洁净室各项指标的检测

洁净室各项指标的检测方法、程序法则、判定标准洁净室的检测主要分为：

一、风量和风速的检测

二、静压差的检测

三、洁净度的测定

四、微生物粒子的检测

五、安装高效空气过滤器后的检漏

六、污染泄露测试

七、气流流型试验

八、自净时间测定

九、温度及相对湿度检测

十、照度检测

十一、噪声检测

十二、防静电地面导电性能测定

一、风量和风速的检测

风量和风速的检测必须首先进行，净化空调的各项效果必须是在设计风量和风速的条件下获得。

用热力风速仪测量风速用风量罩直接测量风量

1.测前准备工作

风量检测前必须检查风机运行是否正常，系统中各部件安装是否正确，有无障碍（如过滤器有无被堵、档），所有阀门应固定在一定的开启位置上，并且必须实际测量被测风口、风管尺寸。

2.单向流洁净室的风量测量

垂直单向流及水平单向流洁净室，目前均采用截面平均风速与截面面积的成绩计算风量，关于截面的取法和测点的布置如下表

3．非单向流（乱流）洁净室的风量测定：

非单向流（乱流）洁净室的风量可以用风管法和风口法两种方法测量，关于截面取法和

量伸直使测头远离身体（侧方或下游）以减少人身干扰。

评定：a．系统的实测风量应大于各自的设计风量，但不应超过20%。

b．总实测新风量和设计新风量之差，不应超过设计新风量的±10%。

c．室各风口的风量与各自设计风量之差均不应超过设计风量的±15%。

矩形风管测点位置示意图圆形风管测点位置示意图

圆形划分数按下表规定：

风管直径/mm ＜200 200-400 400-700 ＞700

圆环个数 3 4 5 ＞6

二、静压差检测

此项检测的目的是为了测定洁净室的静压差，它可以是正压或者负压，以防止洁净室外气流间的相互影响。

1．检测要求

（1）静压差的检测要求要在洁净室所有的门窗全部关闭的情况下进行

（2）在洁净平面上应从洁净度由高到低的顺序依次进行，一直检测到直通室外的房间（3）测管口设在室没有气流影响的任何位置均可，测管口面与气流流线平行

（4）所测量记录的数据应精确到0.1Pa

2．检测步骤：

（1）先关闭所有的门窗

（2）用微压计测量各洁净室之间、洁净室与走廊之间、走廊与外界之间的压差。（3）记录所有数据

3．合格标准

按照洁净室的设计和工艺的要求决定维持被测洁净室的正压或负压值。

（1）不同等级的洁净室或洁净区与非洁净区（室）之间的静压差，应不小于5Pa。（2）洁净室（区）与室外的静压差应不小于10Pa

（3）对于空气洁净度等级高于5级（100级）的单向流洁净室在开门时，门0.6m处的室工作面含尘浓度应不大于相应级别的含尘浓度极限值。

（4）若达不到上述要求，则需重新调整新风量、排风量，直至合格为止

三、洁净度测定

《洁净室施工及验收规》（JGJ71-90）中规定如下：

1．检测规则

（1）测定洁净度的最低限度采样点睡按下表规定确定。每点采样次数不低于3次，各点采样次数可以不同

最低限度采样点数

房间面积。

（2）测定洁净度的最小采样量按下表规定确定

（3）对于单向流洁净室，采样口应对着气流方向；对于乱流洁净室，采样口宜向上。采样速度均应尽可能接近室气流速度。也即参考“等速采样”

（4）洁净室测点的布置原则是：多于5点时可分层布置，但每层不少于5点；5点或5点以下时，可布置在离地面0.8m高平面的对角线上（如下图），或该平面上的两个过滤器之间的地点，也可以在人为需要布点的其他地方。

五点测点布置图

2．数据整理

室洁净度按公式计算室平均含尘浓度N和各测点平均含尘浓度的标准误差

3．评定标准如测定的状态（空态、静态、动态）与事先约定的状态相同，则以其级别上限作为评定标准。

如测定时为空态或静态，则动态时粒子数一定会高。所以，如用静态检测代替动态检测

则粒子数会偏小，有时可以用静态粒子数的3-5倍来估计动态情况。当然这也仅是经验参考值

4．注意事项

测定时进入洁净室的人员要穿洁净服（有风淋室要经过风淋），在室尽量处于下风处，最多进入两人。

粒子计数器一般均有一个开机后预热稳定的过程（时间因机型而异）注意按仪表说明书操作。

一般粒子计数器均有“粒子校准”这一旋钮，在使用前必须校准，使用一段时间（例如连续使用0.5-1h）后均需进行检查。严禁故意将灵敏度调低的不正当做法

每个测点测完后需要移机（或移动采样口）时，要有一个稳定过程，一般为1-5分钟，也可以将移机后前几次打印结果弃去。

有研究结果表明打印机本身的动作有一定的产尘量，故在测量高级别洁净室时，要考虑到打印机纸发尘的影响。建议选取可存储数据的仪器，实验结束后再把结果打印出来；或将连线延长，将打印机置于被测洁净室外。

在粒子计数器中反应得粒径，知识“光散射等效粒径”，因为计数器时用洁净大气尘密度的聚苯乙烯小球（标准粒子）来标定的。所以在实例中凡是与某种直径标准粒子的光散射特性相同的灰尘就被记录为该粒径的粒数，而不能真正代表该灰尘的真实外形和理化性能，而这个方面，还得在采样后靠显微镜（电子显微镜）和微量（痕量）理化分析来解决。

目前的粒子计数器都存在一个“上限浓度”的问题，由于仪器本身构造的原因，如抽气流速过大，会有可能两个或多个粒子同事进入散射光区域，此时会合并基础一个粒径偏大的粒子，从而造成测量的重叠误差。如实测环境含尘量超过上限浓度，则应采用稀释器稀释后再测。

四、微生物粒子检测

本实验室不涉及微生物粒子检测，此处不做详述

五、安装高效过滤器的检漏

高效过滤器本体在进入现场前，生产厂家应按规定对其进行性能试验（其检测方法如DOP试验、NaCl试验、油雾试验等），并提供合格证（含性能检测结果）。

对于5级（100级）以上洁净室用高效过滤器、超高效过滤器在现场应再次进行高效过滤器本体及其正确安装状态进行泄露试验。对于6级及以下的生物洁净室也用此方法啊检漏。而在大规模集成电路生产的超净技术中（0.1μm，1级），由于新风量往往是循环风量的百分之几，经过稀释上风侧也变成6级（1000级）的程度，因此，在这种情况下，就必须重新考虑采用DOP检漏试验。DOP检漏仪级配套的DOP发生器如下图

DOP检漏仪检漏仪配套DOP发生器1．检测要求

一般采用离子计数器法进行检测，被检高效过滤器必须已检测过风量，并在设计风