氧 –液氩 –液氮 –液氦 (-182.9℃) (-185.7℃) (-195.8℃) (-268.9℃)
低温储罐
储罐和槽车
大众气体输送系统
钢瓶内气体
（1）压缩气体 临界温度低于-10℃的气体，经 加高压压缩，仍处于气态者称压缩气体，如氧、氮、 氢、空气、氩、氮等。这类气体钢瓶若设计压力大于 或等于12MPa（125kg/cm2）称高压气瓶。 （2）液化气体 临界温度≥10℃的气体，经加 高压压缩，转为液态并与其蒸气处于平衡状态者称为 液化气体。 （3）溶解气体 单纯加高压压缩，可产生分解、 爆炸等危险性的气体，必须在加高压的同时，将其溶 解于适当溶剂，并由多孔性固体物充盛。在15℃以下 压力达0.2MPa以上，称为溶解气体（或称气体溶液），
Hub
Hub
Server Full Point I/O Panel PC
N700α N700α N700α
Ethern WIRE WIRE WIRE et LINK LINK LINK Link P R R O PO WE U G P N R A O T T G E E B S S FUS R U EM K N M O R A O P T T LM E G
ⓕ : Process Out ⓖ : Process Out ⓗ : Process Out
ⓘ : Process Out
ⓙ : Purge N2 In ⓚ : Gas In
气体输送系统
尾气处理
Safety Design & System Designed with Anti-corrosion Material Easy Operation Maintenance Low Running Cost High Efficiency and
空气压缩机及辅助设备
冷冻式干燥机
储罐 空气压缩机 过滤器
空压机站内流程图
Free Volt Main Power PLC Process Touch Panel Operation Display : EL Mono or TFT Color COM : RS-232C 422, 485, Data Highway Box Size W796 x D330 x H315
TRAINING FOR GAS
2011.5.18
Content
Section 1
Section 2 Section 3 Section 4 气体的类型 气体供应方式 气体设备 尾气处理 控制系统 大众气体输送系统
Section 5
Section 6 Section 7
压缩空气(CDA)
气体类型
Signal Tower
Manometer
EMG
12” TFT Color Display
Actual Pressure Gas Flow Diagram
Monitoring System
• GMS Concept Flow
Server Full Point I/O Server Full Point I/O
高压钢瓶
大众气体输送系统-气瓶架
大众气体输送系统-气体汇流排
压缩空气(Compress Dryer Air)
• 压缩空气 (CDA) 是指经空气压缩机压 缩后,经干燥,压力高于大气压的空气. • 压缩空气是一种能源，是一种由电能 转化而来的能源。作为用来开动机具 和阀门的主要能源 , 它易于控制，使 用方便，能灵巧精确地完成动作，有 缓冲作用，而且不发热、没有污染。
气体供应方式
Tank Lorry
过滤器 (0.05m) 液态气体储罐
气化器r
N2 Plant
过滤器 0.02m, 0.01m
无尘室
调压器
Outside Of Building Inside Of Building
流量计
过滤器 (0.1m) 气体纯化器
Purity Gas General Gas
气体分流箱(VMB)
•在不用停止供气的条件下增加使用点 •降通过减少气瓶柜的数量来降低费用
•系统和安全选项类似于气瓶柜
•设计简洁 •1 X 8 输 送
VMB P&ID
ⓐ : Process In ⓑ : Process Out ⓒ : Process Out ⓓ : Process Out
ⓔ : Process Out
Touc h scree n Flow controlle r
(N2, Air water)
Inlet port
(4 ports standard)
Plasma chamber Middle flange Water chamber
Controller of Gas and Chemical Supply System
1,按照气体的使用量分类: (1),大宗气体:
(2),特殊气体:
2,按照气体的性质分类:
(1),惰性性气体
(2),助燃性气体 (3),易燃性气体
(4),腐蚀性气体
(5),氧化性气体
气体类型
3,按照气体的纯度分类:
(1),一般气体:
(2),高纯气体:
4,按照气体常温条件下的状态分类:
(1),气态气体 (2),液态气体
Ethern WIRE WIRE WIRE et LINK LINK LINK Link P R R O PO WE U G P N R A O T T G E E B S S FUS R U EM K N M O R A O P T T LM E G
Gas Cabinet VMB
Gas Cabinet VMB
PLC Controller & Touch Panel
Full Auto Cycle Process Safety Option & Interlocks Applicable Monitoring System
▣ Dry Scrubber ▣ Thermal Wet Scrubber ▣ Plasma Type ▣ POU Scrubber