扫描电镜S-4300操作规程

扫描电镜S-4300操作规程

一、日常开机

1.打开Display开关，电脑自动开机，选择PC-SEM用户进入用户界面并自动

运行PC_SEM程序，以空口令登入。

2.将S.C. AIR LOCK V ALVE钮拨向OPEN。

二、装样品

1.将样品台装在样品座上，根据标尺调整高度及确认样品位置后旋紧。

2.按下AIR键，样品交换室在空气进入后将自动打开，水平向前推出交换螺杆，

把样品座旋在螺杆上之后，将交换螺杆水平向后拉回弹簧处。

3.关闭交换室，按下EV AC键，当真空系统S.E.C. V ACUUM HIGH绿灯亮时，

打开样品室阀门MV1，即MV1逆时针旋至O。

4.水平插入交换螺杆，直至样品座被卡紧为止，旋出交换螺杆（注意一定要完

全旋出螺杆，以免样品台掉入样品室）并水平向后拉至弹簧处，关闭样品室阀门MV1，即MV1顺时针旋至C。

三、图像观察

1.加高压

确认S.C. V ACUUM HIGH绿灯和S.E.C. V ACUUM HIGH绿灯亮，点击屏幕右上方的高压控制窗口，弹出HV Control对话窗。选择合适的观察电压和电流，点击ON，出现HV ON的提示条，待图像出现后，关闭HV Control对话窗。

2.在低倍、TV模式下，通过调节样品位置，找到所要观察的视场。

3.聚焦、消像散

选好视场后，放大到合适的倍数聚焦消像散。先调节聚焦旋钮，使图像达到最佳状态，若图像有拉长现象，则需进行消像散。调节STIGMATOR/ALIGNMENT X使图像在水平方向的拉长消失，再调节STIGMATOR/ALIGNMENT Y使图像在垂直方向的拉长消失。

4.图像采集及保存

用A.B.C.键或BRIGHTNISS/CONTRAST旋钮自动或手动调节图像的对比度和亮度，扫描速度变为慢扫（Scan Speed第三档），点击Capture进行采集。采集后暂时存放在左侧的Captured Images窗口下（最多可存16张），选中要保存的图

像，点击Save，弹出Save Image As对话框，输入文件名，选好存储位置保存即可。

5.对中调整

改变加速电压和电流时，或图像在高倍聚焦发生漂移时，需要进行对中调整，方法如下：

(1)选取样品上一个具有明显特征的位置放在视场中心。

(2)点击Aling键，出现Alignment窗口，在Beam项，视场中出现圆形光斑，用

STIGMATOR/ALIGNMENT X Y将圆形光斑调至视场中央。

(3)在Aperture, STIGX 和STIGY档，将图像放大至10万倍以上，若图像发生

晃动，调节STIGMATOR/ALIGNMENT X使图像在水平方向的晃动消失，再调节STIGMATOR/ALIGNMENT Y使图像在垂直方向的晃动消失。

四、取样品

1.打开高压控制窗口，点击OFF关掉高压。将样品台归位至X=1

2.5mm，

Y=12.5mm，同时确认Z=15mm，R=0°，T=0°。

2.打开样品室阀门MV1，水平插入交换螺杆，将样品座旋在螺杆上（注意一

定要旋紧，以免样品台掉入样品室），向后拉螺杆至弹簧处，关闭样品室阀门MV1。

3.按下AIR键，待交换室打开后，水平向前推出交换螺杆，把样品座从螺杆上

取下后，将交换螺杆水平向后拉回弹簧处。

4.关闭样品交换室，点EV AC键抽真空。

五、数据获取

打开电脑桌面上的Date upload 快捷方式，将数据拷贝到以课题组长为名的文件夹中。在所内的电脑上登录ftp://159.226.32.30 后，打开S-4300文件夹，将数据直接拖出即可下载。

六、日常关机

1.依次关闭PC_SEM软件、电脑、Display开关，将S.C. AIR LOCK V ALVE钮

拨向CLOSE。