第五章 载流子输运现象 2

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v
eE cp m*
半导体物理与器件
简单模型 假设载流子在两次碰撞之间的自由路程为l,自由时间 为г,载流子的运动速度为v:
l t v
在电场作用下:
v vd vth
vd为电场中的漂移速度,vth为热运动速度。
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弱场:
E 103V / cm
VT Vd
vth 107 cm / s
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1 , 又 E 1 1 C E E vd E C (常数)
速度饱和
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迁移率和电场的关系
右图所示为 锗、硅及砷 化镓单晶材 料中电子和 空穴的漂移 运动速度随 着外加电场 强度的变化 关系。
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从上述载流子漂移速度随外加电场的变化关系曲线中可 以看出,在弱场条件下,漂移速度与外加电场成线性变化关系, 曲线的斜率就是载流子的迁移率;而在高电场条件下,漂移速 度与电场之间的变化关系将逐渐偏离低电场条件下的线性变化 关系。以硅单晶材料中的电子为例,当外加电场增加到 30kV/cm时,其漂移速度将达到饱和值,即达到107cm/s; 当载流子的漂移速度出现饱和时,漂移电流密度也将出现饱和 特性,即漂移电流密度不再随着外加电场的进一步升高而增大。 对于砷化镓晶体材料来说,其载流子的漂移速度随外加 电场的变化关系要比硅和锗单晶材料中的情况复杂得多,这主 要是由砷化镓材料特殊的能带结构所决定的。
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高场畴区与耿氏振荡 当外加电压使样品内部电场强度最初处于负微分电导区 时,就可以产生微波(高频)振荡
-
-
+ + + +
+
vd
畴区的重复形成 和消失的频率, 即为振荡频率, 显然该频率和长 度有关
E
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电导率和温度的关系 右图所示为一块N型 半导体材料中,当施 主杂质的掺杂浓度ND 为1E15cm-3时,半导 体材料中的电子浓度 及其电导率随温度的 变化关系曲线。
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从图中可见,在非本征激发为主的中等温度区间内(即大约 200K至450K之间),此时杂质完全离化,即电子的浓度基本 保持不变,但是由于在此温度区间内载流子的迁移率随着温度 的升高而下降,因此在此温度区间内半导体材料的电导率也随 着温度的升高而出现了一段下降的情形。 当温度进一步升高,则进入本征激发区,此时本征载流子的 浓度随着温度的上升而迅速增加,因此电导率也随着温度的上 升而迅速增加。 而当温度比较低时,则由于杂质原子的冻结效应,载流子浓 度和半导体材料的电导率都随着温度的下降而不断减小。
l VT e * m vd E E
平均漂移速度 :
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较强电场:
103 E 105V / cm
l vd vth
E ,vd , ,
∴平均漂移速度Vd随电场增加而缓慢增大
强电场:
E 105V / cm
vd vth l 1 2vd E
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当电场比较强时,导带中的 电子将被电场加速并获得能量, 使得部分下能谷中的电子被散射 到E-k关系图中态密度有效质量 比较大的上能谷,mn*=0.55m0, 因此这部分电子的迁移率将会出 现下降的情形,这样就会导致导 带中电子的总迁移率随着电场的 增强而下降,从而引起负微分迁 移率和负微分电阻特性。
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负微分迁移率 从砷化镓晶体材料中电子漂移速度随外加电场的变化关 系曲线可以看出,在低电场条件下,漂移速度与外加电场成线 性变化关系,曲线的斜率就是低电场下电子的迁移率,为 8500cm2/V· s,这个数值要比硅单晶材料高出很多;随着外 加电场的不断增强,电子的漂移速度逐渐达到一个峰值点,然 后又开始下降,此时就会出现一段负微分迁移率的区间,此效 应又将导致负微分电阻特性的出现。此特性可用于振荡器电路 的设计。 负微分迁移率效应的出现可以从砷化镓单晶材料的E-k关 系曲线来解释:低电场下,砷化镓单晶材料导带中的电子能量 比较低,主要集中在E-k关系图中态密度有效质量比较小的下能 谷,mn*=0.067m0,因此具有比较大的迁移率。
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电阻率和温度的变化关系:
ρ
杂质全部电离,载流子浓度不变;晶格振动散 射起主要作用,随温度升高迁移率下降 本征区,载 流子浓度随 温度升高而 迅速升高,
低温 饱和 本征
T
低温下晶格振动不明显,本征载流子浓度低。 电离中心散射随温度升高而减弱,迁移率增加
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载流子的漂移速度饱和效应 前边关于迁移率的讨论一直建立在一个基础之上:弱场 条件。即电场造成的漂移速度和热运动速度相比较小,从而不 显著改变载流子的平均自由时间。但在强场下,载流子从电场 获得的能量较多,从而其速度(动量)有较大的改变,这时, 会造成平均自由时间减小,散射增强,最终导致迁移率下降, 速度饱和。对于热运动的电子:
上述随机热运动能量对应于硅材料中电子的平均热运动速度为 107cm/s;如果我们假设在低掺杂浓度下硅材料中电子的迁移 率为μ n=1350cm2/V· s,则当外加电场为75V/cm时,对应的 载流子定向漂移运动速度仅为105cm/s,只有平均热运动速度 的百分之一。
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在弱场条件下,载流子的平均自由运动时间基本上由载流子的 热运动速度决定,不随电场的改变而发生变化,因此弱场下载 流子的迁移率可以看成是一个常数。 当外加电场增强为7.5kV/cm之后,对应的载流子定向漂移 运动速度将达到107cm/s,这与载流子的平均热运动速度持平。 此时,载流子的平均自由运动时间将由热运动速度和定向漂移 运动速度共同决定,因此载流子的平均自由运动时间将随着外 加电场的增强而不断下降,由此导致载流子的迁移率随着外加 电场的不断增大而出现逐渐下降的趋势,最终使得载流子的漂 移运动速度出现饱和现象,即载流子的漂移运动速度不再随着 外加电场的增加而继续增大。
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问题:本征半导体的导电性(常温下)是 否一定比掺杂半导体更差?
p 1/ 2 n 1/ 2 n ni ( ) 和p ni ( ) n p
σSi-min≈0.86σSi-I;
min
பைடு நூலகம்
2b i b 1
1/ 2
其中σi是本征半导体的电导率,b=μ n/μ p σGaAs-min≈0.4σGaAs-I;
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电阻率和杂质浓度的关系 右图所示为 N型和P型硅 单晶材料在 室温(300K) 条件下电阻 率随掺杂浓 度的变化关 系曲线。
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右图所示为N型 和P型锗、砷化 镓以及磷化镓单 晶材料在室温 (300K)条件下电 阻率随掺杂浓度 的变化关系曲线。
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电阻率(电导率)同时受载流子浓度(杂质浓度)和 迁移率的影响,因而电阻率和杂质浓度不是线性关系。 对于非本征半导体来说,材料的电阻率(电导率)主 要和多数载流子浓度以及迁移率有关。 杂质浓度增高时,曲线严重偏离直线,主要原因: 杂质在室温下不能完全电离 迁移率随杂质浓度的增加而显著下降 由于电子和空穴的迁移率不同,因而在一定温度下, 不一定本征半导体的电导率最小。
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半导体的电阻率和电导率
J drf
e n n p p E E e n n p p 1
I eNAvt Nev v A At
1 e n n p p
显然:电导率(电阻率)与载流子 浓度(掺杂浓度)和迁移率有关
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